JP2005114614A

JP2005114614A - 検査信号モニタ機能付き検査装置とリモート検査システム。

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Publication number: JP2005114614A
Application number: JP2003350858A
Authority: JP
Inventors: Ikuo Koizumi; 幾夫小泉
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2003-10-09
Filing date: 2003-10-09
Publication date: 2005-04-28
Also published as: US7242210B2; CN100362360C; US20050114746A1; CN1605882A

Abstract

【課題】観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることを可能とする。
【解決手段】本発明の検査信号モニタ機能付き検査装置１０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部１と、このインタフェース部１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子３を介して被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部２と、この基板検査モジュール部２と外部出力端子３および外部入力端子４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部４を介して外部装置（ＰＣ）に出力するモニタ部５とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、回路基板の検査技術に係わり、特に、検査動作時の信号状態のモニタリングを効率的に行うのに好適な検査装置に関するものである。

回路基板の検査装置に関する従来技術としては、例えば特許文献１，２に記載の技術がある。特許文献１の技術では、良品回路基板における実際の測定値をメモリなどに基準データとして記憶させておき、検査対象の回路基板で測定した測定値と、メモリに記憶されている基準データとを順次比較することによって回路基板の良否を判定している。

また、特許文献２では、良品基板から得られる正規の応答パターンデータと、テスト基板から得られる応答パターンデータとの際をデータ検出手段によりディジタル的に検出する技術が開示されている。

しかし、上記特許文献１および上記特許文献２のいずれに記載の技術においても、比較結果に基づく回路基板の良否判定結果が出力されるだけであり、それぞれの比較に用いた信号がどのような状態であるかをモニタすることはできない。

さらに、上記特許文献１の技術では、メモリに記憶するための良品回路基板における実際の測定値が正常なものであるか、また、上記特許文献２の技術では、良品基板から得られる正規の応答パターンデータが正常なものであるかを確認するために、実際には、それぞれの信号値を予めモニタする必要がある。

従来、このような回路基板の不良個所の特定や信号状態をモニタするためには、オシロスコープあるいはロジックアナライザ等を用いて波形観測や論理値確認・タイミング確認により判断しなければならず、観測点も多く、特に観測プローブを接続することによる容量負荷で波形変化が発生してしまい実機環境と異なった波形状態となり、本来の良否判定が非常に困難である。
特開２００１−２３５５０５号公報特開平１−１００４７４号公報

解決しようとする問題点は、従来の技術では、検査時における信号状態をモニタする際、オシロスコープあるいはロジックアナライザ等を用いており、観測プローブを接続することによる容量負荷で波形変化が発生してしまい実機環境と異なった波形状態となってしまう点である。

上記目的を達成するため、本発明の検査信号モニタ機能付き検査装置は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（１）と、このインタフェース部（１）を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子を介して被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（２）と、この基板検査モジュール部（２）と外部出力端子および外部入力端子間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部を介して外部装置（ＰＣ）に出力するモニタ部（５）とを有することを特徴とする。また、本発明のリモート検査システムは、上記検査信号モニタ機能付き検査装置からの出力結果を、外部装置（ＰＣ）を介して接続されたネットワーク上の端末装置（ＰＣ）で受信してモニタすることを特徴とする。

本発明によれば、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることが可能である。

以下、図を用いて本発明を実施するための最良の形態例を説明する。

図１は、本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第１の構成例を示すブロック図であり、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置（図中「検査装置」と記載）１０は、図示していないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（図中「ＰＣＩＩ／Ｆ部」と記載）１と、インタフェース部１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子（図中「信号出力部」と記載）３を介して図示していない被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子（図中「信号入力部」と記載）４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（図中「モジュール部」と記載）２と、基板検査モジュール部２と外部出力端子３および外部入力端子４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ部（図中「バッファセレクター部」と記載）５により構成されている。

このような構成により、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置１０では、基板検査モジュール部２と外部出力端子３間の信号線上において、基板検査モジュール部２から外部出力端子３に出力される信号の状態を、そのままモニタ部５で読み込み、インタフェース部１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出する。

そして、このパーソナルコンピュータにおいて、例えば表示装置の画面上にビジュアルに表示するように、各信号状態をソフトウェア処理する。このように表示することで、ユーザ（検査員）は、このパーソナルコンピュータから出力されて基板検査モジュール部２を介して被検査基板に出力されたテストデータが正常なものであるかを確認することができる。

