JP4486372B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4486372B2 JP4486372B2 JP2004032218A JP2004032218A JP4486372B2 JP 4486372 B2 JP4486372 B2 JP 4486372B2 JP 2004032218 A JP2004032218 A JP 2004032218A JP 2004032218 A JP2004032218 A JP 2004032218A JP 4486372 B2 JP4486372 B2 JP 4486372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- ring member
- electrode
- coating
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 163
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 123
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 58
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 31
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 122
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 116
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 106
- 239000010408 film Substances 0.000 description 98
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 92
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 86
- 239000000463 material Substances 0.000 description 72
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 71
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 67
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 55
- 238000006703 hydration reaction Methods 0.000 description 53
- 230000036571 hydration Effects 0.000 description 51
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 44
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 28
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 27
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 26
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 22
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 19
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 18
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 18
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 16
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910000421 cerium(III) oxide Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 16
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 15
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 15
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 14
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 13
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 13
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 13
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 description 11
- 239000004693 Polybenzimidazole Substances 0.000 description 11
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 11
- 229910009527 YF3 Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 11
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 11
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 11
- 229920002480 polybenzimidazole Polymers 0.000 description 11
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 11
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910020187 CeF3 Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910004160 TaO2 Inorganic materials 0.000 description 10
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 10
- NQKXFODBPINZFK-UHFFFAOYSA-N dioxotantalum Chemical compound O=[Ta]=O NQKXFODBPINZFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 10
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 9
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 9
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 9
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N hydrofluoric acid Substances F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 5
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- -1 C4F8 or NF3 Chemical compound 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 4
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 230000000887 hydrating effect Effects 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015844 BCl3 Inorganic materials 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000033444 hydroxylation Effects 0.000 description 1
- 238000005805 hydroxylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられた絶縁材からなるリング部材と、
このリング部材内に設けられた電極と、
前記リング部材上方のプラズマのシース領域を調整するために前記電極に直流電圧を印加する直流電源と、を備え、
前記リング部材内の電極は径方向に複数設けられ、これら複数の電極に印加する直流電圧を各々独立して調整できることを特徴とする。
また本発明のプラズマ処理装置は、処理容器内の載置台に載置された被処理基板に対して、処理ガスのプラズマによりエッチング処理を行うプラズマ処理装置において、
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられた絶縁材からなるリング部材と、
このリング部材内に設けられた電極と、
前記リング部材上方のプラズマのシース領域を調整するために前記電極に直流電圧を印加する直流電源と、
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられ、かつ前記リング部材の内側に設けられた導電性のシリコンリングと、を備えたことを特徴とする。
例えば第1のプロセス時にはリング部材内の電極に第1の直流電圧を印加し、第2のプロセス時にはリング部材内の電極に第2の直流電圧を印加するように印加電圧を切り替えるための手段を備えていてもよい。この場合、前記手段は、例えば第1のプロセスを行うためのプロセス条件と被処理基板に対して第2のプロセスを行うためのプロセス条件とを記憶する記憶部を備え、この記憶部内のデータを参照して印加電圧を切り替える構成であってもよい。更に第1のプロセスは例えば薄膜をエッチングする処理であり、第2のプロセスは例えば前記薄膜とは異なる種類の薄膜をエッチングする処理であってもよい。
