JP4494003B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の無線タグに代表される半導体装置100の上面図を、図1を用いて説明する。図1(A)は、無線タグ本体であり、表示部103、電源部104、薄膜集積回路部105、及び薄膜集積回路に接続されるアンテナ106が設けられている。また、無線タグ表面には、板紙等の紙類又は合成紙、若しくはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、セルロース系樹脂のような一般的なプラスチックで形成される基材を設け、その表面に印刷物を印刷して、特有の模様又はバーコードを表示してもよい。だたし、これらの基材が、透光性を有さない場合は、表示部及び電源部には開口部を設けて表示部及び電源部上面から認識できるようにする。さらには、無線タグ全体をラミネートフィルムによって保護してもよい。ラミネートフィルムとしては、耐水性や耐溶剤性のあるものであればよく、代表的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、塩化ビニル、ナイロン等のプラスチックフィルムを用いることができる。
本実施形態においては、第1実施形態と同様に、表示部103、電源部104、薄膜集積回路部105、及び薄膜集積回路を有し、かつ第1実施形態と異なる構造のアンテナを有する無線タグに代表される半導体装置について図3を用いて説明する。図3は無線タグの上面図である。
本実施形態では、第1実施形態と同様に、表示部103、電源部104、及び薄膜集積回路部105を有し、かつ第1実施形態と異なる配置のアンテナを有する無線タグに代表される半導体装置について図4を用いて説明する。
本実施形態では、複数の基板で形成される無線タグに代表される半導体装置について図5を用いて説明する。なお、第1実施形態と同様に、表示部103、電源部104、薄膜集積回路部105、及び薄膜集積回路、及びアンテナを有する。
本実施形態では、表示部、電源部、薄膜集積回路部が形成される基板が、複数のアンテナが形成される基板で挟持されている無線タグに代表される半導体装置について図7を用いて説明する。なお、第1実施形態と同様に、表示部103、電源部104、薄膜集積回路部105、及び薄膜集積回路、及びアンテナを有する。
また、第2の基板702と第3の基板703によってこれらの積層体が挟持されている。
本発明の無線タグに代表される半導体装置の作製工程について図10及び図11を用いて説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態に示される無線タグの作製工程を示すが、第2実施形態乃至第4実施形態にそれぞれ適応することが可能である。
第6実施形態とは異なる剥離工程により形成する無線タグに代表される半導体装置の作製工程を図12及び図13を用いて説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態に示される無線タグの作製工程を示すが、第2実施形態乃至第4実施形態にそれぞれ適応することが可能である。
する。
第6の実施形態又は第7の実施形態の剥離工程の代わりに、耐熱性の高い基板と薄膜集積回路の間に水素を含む非晶質珪素膜を設け、レーザ光の照射またはエッチングにより該非晶質珪素膜を除去することで基板と薄膜集積回路とを剥離し、貼り合わせる方法を用いることができる。また、薄膜集積回路が形成された耐熱性の高い基板を機械的に削除または溶液やガスによるエッチングで除去することで薄膜集積回路を基板から切り離し、貼り合わせる方法を用いることができる。
次に、大型の基板を用いて複数の無線タグに代表される半導体装置を形成する例について説明する。図14(A)に、大型の第1の基板1401上に、表示部、アンテナ、電源部、薄膜集積回路部を有する複数の無線タグが形成されている様子を示す。図14(A)は、第6実施形態において、図11(B)に示すように、アンテナ、薄膜集積回路、電源部、表示部が形成された第1の基板の斜視図に相当する。なお、破線で囲んだ領域1402が、1つの無線タグに対応している。なお表示素子として液晶素子を用いる場合、液晶の注入はディスペンサ式でもディップ式でも良いが、図14(A)に示すように、ディップ式で用いる液晶の注入口がカード基板の端部にくるように配置できない場合は、ディスペンサ式を用いる。
Claims (7)
- 可とう性を有し、且つ画素電極を有する表示部、薄膜トランジスタで形成される薄膜集積回路部、及び電源部が形成されている第1の基板と、
可とう性を有し、且つコイル状のアンテナが形成されている第2の基板と、を有し、
前記第2の基板は、中央部で折り曲げられて前記第1の基板を挟持し、
前記画素電極は、前記アンテナの内側に位置していることを特徴とする半導体装置。 - 可とう性を有し、且つ画素電極を有する表示部、薄膜トランジスタで形成される薄膜集積回路部、及び電源部が形成されている第1の基板と、
可とう性を有し、且つコイル状のアンテナが形成されている第2の基板及び第3の基板と、を有し、
前記第2の基板及び前記第3の基板は、前記第1の基板を挟持し、
前記画素電極は、前記アンテナの内側に位置していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記表示部は、液晶素子、発光素子、又は電気泳動素子で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記電源部は、ダイオードで形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、
前記電源部は、前記表示部に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、
前記薄膜トランジスタで形成される薄膜集積回路部は、無線周波数回路、変調回路、復調回路、電源回路、CPU、及びメモリを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項において、
前記アンテナは、金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、クロム、タングステン、チタン、モリブデン、タンタル等の金属、又は金属化合物を、1つまたは複数有する導電材料を用いて形成されていることを特徴とする半導体装置。
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