JP4464396B2 - 新規な感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
(a)1つまたはそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー(I);
(b)照射に際して酸を遊離する1つまたはそれ以上の光活性化合物(PAG);
(c)その各々が少なくとも2つの〜N−(CH2OR)n単位(ここで、n=1または2であり、そしてRは線状または分枝状のC1〜C8のアルキル基である)を含有する1つまたはそれ以上の潜在的架橋剤;
(d)少なくとも1つの溶媒;そして
(e)少なくとも1つの溶解速度調整剤(ただし、潜在的架橋剤が高度に反応性である場合、溶解速度調整剤はカルボン酸基を含有しない)
を含有する。
(a)基板を用意し、
(b)該基板上に構造(I)
(c)コーティングした基板を化学線に曝露し、
(d)コーティングした基板を高められた温度で曝露後ベークを行い、
(e)コーティングした基板を水性現像液で現像を行うことによりレリーフ画像を形成し、
(f)基板を高められた温度でベークすることによりレリーフ画像を硬化させる、
を含む。
(a)1つまたはそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー(I);
あり;Ar4はAr1(OH)2またはAr2であることができ;GはHまたはポリマーの末端NHに直接結合したカルボニル、カルボニルオキシまたはスルホニル基を有する有機基Jである)
(b)照射に際して酸を遊離する1つまたはそれ以上の光活性化合物(PAG);
(c)その各々が少なくとも2つの〜N−(CH2OR)n単位(ここで、n=1または2であり、そしてRは線状または分枝状のC1〜C8のアルキル基である)を含有する1つまたはそれ以上の潜在的架橋剤;
(d)少なくとも1つの溶媒;そして
(e)少なくとも1つの溶解速度調整剤(ただし、潜在的架橋剤が高度に反応性である場合、溶解速度調整剤はカルボン酸基を含有しない)
を含むものである。
があるが、これらに限定されない。R1の例には、−CH3−、−C2H5−、n−C3H7、i−C3H7、n−C4H9、t−C4H9、およびシクロヘキシルがあるが、これらに限定されない。2つまたはそれ以上のAr1基の混在するものが使用されてよい。
があるが、これらに限定されない。好適なZ基の例には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、n−ブチル、sec−ブチル、t−ブチル、n−オクチル、シクロペンチル、シクロヘキシルまたはシクロオクチルがあるが、これらに限定されない。2つまたはそれ以上のAr2基の混在するものが使用されてよい。
R2の例には−CH3、−C2H5、n−C3H7、i−C3H7、n−C4H9、t−C4H9、およびシクロヘキシルがあるが、これらに限定されない。第2の合成段階において、ポリベンゾオキサゾール前駆体ベースポリマーの末端アミノ基を、Jが前に記載したとおりでありそしてMが反応性基である化合物J−Mと反応させ、GがJである構造Iを有するポリマーを生成する。
があるが、これらに限定されない。
定されない。好適な光酸発生剤化合物は例えば米国特許第5,558,978号および第5,468,589号に記載されており、これらは参照によって本明細書に加入される。他の好適な光酸発生剤は米国特許第5,554,664号に記載のようにパーフルオロアルキルスルホニルメチドおよびパーフルオロアルキルスルホニルイミドである。
脂肪族であり、そしてAr6は珪素を含んでよい、2価の芳香族基、2価の複素環式基、2価の脂環式基、2価の脂肪族基またはこれらの混在するものであるのが好ましく、そしてAr5は4価の芳香族基、4価の複素環式基、4価の環状脂肪族基または4価の脂環式基であるが、各々の原子価はそれに対してオルトである他の原子価を少なくとも1つ有するものとする)
を有する。nに関する好ましい範囲は約25〜約175である。nに関する最も好ましい範囲は約50〜約150である。ポリマーVIIはネガ型感光性組成物の他の成分との相溶性をもちそして水性現像液中に可溶でなければならない。
を反応させることにより製造される。VIIIは1つの種類の二酸無水物またはいくつかの二酸無水物の混合物であってよいが、ただし最終的なポリマーは感光性組成物の溶媒中に可溶であるものとする。VIIIの例には、以下の二酸無水物:3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ジフェニルサルファイドテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ジフェニルメタンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'−ジフェニルメタンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタール酸の二無水物、特に3,3',4,4'−ジフェニルオキサイドテトラカルボン酸二無水物(4,4'−オキシジフタール酸二無水物)、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3−ジフェニルヘキサフルオロプロパン−3,3,4,4−テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナンスレンテトラカルボン酸二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物があるが、これらに限定されない。ここに挙げたもののような二酸無水物の混合物もまた使用されてよい。
の1つを有する少なくとも1つの物質を含む。他の好ましい態様でZは−O−である。
をもつ少なくとも1つの化合物を含む。
によって表わすことができる。
の1つである。
(a)基板を用意し、
(b)この基板上に構造(I)
を有する1つまたはそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体;照射に際して酸を遊離する1つまたはそれ以上の光活性化合物、nが1または2でありそしてRが線状、または分枝状のC1〜C8のアルキル基である少なくとも2つの〜N−(CH2OR)n単位をそれぞれが含む1つまたはそれ以上の潜在的な架橋剤、少なくとも1つの溶媒および少なくとも1つの溶解速度調整剤(すべて上記に述べたもの)を含み、ただし潜在的架橋剤が高度に反応性であるとき、溶解速度調整剤はカルボン酸基を含まないとした、ネガ型感光性組成物をコーティングすることにより、コーティングされた基板を形成し;
(c)コーティングされた基板を化学線に暴露し;
(d)コーティングされた基板を高められた温度で暴露後ベークし;
(e)コーティングされた基板を水性現像液によって現像することによりレリーフ画像を作成し;そして
(f)基板を高められた温度でベークすることによりレリーフ画像を硬化する
段階を包含する。
アミノ末端基を有するPBO前駆体ポリマー(Va)の調製
モノマー比を変えた構造VaのPBO前駆体ポリマー(Vb)の調製
メカニカルスターラー、窒素導入口及び滴下漏斗を装備した100mLの3つ口丸底フラスコにヘキサフルオロ−2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン3.66g(10ミリモル)、ピリジン1.70g(21ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン(NMP)15gを添加した。その溶液を全ての固体が溶解するまで室温で攪拌し、その後、0〜5℃の氷水浴中で冷却した。この溶液にイソフタロイルクロライド1.01g(5ミリモル)及びNMP10gに溶解した1,4−オキシジベンゾイルクロライド1.477g(5ミリモル)を滴下した。滴下が完了した後、得られた混合物を室温で18時間攪拌した。その粘りけのある溶液を脱イオン水800mL中で激しく攪拌して沈殿を形成させた。ポリマーを濾過により収集し、脱イオン水及び水/メタノール(50/50)混合物で洗浄した。ポリマーを真空下に105℃で24時間乾燥した。収量はほぼ定量的であった。ポリマーの固有粘度はNMP中、25℃、濃度0.5g/dLで測定して0.36dL/gであった。
G=アセチルであるPBO前駆体ポリマー(Ia)の調製
4,4’−オキシジフタル酸無水物(ODPA)/オキシジアニリン(ODA)ポリアミド酸(VIIa)の調製
4,4’−オキシジフタル酸無水物(ODPA)/オキシジアニリン(ODA)/パラ−アミノフェノールポリアミド酸(VIIb)の調製
ナジック酸無水物でエンドキャップされたPBOポリマーの調製
4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)−ビス−(フタル酸無水物)(6−FDA)/オキシジアニリン(ODA)ポリアミド酸(VIIc)の調製
様々な溶解調整剤を含むPBOポリマー(I)のDRMスタディ
感光性処方物(A)を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル(Chiba Speciality chemicalsから入手可能)5重量部、合成例4で調製したODPA/ODAポリマー31.25重量部及び活性成分としてテトラメチルメトキシグリコールウリルを含有し、Cytec Industriesから入手可能な架橋剤であるPowderlink 1174 10重量部を混合することにより調製した。
溶解速度調整剤を含まないPBO前駆体ポリマー(Va)のリソグラフィー評価
比較感光性処方物1を、合成例1と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL160重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、Powderlink 1174 10重量部を混合することにより調製した。処方物は1μmフィルターを通して濾過した。
溶解速度調整剤を含まないPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
比較感光性処方物2を、IV=0.2dL/gであること以外は合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL160重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、Powderlink 1174 10重量部を混合することにより調製した。処方物は1μmフィルターを通して濾過した。
ODPA/ODAポリアミド酸を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で調製したODPA/ODAポリマー31.25重量部及びPowderlink 1174 10重量部を混合することにより調製した。その後、この組成物をシリコンウエハー上にスピンコートし、ホットプレート上で120℃、3分間ベークすることにより厚さ約12μmのフィルムを得た。このフィルムをキャノン3000i4露光機上で露光量50mJ/cm2で開始し、露光量50mJ/cm2ずつ増加させることによる増分露光を用いて分割露光した。その後、コーティングし、露光したウエハーは120℃、3分間ベークし、0.262N TMAH水溶液の連続したスプレーのもと95秒間現像し、脱イオン水でリンスしてレリーフパターンを用意した。露光量100mJ/cm2のもとで露光部においてフィルムの97%は保持され、10μmのフィーチャーが解像された。
ODPA/ODA/PAPポリアミド酸を含むPBO前駆体ポリマ―(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例5で調製したポリアミド酸溶液31.25重量部及びPowderlink 1174 10重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Vb)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例2と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル(Ciba Specialty Chemicalsより入手可能)5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液31.3重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー(商品名Poly−T 305でArch Chemicalsより入手可能)10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート(接着促進剤)3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液31.3重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液31.3重量部、Powderlink 1174 10重量部、トリプロピレングリコール(Aldrich Chemicalsより入手可能)10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ib)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例6のPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
6−FDA/ODAポリアミド酸を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、乳酸エチル250重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例7で調製した6−FDA/ODAポリマー31.25重量部、Powderlink 10重量部、トリプロピレングリコール10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、ジアセトンアルコール250重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例7で調製した6−FDA/ODAポリマー31.25重量部、Powderlink 10重量部、トリプロピレングリコール10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3のPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液63.6重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBOポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液15.62重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー10重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBOポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液31.3重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー5重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
2つの溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBOポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−トリルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、合成例4で得たポリアミド酸溶液31.3重量部、Powderlink 1174 10重量部、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー15重量部及び(トリエトキシシリル)プロピルエチルカーバメート3重量部を混合することにより調製した。
溶解速度調整剤を含むPBO前駆体ポリマー(Ia)のリソグラフィー評価
感光性処方物を、合成例3と同様にして調製したPBO前駆体ポリマー100重量部、GBL200重量部、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニル−アセトニトリル5重量部、Cymel 303 10重量部及び2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンポリマー10重量部を混合することにより調製した。
接着試験
リソグラフィー例4及び6で調製した処方物をシリコンウエハー上にスピンコートした。コーティングしたウエハーを120℃、3分間ベークした。このようにして得られたフィルムの厚さは7〜8μmであった。その後、ウエハーにKarl Suss MA−56 ブロードバンド露光機を用いて、ブロードバンド水銀ランプ光を使用して108.2秒間(ランプ出力は露光時間中@400nmで1000mJ/cm2であった)パターン状に露光した。このようにして2mm正方形の10/10グリッドを作った。その後、120℃、2分間ベークし、各25秒間の2つパドルのパドル現像を使用して、0.262Nテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液中で現像した。パターン化されたフィルムをN2雰囲気下、350℃、1時間硬化させた。その後、ウエハーをプレッシャークッカーポット中に置き、121℃、100時間飽和水蒸気に曝露した。その後、ウエハーに対するフィルムの接着性をASTM D−3359−83に記載されているように3Mテープ#720を使用して、テープ剥離試験を行った。グリッドの正方形が剥離しなかったら、その処方物はその試験に合格したことになる。1000時間の試験の結果、両方のフィルムとも、接着損失はなかった。
Claims (18)
- (a)1つまたはそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー(I):
(b)照射に際し、酸を遊離する1つまたはそれ以上の光活性化合物(PAG);
(c)その各々がn=1または2であり、Rが線状または分枝状のC1〜C8のアルキル基である少なくとも2つの〜N−(CH2OR)n単位を含有する1つまたはそれ以上の潜在的架橋剤;
(d)少なくとも1つの溶媒;及び
(e)未露光領域での溶解速度を増加させる少なくとも1つの溶解速度調整剤、
(ただし、潜在的架橋剤がメラミン架橋剤である場合、溶解速度調整剤はカルボン酸基を含有しないものとする);
を含む耐熱性ネガ型感光性組成物。 - 溶解速度調整剤がポリオール、少なくとも2個のヒドロキシ基を有するフェノール性化合物及びカルボン酸基を含有する化合物からなる群から選択される請求項1に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。
- 溶解速度調整剤がエチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、4,8−ビス(ヒドロキシメチル)−トリシクロ(5.2.1.0/2,6)デカン、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールとの2−オキセパノンコポリマー、ハイドロキノン、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、アントラロビン、2,7−ジヒドロキシナフタレン、4,4−ビフェノール、3−メトキシカテコール、ポリ(ヒドロキシスチレン)、ノボラック、カリキサレン、及び下記式:
- 1つまたはそれ以上の潜在的架橋剤がアルコキシメチルメラミン、アルコキシメチルグリコールウリル、アルコキシメチルベンゾグアナミン、ジグアナミンから誘導されるアルコキシメチルジグアナミン及びメラミンまたはベンゾグアナミンポリマーからなる群から選択される請求項1〜4のいずれか1項に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。
- 追加的に接着促進剤を含有する請求項1〜6のいずれか1項に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。
- 接着促進剤がアミノアルコキシシランである請求項7に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。
- 接着促進剤が、構造XIV:
- 溶解速度調整剤がカルボン酸基を含有する化合物であり、架橋剤がグリコールウリルで
ある請求項1〜5および7〜10のいずれか1項に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。 - 溶解速度調整剤がポリオール化合物であり、架橋剤がメラミンである請求項1〜3、5および7〜10のいずれか1項に記載の耐熱性ネガ型感光性組成物。
- 基板上にパターン化された画像を作成する方法であって、
(a)基板を用意し、
(b)該基板上に請求項1〜12のいずれか1項に記載のネガ型感光性組成物をコーティングし、
(c)コーティングした基板を化学線に曝露し、
(d)コーティングした基板を高められた温度で曝露後ベークし、
(e)コーティングした基板を水性現像液で現像することによりレリーフ画像を形成し、
(f)基板を高められた温度でベークすることによりレリーフ画像を硬化させる
各段階を含む上記作成方法。 - 段階(a)の基板がコーティング段階(b)の前に接着促進剤で処理されている請求項13に記載の基板上にパターン化されたイメージ画像を作成する方法。
- 基板がビニルアルコキシシラン、メタクリルオキシアルコキシシラン、メルカプトアルコキシシラン、アミノアルコキシシラン、エポキシアルコキシシラン及びグリシドキシアルコキシシランからなる群から選択された接着促進剤で処理されている請求項14に記載されたパターン化された基板を作成する方法。
- 基板がガンマ−アミノプロピルトリメトキシシラン、ガンマ−グリシドオキシプロピルメチルジメトキシシラン、ガンマ−グリシドオキシプロピルメチルジエトキシシラン、ガンマ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルジメトキシメチルシラン及び3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシランからなる群から選択される請求項15に記載されたパターン化された基板を作成するための方法。
- 請求項13〜16のいずれか1項に記載された作成方法により作成されたパターン化された画像を有する基板。
- 請求項17のパターン化された画像がその中に入っている商業物品。
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