CN114113138A - 产品在籍检测装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 190
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 83
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 74
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N2021/0106—General arrangement of respective parts
- G01N2021/0112—Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
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- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
本申请提供一种产品在籍检测装置,涉及显示技术领域,用于解决支撑平台上放置有母板时位置检测装置可能发生误判的技术问题,包括位置传感器和光学镜组,所述位置传感器具有发光端和接收端,所述发光端用于发出检测光,所述接收端用于接收所述检测光经被检产品反射后形成的反射光;所述光学镜组配置为将所述检测光传输至被检产品,并在被检产品上形成检测光斑,以及将所述反射光传输至所述接收端;所述检测光斑能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分。本申请提高了对于被检产品的放置位置精度的容差,降低了对放置被检产品的区域的精度要求,提高了加工设备的抗振能力。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种产品在籍检测装置。
背景技术
母板通常包括载板以及位于载板上呈矩阵排列的多个显示面板,为了制成单个的显示面板,需要将各显示面板从载板上剥离,如此可以获得单个显示面板。
相关技术中,通常采用激光剥离设备对显示面板进行剥离。激光剥离设备通常包括支撑平台、产品在籍检测装置和激光剥离装置。产品在籍检测装置用于对支撑平台上是否有母板进行检测。若支撑平台上放置有母板,则激光剥离装置对显示面板进行剥离操作;若支撑平台上没有母板,则激光剥离装置不进行剥离操作。
然而,当支撑平台上放置有母板时,上述产品在籍检测装置可能发生误判,认为支撑平台上没有母板,导致激光剥离装置不进行剥离操作,降低了显示面板的生产效率。
发明内容
鉴于上述问题,本申请实施例提供一种产品在籍检测装置,以解决产品在籍检测装置可能发生误判的问题,从而提高显示面板的生产效率。
为了实现上述目的,本申请实施例提供一种产品在籍检测装置,包括位置传感器和光学镜组;所述位置传感器具有发光端和接收端,所述发光端用于发出检测光,所述接收端用于接收所述检测光经被检产品反射后形成的反射光;所述光学镜组配置为将所述检测光传输至被检产品,并在被检产品上形成检测光斑,以及将所述反射光传输至所述接收端;所述检测光斑能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分。
当采用本申请实施例的产品在籍检测装置对被检产品进行检测时,位置传感器的发光端发出检测光,检测光入射至光学镜组内,并经光学镜组传输至被检产品检测面所在平面上,检测光在被检产品检测面所在平面上形成检测光斑,当平面上放置有被检产品时,检测光斑形成在被检产品上,且检测光斑能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分,如此可以确保检测光能够被至少一个被检产品反射形成反射光,反射光经光学镜组传输至接收端,从而使得接收端接收到的光强能够位于预设范围内,避免位置检测装置发生误判,提高显示面板的生产效率。
此外,本申请实施例的产品在籍检测装置,当所放置的被检产品的位置误差较大时,仍然能够对被检产品是否位于平面上进行检测,提高了对于被检产品的放置位置精度的容差,降低了对放置被检产品的区域的精度要求;且在被检产品检测面所在平面发生振动时,也仍然能够对被检产品是否位于平面上进行检测,提高了加工设备的抗振能力。
