KR101052820B1 - 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법 - Google Patents

Abstract

기판 검사 장치는 상면과 하면으로 이루어진 기판이 로딩되는 스테이지와, 기판 가장자리를 감싸며, 기판의 적어도 일 면에 공기를 분사하는 분사구가 구비된 기판 건조부, 및 기판 건조부의 일측에 구비된 카메라를 포함하며, 분사구는 기판의 가장자리와 평행한 방향으로 정렬되어 복수 개 구비될 수 있다.

연마 장치, 기판 가장자리, 에어 나이프, 기판 검사, 카메라

Description

기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법{SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판의 가장자리 부분을 검사하는 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 표시장치(Display)를 가진다. 종래에는 표시장치로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터 - 액정 표시장치 (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel), 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display), 전기 영동 표시장치(Electrophoretic Display)와 같은 평판 표시장치의 사용이 크게 증대하고 있다.

일반적으로, 평판 표시장치 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.

접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 표시장치 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.

대형 패널을 단위 기판들로 분리하는 공정은 다이아몬드 휠을 사용하여 패널에 수직 크랙을 형성하여 단위 기판들로 분리시키는 스크라이빙 공정 및 상기 브레이킹된 단위 기판의 가장자리를 연마하는 연마 공정을 포함한다.

그런데 상기 연마 공정 시 공정이 수행되는 도중 기판의 가장자리가 적게 연마되거나, 이와 반대로 과연마될 수 있다. 상기 결함 이외에도 물결 모양으로 연마되는 등의 결함은 물론 스크라이빙 공정에서 남은 이물 또는 깨진 조각이 부착되어 있는 등 기판 상에는 다양한 불량이 존재하게 된다.

이에 따라, 기판의 가장자리의 결함 여부를 검사할 필요가 있다. 그러나, 가장자리 연마 공정 중에 뿌려지는 물에 의한 영향으로 인해 기판의 가장자리의 검사가 어려워지며, 이에 따라 기판 검사의 신뢰성이 낮은 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 기판의 가장자리를 효과적으로 검사할 수 있는 기판 검사 장치를 포함하는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

본 발명에 따른 기판 검사 장치는 상면과 하면으로 이루어진 기판이 로딩되 는 스테이지와, 상기 기판 가장자리를 감싸며 상기 기판의 적어도 일 면에 공기를 분사하는 분사구가 구비된 기판 건조부 및 상기 기판 건조부의 일측에 구비된 카메라를 포함한다.

상기 분사구는 상기 기판 건조부의 일측에서 타측 방향으로 상기 기판 면에 경사지게 형성된다. 상기 분사구는 복수 개 구비될 수 있으며, 상기 기판의 가장자리와 평행한 방향으로 정렬된다.

상기 카메라는 상기 기판 건조부의 일측 방향의 말단에 구비된다. 상기 카메라는 상기 분사구의 정렬 방향의 연장선 상에 구비될 수 있다. 또한, 상기 카메라는 상기 기판의 양면에 대응하는 상기 기판 건조부에 각각 구비될 수 있다.

상기 스테이지 또는 상기 기판 건조부에는 제1 구동부 또는 제2 구동부가 구비되어 상기 스테이지 또는 상기 기판 건조부를 각각 이동시킬 수 있다.

상기 카메라에는 상기 카메라를 제어하고 상기 카메라로부터 얻어진 이미지로부터 소정의 정보를 얻는 제어 시스템이 구비될 수 있으며, 상기 제어 시스템은 상기 카메라를 제어하고 상기 카메라로부터 얻은 이미지와 기설정 등록된 레퍼런스 이미지의 차이로부터 결함 여부를 판단하는 제어부와, 상기 결함 여부를 표시하는 표시부가 포함된다.