このリング部材の上方のプラズマのシース領域を調整するために直流電圧が印加される電極を内部に備えたことを特徴とする。
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられた絶縁材からなるリング部材内に周方向に沿って設けられたプラズマシース領域調整用の電極に第1の直流電圧を印加した状態で、処理容器内にプラズマを発生させて被処理基板に第1のプロセスを行う工程と、
次いで前記プラズマシース領域調整用の電極に第2の直流電圧を印加した状態で、処理容器内にプラズマを発生させて被処理基板に第2のプロセスを行う工程と、を含むことを特徴とする。
Y2O3+H2O→Y2O3・(H2O)n→2(YOOH)→Y(OH)3…(1)
ただし、上記(1)式は価数を考慮していない。
この(1)式に示すように、水化処理により、最終的にYの水酸化物が形成される。他の周期律表第3a族に属する元素の場合も、ほぼ同様な反応によってこのような水酸化物を形成する。このような水酸化物としてはY(OH)3、Ce(OH)3、Nd(OH)3が好ましい。
22 真空ポンプ
3 上部電極
33 第1のガス供給系
34 第2のガス供給系
4 下部電極
44 静電チャック
5 フォーカスリング
51 電極
52a アクチュエータ
6 制御部
20 真空チャンバ
20a デポシールド
30 ガスシャワーヘッド
210 載置台
212 静電チャック
213 フォーカスリング
214 排気プレート
71,81 基材
72,76,77,82,84,87 被膜
74 バリアコート層
75,83 陽極酸化被膜
76a,78a,79a 封孔処理部
82a,86a,88a,98 水化処理部
Claims (5)
- 処理容器内の載置台に載置された被処理基板に対して、処理ガスのプラズマにより処理を行うプラズマ処理装置において、
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられた絶縁材からなるリング部材と、
このリング部材内に設けられた電極と、
前記リング部材上方のプラズマのシース領域を調整するために前記電極に直流電圧を印加する直流電源と、を備え、
前記リング部材内の電極は径方向に複数設けられ、これら複数の電極に印加する直流電圧を各々独立して調整できることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 処理容器内の載置台に載置された被処理基板に対して、処理ガスのプラズマによりエッチング処理を行うプラズマ処理装置において、
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられた絶縁材からなるリング部材と、
このリング部材内に設けられた電極と、
前記リング部材上方のプラズマのシース領域を調整するために前記電極に直流電圧を印加する直流電源と、
前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられ、かつ前記リング部材の内側に設けられた導電性のシリコンリングと、を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 被処理基板に対して第1のプロセスを行うときにはリング部材内の電極に第1の直流電圧を印加し、被処理基板に対して第2のプロセスを行うときにはリング部材内の電極に第2の直流電圧を印加するように印加電圧を切り替えるための手段と、を備えたことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ処理装置。
- 第1のプロセスは薄膜をエッチングする処理であり、第2のプロセスは前記薄膜とは異なる種類の薄膜をエッチングする処理であることを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。
- 前記載置台上の被処理基板を取り囲むように設けられ、かつ前記リング部材の内側に設けられた導電性のシリコンリングを有することを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004032218A JP4486372B2 (ja) | 2003-02-07 | 2004-02-09 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003031278 | 2003-02-07 | ||
JP2004032218A JP4486372B2 (ja) | 2003-02-07 | 2004-02-09 | プラズマ処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004260159A JP2004260159A (ja) | 2004-09-16 |
JP2004260159A5 JP2004260159A5 (ja) | 2007-03-29 |
JP4486372B2 true JP4486372B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=33133779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004032218A Expired - Lifetime JP4486372B2 (ja) | 2003-02-07 | 2004-02-09 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4486372B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111383887A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种改善等离子体刻蚀均匀性的装置及方法 |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4666576B2 (ja) | 2004-11-08 | 2011-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | セラミック溶射部材の洗浄方法、該方法を実行するためのプログラム、記憶媒体、及びセラミック溶射部材 |
US7993489B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Capacitive coupling plasma processing apparatus and method for using the same |
JP4628900B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2011-02-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US8038837B2 (en) | 2005-09-02 | 2011-10-18 | Tokyo Electron Limited | Ring-shaped component for use in a plasma processing, plasma processing apparatus and outer ring-shaped member |
JP4783094B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理用環状部品、プラズマ処理装置、及び外側環状部材 |
JP4508054B2 (ja) * | 2005-09-12 | 2010-07-21 | パナソニック株式会社 | 電極部材の製造方法 |
JP2007115973A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 耐食性部材 |
JP2007243020A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP4884047B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2012-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法 |
JP5014656B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-08-29 | 国立大学法人東北大学 | プラズマ処理装置用部材およびその製造方法 |
TWI431681B (zh) * | 2006-05-15 | 2014-03-21 | Ulvac Inc | 洗淨方法及真空處理裝置 |
JP4989111B2 (ja) * | 2006-05-29 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | プラズマ洗浄装置 |
JP4733616B2 (ja) * | 2006-11-01 | 2011-07-27 | 積水化学工業株式会社 | 表面処理装置 |
US7829469B2 (en) * | 2006-12-11 | 2010-11-09 | Tokyo Electron Limited | Method and system for uniformity control in ballistic electron beam enhanced plasma processing system |
JP5102500B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2012-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP4833890B2 (ja) | 2007-03-12 | 2011-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ分布補正方法 |
JP5071856B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2012-11-14 | 日本碍子株式会社 | 酸化イットリウム材料及び半導体製造装置用部材 |