进一步的,入射所述光学镜组的所述检测光以及从所述光学镜组射出的所述检测光均为平行光;从所述光学镜组射出的所述检测光垂直于被检产品检测面所在平面,且从所述光学镜组射出的所述检测光的光束直径大于入射所述光学镜组的所述检测光的光束直径。
进一步的,所述光学镜组包括第一凸透镜和第二凸透镜,所述第一凸透镜的光轴和所述第二凸透镜的光轴位于所述检测光的光轴上;所述第一凸透镜靠近所述位置传感器,所述第二凸透镜位于所述第一凸透镜背向所述位置传感器的一侧;所述第一凸透镜的焦点和所述第二凸透镜的焦点重合。
进一步的,所述第一凸透镜具有第一球面和第一平面,所述第一球面的球心位于所述检测光的光轴上,所述第一球面朝向所述位置传感器;所述第一平面位于所述第一球面背向所述位置传感器的一侧,所述第一平面与所述检测光的光轴垂直;所述检测光经所述第一球面进入所述第一凸透镜内,并从所述第一平面射出;所述反射光经所述第一平面进入所述第一凸透镜内,并从所述第一球面射向所述接收端。
进一步的,所述第二凸透镜包括第二平面和第二球面,所述第二平面与所述检测光的光轴垂直,所述第二平面朝向所述第一平面;所述第二球面位于所述第二平面背向所述第一平面的一侧,所述第二球面的球心位于所述检测光的光轴上,所述第二球面的曲率半径大于所述第一球面的曲率半径;所述检测光经所述第二平面进入所述第二凸透镜内,并从第二球面射出;所述反射光经所述第二球面进入所述第二凸透镜内,并从所述第二平面射向被检产品检测面所在平面。
进一步的,沿垂直于被检产品检测面所在平面的方向,依次设置所述位置传感器、所述第一凸透镜和所述第二凸透镜,且所述第一凸透镜和所述第二凸透镜均位于所述位置传感器与被检产品检测面所在平面之间。
进一步的,沿平行于被检产品检测面所在平面的方向,所述位置传感器、所述第一凸透镜和所述第二凸透镜依次设置,;所述光学镜组还包括反射元件,所述反射元件位于所述检测光的光轴上;所述检测光从所述第二凸透镜射出后入射至所述反射元件上,并由所述反射元件反射至被检产品检测面所在平面上;所述反射光入射至所述反射元件上,并由所述反射元件反射至所述第二凸透镜。
进一步的,所述反射元件包括平面反射镜,所述平面反射镜位于所述检测光的光轴上;优选地,所述平面反射镜的法线与所述检测光的光轴之间的夹角为40度至50度。
进一步的,所述反射元件包括反射棱镜,所述反射棱镜具有反射面,所述反射面位于所述检测光的光轴上。
进一步的,所述位置传感器为激光传感器。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为相关技术的产品在籍检测装置的俯视结构示意图;
图2为本申请中产品在籍检测装置的结构示意图;
图3为图2中被检产品发生偏移时的一种情形的俯视结构示意图;
图4为图2中被检产品发生偏移时的另一种情形的俯视结构示意图;
图5为图2中光学镜组的结构示意图。
附图标记说明:
10、支撑平台;
110、支撑面;
20、产品在籍检测装置;
210、位置传感器;
220、光学镜组;
221、第一凸透镜;
222、第一球面;
223、第一平面;
224、第二凸透镜;
225、第二平面;
226、第二球面;
227、平面反射镜;
30、母板;
310、载板;
320、显示面板。
具体实施方式
相关技术中,在产品的自动化加工过程中,通常需要对产品在籍信息进行检测,即对被检产品是否位于加工设备中进行检测。若被检产品位于加工设备中,则对产品进行自动化加工;若被检产品没有位于加工设备中,则加工设备不工作。
以显示技术领域中对显示面板进行激光剥离为例,参考图1,母板30包括载板310以及位于载板310上呈矩阵排列的多个显示面板320。激光剥离设备用于将显示面板320从母板30中剥离。激光剥离设备通常包括支撑平台10、产品在籍检测装置和激光剥离装置。支撑平台10具有用于放置母板30的支撑面。产品在籍检测装置包括位置传感器,位置传感器具有发光端和接收端,发光端向支撑面发出检测光,检测光照射至母板30上形成检测光斑P。当支撑面上放置有母板30时,检测光经母板30中的显示面板320反射后形成反射光,反射光入射至接收端;当支撑面上没有放置母板30时,检测光不会被反射至接收端。
据此,可对支撑面上是否放置有母板30进行检测。若接收端接收到的光强在预设范围内,则判断支撑面上放置有母板30,则激光剥离装置对显示面板320进行剥离操作;若接收端接收到的光强超出预设范围,则判断支撑面上没有放置母板30,则激光剥离装置不进行剥离操作,以避免激光剥离装置射出的激光对支撑平台10造成损伤。
