JP4385523B2 - 半導体装置の動作試験装置および動作試験方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の動作試験装置および動作試験方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
デジタル信号を出力するロジックLSI(Large Scale Integration)のような半導体装置の動作を試験するテスター(動作試験装置)では、一般に、被試験対象(以下、略称としてDUTと呼ぶ場合あり)に対して、あらかじめ用意された試験用動作パターンの信号を入力し、その入力に対する応答としてDUTから出力された応答信号を、そのときの試験用動作パターンに対応したハイまたはロウの期待値(正常値)と比較することにより、DUTが正常に動作しているか否かを判定している。
【0003】
このような動作試験方法およびそれを実行する動作試験装置としては、2種類のものが知られている。一つは、いわゆるエッジコンパレートと呼ばれる方法で、DUTから出力された応答信号を、所定の一点のタイミングでストローブ信号に基づいてサンプリングし、その信号電圧を期待値の範囲と比較するというものである。このような手法は、例えば特公平4−36349号公報などで提案されている。
【0004】
もう一つは、いわゆるウィンドウコンパレートと呼ばれるもので、DUTから出力された応答信号を所定の区間(ウィンドウ区間)でサンプリングし、そのときサンプリングされた信号電圧を期待値の範囲と比較し、その期待値の範囲から逸脱している場合にはDUTの動作が異常であると判定し、期待値の範囲内であれば正常であると判定するというものである。
【0005】
図4は、このような従来のウィンドウコンパレートによる動作試験を実行する動作試験装置の概要構成の一例を表したものである。
【0006】
コンパレータ111は、DUT100からの出力とハイレベル比較電圧(REF−H)とを比較する。コンパレータ112は、DUT100からの出力とロウレベル比較電圧(REF−L)とを比較する。REF−Hは、DUT100からの出力の正常なハイレベルの基準を定める最小電圧値であり、REF−Lは、DUT100からの出力の正常なロウレベルの基準を定める最大電圧値である。アンド回路121は、コンパレータ111の比較結果の反転出力とストローブ信号とが入力される。アンド回路122は、コンパレータ112の比較結果の反転出力とストローブ信号とが入力される。Dフリップフロップ(以下、DFFと略称)131は、S(セット)端子にアンド回路121の出力を受け、D端子をロウレベルとし、Ck(クロック)端子にストローブ信号が入力される。DFF132は、S(セット)端子にアンド回路122の出力を受け、D端子をロウレベルとし、Ck端子にストローブ信号が入力される。デジタルコンパレータ104は、上記と同じストローブ信号が入力され、そのタイミングに基づいて、DFF131、DFF132のQ端子から出力される信号を受けて、その信号と期待値とを比較することで、パス(正常)またはフェイル(異常)の情報を出力する。ストローブ信号がハイレベルの区間(期間)でDUT100からの出力信号の正常/異常を判定する。
【0007】
図5は、図4に示した動作試験装置における動作の一例を示したタイミングチャート、図6はDFF131、DFF132における判定で用いられる真理値表である。なお、図6におけるDHはDFF131のQ端子からの出力、DLはDFF132のQ端子からの出力である。
【0008】
DUT100の出力がREF−Hよりも高いとき(A)、ストローブ信号がロウレベルからハイレベルになると、このときのコンパレータ111からの反転出力はロウレベルなので、アンド回路121からはロウレベルの信号が出力されてDFF131のS端子に入力される。このとき同時にDFF131のCk端子にもストローブ信号が入力されるので、DFF131のQ端子からはロウレベルの信号が出力される。
【0009】
DUT100の出力がREF−Hよりも低くなると(B)、コンパレータ111からの反転出力がハイレベルとなるので、アンド回路121からロウレベルの信号が出力されてDFF131のS端子に入力される(C)。従って、このときDFF131のQ端子からはハイレベルの信号が出力される(D)。
【0010】
DUT100の出力が再びREF−Hよりも高くなると、コンパレータ111からの反転出力はロウレベルになる(E)。従って、ストローブ信号とコンパレータ111からの反転出力とにより、アンド回路121からの出力はロウレベルになる(F)。しかしこのときのDFF131のQ端子からの出力は、ハイレベルのままである。