본 발명은 상기 기판 검사 장치(100)를 이용하여 기판을 검사하는 방법을 포함하는 바, 먼저 기판을 스테이지에 로딩하고, 상기 기판 건조부를 이용하여 기판의 적어도 한 면에 상기 기판 가장자리를 따라 일 방향으로 공기를 분사하면서 상기 기판의 가장자리를 촬영하여 이미지를 얻는다. 상기 이미지는 기설정 등록된 레 퍼런스 이미지와 비교되어 기판 가장자리의 결함 여부가 판단된다. 상기 결함 여부는 표시부를 통해 표시된다.

이때, 상기 스테이지(에 로딩된 기판이 일정 이동 위치에 고정되고 상기 카메라와 상기 기판 건조부가 상기 기판의 가장자리를 따라 이동하거나, 상기 카메라와 상기 기판 건조부가 일정 위치에 고정되고 상기 스테이지에 로딩된 기판이 이동하여 이미지를 얻는다.

여기서, 상기 기판 가장자리와 평행하게 일측 방향으로부터 타측 방향으로 기판 면에 경사지게 공기가 분사되며, 상기 기판은 타측 방향으로부터 일측 방향으로 이동한다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 종래에는 관찰되지 않았던 기판 가장자리의 결함을 용이하게 검출할 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

종래 기술과 비교한 본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.

(실시예)

도 1은 모기판의 일 예를 나타낸 사시도이다.

도 2는 모기판을 복수 개의 기판으로 절단하는 장치를 개략적으로 나타낸 모식도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 사시도이며, 도 4 내지 도 5는 도 3의 IV-IV'선 및 V-V'선에 따른 단면도이다.

도면을 참조하면, 표시 장치를 제조하기 위해 일반적으로 복수 개의 단위 기판을 동시에 형성할 수 있도록 여러 개의 단위 기판이 모여있는 모기판(10m)으로 일부 공정을 진행한 다음 상기 모기판(10m)을 절단하여 복수의 단위 기판(10)으로 제조한다. 도 1에는 모기판(10m)이 도시되어 있는 바, 모기판(10m)은 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 상기 모기판(10m)에는 복수의 단위 기판(10)들이 형성되어 있으며, 아직 절단되지 않은 상태이다.

도 2를 참조하면, 상기 모기판(10m)은 도 2의 기판 절단 장치(1)를 이용하여 복수의 단위 기판(10)들로 분리된다. 이때, 상기 기판 절단(1) 장치는 도시한 바와 같이 절단부(20)와, 분배부(30)와, 연마부(40), 검사부(50) 및 세정부(60)를 포함한다.

절단부(20)는 모기판(10m)을 복수의 단위 기판으로 절단(scribing)한다. 절단된 단위 기판(이하, 기판, 10)은 화상을 표시하는 표시 패널에 해당하며, 상기 기판(10)은 도시하지는 않았지만 화소가 형성되어 화상을 표시하는 액티브 영역과, 상기 액티브 영역을 둘러싼 주변 영역으로 이루어진다. 상기 기판은 일 실시예로서 액정 표시 장치의 기판이 사용될 수 있다. 다른 실시예에서는 상기 기판(10)으로서 평판 표시장치용 패널의 일종인 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display)용 패널, 또는 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display) 등일 수 있다.

일 실시예로서 표시 패널로 액정 표시 장치의 기판이 사용된 경우 상기 기판(10)은 서로 대향하는 기판(13) 과 상부 기판(11) 및 상기 하부 기판(13)과 상부 기판(11) 사이에 형성된 액정층으로 구성된다. 상기 액정층은 실(seal)재로 봉입되어 있으며 상기 하부 기판(13)과 상부 기판(11)에 비해 두께가 얇으므로 생략하고 도시하였다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하부 기판(13)과 상부 기판(11)에는 상기 액정층에 전계를 인가하여 액정층을 투과하는 광을 제어하기 위한 전극이 각각 형성될 수 있으며, 하부 기판(13)에는 화상 신호에 따라 하부 기판(13) 상에 형성된 전극에 전압을 인가하기 위한 박막트랜지스터가 구비될 수 있다. 상기 상부 기판(11)에는 상기 액정층을 투과한 빛이 색깔을 띠도록 하는 컬러필터가 형성될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는 상기 전극 및 박막트랜지스터와 컬러필터는 필요에 따라 상기한 바와 다르게 형성될 수 있으며, 동일한 기판에 형성될 수 있음은 물론이다. 이때, 상기 상부 기판(11)은 하부 기판(13)에 비해 면적이 작게 형성된다.