发明人发现相关技术中的产品在籍检测装置,支撑平台10上放置有母板30时,产品在籍检测装置可能发生误判,认为支撑平台10上没有母板30,导致剥离装置不进行剥离操作的问题,但产生该问题的原因并不清楚。发明人通过研究发现其原因在于,支撑平台10上放置有母板30时,由于放置母板30时产生位置误差较大,或者由于支撑平台10发生振动等原因,母板30的位置发生偏移,使得检测光入射至母板30上相邻的两个显示面板320的缝隙处,检测光在母板30上形成的检测光斑P的尺寸小于该缝隙的宽度Q,使得检测光从载板310中透射出去,减小了反射光的光强,导致接收端接收到的光强超出预设范围,进而导致激光剥离装置不进行剥离工作,降低了显示面板320的生产效率。
针对上述技术问题,本申请实施例提供了一种产品在籍检测装置,设置有光学镜组,位置传感器发出的检测光经光学镜组照射被检产品上形成检测光斑,检测光斑能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分,如此可以确保检测光斑仍然能够照射至少一个被检产品上,且被至少一个被检产品反射形成反射光,反射光经光学镜组传输至接收端,从而使得接收端接收到的光强能够位于预设范围内,避免产品在籍检测装置发生误判,提高被检产品的生产效率。
下面以显示技术领域中对显示面板进行激光剥离为例对本申请实施例的产品在籍检测装置进行说明。可以理解的是,本申请实施例的产品在籍检测装置也可用于检测其他被检产品的在籍信息。
参考图2,本申请实施例的产品在籍检测装置,用于对被检产品,例如母板30的在籍信息进行检测。示例性地,母板30通常放置于具有支撑面110的支撑平台10上。产品在籍检测装置20对支撑面110上是否放置有母板30进行检测。
产品在籍检测装置20包括位置传感器210和光学镜组220。位置传感器210具有发光端和接收端,发光端用于发出检测光,接收端用于接收检测光经显示面板320反射后形成的反射光。若接收端接收到的光强在预设范围内,则判断支撑面110上放置有母板30,则激光剥离装置对显示面板320进行剥离操作;若接收端接收到的光强超出预设范围,则判断支撑面110上没有放置母板30,则激光剥离装置不对显示面板320进行剥离操作。
发光端发出的检测光可以为平行光,也可以为具有较小发散角度的近似平行光,例如发散角为±2°。只要检测光能够经光学镜组220传输至母板30上,且能够经显示面板320反射,并经光学镜组220入射至接收端即可。
示例性地,位置传感器210可以为激光传感器,激光传感器具有发光端和接收端。
参考图2和图3,光学镜组220配置为将检测光传输至被检产品,例如母板30上,并在母板30上形成检测光斑P,以及将反射光传输至接收端。检测光斑P能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分。
示例性地,当采用本申请实施例的产品在籍检测装置对显示面板320进行在籍信息检测时,位置传感器210的发光端发出检测光,检测光入射至光学镜组220内,并经光学镜组220传输至被检产品检测面所在平面,例如支撑面110上,检测光在支撑面110上形成检测光斑P,当支撑面110上放置有母板30时,检测光斑P形成在母板30上,检测光斑P能够同时与相邻两个显示面板30存在重合部分,如此可以确保检测光能够被至少一个显示面板320反射形成反射光,反射光经光学镜组220传输至接收端,从而使得接收端接收到的光强能够位于预设范围内,避免产品在籍检测装置20发生误判,进而避免激光剥离设备不进行剥离操作,提高显示面板320的生产效率。
此外,本申请实施例的产品在籍检测装置,当支撑面110上放置的母板30的位置误差较大时,仍然能够对母板30是否位于支撑面110上进行检测,提高了产品在籍检测装置对于母板30的放置位置精度的容差,降低了支撑面110上用于放置母板30的区域的精度要求;且在支撑平台10发生振动时,也仍然能够对母板30是否位于支撑面110上进行检测,提高了激光剥离设备的抗振能力。
母板30未发生偏移时,检测光斑P可以完全位于其中一个显示面板320上,则全部的检测光均能够被显示面板320反射。母板30的位置发生偏移时,由于检测光斑P能够同时与相邻的两个显示面板30存在重合部分,检测光斑P的尺寸大于相邻的两个显示面板320之间的缝隙宽度Q,则检测光能够被至少一个显示面板320反射。
例如图3中所示的一种情形,检测光斑P部分位于相邻的两个显示面板320之间的缝隙处,部分位于其中一个显示面板320上,则部分检测光能够被显示面板320反射。