【0011】
ストローブ信号がロウレベルになっても、DFF131の出力もDFF131の出力も変化しない。そしてストローブ信号が再びハイレベルになったときにコンパレータ111の反転出力がロウレベルであると、アンド回路121からロウレベルの信号が出力されてDFF131のS端子に入力される。このとき同時にストローブ信号がDFF131のCk端子に入力されているので、DFF131のQ端子からはハイレベルの信号が出力される(G)。またこのとき、DFF132のQ端子からの出力はハイレベルが続いている。
【0012】
デジタルコンパレータ104は、上記のようなDFF131のQ端子から出力されるDHおよびDFF132のQ端子から出力されるDLを、ストローブ信号の立ち下がりのタイミング毎に期待値と比較することにより、パス/フェイルの判定を行う。例えば、期待値が1のときに、図5における初めのウィンドウ区間では、DHがハイレベルであるから、デジタルコンパレータ104はフェイルを出力する。また、その次のウィンドウ区間では、DHがロウレベルであるから、デジタルコンパレータ104はパスを出力する。
【0013】
この一例に示したように、従来の一般的な動作試験装置では、ストローブ信号に基づいたタイミングでDUTから出力された応答信号をサンプリングし、そのときの試験用動作パターンに対応したハイまたはロウの期待値と比較することにより、DUTから出力される信号がデジタル信号として正常(パス)であるか異常(フェイル)であるかを判定していた。また、そのような最終的な判定結果のデータの蓄積や読み出し等の情報処理は、例えばパソコン(パーソナルコンピュータ)のような汎用情報処理装置を用いるなどして行っていた。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の動作試験装置や動作試験方法では、試験用の信号パターンに対応するストローブタイミングにサンプリングされた時点でのDUTの出力のパス/フェイルを2値的に判定することは可能である。
【0015】
しかしながら、そのサンプリングされた1点の前後での出力が、どのようになっているのか等の情報については、検査(把握)することができない。また、ウィンドウ区間のような検査区間中にDUTからの出力が常に正常であるのか否かを検査することができないという問題点がある。
【0016】
例えば、図5に示したように、DUT出力が一瞬だけ比較電圧を横切る状態が動作欠陥として生じていたとしても、DEF131,DEF132の出力は共にハイレベルになってしまう、というように、ウィンドウ区間のような一定区間中にDUT出力がハイインピーダンスで一定であるのか否かを区別することなどができない。
【0017】
また、上記のような従来の動作試験装置や動作試験方法では、試験結果がフェイルと判定された場合に、それがどのような種類や状態のフェイルであるのかという、さらに詳細な情報を把握することが実質的に不可能であるという問題点がある。
【0018】
これは換言すれば、折角、フェイルを検出しても、そのときの試験結果に基づいてフェイルの原因を究明することは困難あるいは不可能であるということである。また、試験結果からDUTの出力電圧の絶対値を把握することができないということである。そのような原因の究明やDUTの出力電圧の絶対値を把握するためには、上記とは別の試験や検査を行わなければならず、試験工程や試験装置が極めて煩雑なものとなる。
【0019】
また、上記のような従来の動作試験装置や動作試験方法では、DEFやデジタルコンパレータなどを多数必要とするなど、その試験装置の構成が煩雑なものである割には、前述したようにフェイルの原因究明や出力電圧値の把握が困難であるなどの制約が多いという問題点がある。
【0020】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、DUTからの出力の全体的な電圧波形の検査あるいは把握を行うことが可能であり、その構成も簡易である、半導体装置の動作試験装置および動作試験方法を提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体装置の動作試験装置は、被試験対象の半導体装置に所定の試験用動作パターンの信号を入力すると共に、試験用動作パターンに対応して半導体装置から出力されることが想定される理想的なデジタル電圧波形を格納した波形メモリ兼ドライバ回路と、試験用動作パターンの信号の入力に応答して半導体装置から出力されるデジタル応答信号の連続量的な電圧波形をアナログデータからデジタルデータに変換して出力するアナログ/デジタル変換器と、アナログ/デジタル変換器から出力されたデジタルデータを記憶する測定値メモリと、測定値メモリに記憶されたデジタルデータを、波形メモリ兼ドライバ回路から出力される理想的なデジタル電圧波形と比較して半導体装置の出力が正常な電圧波形であるか否かを判定すると共に、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力する演算ブロックとを備えたものである。
