KR100778052B1 - 신호 검출장치 및 신호 검출시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사장치에 의하여 생성되는 전기신호 중에 포함될 수 있는 불규칙 신호를 검사대상의 파괴의 유무에 관계 없이 신속하게 검출하는 것이 가능한 신호 검출장치를 실현하는 것이다.

이를 위하여 본 발명에서는 검사장치 본체(4)에 의하여 생성된 전원 전압 신호를 입력하는 신호 입력부(8)와, 소정강도의 전압값을 가지는 전압성분을 추출하는 성분 추출부(9)와, 성분 추출부(9)에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출부(11)와, 변화율 도출부(11)에 의하여 도출된 시간 변화율이 양의 값을 가지는 기간 동안의 소정의 타이밍과, 시간 변화율이 음의 값을 가지는 기간 동안의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 도출하는 계시부(計時部)(12)와, 계시부(12)에 의하여 도출된 시간 간격에 의거하여 추출된 전압성분이 불규칙 신호에 해당하지는 판정하는 판정부(13)와, 판정결과를 고지하는 고지부(14)를 구비한다.

Description

신호 검출장치 및 신호 검출시스템{SIGNAL DETECTOR AND SIGNAL DETECTION SYSTEM}

도 1은 실시형태 1에 관한 신호 검출장치의 사용형태를 나타내는 모식도,

도 2는 신호 검출장치의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도,

도 3은 신호 검출장치의 동작을 설명하기 위한 플로우차트,

도 4는 전원 전압신호 및 그 시간 변화율의 시계열 데이터를 나타내는 그래프,

도 5는 실시형태 2에 관한 신호 검출장치의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도,

도 6은 실시형태 3에 관한 신호 검출장치의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도,

도 7은 실시형태 4에 관한 신호 검출시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 신호 검출장치 2 : 검사대상

3 : 검사장치 4 : 검사장치 본체

5 : 테스트 헤드 6 : 케이블 배선

6a : 카드선 6b : 센스선

6c : 포스선 6d : 리턴선

6e : HGND선 8 : 신호 입력부

9 : 성분 추출부 10 : 강도 필터

11 : 변화율 도출부 12 : 계시부(計時部)

13 : 판정부 14 : 고지부

15 : 제어부 16 : 상승 검출부

17 : 하강 검출부 20 : 신호 검출장치

21 : 패턴 데이터베이스 21 : 발생 패턴 데이터베이스

22 : 불량 추정부 23 : 제어부

25 : 신호 검출장치 26 : 발생 이력 기록부

27 : 수리 판정부 28 : 제어부

30 : 신호 검출장치 31 : 네트워크

32 : 관리서버

본 발명은 소정의 검사대상의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 생성한 전기신호 중에 혼입할 수 있는 신호로서 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하는 신호 검출장치 및 신호 검출장치를 사용한 신호 검출 시스템에 관한 것이다.

종래, 반도체장치 등의 검사대상의 전기 특성을 검사하기 위한 검사장치가 알려져 있다. 이와 같은 검사장치의 구성으로서는 검사대상을 구동시키기 위한 전력신호나 검사신호 등의 소정의 전기신호를 생성·출력하는 검사장치 본체와, 검사장치 본체와 소정의 배선 케이블을 거쳐 접속됨과 동시에, 검사대상과 전기적으로 접촉 가능한 구조를 가짐으로써 검사장치 본체로부터 출력된 검사신호 등의 전기신호를 검사대상에 대하여 전송함과 동시에, 검사대상으로부터의 응답신호를 검사장치 본체에 전송하는 테스트 헤드를 구비하는 것이 일반적이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

검사장치 본체는 전기신호의 생성·출력을 행하는 기능을 가짐과 동시에, 미리 검사신호에 대응한 응답신호의 패턴을 기억하는 기능을 가진다. 그리고 검사장치본체는 기억한 응답신호의 패턴과, 실제로 검사대상으로부터 얻어진 응답신호의 패턴을 비교함으로써, 검사대상의 전기 특성을 검사하여 양품 또는 불량품의 판단 등을 행하고 있다.

[특허문헌 1]

일본국 특개평11-030647호 공보

그러나 종래의 검사장치는 검사장치 본체로부터 검사대상에 대하여 출력되는 전원 전압신호 등의 전기신호 중에 돌발적인 전압 변화를 수반하는 이른바 스파이크전압 등의 불규칙 신호가 혼입한 경우에 검사대상에 대하여 악영향을 준다는 과제를 가진다. 이하, 이와 같은 과제에 대하여 상세하게 설명한다.

돌발적인 전압 변화를 수반하는 불규칙 신호가 검사대상에 입력된 경우에는 예를 들면 검사대상의 정격전압보다도 높은 피크전압을 가지는 불규칙 신호가 입력됨으로써 검사대상의 전기 특성이 열화·파괴되게 된다. 특히 최근의 검사대상은 미세화에 따라 내압이 저하하는 경향이 있기 때문에 정격전압도 낮은 값으로 설정되어 있어, 불규칙 신호의 입력에 의하여 용이하게 파괴될 염려가 있다. 또 파괴에 이르지 않은 경우이더라도 무엇인가의 영향을 검사대상에 미치게 할 가능성은 높고, 예를 들면 검사장치를 사용한 검사시에는 특성의 저하 등이 검출되지 않음에도 불구하고, 제품으로서의 수명이 현저하게 저하하는 등의 문제가 생길 가능성이 있다.

물론 종래의 검사장치에서도 검사장치 본체가 생성하는 전기신호 중에 돌발적인 전압 변화가 생기지 않도록 미리 설계되는 것이 일반적이다. 그러나 검사장치 본체의 구동을 제어하여 생성하는 전기신호의 내용을 정하는 프로그램 중에 오류가 생기는 것이나 검사장치 본체를 구성하는 전자회로의 경년열화 등에 의하여 검사장치 본체가 생성하는 전기신호 중에 불규칙 신호가 생기는 것을 완전하게 방지하는 것은매우 곤란하다.

따라서 종래의 검사장치에서는 검사대상에 고장 등의 불편이 생긴 경우에 불규칙 신호에 기인하는 것인지의 여부를 확인하기 위하여 사후적으로 오실로스코프 등에 의하여 전기신호의 파형을 관찰하여 불규칙 신호의 발생을 검출하고 있었다. 그리고 예를 들면 소정의 검사장치에 있어서 불규칙 신호를 발생하고 있었던 것으로 판단된 경우에는 이와 같은 검사장치에 의하여 전기특성의 검사가 행하여진 검사대상을 다른 검사장치에 의하여 다시 검사하는 등의 대응이 취해지고 있었다.

그러나, 이와 같은 대응으로도 충분하지는 않다. 즉, 불규칙 신호의 파형 등에 따라서는 상기한 바와 같이 검사대상의 파괴까지 이르지 않는 경우가 있고, 이와 같은 경우에는 처음부터 사후적으로 오실로스코프에 의한 확인이 행하여지지는 않아 불규칙 신호의 발생을 확인하는 것이 아주 곤란하기 때문이다. 따라서 종래의 검사방법에서는 검사대상이 파괴된 경우에만, 또한 사후적으로 불규칙 신호가 발생한 것을 인식할 수 있다는 아주 한정된 효과를 얻는 것만 가능하였다.

본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 검사장치에 의하여 생성되는 전기신호 중에 포함될 수 있는 불규칙 신호를 검사대상의 파괴의 유무에 관계 없이 신속하게 검출하는 것이 가능한 신호 검출장치 및 신호 검출 시스템을 실현하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하여 목적을 달성하기 위하여 청구항 1에 관한 신호 검출장치는, 소정의 검사대상의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 생성한 전기신호 중에 혼입할 수 있는 신호로서 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하는 신호 검출장치에 있어서, 상기 전기신호 중으로부터 전압값의 절대값이 소정값 이상이 되는 전압성분을 추출하는 성분 추출수단과, 상기 성분 추출수단에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출수단과, 상기 변화율 도출수단에 의하여 도출된 전압값의 시간 변화율에 의거하여 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 판정수단과, 적어도 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다고 상기 판정수단에 의하여 판정되었을 때에, 판정결과를 사용자에게 고지하는 고지수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 1의 발명에 의하면, 전기신호 중으로부터 추출한 전압성분에 관하여 시간 변화율을 도출하고, 시간 변화율에 의거하여 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부의 판정을 행하는 구성을 채용하였기 때문에, 전기신호 중에 본래적으로 포함되는 통상 성분과 달리 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 확실하게 검출하는 것이 가능하다.