また、基板検査モジュール部２で不良として検出され、基板検査モジュール部２からインタフェース部１を介して戻された検出結果を取得した際には、基板検査モジュール部２と外部入力端子４間の信号線上において、外部入力端子４から基板検査モジュール部２に入力される信号の状態を、そのままモニタ部５で読み込み、インタフェース部１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出することで、同様に、このパーソナルコンピュータにおいて、例えば表示装置の画面上に信号状態をビジュアルに表示することができ、ユーザ（検査員）は、不良内容の詳細を容易に確認することができる。

例えば、検査回路モジュール部２と外部入力端子３および外部出力端子４間で検査回路モジュール部２側での動作停止が発生した場合にも、モニタ部５で、外部入力端子３および外部出力端子４側における信号を読み込み、インタフェース部１を介して、パーソナルコンピュータに送られてくるので、このパーソナルコンピュータにおいて、その信号状態もモニタすることができる。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置１０によれば、止まった状態で必要な信号情報をモニタすることができる。また、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることができる。そして、観測プローブを接続する必要がないので容量負荷で波形変化が発生することがない。

図２は、本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第２の構成例を示すブロック図であり、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置２０は、図示していないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（図中「ＰＣＩＩ／Ｆ部」と記載）２１と、インタフェース部２１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子（図中「信号出力部」と記載）２３を介して図示していない被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子（図中「信号入力部」と記載）２４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（図中「モジュール部」と記載）２２と、基板検査モジュール部２２と外部出力端子２３および外部入力端子２４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部２１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ部（図中「バッファセレクター部」と記載）２５、および、モニタ部２５から所定のカウント値毎のモニタ用信号を取り出してインタフェース部２１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するカウンタ部２６とにより構成されている。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置２０は、図１における本例の検査信号モニタ機能付き検査装置１０に新たにカウンタ部２６を設けた構成となっている。

このような構成により、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置２０では、基板検査モジュール部２２と外部出力端子２３間の信号線上において、基板検査モジュール部２２から外部出力端子２３に出力される信号の状態を、そのままモニタ部２５で読み込み、インタフェース部２１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出することもできるが、モニタ部２５とインタフェース部２１との間に新たにカウンタ部２６を設けたことにより、さらに、モニタ部２５で読み込んだ信号を、数カウント分毎に読み出すように制御することができ、モニタ部２５で読みとった信号が静的信号か動的信号かの区別をすることができる。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置２０によれば、図１に示した検査信号モニタ機能付き検査装置１０と同様に、止まった状態で必要な信号情報をモニタすること、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることができ、観測プローブを接続する必要がないので容量負荷で波形変化が発生することがないとの効果を得ることができる上に、さらに、カウンタ部２６を設けたことにより、モニタ部２５で読み込んだ信号が繰りかえし発生している信号なのか、あるいは、静的なのかを判断することができ、解析対処方法のスピードアップを図ることが可能である。

図３は、本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第３の構成例を示すブロック図であり、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置３０は、図示していないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（図中「ＰＣＩＩ／Ｆ部」と記載）３１と、インタフェース部３１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子（図中「信号出力部」と記載）３３を介して図示していない被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子（図中「信号入力部」と記載）３４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（図中「モジュール部」と記載）３２と、基板検査モジュール部３２と外部出力端子３３および外部入力端子３４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部３１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ部（図中「バッファセレクター部」と記載）３５、および、モニタ部３５から所定のカウント値毎のモニタ用信号を取り出してインタフェース部３１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する２以上のカウンタ部３６ａ，３６ｂとにより構成されている。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置３０は、図１における本例の検査信号モニタ機能付き検査装置１０に新たに２以上のカウンタ部３６ａ，３６ｂを設けた構成となっている。

このような構成により、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置３０では、基板検査モジュール部３２と外部出力端子３３間の信号線上において、基板検査モジュール部３２から外部出力端子３３に出力される信号の状態を、そのままモニタ部３５で読み込み、インタフェース部３１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出することもできるが、モニタ部３５とインタフェース部３１との間に新たに２以上のカウンタ部３６ａ，３６ｂを設けたことにより、さらに、複数信号をモニタでき、モニタ部３５で読みとった信号の遅れつまり信号のディレイ（delay）をパーソナルコンピュータ側で測定することができる。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置３０によれば、図１に示した検査信号モニタ機能付き検査装置１０と同様に、止まった状態で必要な信号情報をモニタすること、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることができ、観測プローブを接続する必要がないので容量負荷で波形変化が発生することがないとの効果を得ることができる上に、さらに、２以上のカウンタ部３６ａ，３６ｂを設けたことにより、モニタ部３５で読み込んだ信号のディレイを測定することが可能である。

図４は、本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第４の構成例を示すブロック図であり、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置４０は、図示していないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（図中「ＰＣＩＩ／Ｆ部」と記載）４１と、インタフェース部４１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子（図中「信号出力部」と記載）４３を介して図示していない被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子（図中「信号入力部」と記載）４４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（図中「モジュール部」と記載）４２と、基板検査モジュール部４２と外部出力端子４３および外部入力端子４４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部４１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ部（図中「バッファセレクター部」と記載）４５、および、モニタ部４５から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のハイレベル（「１」）の信号の数をカウントしてインタフェース部４１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する第１のカウンタ部（図中「カウンタ部」と記載）４６ａと、モニタ部４５から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のローレベル（「０」）の信号の数をカウントしてインタフェース部４１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する第２のカウンタ部（図中「カウンタ部」と記載）４６ｂとにより構成されている。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置４０は、図１における本例の検査信号モニタ機能付き検査装置１０に新たに第１，第２のカウンタ部４６ａ，４６ｂを設けた構成となっている。

このような構成により、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置４０では、基板検査モジュール部４２と外部出力端子４３間の信号線上において、基板検査モジュール部４２から外部出力端子４３に出力される信号の状態を、そのままモニタ部４５で読み込み、インタフェース部４１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出することもできるが、モニタ部４５とインタフェース部４１との間に新たに第１，第２のカウンタ部４６ａ，４６ｂを設けたことにより、さらに、モニタ部４５で読み込んだ信号がハイレベル（「１」）の時のカウント時間とローレベル（「０」）の時のカウント時間を読みとることができ、モニタ部４５で読みとった信号のデューティ（ｄｕｔｙ）をパーソナルコンピュータ側で測定することができる。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置４０によれば、図１に示した検査信号モニタ機能付き検査装置１０と同様に、止まった状態で必要な信号情報をモニタすること、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることができ、観測プローブを接続する必要がないので容量負荷で波形変化が発生することがないとの効果を得ることができる上に、さらに、第１，第２のカウンタ部４６ａ，４６ｂを設けたことにより、モニタ部４５で読み込んだ信号のデューティ（「１」の時間と「０」の時間）を測定することが可能である。また、第１，第２のカウンタ部４６ａ，４６ｂのそれぞれにより、複数の信号についてモニタすることができる。

図５は、本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第５の構成例を示すブロック図であり、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置５０は、図示していないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の外部装置との接続制御を行うＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格に準じたインタフェース部（図中「ＰＣＩＩ／Ｆ部」と記載）５１と、インタフェース部５１を介して外部装置（ＰＣ）から入力されるテスト用データを外部出力端子（図中「信号出力部」と記載）５３を介して図示していない被検査基板に出力し、この被検査基板からテスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子（図中「信号入力部」と記載）５４を介して入力し、この処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査モジュール部（図中「モジュール部」と記載）５２と、基板検査モジュール部５２と外部出力端子５３および外部入力端子５４間に流れるテスト用データおよび処理後データを取り込みモニタ用信号としてインタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ部（図中「バッファセレクター部」と記載）５５、および、モニタ部５５から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のハイレベル（「１」）の信号の数をカウントしてインタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する第１のカウンタ部（図中「カウンタ部」と記載）５６ａと、モニタ部５５から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のローレベル（「０」）の信号の数をカウントしてインタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する第２のカウンタ部（図中「カウンタ部」と記載）５６ｂ、さらにインタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力するモニタ用信号をインタフェース部５１の前段で記憶するメモリ部５７とにより構成されている。

尚、本例では、メモリ部５７は、モニタ部５５とインタフェース部５１との間に設けられた第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂの出力を記憶するように構成されており、このような構成により、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置５０では、メモリ部５７から所定量まとめて、モニタ用信号をインタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力する。

例えば、メモリ部５７において、第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂからの信号をクロック等でサンプリングして例えば６４bit（現状のメモリのline bit数）分のデータがたまればＦＩＦＯ（First In First Out）に１ライン（１line）いれる等の動作を繰りかえし、バースト（burst）分たまった時点で書き込み依頼する動作を、必要時間（設定時間）繰りかえす。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置５０は、図４における本例の検査信号モニタ機能付き検査装置４０にさらにメモリ部５７を設けた構成となっており、基板検査モジュール部５２と外部出力端子５３間の信号線上において、基板検査モジュール部５２から外部出力端子５３に出力される信号の状態を、そのままモニタ部５５で読み込み、インタフェース部５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに送出することもできるが、モニタ部５５とインタフェース部５１との間に第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂを設けたことにより、モニタ部５５で読み込んだ信号がハイレベル（「１」）の時のカウント時間とローレベル（「０」）の時のカウント時間を読みとることができ、モニタ部５５で読みとった信号のデューティ（ｄｕｔｙ）をパーソナルコンピュータ側で測定することができ、さらに、モニタ部５５と第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂとの間にメモリ部５７を設けたことにより、モニタ部５５および第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂからのデータを所定量まとめてインタフェース部４１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに出力することができる。

このように、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置５０によれば、図１に示した検査信号モニタ機能付き検査装置１０と同様に、止まった状態で必要な信号情報をモニタすること、観測プローブを付けることなく実機環境と同じ回路基板の信号をモニタすることができ、観測プローブを接続する必要がないので容量負荷で波形変化が発生することがないとの効果を得ることができる上に、第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂを設けたことにより、モニタ部５５で読み込んだ信号のデューティ（「１」の時間と「０」の時間）を測定することが可能であり、また、第１，第２のカウンタ部５６ａ，５６ｂのそれぞれにより、複数の信号についてモニタすることができ、さらに、メモリ部５７を設けたことにより、メモリ部５７に蓄積された内容（モニタ部５５で読み込んだ信号状態）をパーソナルコンピュータ側の画面に時間軸で表示する等して、信号線のモニタ機能、すなわち、logic tracer機能を実現することが可能である。

図６は、本発明に係わるリモート検査システムの構成例を示すブロック図であり、本例のリモート検査システムは、少なくとも図１から図５のいずれかに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置１０〜５０からの出力結果を、外部装置としてのパーソナルコンピュータを介して接続されたネットワーク上の端末装置で受信してモニタする構成となっている。

すなわち、本例のリモート検査システムは、少なくとも図１から図５に記載の検査信号モニタ機能付き検査装置１０〜５０のいずれかからなり、被検査基板６２に対する検査を行う検査信号モニタ機能付き検査装置（図中「検査装置」と記載）６０と、検査信号モニタ機能付き検査装置６０とＰＣＩもしくはＩＳＡ、ＰＣカード、無線ＬＡＮインタフェース装置ド、赤外線インタフェース装置等を介して接続されたパーソナルコンピュータ（図中「ＰＣ」と記載）６３、このパーソナルコンピュータ６３とＬＡＮやＷＡＮ等のネットワーク６４を介して接続されたパーソナルコンピュータ（図中「リモートＰＣ」と記載）６５により構成されている。

このような構成とすることにより、本例のリモート検査システムでは、例えば検査センタ等に設置されているパーソナルコンピュータ６５からネットワーク６４を介して、製造工場に設置されているパーソナルコンピュータ６３に、被検査基板６２のテスト用のデータファイルを送信し、パーソナルコンピュータ６３から検査信号モニタ機能付き検査装置６０に当該テスト用データをロードして、検査信号モニタ機能付き検査装置６０により被検査基板６２に対する試験を実施することができる。

さらに、本例の検査信号モニタ機能付き検査装置６０におけるモニタ結果データを、パーソナルコンピュータ６３からネットワーク６４を介してパーソナルコンピュータ６５に送信することで、検査センタにおいて、被検査基板６２に対する検査信号モニタ機能付き検査装置６０による検査状態をリモートでモニタすることができる。

尚、本発明は、図１〜図６を用いて説明した例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、図５の例においては、図４に示す構成の検査信号モニタ機能付き検査装置４０にメモリ部５７を設けた構成を示しているが、図１もしくは図２に示す構成の検査信号モニタ機能付き検査装置１０，２０にメモリ部５７を設けた構成であっても良い。

また、図２から図４における検査信号モニタ機能付き検査装置２０〜４０では、インタフェース部２１，３１，４１とモニタ部２５，３５，４５間を直接接続する信号線を有しているが、この信号線を不要とした構成であっても良い。そして、このような構成の検査信号モニタ機能付き検査装置を、図６のリモート検査システムにおける検査信号モニタ機能付き検査装置６０として用いる構成とすることでも良い。

また、図１から図５のそれぞれに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置１０〜５０は、ＰＣＩやＩＳＡ、ＰＣカード等の規格のインタフェース部１，２１，３１，４１，５１を介して外部装置としてのパーソナルコンピュータに接続される構成としているが、無線機能を有するインタフェースとして、無線ＬＡＮ上のパーソナルコンピュータと接続する構成としても良い。

本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第１の構成例を示すブロック図である。本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第２の構成例を示すブロック図である。本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第３の構成例を示すブロック図である。本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第４の構成例を示すブロック図である。本発明に係わる検査信号モニタ機能付き検査装置の第５の構成例を示すブロック図である。本発明に係わるリモート検査システムの構成例を示すブロック図である。

符号の説明

１，２１，３１，４１，５１：インタフェース部（「ＰＣＩＩ／Ｆ部」）、２，２２，３２，４２，５２：基板検査モジュール部（「モジュール部」）、３，２３，３３，４３，５３：外部出力端子（「信号出力部」）、４，２４，３４，４４，５４：外部入力端子（「信号入力部」）、５，２５，３５，４５，５５：モニタ部（「バッファセレクター部」）、１０，２０，３０，４０，５０，６０：検査信号モニタ機能付き検査装置（「検査装置」）、２６，３６ａ，３６ｂ：カウンタ部、４６ａ，５６ａ：第１のカウンタ部、４６ｂ，５６ｂ：第２のカウンタ部、５７：メモリ部、６２：被検査装置、６３：パーソナルコンピュータ（「ＰＣ」）、６４：ネットワーク、６５：パーソナルコンピュータ（「リモートＰＣ」）。

Claims

外部装置との接続制御を行うインタフェース手段と、
該インタフェース手段を介して上記外部装置から入力されるテスト用データを外部出力端子を介して被検査基板に出力し、該被検査基板から上記テスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子を介して入力し、該処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査手段と
該基板検査手段と上記外部出力端子および上記外部入力端子間に流れる上記テスト用データおよび上記処理後データを取り込みモニタ用信号として上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力するモニタ手段と
を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項１に記載の検査信号モニタ機能付き検査装置であって、
上記モニタ手段から所定のカウント値毎のモニタ用信号を取り出して上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力するカウンタ手段を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
外部装置との接続制御を行うインタフェース手段と、
該インタフェース手段を介して上記外部装置から入力されるテスト用データを外部出力端子を介して被検査基板に出力し、該被検査基板から上記テスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子を介して入力し、該処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査手段と
該基板検査手段と上記外部出力端子および上記外部入力端子間に流れる上記テスト用データおよび上記処理後データをモニタ用信号として取り込むモニタ手段と、
該モニタ手段から所定のカウント値毎のモニタ用信号を取り出して上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力するカウンタ手段と
を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項２もしくは請求項３のいずれかに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置であって、
上記カウンタ手段を２以上有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項１に記載の検査信号モニタ機能付き検査装置であって、
上記モニタ手段から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のハイレベルの信号の数をカウントして上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力する第１のカウンタ手段と、
上記モニタ手段から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のローレベルの信号の数をカウントして上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力する第２のカウンタ手段と
を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
外部装置との接続制御を行うインタフェース手段と、
該インタフェース手段を介して上記外部装置から入力されるテスト用データを外部出力端子を介して被検査基板に出力し、該被検査基板から上記テスト用データに対応して出力される処理後データを外部入力端子を介して入力し、該処理後データに基づき当該被検査基板の良否を判定する基板検査手段と
該基板検査手段と上記外部出力端子および上記外部入力端子間に流れる上記テスト用データおよび上記処理後データをモニタ用信号として取り込み出力するモニタ手段と、
該モニタ手段から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のハイレベルの信号の数をカウントして上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力する第１のカウンタ手段と、
上記モニタ手段から所定時間中に出力されるモニタ用信号の内のローレベルの信号の数をカウントして上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力する第２のカウンタ手段と
を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項１から請求項６のいずれかに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置であって、
上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力するモニタ用信号を該インタフェース手段の前段で記憶する記憶装置を有し、
該記憶装置から所定量まとめて上記モニタ用信号を上記インタフェース手段を介して上記外部装置に出力することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項１から請求項７のいずれかに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置であって、
上記インタフェース手段は、
上記外部記憶装置としてのパーソナルコンピュータに接続するための、ＰＣＩもしくはＩＳＡ，ＰＣカードの少なくともいずれかを含む規格の接続手段を有することを特徴とする検査信号モニタ機能付き検査装置。
請求項１から請求項８のいずれかに記載の検査信号モニタ機能付き検査装置からの出力結果を、上記外部装置を介して接続されたネットワーク上の端末装置で受信してモニタすることを特徴とするリモート検査システム。