【0023】
本発明による半導体装置の動作試験方法は、被試験対象の半導体装置に所定の試験用動作パターンの信号を入力し、その入力に応答して前記半導体装置から出力されるデジタル応答信号の電圧波形を、アナログ/デジタル変換器によって変換して出力し、このデジタル信号をデータとして測定値メモリに記憶し、測定値メモリに記憶されたデジタルデータを、試験用動作パターンに対応して半導体装置から出力されることが想定される理想的なデジタル電圧波形と比較して前記半導体装置の出力が正常な電圧波形であるか否かを判定すると共に、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力するというものである。
【0025】
本発明による半導体装置の動作試験装置または動作試験方法では、試験用動作パターンの信号の入力に応答して半導体装置から出力されるデジタル応答信号の連続量的な電圧波形を、アナログ/デジタル変換器によって、アナログデータからデジタルデータに変換して出力する。
【0026】
すなわち、従来の半導体装置の動作試験装置または動作試験方法では、デジタル信号を検査するという、デジタル的な発想あるいは固定観念から、DUTからの出力を2値的なデジタル信号としてのみとらえ、そのDUTから出力される応答信号のハイレベルとロウレベルとが期待値に対してフェイルかパスかを、2値的にのみ判定していた。しかし、本発明による半導体装置の動作試験装置または動作試験方法では、動作試験時にDUTである半導体装置から出力されるデジタル応答信号を連続量的な電圧波形と見做して、アナログ/デジタル変換器を介して出力することで、その応答信号のアナログ的(連続量的)な波形の情報がデジタル的に把握可能となり、これを試験用動作パターンに対応して半導体装置から出力されることが想定される理想的なデジタル電圧波形と比較することにより半導体装置の出力が正常な電圧波形であるか否かを判定することができる。加えて、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0029】
図1は、本発明の一実施の形態に係る半導体装置の動作試験装置の概要構成を表したものである。なお、本発明の実施の形態に係る半導体装置の動作試験方法は、この半導体装置の動作試験装置の動作あるいは作用によって具現化されるものであるから、以下、それらを併せて説明する。
【0030】
この半導体装置の動作試験装置は、波形メモリ兼ドライバ回路(試験用動作パターン信号入力手段)1と、アナログ/デジタル変換器2と、測定値メモリ3と、演算ブロック4とから、その主要部が構成されている。
【0031】
波形メモリ兼ドライバ回路1は、DUT10である半導体装置に対して、所定の試験用動作パターンの信号を入力するものである。この波形メモリ兼ドライバ回路1では、波形メモリに読み出しおよび書き換え可能に格納されている試験用動作パターンの情報に基づいた波形の信号を、ストローブ信号のタイミングと同期して出力する。DUT10が試験用動作パターンの信号を受けると、その信号に対する応答信号を出力する。
【0032】
アナログ/デジタル変換器2は、波形メモリ兼ドライバ回路1から出力されるストローブ信号に同期して、DUT10から出力された応答信号の電圧波形を逐次にアナログデータからデジタルデータへと変換するものである。DUT10から出力された応答信号は、本来は(理想的には)ハイレベルとロウレベルとを組み合わせてなる2値的なデジタル信号として出力されるものであるが、このアナログ/デジタル変換器2では、それを敢えてアナログ信号のような連続量的な電圧波形のアナログ信号のように見做して、その応答信号を電圧波形の全体像が把握可能なサンプリング頻度(あるいはサンプリング周波数)でサンプリングし、それを逐次にデジタルデータ化して、応答信号の電圧値の時系列的なデジタル信号(デジタルデータ列)として出力する。
【0033】
このようにしてアナログ/デジタル変換器2から出力された信号は、例えば図2に実線で示したように、より実際的な応答信号の電圧波形20の形態を示すものとなる。
【0034】