例如图4中所示的另一种情形,检测光斑P可以覆盖该缝隙,检测光能够同时被两个显示面板320反射,从而能够增大反射光的光强,进一步使得接收端接收到的光强能够位于预设范围内,避免产品在籍检测装置20发生误判,避免激光剥离装置不进行剥离操作,提高显示面板320的生产效率。
示例性地,检测光斑P的形状可以是圆形光斑,圆形光斑的直径大于相邻的两个显示面板320之间的缝隙宽度。检测光斑P的形状也可以为非圆形光斑,例如椭圆形光斑,椭圆形光斑的沿垂直于缝隙延伸方向的长度大于缝隙宽度Q。
参考图5,入射光学镜组220的检测光以及从光学镜组220射出的检测光均为平行光;从光学镜组220射出的检测光垂直于支撑面110,且从光学镜组220射出的检测光的光束直径D大于入射光学镜组220的检测光的光束直径d。
由于从光学镜组220出射的检测光为平行光,并垂直于支撑面110,则检测光能够经显示面板320发生垂直反射,根据光路可逆,反射光能够沿检测光的光路经光学镜组220入射至接收端,从而能够减小反射光的损失,增大接收端接收到的光强,进而保证接收端接收到的光强位于预设范围内,避免产品在籍检测装置发生误判。
此外,由于从光学镜组220射出的检测光的光束直径D大于入射光学镜组220的检测光的光束直径d,根据光路可逆,则从光学镜组220射出的反射光能够与位置传感器210的接收端位置及尺寸相匹配,无需重新对接收端进行调整,提高了装调位置传感器210的便捷性;同时,无需更换位置传感器210,提高了位置传感器210的通用性。
参考图2和图5,光学镜组220可以包括第一凸透镜221和第二凸透镜224,第一凸透镜221的光轴和第二凸透镜224的光轴位于检测光的光轴S上;第一凸透镜221靠近位置传感器210,第二凸透镜224位于第一凸透镜221背向位置传感器210的一侧;第一凸透镜221的焦点F1和第二凸透镜224的焦点F2重合。
以发光端发出的检测光为平行光为例,检测光平行入射至第一凸透镜221上,从第一凸透镜221出射后会聚至第一凸透镜221的焦点F1上,然后从焦点F1处发散,射向第二凸透镜224。由于第一凸透镜221的焦点F1和第二凸透镜224的焦点F2重合,发散的检测光自焦点F2射向第二凸透镜224,并从第二凸透镜224射出形成平行光。
示例性地,第一凸透镜221具有第一焦距f1,第二凸透镜具有第二焦距f2,第二焦距f2可以大于第一焦距f1。由于第二焦距f2大于第一焦距f1,则使得从光学镜组220射出的检测光的光束直径D大于入射光学镜组220的检测光的光束直径d。
可以理解的是,上述光学镜组220也可以适用于检测光为具有较小发散角度的近似平行光的情形,在此不再赘述。
示例性地,参考图5,第一凸透镜221具有第一球面222和第一平面223,第一球面222的球心位于检测光的光轴S上,第一球面222朝向位置传感器210;第一平面223位于第一球面222背向位置传感器210的一侧,第一平面223与检测光的光轴S垂直;检测光经第一球面222进入第一凸透镜221内,并从第一平面223射出;反射光经第一平面223进入第一凸透镜221内,并从第一球面222射向接收端。
第一凸透镜221为平凸透镜,如此设置,能够降低第一凸透镜221的加工难度,且便于第一凸透镜221的装配与调试。
在本申请实施例的一些实现方式中,第一球面222可以替换为非球面,第一平面223也可以替换为球面或非球面;第一凸透镜221也可以为包括至少两个透镜的镜组,透镜之间可相互胶合或者相互分离。如此设置,能够校正光学镜组220的像差,从而提高检测光斑P的位置精度,进而提高产品在籍检测装置20的位置检测精度。
示例性地,参考图5,第二凸透镜224包括第二平面225和第二球面226,第二平面225与检测光的光轴S垂直,第二平面225朝向第一平面223;第二球面226位于第二平面225背向第一平面223的一侧,第二球面226的球心位于检测光的光轴S上,第二球面226的曲率半径大于第一球面222的曲率半径,使得第二焦距f2大于第一焦距f1;检测光经第二平面225进入第二凸透镜224内,并从第二球面226射出;反射光经第二球面226进入第二凸透镜224内,并从第二平面225射向被检产品检测面所在平面,例如支撑面110。
第二凸透镜224为平凸透镜,如此设置,能够降低第二凸透镜224的加工难度,且便于第二凸透镜224的装配与调试。