절단부(20)에서 절단된 단위 기판(10)은 분배부(30)에 이송된다. 상기 분배부(30)는 단위 기판(10)을 순차적으로 또는 특정 순서로 후속 공정에 분배하는 역 할을 하며 절단부(20)에서 절단된 기판을 검사하는 기판 검사 장치를 포함할 수 있다. 이때, 상기 기판 검사 장치를 이용하여 상기 기판이 후속 공정에 제공되기 이전에 기판 뜯김 현상이 있는지 이물질이 있는지 등이 검사된다.

결함 여부가 검사된 기판(10)은 연마부(40)로 이송되어 기판 가장자리가 연마된다. 절단하고 나면 상기 기판 가장자리가 매우 날카롭고 작은 균열이 생기는 경우 후속 공정에서 전체적인 균열로 전파될 수 있기 때문에 가장자리를 연마하는 것이다. 기판 가장자리의 날카로운 부분이나 기판 뜯김 현상 등은 연마 공정을 통해 많은 부분 치유된다.

연마부(40)에서 연마가 끝나면 검사부(50)에서 연마된 가장자리가 검사된다. 상기 검사부(50)에는 기판 가장자리를 검사하는 검사 장치가 구비되어 있으며, 상기 기판 검사 장치를 이용하여 기판 가장자리를 검사함으로써 연마 공정 이후 불량 여부를 판단한다.

가장자리 검사가 수행된 기판(10)은 절단이나 연마와 같은 공정에서 발생한 이물질이나 기타 필요없는 물질들을 제거하고 위해서 세정부(60)에서 세정된다.

세정이 끝난 기판(10)은 결국 모듈공정에서 필요한 부품들이 실장되고 조립됨으로써 완제품으로 출시된다.

그런데 상기 연마 공정 시 공정이 수행되는 도중 과(過) 연마나 미(未) 연마, 물결 결함, 이물 등의 기판 불량이 발생할 수 있다. 그 외에도 연마로 인해 가장자리에 크랙(crack)이 발생할 경우 이후 세정 작업에서 깨짐이 발생할 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 연마 공정이 완료된 기판의 가장자리에 불량 또는 결 함이 있는지의 여부를 효율적으로 검사할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 검사 장치(100)는 기판(10)이 로딩되는 스테이지(150)를 포함한다. 상기 검사하고자 하는 기판(10)의 가장자리의 근처에는 상기 기판(10)에 인접하도록 상기 기판 가장자리를 감싸는 기판 건조부(110)를 포함한다.

상기 기판(10)은 사각 판상으로 만들어진 표시 패널로서 단위 기판에 해당한다. 상기 기판(10)은 상면(10a)과, 상기 상면(10b)에 대향하는 하면 및 상기 상면(10a)과 하면(10b)을 잇는 측면(10c)으로 이루어지며, 상기 측면(10c) 부의 높이가 두께가 된다.

상기 스테이지(200)는 기판(10)이 지지되는 플레이트이거나, 이송에 사용되는 컨베이어이거나, 또는 기판을 수취하기 위한 이송 홀더일 수도 있으며 그 형태가 특별히 한정되는 것은 아니다.

상기 기판(10)의 적어도 일 면에는 기판 건조부(110)가 구비된다. 상기 기판 건조부(110)는 연마의 과정에서 분사된 물, 더욱 상세하게는 탈이온수(deionized water)를 건조시켜 제거하기 위한 것이다.

본 발명의 일 실시예에서 상기 기판 건조부(110)는 기판(10)의 상면(10a)과 하면(10b) 및 측면(10c)을 감싸도록 가운데가 오목하게 형성될 수 있다. 이 경우, 단면이 'ㄷ'자 형으로 구비된다. 상기 기판 건조부(110)는 상기 상면(10a)과 하면(10b) 및 측면(10c)에서 이격되어 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는 기판(10)의 상면(10a)에 대응하는 기판 건조부(110) 및 하면(10b)에 대응하는 기판 건조 부(110)가 별개로 분리되어 형성될 수 있음은 물론이다.