すなわち、例えばC−MOSロジックLSIやバイポーラロジックLSI、あるいはD−RAMやS−RAMなどの半導体装置は一般に、本来はデジタル信号を出力するように設定されたものであるから、そのような半導体装置がDUT10として出力する応答信号は、理想的には図2に点線で示すような矩形状の信号波形21となることが想定されるが、実際には、素子内部には不可避的にインピータンス等が存在しているので、電圧変化の前後の立ち上がりや立ち下がりなどで波形に応答遅れ等が生じたり、ロウレベルやハイレベルが必ずしも一定電圧ではなく鈍りや歪みや変位等が生じる場合がある。また、瞬間的な動作不良や欠陥などが生じる場合もある。ところが、従来の一般的な動作試験装置では、例えばロウレベルあるいはハイレベルの信号の中から1点22を抽出するなどして、その1点を所定の期待値(Hth)と比較するなどして、その1点のパス/フェイルを判定していたので、DUT10から出力される電圧波形の所定の試験区間(期間)中における全体的な形態をユーザーが把握する(知る)ことは実際上不可能であった。
【0035】
しかし、本実施の形態に係る半導体装置の動作試験装置によれば、アナログ/デジタル変換器2から出力された応答信号の全体的な電圧値の時系列的なデジタル信号列に基づいて、所定の試験区間中におけるDUT10の応答信号の全体的な電圧波形の形態やその電圧値についてを把握することが可能となる。しかも、そのような応答信号の全体的な電圧値の時系列的なデジタル信号列を、1つのアナログ/デジタル変換器2によって得ることができるので、動作試験装置としての主要部の構成を、極めて簡易なものとすることができる。
【0036】
ここで、DUT10から出力される応答信号をサンプリングするサンプリング頻度は、アナログ/デジタル変換器2における処理速度によって定まるが、そのサンプリング頻度が高いほど、電圧波形としての全体像を詳細に把握することが可能となる。しかしその反面、アナログ/デジタル変換器2から出力される信号の周波数が高くなるので、アナログ/デジタル変換器2よりも後段の測定値メモリ3や演算ブロック4での信号処理速度や記憶容量などが高いことが要求される。従って、このような点から、測定値メモリ3や演算ブロック4における信号処理速度や記憶容量に応じて、それらの仕様によって信号処理が可能であってかつ電圧波形としての全体像を把握可能なサンプリング頻度でサンプリングすることが望ましい。
【0037】
測定値メモリ3は、例えば演算ブロック4の信号処理速度がアナログ/デジタル変換器2におけるサンプリング周波数に対して逼迫している(余裕がない)場合などに、いわゆるキャッシュメモリのように、アナログ/デジタル変換器2から伝送されて来るデジタル信号をデータとして記憶するものである。この測定値メモリ3では、動作試験が終了してそのときの一連のデジタル信号の伝送が完了した後に、記憶しているデジタルデータを一度に(バッチ的に)出力するように設定されている。あるいは動作試験中に一連のデジタル信号を伝送途中であっても、既に記憶されたデジタルデータを、演算ブロック4で処理可能な周期で順次に出力するようにしてもよい。
【0038】
演算ブロック4は、測定値メモリ3から伝送されて来た応答信号の電圧波形のデジタルデータを、波形メモリ兼ドライバ回路1から出力される所定の試験用動作パターンに対応してDUT10から出力されることが想定される理想的な(あるいは期待値としての)デジタル電圧波形と比較して、そのときのDUT10からの出力が正常な電圧波形であるか否かを判定するものである。また、この演算ブロック4では、動作不良の解析のために有効な情報として、応答信号の電圧値の情報や動作不良が何ビット目で発生したかといった情報を把握することなども可能である。
【0039】
[実施例]
図3は、本発明に係る一実施例の半導体装置の動作試験装置の概要構成を示したものである。波形メモリ兼ドライバ回路1としては、試験用動作パターンのデジタル信号を書き換え可能に格納するD−RAMを備えたDUT試験用ドライバ回路11を用いた。アナログ/デジタル変換器2としては、サンプリング周波数が5MHz、変換時間が12nsのADS803(商品名)というA/D変換デバイス12を用いた。測定値メモリ3としては、後段のCPU14における演算処理の安定化やデジタルデータの一時的な記録を取るために、12bitのパラレルデータを出力可能な1kbyteのFIFO13を用いた。演算ブロック4としては、最高速度20MHzのCPU14を用いた。
【0040】
また、DUT10としては、C−MOSロジックLSIやバイポーラロジックLSI、あるいはD−RAMやS−RAMなど、各種の半導体装置を試験対象とすることが可能である。
【0041】