在本申请实施例的一些实现方式中,第二平面225也可以替换为球面或非球面,第二球面226可以替换为非球面;第二凸透镜224也可以为包括至少两个透镜的镜组,透镜之间可相互胶合或者相互分离。如此设置,能够校正光学镜组220的像差,从而提高检测光斑P的位置精度,进而提高产品在籍检测装置20的位置检测精度。
在本申请实施例的一些实现方式中,在垂直于被检产品检测面所在平面,例如支撑面110的方向,依次设置位置传感器210、第一凸透镜221和第二凸透镜224,第一凸透镜221和第二凸透镜224均位于位置传感器210与支撑面110之间。
在本申请实施例的一些其他实现方式中,参考图5,沿平行于被检产品检测面所在平面,例如支撑面110的方向,位置传感器210、第一凸透镜221和第二凸透镜224依次设置;光学镜组220还包括反射元件,反射元件位于检测光的光轴S上;检测光经第二凸透镜224射出后入射至反射元件上,检测光经反射元件反射后照射至被检产品检测面所在平面上,例如支撑面110上;反射光入射至反射元件上,反射光经反射元件反射后射入第二凸透镜224。
反射元件能够对第二凸透镜224与母板30之间的检测光进行光路折叠,以使位置传感器210、第一凸透镜221和第二凸透镜224能够平行于支撑面110布置。由于产品加工设备,例如激光剥离设备中,垂直于支撑面110的空间尺寸通常较小,而平行于支撑面110的空间尺寸较大,将传感器210、第一凸透镜221和第二凸透镜224平行于支撑面110布置,能够减小光学镜组220所占用的垂直于被检产品检测面所在平面的空间,使得产品在籍检测装置20结构紧凑,提高了产品加工设备内的空间利用率。
在本申请实施例的一些实现方式中,参考图5,反射元件可以包括平面反射镜227,平面反射镜227位于检测光的光轴S上;检测光从第二凸透镜224射出后入射至平面反射镜227上,检测光经平面反射镜227反射后照射至支撑面110上;反射光入射至平面反射镜227上,反射光经平面反射镜227反射后射入第二凸透镜224。
示例性地,平面反射镜227的法线T与检测光的光轴S之间的夹角α可以为40度至50度,例如夹角α可以为40度、45度或50度。
在本申请实施例的一些实现方式中,反射元件还可以包括反射棱镜,反射棱镜具有反射面,反射面位于检测光的光轴S上;检测光从第二凸透镜224射出后入射至反射棱镜上,检测光经反射棱镜反射后照射至支撑面110上;反射光入射至反射棱镜上,反射光经反射棱镜反射后射入第二凸透镜224。
与平面反射镜227相比,反射棱镜更便于装配与调整,位置精度更高,因此,能够提高照射至母板30上的检测光斑P的位置精度,进一步提高产品在籍检测装置20的位置检测精度。
需要说明的是,本实施例在籍检测的产品不限于显示面板,其他能够反射光的产品也能采用本实施例进行检测是否在籍,如光滑金属板、陶瓷板等。
应当指出,在本申请的说明书中,一般而言,应当至少部分地由语境下的使用来理解术语。例如,至少部分地根据语境,文中使用的术语“至少一个”可以用于描述单数的意义的任何特征、结构或特性,或者可以用于描述复数的意义的特征、结构或特性的组合。类似地,至少部分地根据语境,还可以将诸如“一”或“所述”的术语理解为传达单数用法或者传达复数用法。
此外,文中为了便于说明可以使用空间相对术语,例如,“以下”、“下方”、“以上”、“上方”等,以描述一个元件或特征相对于其他元件或特征的如图所示的关系。空间相对术语意在包含除了附图所示的取向之外的处于使用或操作中的器件的不同取向。装置可以具有其他取向(旋转90度或者处于其他取向上),并且文中使用的空间相对描述词可以同样被相应地解释。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种产品在籍检测装置,其特征在于,包括位置传感器和光学镜组,所述位置传感器具有发光端和接收端,所述发光端用于发出检测光,所述接收端用于接收所述检测光经被检产品反射后形成的反射光;
所述光学镜组配置为将所述检测光传输至被检产品,并在被检产品上形成检测光斑,以及将所述反射光传输至所述接收端;所述检测光斑能够同时与相邻两个被检产品存在重合部分。
2.根据权利要求1所述的产品在籍检测装置,其特征在于,入射所述光学镜组的所述检测光以及从所述光学镜组射出的所述检测光均为平行光;从所述光学镜组射出的所述检测光垂直于被检产品检测面所在平面,且从所述光学镜组射出的所述检测光的光束直径大于入射所述光学镜组的所述检测光的光束直径。
3.根据权利要求1或2所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述光学镜组包括第一凸透镜和第二凸透镜,所述第一凸透镜的光轴和所述第二凸透镜的光轴位于所述检测光的光轴上;所述第一凸透镜靠近所述位置传感器,所述第二凸透镜位于所述第一凸透镜背向所述位置传感器的一侧;所述第一凸透镜的焦点和所述第二凸透镜的焦点重合。
4.根据权利要求3所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述第一凸透镜具有第一球面和第一平面,所述第一球面的球心位于所述检测光的光轴上,所述第一球面朝向所述位置传感器;
所述第一平面位于所述第一球面背向所述位置传感器的一侧,所述第一平面与所述检测光的光轴垂直;
所述检测光经所述第一球面进入所述第一凸透镜内,并从所述第一平面射出;所述反射光经所述第一平面进入所述第一凸透镜内,并从所述第一球面射向所述接收端。
5.根据权利要求4所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述第二凸透镜包括第二平面和第二球面,所述第二平面与所述检测光的光轴垂直,所述第二平面朝向所述第一平面;
所述第二球面位于所述第二平面背向所述第一平面的一侧,所述第二球面的球心位于所述检测光的光轴上,所述第二球面的曲率半径大于所述第一球面的曲率半径;
所述检测光经所述第二平面进入所述第二凸透镜内,并从第二球面射出;所述反射光经所述第二球面进入所述第二凸透镜内,并从所述第二平面射向被检产品检测面所在平面。
6.根据权利要求3所述的产品在籍检测装置,其特征在于,沿垂直于被检产品检测面所在平面的方向,依次设置所述位置传感器、所述第一凸透镜和所述第二凸透镜,且所述第一凸透镜和所述第二凸透镜均位于所述位置传感器与被检产品检测面所在平面之间。
7.根据权利要求3所述的产品在籍检测装置,其特征在于,沿平行于被检产品检测面所在平面的方向,所述位置传感器、所述第一凸透镜和所述第二凸透镜依次设置;
所述光学镜组还包括反射元件,所述反射元件位于所述检测光的光轴上;所述检测光从所述第二凸透镜射出后入射至所述反射元件上,并由所述反射元件反射至被检产品检测面所在平面上;所述反射光入射至所述反射元件上,并由所述反射元件反射至所述第二凸透镜。
8.根据权利要求7所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述反射元件包括平面反射镜,所述平面反射镜位于所述检测光的光轴上;
优选地,所述平面反射镜的法线与所述检测光的光轴之间的夹角为40度至50度。
9.根据权利要求7所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述反射元件包括反射棱镜,所述反射棱镜具有反射面,所述反射面位于所述检测光的光轴上。
10.根据权利要求1或2所述的产品在籍检测装置,其特征在于,所述位置传感器为激光传感器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111389807.5A CN114113138A (zh) | 2021-11-22 | 2021-11-22 | 产品在籍检测装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111389807.5A CN114113138A (zh) | 2021-11-22 | 2021-11-22 | 产品在籍检测装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114113138A true CN114113138A (zh) | 2022-03-01 |
Family
ID=80439662
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111389807.5A Pending CN114113138A (zh) | 2021-11-22 | 2021-11-22 | 产品在籍检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114113138A (zh) |
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