상기 기판 건조부(110)의 오목한 부분 중 상기 기판(10)의 상면(10a) 및 하면(10b)에 대향하는 면(110a, 110b)에는 공기를 분사하는 분사구(120)가 구비되어 있으며, 상기 분사구(120)로부터 분사된 공기가 기판(10) 상에 존재하는 물을 건조시켜 제거하게 된다. 상기 분사구(120)은 에어 나이프(air knife)의 형태로 고압의 고압의 기체가 분사된다.

상기 기판 건조부(110)의 일측에서 타측 방향(a)으로 상기 기판(10) 면에 경사지게 형성된다. 상기 기판 면에 분사구(120)가 경사지게 형성되어 있으므로, 분사된 기체는 기판면에 사선으로 접촉하게 되며 일측에서 타측 방향(a)으로 물을 밀어냄과 동시에 건조시키게 된다.

상기 분사구(120)는 적어도 한 개 이상 구비된다. 복수 개 구비되는 경우에는 기판(10)의 가장자리와 평행한 방향으로 정렬되어 배치된다. 기판(10)의 가장자리를 검사하고자 하는 것이므로, 기판(10)의 가장자리에 인접하여 대향되게 구비된다.

상기 기판 건조부(110)의 일측에는 카메라(130)가 구비된다. 상기 카메라(130)는 기판(10)의 가장자리를 촬상하기 위한 것으로, 상기 기판 건조부(110)의 일측 방향의 말단에 구비된다. 이는 기판 건조부(110)에 의해 기판(10) 상의 물이 건조된 이후 카메라(130)로 상기 기판(10)의 가장자리를 촬상하기 위한 것이다. 즉, 연마 단계에서 사용된 물은 상기 기판 건조부(110)에 의해 제거 됨과 동시에 기판 건조부(110) 말단의 카메라(130)로 기판의 가장자리를 찍어 영상화한다.

상기 카메라(130)는 상기 분사구(120)의 정렬 방향의 연장선 상에 구비될 수 있다. 상기 분사구(120)는 기판(10)의 가장자리를 따라 정렬되기 때문에 기판(10)의 가장자리가 건조되며, 상기 카메라(130)는 상기 건조된 부분의 결함 여부를 검사하게 된다. 또한, 상기 카메라(130)는 상기 기판(10)의 양면에 대응하는 상기 기판 건조부(110)의 오목부 면(110a, 110b)에 각각 구비될 수 있다.

상기 기판(10)을 로딩하는 스테이지나 상기 기판 건조부(110) 중 적어도 어느 하나에는 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 구동부는 상기 스테이지나 상기 기판 건조부(110)를 이동시키기 위한 것이다.

촬영된 이미지는 제어 시스템(122)으로 전송된다. 제어 시스템(122)은 여러 부로 구성될 수 있는데, 상기 카메라(130)를 제어하고 상기 카메라(130)로부터 얻은 이미지와 기설정 등록된 레퍼런스 이미지의 차이를 확인하여 결함 여부를 판단하는 제어부(123)와, 결함 여부를 표시하는 표시부(124)를 포함한다. 여기서, 표시부(124)는 작업자로 하여금 현재의 작업 진행과 정보 등을 외부에서 알기 쉬운 모니터 등으로 구성된다.

상기 제어부(123)는 카메라(130)를 제어하여 카메라(130)로 하여금 특히 기판 가장자리를 촬영하여 기판(10)의 이미지를 얻고, 얻은 기판(10)의 이미지를 저장한다. 또한, 상기 제어부(123)에는 상기 기판 가장자리의 불량 판별의 기준이 되는 이미지 및 자료가 이미 설정등록되어 있어, 이에 따라 상기 제어부(123)가 설정등록된 자료와 카메라(130)에서 얻은 기판 이미지를 내장된 프로그램의 구동에 의해 비교 판별한다.

상기 설정등록된 자료, 즉 레퍼런스 이미지는 불량이 없는 기판 가장자리의 평균 이미지를 나타낸 것이다. 이는 불량이 없는 기판 가장자리의 평균 데이터는 복수 회에 걸친 데이터 수집을 통해 얻을 수 있다.

상기 카메라(130)는 기판 가장자리를 촬상할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 CCD(Charge Coupled Device) 카메라를 사용할 수 있다. CCD 카메라는 조사된 광의 투과량이나 반사량 등을 신호로 변환하여 그 신호에 따라 이미지를 캡쳐하는 방식으로 촬영한다. 즉, CCD는 디지털 카메라에서 광을 전기적 신호로 바꿔주는 광센서 반도체를 포함하며, 렌즈와 조리개를 통해 카메라 내부로 전달된 광은 광의 강약에 따라 전기적 신호로 변환되고, 이 신호는 다시 아날로그 신호를 0과 1의 디지털 신호로 바꿔주는 ADC(Analog―Digital Converter)라는 변환장치를 통해 이미지 파일로 변환되게 된다.

이렇게 이미지 파일로 변환된 기판 가장자리의 이미지를 기설정된 레퍼런스 이미지와 비교함으로써 기판의 식각 여부 및 결함 여부 또는 이물이나 결함 유무를 판단할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 기판 검사 장치(100)를 이용하여 기판을 검사하는 방법을 포함하는 바, 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명하기로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 방법은 다음과 같다.

먼저 기판(10)을 스테이지(150)에 로딩하고, 상기 기판 건조부(110)를 이용하여 기판(10)의 적어도 한 면에 상기 기판 가장자리를 따라 일 방향으로 분사구(120)를 통해 공기를 분사하면서 상기 기판(10)의 가장자리를 카메라(130)로 촬 영하여 이미지를 얻는다.

상기 기판 건조부(110)의 분사구(120)는 기판(10)의 가장자리와 평행한 방향으로 정렬되어 있으므로, 기판(10)의 가장자리를 따라 일측 방향으로부터 타측 방향(a)으로 기판 건조부(110)를 이동시키거나, 기판(10)을 타측 방향으로부터 일측 방향(b)으로 이동시키게 되면 기판(10)의 가장자리 부분이 효율적으로 건조되며, 건조된 기판(10)은 물이 없기 때문에 촬영시 수막으로 인한 흐릿함이 없어지고 선명한 영상을 얻을 수 있다.

상기 이미지는 기설정 등록된 레퍼런스 이미지와 비교되여 기판 가장자리의 결함 여부가 판단된다. 상기 결함 여부는 표시부(124)를 통해 표시된다.

이때, 상기 스테이지(150)에 로딩된 기판(10)이 일정 이동 위치에 고정되고 상기 카메라(130)와 상기 기판 건조부(110)가 상기 기판(10)의 가장자리를 따라 이동하거나, 상기 카메라(130)와 상기 기판 건조부(110)가 일정 위치에 고정되고 상기 스테이지(150)에 로딩된 기판(10)이 이동하여 이미지를 얻는다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 의하면, 종래에는 관찰되지 않았던 기판 가장자리의 결함을 용이하게 검출할 수 있다. 특히, 연마 단계에서 사용되었던 물을 완전히 건조시켜 제거함으로써 수막에 의한 영상의 불확실성을 확실히 개선하였다. 연마 단계에서 사용되는 물의 경우에는 단순한 블로우(blow)로는 완전히 건조되지 않기 때문에 수막은 계속 존재하게 된다. 또한, 물이 한쪽으로 밀려 나더라도 다시 원위치로 복귀하는 성질이 있기 때문에 실질적으로는 기판 가장자리를 관찰하기 어려울 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예에서는 에어 나 이프(air knife)를 사용함으로써 연마 단계에서 사용된 물을 제거할 수 있으며, 특히 복수 개의 에어 나이프를 사용하여 기판면을 건조시키는 경우에는 기판 가장자리에 존재하는 물을 완전히 제거할 수 있다.

기판의 가장자리를 제외한 안쪽면은 필요에 따라 건조하거나 건조하지 않을 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 모기판의 일 예를 나타낸 사시도이다.

도 2는 모기판을 복수 개의 기판으로 절단하는 장치를 개략적으로 나타낸 모식도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 사시도이다.

도 4는 도 3의 IV-IV'선에 따른 단면도이다.

도 5는 도 3의 V-V'선에 따른 단면도이다.

<　도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 기판 10a : 상면

10b : 하면 100 : 기판 검사 장치

110 : 기판 건조부 120 : 분사구

122 : 제어 시스템 123 : 제어부

124 : 표시부 130 : 카메라

140 : 스테이지

Claims (14)

1. 상부기판 및 하부기판이 상하방향으로 합착된 기판을 로딩하는 스테이지와;

   상기 기판의 가장자리부가 삽입되는, 그리고 상기 기판의 가장자리에 공기를 분사하는 분사구가 구비되는 기판건조부와;

   상기 스테이지와 상기 기판건조부가 상대이동되도록 상기 스테이지 또는 상기 기판건조부를 이동시키는 구동기와;

   상기 기판건조부의 공기 분사로 인해 세정된 기판의 가장자리를 촬상하도록 상기 기판건조부에 설치된 카메라를 포함하되;

   상기 기판건조부는,

   상면과;

   상기 상면과 대향하게 배치되는 하면과;

   상기 상면 및 하면을 연결하는 측면을 포함하고,

   상기 상면, 상기 하면, 그리고 상기 측면에 의해 제공된 공간으로 기판의 가장자리가 삽입되며, 상기 분사구는 상기 상면에 제공되어 상기 공간의 개방된 일면에서 이와 대향된 상기 공간의 개방된 타면을 향해 하향경사지게 형성되고, 상기 카메라는 상기 공간의 개방된 일면에 인접된 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 분사구는 상기 하면에 더 제공되어 상기 공간의 개방된 일면에서 이와 대향된 상기 공간의 개방된 타면을 향해 상향경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,

   상기 분사구는 복수 개이며, 상기 기판의 가장자리와 평행한 방향으로 정렬된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 카메라는 상기 분사구의 정렬 방향의 연장선 상에 구비된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 카메라는 상기 기판의 양면에 대응하는 상기 기판 건조부에 각각 구비된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 제1항에 있어서,

    상기 카메라를 제어하고 상기 카메라로부터 얻은 이미지와 기설정 등록된 레퍼런스 이미지를 비교하여 불량 유무를 판단하는 제어부; 및 상기 카메라로부터 얻은 이미지와 상기 기설정 등록된 레퍼런스 이미지의 차이가 기설정된 값보다 큰 경우 이를 표시하는 표시부를 구비한 제어 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
11. 기판을 스테이지에 로딩하는 단계;

    기판 건조부를 이용하여 기판의 적어도 한 면에 상기 기판 가장자리를 따라 일 방향으로 공기를 분사하면서 상기 기판의 가장자리를 카메라로 촬영하여 이미지를 얻는 단계;

    상기 이미지를 기설정 등록된 레퍼런스 이미지와 비교하여 불량 여부를 판단하는 단계; 및

    상기 불량 여부를 표시하는 단계를 포함하되;

    상기 기판의 가장자리를 상기 카메라로 촬영하여 이미지를 얻는 단계는,

    상기 카메라와 상기 기판 건조부가 일정 위치에 고정되고 상기 스테이지에 로딩된 기판이 이동하고, 상기 기판 가장자리와 평행하게 일측 방향으로부터 타측방향으로 기판 면에 경사지게 공기가 분사되며, 상기 기판은 타측 방향으로부터 일측 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
12. 제11항에 있어서,

    상기 스테이지에 로딩된 기판이 일정 이동 위치에 고정되고 상기 카메라와 상기 기판 건조부가 상기 기판의 가장자리를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
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