なお、この実施例では、アナログ/デジタル変換器2であるA/D変換デバイス12のサンプリング周波数が5MHzに対して、演算ブロック4であるCPU14の最高速度が20MHzであるから、CPU14におけるデータ処理能力には入力されるデジタルデータに対して余裕があるので、測定値メモリ3であるFIFO13は必ずしも必要ではない。しかしここでは、前述したように、CPU14における演算処理の安定化やデジタルデータの一時的な記録を取るために、FIFO13を用いている。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体装置の動作試験装置および半導体装置の動作試験方法によれば、被試験体(DUT)である半導体装置から出力されるデジタル応答信号を連続量的な電圧波形と見做して、アナログ/デジタル変換器を介して測定値メモリへ出力し、演算ブロックにおいてこの測定値メモリに記憶されたデジタルデータと波形メモリ兼ドライバ回路から出力される理想的なデジタル電圧波形とを比較すると共に、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力するようにしたので、DUTからの応答信号のアナログ的な波形の情報が把握可能となり、ウィンドウ区間のような検査区間中にDUTからの出力が常に正常であるのか否かを検査することができ、また試験結果がフェイルと判定された場合に、それがどのような種類や状態のフェイルであるのかという詳細な情報を把握することができるという効果を奏する。また、従来の比較回路系を構成するDEFやデジタルコンパレータなどが不要となり、その部分が実質的に1つのアナログ/デジタル変換器のみで済むので、極めて簡易な構成とすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る半導体装置の動作試験装置の概要構成を表した図である。
【図2】アナログ/デジタル変換器から出力された信号および理想的な応答信号の一例を表した図である。
【図3】本発明に係る一実施例の半導体装置の動作試験装置の概要構成を表した図である。
【図4】従来のウィンドウコンパレートによる動作試験を実行する動作試験装置の概要構成の一例を表した図である。
【図5】図4に示した動作試験装置における動作の一例を示したタイミングチャートである。
【図6】図4に示したDFFにおける判定で用いられる真理値表である。
【符号の説明】
1…波形メモリ兼ドライバ回路、2…アナログ/デジタル変換器、3…測定値メモリ、4…演算ブロック
Claims (3)
- 被試験対象の半導体装置に所定の試験用動作パターンの信号を入力すると共に、前記試験用動作パターンに対応して前記半導体装置から出力されることが想定される理想的なデジタル電圧波形を格納した波形メモリ兼ドライバ回路と、
前記試験用動作パターンの信号の入力に応答して前記半導体装置から出力されるデジタル応答信号を、その電圧波形が把握可能なサンプリング頻度でアナログデータからデジタルデータに変換して出力するアナログ/デジタル変換器と、
前記アナログ/デジタル変換器から出力されたデジタルデータを記憶する測定値メモリと、
前記測定値メモリに記憶されたデジタルデータを、前記波形メモリ兼ドライバ回路から出力される理想的なデジタル電圧波形と比較して前記半導体装置の出力が正常な電圧波形であるか否かを判定すると共に、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力する演算ブロックと
を備えた半導体装置の動作試験装置。 - 前記測定値メモリは、動作試験が終了してそのときの一連のデジタル信号の伝送が完了した後に、記憶しているデジタルデータを一度に出力する、あるいは動作試験中に一連のデジタル信号を伝送している途中であっても、既に記憶されたデジタルデータを、前記演算ブロックで処理可能な周期で順次に出力する、請求項1記載の半導体装置の動作試験装置。
- 被試験対象の半導体装置に所定の試験用動作パターンの信号を入力し、その入力に応答して前記半導体装置から出力されるデジタル応答信号の電圧波形を把握可能なサンプリング頻度でアナログ/デジタル変換器によって変換して、前記デジタル応答信号の電圧波形の情報を担持してなる信号を出力し、このデジタル信号をデータとして測定値メモリに記憶し、前記測定値メモリに記憶されたデジタルデータを、前記試験用動作パターンに対応して前記半導体装置から出力されることが想定される理想的なデジタル電圧波形と比較して前記半導体装置の出力が正常な電圧波形であるか否かを判定すると共に、動作不良の解析情報として、応答信号の電圧値の情報および動作不良が何ビット目で発生したかの情報を出力する
半導体装置の動作試験方法。
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