JP4988402B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP5281309B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
US8603591B2 (en) * | 2009-04-03 | 2013-12-10 | Varian Semiconductor Ewuipment Associates, Inc. | Enhanced etch and deposition profile control using plasma sheath engineering |
JP5227264B2 (ja) * | 2009-06-02 | 2013-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置,プラズマ処理方法,プログラム |
WO2011043223A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | アクチュエータ素子およびシート状アクチュエータ |
JP5312369B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US8362386B2 (en) * | 2010-06-09 | 2013-01-29 | General Electric Company | Power delivery unit, plasma spray system, and method of using plasma spray system |
KR101191543B1 (ko) | 2010-08-09 | 2012-10-15 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 도금 장치 |
JP5026571B2 (ja) * | 2010-08-31 | 2012-09-12 | 株式会社新川 | 表面洗浄装置 |
KR101217460B1 (ko) * | 2010-11-11 | 2013-01-02 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 도금 장치 |
JP5313375B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置およびフォーカスリングとフォーカスリング部品 |
JP6714978B2 (ja) * | 2014-07-10 | 2020-07-01 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用の部品、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理装置用の部品の製造方法 |
JP6539113B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2019-07-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
KR101817779B1 (ko) * | 2015-12-31 | 2018-01-11 | (주)코미코 | 내플라즈마 코팅막 및 이의 형성방법 |
JP6703425B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2020-06-03 | 株式会社栗田製作所 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP7068921B2 (ja) * | 2018-05-15 | 2022-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品の形成方法及びプラズマ処理装置 |
JP7090149B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2022-06-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 |
TWI741320B (zh) * | 2018-07-18 | 2021-10-01 | 日商日本發條股份有限公司 | 電漿處理裝置用構件 |
KR20200087694A (ko) * | 2019-01-11 | 2020-07-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치 |
KR102585287B1 (ko) * | 2020-09-08 | 2023-10-05 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 이의 커버링 |
EP4213597A1 (en) * | 2020-09-09 | 2023-07-19 | Mitsubishi Materials Corporation | Plasma-resistant coating film, sol gel liquid for forming said film, method for forming plasma-resistant coating film, and substrate with plasma-resistant coating film |
KR102327270B1 (ko) * | 2020-12-03 | 2021-11-17 | 피에스케이 주식회사 | 지지 유닛, 기판 처리 장치, 그리고 기판 처리 방법 |
JP7234459B2 (ja) | 2020-12-24 | 2023-03-07 | トーカロ株式会社 | 静電チャック及び処理装置 |
CN112736015A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-30 | 拓荆科技股份有限公司 | 用于调节处理腔中电浆曲线的装置及其控制方法 |
CN117238743B (zh) * | 2023-11-10 | 2024-02-09 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 改善晶圆边缘环状缺陷的方法 |
-
2004
- 2004-02-09 JP JP2004032218A patent/JP4486372B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111383887A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种改善等离子体刻蚀均匀性的装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004260159A (ja) | 2004-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4486372B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR100540051B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치, 링부재 및 플라즈마 처리 방법 | |
JP4987911B2 (ja) | プラズマ処理容器内部材 | |
JP4503270B2 (ja) | プラズマ処理容器内部材 | |
US10385459B2 (en) | Advanced layered bulk ceramics via field assisted sintering technology | |
US9828690B2 (en) | Component of substrate processing apparatus and method for forming a film thereon | |
JP4666575B2 (ja) | セラミック溶射部材の製造方法、該方法を実行するためのプログラム、記憶媒体、及びセラミック溶射部材 | |
JP4666576B2 (ja) | セラミック溶射部材の洗浄方法、該方法を実行するためのプログラム、記憶媒体、及びセラミック溶射部材 | |
KR100924852B1 (ko) | 기판 처리 장치용 부품 및 피막 형성 방법 | |
KR20160106747A (ko) | 확산 접합 플라즈마 저항성 화학 기상 증착(cvd) 챔버 히터 | |
JP6967944B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US20200152432A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2002252209A (ja) | プラズマエッチング装置 | |
WO2005054543A1 (ja) | クリーニング方法 | |
JP4773735B2 (ja) | 真空容器の水分除去方法、該方法を実行するためのプログラム、及び記憶媒体 | |
US20240043992A1 (en) | Multilayer ald coating for critical components in process chamber | |
US20220013336A1 (en) | Process kit with protective ceramic coatings for hydrogen and nh3 plasma application | |
JP2004259745A (ja) | プラズマ処理装置および静電チャックの製造方法 | |
CN117693803A (zh) | 基板支座的反应性清洁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070208 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4486372 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160402 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |