JP4456125B2 - 基板縁部洗浄機、基板縁部洗浄方法 - Google Patents
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Description
図2は、本実施形態の基板縁部洗浄機100を一部透視状態で示す斜視図である。
同図に示すように洗浄ヘッド110は、基板縁部洗浄機100本体に対し所定の直線上で直線的に移動しつつ基板Aの縁部を摺洗する装置であって、前記バックアップ103と平行に配置されたレール111上にスライド自在に設置されている。この洗浄ヘッド110は摺擦用のテープ状布帛114を供給するための供給用リール112と、テープ状布帛114の摺擦洗浄済み部分を巻き取る回収用リール113と、供給用リール112から供給されたテープ状布帛114を基板Aの縁部に押さえつけるための当接用ローラ115と、テープ状布帛114のテンションを調節し、布帛114と基板Aとの接触を線接触にするための調節ローラ116とを備えている。さらに、洗浄ヘッド110は、基板Aの裏面を洗浄するために、前記と同じ供給用リール112と、回収用リール113と、当接用ローラ115と、調節ローラ116とを基板Aの背面該当部に一組備えている。
洗浄後情報記憶部303に記憶される表面状態の画像情報は、これを視覚化すれば図9に示す図のようであり、基板Aの縁部に存在する清浄部601とパーティクル602とが区別して認識される様な画像情報となっている。そして洗浄度合判定部306は、この画像情報の中から視野領域603を特定し、この視野領域603内で洗浄度合を判定する。すなわち、視野領域603内部の清浄部601とパーティクル602とを2値化処理を行い、2値化された画像情報に従って、基板Aの表面のパーティクル602の抽出を行いパーティクル602の総面積を算出する。
図5は、基板縁部洗浄機100の洗浄動作を示すフローチャートである。
次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の装置構成は前記実施形態と同じであるためその説明を省略する。
次に、洗浄ヘッド110の洗浄方向前方に設けられた前方カメラ118によって基板Aの洗浄開始部分、すなわち、基板Aの一端角部G1を認識する(S501)。
Claims (6)
- 液晶ディスプレイ用基板の縁部を直線的に移動しつつ摺擦洗浄する洗浄ヘッドを備えた基板縁部洗浄機であって、
前記洗浄ヘッドとともに移動し、基板に設けられたカラーフィルタの端縁近傍を撮像するカメラと、
前記カメラが取得した表面状態情報に基づき、基板に設けられたカラーフィルタ端縁の位置を検出する端縁検出手段と、
前記端縁検出手段からの位置情報に基づきカラーフィルタと洗浄ヘッドとの位置関係を把握する基板位置把握手段と、
前記基板位置把握手段からの情報に基づき基板の位置を調整する基板保持手段とを
備えることを特徴とする基板縁部洗浄機。 - 前記基板位置把握手段は、前記端縁検出手段が取得するカラーフィルタの2カ所の角部の位置情報からカラーフィルタの端縁全体の位置情報を導出し、
前記基板保持手段は、前記カラーフィルタ端縁全体の位置情報と洗浄ヘッドとの位置関係に基づき基板の位置を調整すること
を特徴とする請求項1に記載の基板縁部洗浄機。 - 前記基板位置把握手段は、カラーフィルタの端縁と洗浄ヘッドとの位置関係を洗浄しながら逐一把握し、
前記基板保持手段は、前記基板位置把握手段からの情報に基づき基板の位置を洗浄しながら逐一調整すること
を特徴とする請求項1に記載の基板縁部洗浄機。 - 液晶ディスプレイ用基板を保持する基板保持手段と、前記基板の縁部を直線的に移動しつつ摺擦洗浄する洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドとともに移動し、基板に設けられたカラーフィルタの端縁近傍を撮像するカメラとを備えた基板縁部洗浄機に適用される基板縁部洗浄方法であって、
前記カメラが取得した表面状態情報に基づき、基板に設けられたカラーフィルタ端縁の位置を検出する端縁検出ステップと、
前記位置情報に基づきカラーフィルタの端縁と洗浄ヘッドとの位置関係を把握する基板位置把握ステップと、
前記基板位置把握ステップによる情報に基づき基板保持手段を駆動させて基板の位置を調整する基板位置調整ステップと
を含むことを特徴とする基板縁部洗浄方法。 - 前記基板位置把握ステップは、摺洗作業をせずに洗浄ヘッドを移動させてカラーフィルタの2カ所の角部の位置情報を取得し、当該2カ所の位置情報からカラーフィルタの端縁全体の位置情報を把握し、
前記基板位置調整ステップは、前記カラーフィルタの端縁全体の位置情報と洗浄ヘッドとの位置関係に基づき基板の位置を調整すること
を特徴とする請求項4に記載の基板縁部洗浄方法。 - 前記基板位置把握ステップは、摺洗作業をしながらカラーフィルタと洗浄ヘッドとの位置関係を逐一把握し、
前記基板位置調整ステップは、得られた位置関係に基づき基板の位置を逐一調整すること
を特徴とする請求項4に記載の基板縁部洗浄方法。
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