또, 청구항 2에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 전기신호는 검사시에 상기 검사장치로부터 상기 검사대상에 대하여 출력되어 상기 검사장치의 구동전력으로서 기능하는 전원 전압신호인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 3에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 판정수단은 상기 시간 변화율이 양(+)의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과, 음(-)의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격에 의거하여 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 4에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 시간 변화율의 0 부터 양의 값으로의 변화를 검출하는 상승 검출수단과, 상기 시간 변화율의 0 부터 음의 값으로의 변화를 검출하는 하강 검출수단을 더 구비하고, 상기 판정수단은, 상기 상승 변화 검출수단의 검출 타이밍과, 상기 하강 변화 검출수단의 검출 타이밍과의 사이의 시간 간격에 의거하여 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해 당하는지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 5에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 판정수단은 상기 시간 간격이 상기 전기신호 중의 통상 성분에 있어서의 시간 간격의 최소값보다도 작은 소정의 문턱값 이하가 된 경우에, 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다고 판정하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 6에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 판정수단에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 상기 전압성분의 발생 패턴에 의거하여 상기 검사장치 중의 불량 부분을 추측하는 불량 추측수단을 더 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 7에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 상기 불규칙 신호의 발생 패턴과 상기 검사장치의 불량 부분과의 대응관계를 기록한 발생 패턴 데이터베이스를 더 구비하고, 상기 불량 추측수단은, 상기 판정수단에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 전압성분의 발생 패턴에 의거하여, 상기 데이터베이스에 기록된 대응관계를 참조하면서 상기 검사장치의 불량 부분을 추측하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 8에 관한 신호 검출장치는, 상기한 발명에 있어서, 불규칙 신호의 발생 이력을 기록하는 발생 이력 기록부와, 상기 발생 이력 기록부에 기록된 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 상기 검사장치의 수리의 필요 여부를 판정하는 수리 판정수단을 더 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 9에 관한 신호 검출 시스템은, 소정의 검사대상의 전기적 특성을 검사하는 복수의 검사장치가 생성한 전기신호 중에 혼입할 수 있는 신호로서 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하는 신호 검출 시스템에 있어서, 복수의 상기 검사장치의 각각에 대응하여 배치되고, 상기 전기신호 중으로부터 소정값 이상의 전압값을 가지는 전압성분을 추출하는 성분 추출수단과, 상기 성분 추출수단에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출수단과, 상기 변화율 도출수단에 의하여 도출된 전압값의 시간 변화율에 의거하여 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 판정수단을 구비한 복수의 신호 검출장치와, 복수의 상기 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과를 입력하여 적어도 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다는 취지의 판정결과가 얻어진 경우에 판정결과를 사용자에게 고지하는 고지수단을 구비한 관리서버를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 청구항 9의 발명에 의하면, 복수의 신호 검출장치를 구비한 경우에 각 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과를 입력하여 판정결과를 고지하는 관리서버를 구비함으로써 관리서버가 복수의 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과의 고지를 일괄하여 행하는 것이 가능하다.

이하에 본 발명에 관한 신호 검출장치 및 신호 검출 시스템을 실시하기 위한 최선의 형태(이하, 단지「실시형태」라고 한다)에 대하여 설명한다. 또한 이하에 나타내는 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것이 아님은 물론이다.

(실시형태 1)

먼저 실시형태 1에 관한 신호 검출장치에 대하여 설명한다. 도 1은 실시형 태 1에 관한 신호 검출장치의 사용형태를 나타내는 모식도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치(1)는, 검사대상(2)에 대하여 전기 특성 등의 검사를 행하는 검사장치(3)가 생성하는 전기신호에 포함될 수 있는 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하기 위한 것이다.

구체적으로는 검사장치(3)는, 전기신호의 생성을 행하는 검사장치 본체(4)와, 검사대상(2)과 전기적으로 접속하는 기능을 가지고, 검사장치 본체(4)에 의하여 생성된 전기신호를 검사대상(2)에 대하여 출력하기 위한 테스트 헤드(5)와, 검사장치 본체(4)와 테스트 헤드(5)와의 사이를 전기적으로 접속하는 케이블 배선(6)을 구비한다. 이와 같은 구성의 검사장치(3)에 대하여 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치(1)는 케이블 배선(6)의 위에 배치됨으로써, 검사장치 본체(4)로부터 테스트 헤드(5)에 대하여 출력되는 전기신호, 본 실시형태 1에서는 검사대상(2)의 구동전력으로서 기능하는 전원 전압신호에 포함될 수 있는 불규칙 신호를 검출하는 기능을 가진다.

검사장치 본체(4)는 검사시에 필요하게 되는 전기신호를 생성·출력하는 기능과, 검사대상(2)으로부터 출력된 응답신호의 분석 등을 행하는 기능을 가진다. 본 실시형태 1에서는 검사장치 본체(4)는 검사시에 필요한 전기신호로서 적어도 검사대상(2)의 구동전력으로서 사용되는 전원 전압신호를 생성·출력하는 것으로 한다.

테스트 헤드(5)는 검사대상(2)과 전기적으로 접속하기 위한 프로브(도시 생략)를 구비함과 동시에 케이블 배선(6)과 전기적으로 접속한 구성을 가진다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 테스트 헤드(5)는 케이블 배선(6)을 거쳐 검사장치 본체(4)와 검사대상과의 사이를 전기적으로 접속하여 검사대상(2)에 대한 전기신호의 입출력을 가능하게 한다.

케이블 배선(6)은, 검사장치 본체(4)와 테스트 헤드(5)와의 사이를 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 케이블 배선(6)은 적어도 검사장치 본체(4)에 의하여 생성된 전기신호를 전파하는 기능을 가지나, 본 실시형태 1에서는 케이블 배선(6)은 검사장치 본체(4)에 의하여 생성된 전기신호 중, 검사시에 검사대상(2)의 구동에 사용되는 전원 전압신호를 적어도 전파하는 것으로 한다.

다음에 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치(1)의 구성에 대하여 설명한다. 도 2는 신호 검출장치(1)의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이 신호 검출장치(1)는 검사장치 본체(4)에 의하여 생성된 전기신호의 일례인 전원 전압신호를 입력하는 신호 입력부(8)와, 소정 강도의 전압값을 가지는 전압성분을 추출하는 성분 추출부(9)를 구비한다. 또 신호 검출장치(1)는, 성분 추출부(9)에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출부(11)와, 변화율 도출부(11)에 의하여 도출된 시간 변화율이 양의 값을 가지는 기간 동안의 소정의 타이밍과, 시간 변화율이 음의 값을 가지는 기간 동안의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 도출하는 계시부(12)와, 계시부(12)에 의하여 도출된 시간 간격에 의거하여 추출된 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 판정부(13)와, 판정결과를 고지하는 고지부(14)와, 신호 입력부(8)∼고지부(14)의 구동상태를 제어하는 제어부(15)를 구비한다.

신호 입력부(8)는 검사장치 본체(4)에 의하여 생성되고, 케이블 배선(6)을 경유하여 검사대상(2)에 대하여 출력되는 전원 전압신호를 입력하기 위한 것이다. 이와 같은 기능을 실현하는 구성으로서는 여러가지 것을 사용하는 것이 가능하나, 본 실시형태 1에서는 예를 들면 케이블 배선(6)의 위에 미리 신호 분기기구가 배치되고, 신호 입력부(8)는 일반적인 신호 입출력용의 인터페이스를 구비하는 것으로 한다. 또한 본 실시형태 1에서는 케이블 배선(6)의 구조에 대응한 형태로 신호입력을 행하는 것으로 하고 있고, 구체적으로는 신호 입력부(8)는 도 2에 나타내는 바와 같이 케이블 배선(6)에 구비되는 가이드선(6a), 센스선(6b), 포스선(6c), 리턴선(6d) 및 HGND선(6e) 중 센스선(6b) 및 리턴선(6d)을 전파하는 전기신호를 입력함으로써, 전원 전압신호를 입력한다.

성분 추출부(9)는, 소정의 문턱값 전압보다도 절대값이 크다고 판정된 전압성분을 추출하기 위한 것이다. 구체적으로는 성분 추출부(9)는, 신호 입력부(8)를 거쳐 입력된 전원 전압신호에 대하여, 소정의 문턱값 전압값보다도 절대값이 큰 성분만을 통과시키는 강도 필터(10)를 구비하고 있고, 성분 추출부(9)는, 강도 필터(10)를 통과한 전압성분을 제어부(15)에 대하여 출력하는 기능을 가진다. 강도 필터(10)의 문턱값 전압값은, 예를 들면 검사대상(2)에 대하여 무엇인가의 영향, 즉 검사대상(2)의 파괴에 이르지 않더라도 제품수명이 저하하는 등의 무엇인가의 영향을 미칠 수 있는 값으로 하는 것이 바람직하고, 검사대상(2)에 따라 개별 독립으로 정하는 것으로 하여도 된다. 또한 성분 추출부(9)에서 입력한 전기신호(전원 전압신호)를 불규칙 신호인지의 여부의 판정에 적합한 전압값이 되도록 증폭처리를 행하는 것도 바람직하다.

변화율 도출부(11)는, 성분 추출부(9)에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하기 위한 것이다. 도출하는 변화율로서는 임의의 것을 사용하여도 되나, 본 실시형태 1에서는 변화율 도출부(11)는 시간 변화율의 일례로서 전압성분의 시간 미분값을 도출하는 것으로 한다.

계시부(12)는 변화율 도출부(11)에 의하여 도출된 전압성분의 시간 변화율에 관하여 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과, 시간 변화율이 음의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 도출하기 위한 것이다. 구체적으로는 계시부(12)는 변화율 도출부(11)에 의하여 도출된 전압성분의 전압값의 시간 변화율을 시계열 데이터로서 순차 입력하는 구성을 가짐과 동시에, 이와 같은 시간 변화율의 시계열 데이터의 상승 타이밍(즉, 시간 변화율이 0부터 양의 값으로 변화하는 타이밍)을 검출하는 상승 검출부(16)와, 시계열 데이터의 하강 타이밍(즉, 시간 변화율이 0부터 음의 값으로 변화하는 타이밍)을 검출하는 하강 검출부(17)를 구비한다. 이와 같은 구성하에 계시부(12)는 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍으로서 시간 변화율의 상승 타이밍을 파악하고, 시간 변화율이 음의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍으로서 시간 변화율의 하강 타이밍을 파악하여 양자 간의 시간 간격을 도출하고, 도출 결과를 제어부(15)에 대하여 출력하는 기능을 가진다. 또한 상승 검출부(16) 및 하강 검출부(17)는 각각 소정의 비교기(컴퍼레이터)에 의하여 실현하는 것이 가능하다.

판정부(13)는, 성분 추출부(9)에 의하여 추출된 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 전압값의 시간 변화율에 의거하여 판정하는 기능을 가진다. 구체적으로는 본 실시형태 1에 있어서의 판정부(13)는, 계시부(12)에 의하여 도출된 시간 변화율에 관한 시간 간격에 의거하여 판정동작을 행하는 것으로서, 더욱 구체적으로는 시간 간격이 소정의 전원 전압신호에 포함되는 통상 신호에 있어서의 시간 간격의 최소값보다도 작은 소정의 문턱값 이하의 경우에 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다고 판정하는 기능을 가진다.

고지부(14)는 판정부(13)에 의한 판정결과를 고지하기 위한 것으로, 예를 들면 판정부(13)에 의하여 소정의 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다는 취지의 판정결과가 얻어진 경우에 상기 신호 검출장치의 사용자에 대하여 불규칙 신호가 생긴 취지의의 고지를 행하는 기능을 가진다. 고지부(14)는 예를 들면 판정결과를 시각적으로 표시하는 디스플레이 등에 의하여 구성하여도 되고, 소정의 경고음에 의하여 판정결과를 고지하는 구성으로 하여도 된다. 또 예를 들면 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치가 인터넷 등의 네트워크에 대하여 접속되어, 고지부(14)는 이와 같은 네트워크를 거쳐 사용자의 단말에 대하여 판정결과를 기재한 전자메일을 송신하는 구성의 것으로 하여도 된다.

다음에 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치의 동작을 설명한다. 도 3은 본 실시형태에 관한 신호검출장치의 동작을 설명하기 위한 플로우차트이고, 도 4는 신호 검출장치의 동작을 설명하기 위한 모식적인 그래프이다. 이하, 도 3 및 도 4를 적절하게 참조하면서 신호 검출장치의 동작을 설명한다.

먼저, 신호 검출장치는 성분 추출부(9)에 의하여 전원 전압신호 중으로부터 전압값의 절대값이 소정값 이상이 되는 전압성분을 추출하고(단계 S 101), 변화율 도출부(11)에 의하여 추출한 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출한다(단계 S102). 그리고 신호 검출장치는, 계시부(12)에 의하여 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과, 시간 변화율이 음의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 도출한다(단계 S103). 본 실시형태 1에서는 상기한 바와 같이 이와 같은 타이밍은 각각 시간 변화율의 상승 타이밍 및 하강 타이밍을 사용하는 것으로 하고, 이들 타이밍은 상승 검출부(16) 및 하강 검출부(17)에 의하여 검출되는 것으로 한다.

그후 신호 검출장치는, 판정부(13)에 의하여 단계 S103에서 도출된 시간 간격이 소정의 문턱값 이하인지의 여부의 판단을 행한다(단계 S104). 시간 간격이 문턱값 이하인 경우에는(단계 S104, Yes), 판정부(13)는 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는 것으로 판정하고(단계 S105), 판정결과가 고지부(14)에 의하여 고지된다. 한편으로, 시간 간격이 문턱값보다도 큰 경우에는(단계 S104, No), 판정부(13)는 전압성분이 불규칙 신호 이외의 것, 예를 들면 전원 전압신호를 구성하는 통상 성분이라고 판정하고(단계 S106), 판정결과가 고지부(14)에 의하여 고지된다.

단계 S101의 처리는, 전원 전압신호 중으로부터 검사대상(2)에 대하여 유의한 작용을 하지 않는 노이즈성분을 배제하기 위한 것이다. 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치는 검사대상(2)에 대하여 파괴 또는 파괴에 이르지 않더라도 제품수명의 저하 등의 영향을 미치게 할 정도의 전압 변화를 수반하는 불규칙 신호를 검 출하기 위한 것으로, 전압값의 절대값이 소정의 문턱값보다도 낮은 미소 전압성분에 대하여 해석할 필요가 없기 때문이다.

또, 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치는, 단계 Sl02∼S104에 나타낸 바와 같이 추출한 전압성분의 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍과 음의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 사용하여 불규칙 신호의 유무를 판정하는 것으로 하고 있다. 이하, 이와 같은 판정 메카니즘에 대하여 상세하게 설명한다.

도 4는 전원 전압신호의 전압값의 시간변동 및 전원 전압신호의 시간 변화율의 시간변동에 대하여 나타내는 그래프이다. 구체적으로는 도 4에 있어서의 곡선(l₁)은 전원 전압신호의 시간변동을 나타내고, 곡선(l₂)은 전원 전압신호의 시간 변화율의 시간 변동을 나타내는 모식도이다. 전원 전압신호의 통상 성분은 펄스신호에 의하여 형성되는 것이 일반적이고, 검출대상인 불규칙 신호는 이와 같은 펄스 신호 중에 돌발적인 전압 변동을 수반한 형태로 발생한다. 도 4에 나타내는 예에서는 곡선(l₁)에 나타내는 바와 같이 시각(t₁, t₃)에 각각 통상 성분인 펄스신호의 상승 및 하강이 생기는 한편으로, 시각(t₂)에 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호가 발생하고 있다.

이와 같은 구성의 전원 전압신호에 대하여 본 실시형태 1에서는 전압성분의 시간 변화율을 활용함으로써 불규칙 신호와 통상 성분을 분리하여 불규칙 신호만을 검출하는 것을 가능하게 한다. 도 4의 곡선(l₂)에 나타내는 바와 같이 전압성분의 시간 변화율의 그래프에서는 통상 성분(펄스신호)의 상승 및 하강에 기인한 피크(시각 t₁, t₃)와, 불규칙 신호에 대응한 피크(시각 t₂)가 발생한다. 여기서 곡선(l₂)에 있어서의 각각의 피크를 비교하면, 통상 성분에 대응한 시간부분에서는 양의 값 또는 음의 값만을 가지는 피크 사이의 시간 간격이 어느 정도 큰 값[도 4의 예에서는 (t₃ - t₁)]이 되는 한편으로, 불규칙 신호에 기인한 부분에서는 양의 값의 피크와 음의 값의 피크와의 사이의 시간 간격은 아주 작은 값이 된다. 이와 같이 불규칙 신호는 돌발적인 전압 변동, 즉 순간적으로 전압값이 변화하여 직후에 원래의 값으로 되돌아간다는 특성을 가지기 때문에, 불규칙 신호의 시간 변화율은 양의 값이 되는 기간과 음의 값이 되는 기간과의 사이의 시간 간격이 아주 작은 값이 된다.

본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치는, 이와 같은 시간 간격의 상위를 이용하여 불규칙 신호의 검출을 행하고 있다. 즉, 본 실시형태 1에서는 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍과, 음의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍과의 사이의 시간 간격을 통상 성분에 관하여 미리 도출하여 두고, 도출한 시간 간격보다도 작은 값을 문턱값으로서 판정부(13)는 미리 기억한다. 그리고 단계 S104에 있어서 판정부(13)는 미리 설정한 문턱값과, 단계 S103에서 도출된 전압성분의 시간 변화율에 있어서의 시간 간격을 비교함으로써, 판정대상의 전압성분이 불규칙 신호인지 통상 성분 등인지의 판정을 행한다.

이와 같은 형태로 불규칙 신호에 해당하는지의 여부의 판정을 행하기 때문 에, 본 실시형태 1에 관한 신호 검출장치는, 확실도가 높은 불규칙 신호 검출이 가능하다. 도 4의 곡선(l₂)에 나타낸 바와 같이, 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호는 펄스신호 등에 의하여 형성되는 전원 전압신호의 통상 성분과 비교하여 시간 변화율의 시계열 변화 패턴이 현저하게 다르기 때문에, 양자의 판별을 용이하게 행하는 것이 가능하고, 간이한 구성으로 확실도가 높은 불규칙 신호 검출이 가능하다.

(실시형태 2)

다음에 실시형태 2에 관한 신호 검출장치에 대하여 설명한다. 실시형태 2에 관한 신호 검출장치는 검출한 불규칙 신호의 발생 패턴에 의거하여 불규칙 신호가 혼입한 전기신호를 생성한 검사장치 본체 중의 불량부분을 추측하는 기구를 새롭게 구비한다.

도 5는 실시형태 2에 관한 신호 검출장치(20)의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이 실시형태 2에 관한 신호 검출장치(20)는, 실시형태 1에 있어서의 신호 검출장치(1)와 마찬가지로 신호 입력부(8), 성분 추출부(9),강도 필터(10), 변화율 도출부(11), 계시부(12), 판정부(13), 고지부(14), 상승 검출부(16) 및 하강 검출부(17)를 구비하는 한편으로, 불규칙 신호의 발생 패턴과 검사장치 본체 중의 불량부분과의 대응관계를 기록한 발생 패턴 데이터베이스(21)와, 검출된 불규칙 신호의 파형에 의거하여 발생 패턴 데이터베이스(21)에 기록된 정보를 참조하면서 불량부분의 추정을 행하는 불량 추정부(22)와, 이들을 포함하는 각 구성요소의 구동상태를 제어하는 제어부(23)를 새롭게 구비한다.

발생 패턴 데이터베이스(21)는, 예를 들면 동일구성의 검사장치에 관하여 과거에 생긴 불규칙 신호의 발생 패턴과, 검사장치 중의 불량 부분과의 사이의 대응관계를 기록한 것이다. 또한 발생 패턴 데이터베이스(21)에 기록되는 불규칙 신호의 발생 패턴으로서는 예를 들면 불규칙 신호의 발생 간격 외에 검출된 불규칙 신호의 파형에 관한 파라미터, 예를 들면 피크전압, 반값 폭 등의 데이터나, 파형 그 자체 등을 들 수 있다. 이들 이외의 데이터이어도 검출된 불규칙 신호로부터 도출되는 정보로서, 불량 부분의 추정에 사용하는 것이 가능한 것을 발생 패턴으로서 발생 패턴 데이터베이스(21)에 기록하는 것으로 하여도 된다.

불량 추정부(22)는 불규칙 신호의 발생 패턴에 의거하여 불규칙 신호의 발생원인인 검사장치 중의 불량 부분을 추정하기 위한 것이다. 구체적으로는 불량 추정부(22)는 판정부(13)에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 전압성분의 발생 패턴을 파악하여 발생 패턴 데이터베이스(21) 중에 기록된 정보 중으로부터 파악한 발생 패턴과 동일 또는 유사의 것을 검색하고, 발생 패턴 데이터베이스(21)에 기록된 정보 중으로부터 검색한 발생 패턴에 대응한 불량 부분의 정보를 취득하여 제어부(23)에 대하여 출력하는 기능을 가진다. 취득된 불량 부분의 정보는 제어부(23)를 경유하여 고지부(14)에 대하여 출력되고, 검출된 불규칙 신호에 대응하는 것으로 추정된 불량 부분에 관한 정보가 고지부(14)에 의하여 고지된다.

이미 설명한 바와 같이 불규칙 신호는 생성하는 전기신호의 내용을 정하는 프로그램의 오류나, 검사장치를 구성하는 전자회로의 경년열화 등을 원인으로 하여 발생하는 것으로, 발생원인에 따라 다른 발생 패턴의 불규칙 신호가 생기는 것으로 생각된다. 이 때문에 동종의 검사장치에서 과거에 생긴 불규칙 신호의 발생 패턴과 불량 부분과의 대응관계를 미리 발생 패턴 데이터베이스(21)에 기록하여 둠으로써 불규칙 신호의 검출 뿐만 아니라, 검사장치에서 생긴 불량 부분을 추정하는 것이 가능하다. 이와 같이 발생 패턴 데이터베이스(21) 및 불량 추정부(22)를 새롭게 구비함으로써 실시형태 2에 관한 신호 검출장치는, 실시형태 1에 있어서의 이점에 더하여 불규칙 신호가 검출되었을 때에 검사장치의 불량 부분을 추정하는 것이 가능하여 수리 등에 요하는 수고를 대폭으로 저감할 수 있다는 이점을 가진다.

(실시형태 3)

다음에 실시형태 3에 관한 신호 검출장치에 대하여 설명한다. 본 실시형태 3에 관한 신호 검출장치는, 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 검사장치의 수리의 필요 여부를 추정하는 기구를 가진다.

도 6은 실시형태 3에 관한 신호 검출장치의 구성을 나타내는 모식적인 블럭도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이 실시형태 3에 관한 신호 검출장치(25)는 실시형태1과 마찬가지로 신호 입력부(8), 성분 추출부(9), 강도 필터(10), 변화율 도출부(11), 계시부(12), 판정부(13), 고지부(14), 상승 검출부(16) 및 하강 검출부(17)를 구비하는 한편으로, 검출된 불규칙 신호의 발생 이력을 기록하는 발생 이력 기록부(26)와, 발생 이력 기록부(26)에 기록된 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 검사장치(3)의 수리의 필요 여부를 판정하는 수리 판정부(27)와, 이들을 포함하는 각 구성요소의 구동상태를 제어하는 제어부(28)를 구비한다.

발생 이력 기록부(26)는, 판정부(13)에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 전압성분의 발생 이력을 기록하기 위한 것이다. 또한 발생 이력 기록부(26)에 기록되는 발생 이력의 구체적인 내용으로서는, 불규칙 신호의 발생시만을 기록한 것으로 하여도 되나, 더욱 바람직하게는 발생한 불규칙 신호의 파형 등에 대해서도 아울러 기록하는 것으로 한다.

수리 판정부(27)는, 발생 이력 기록부(26)에 기록된 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 검사장치의 수리의 필요 여부를 판정하는 기능을 가진다. 구체적으로는 수리 판정부(27)는, 기록된 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 예를 들면 불규칙 신호의 발생 빈도의 시간변화를 파악하여 검사장치 내부의 전자회로 등에 수리를 필요로 하는 불량 부분이 존재하는지의 여부의 판정을 행하는 기능을 가진다. 수리 판정부(27)에 의하여 얻어진 판정결과는, 제어부(28)를 경유하여 고지부(14)에 대하여 출력되고, 사용자는 고지부(14)에 의한 고지내용에 의하여 검사장치(3)의 수리가 필요한지의 여부를 인식한다.

본 실시형태 3에 관한 신호 검출장치는, 실시형태 1에 관한 신호 검출장치의 기능에 더하여, 불규칙 신호의 검출대상인 검사장치(3)의 수리의 필요 여부를 판정하는 기능을 가진다. 불규칙 신호가 검출된 경우에 일률적으로 검사장치(3)를 수리하는 것으로 하여도 되나, 실제의 검사장치(3)의 운용상에서는 이와 같은 대응은 운용 비용면에 문제가 있다. 즉, 아주 드물게 불규칙 신호가 생기는 검사장치(3)의 경우에는 불규칙 신호가 검출되었을 때의 검사대상(2)의 열화의 유무 등을 면밀하게 검사할 필요가 있는 것은 물론이나, 반드시 신속한 수리는 필요없고, 운용 비 용의 관점으로부터 계속적으로 사용하는 것이 판단되는 경우도 존재한다. 한편으로, 불규칙 신호가 빈발하는 검사장치(3)의 경우에는 검사대상(2)의 제품수명의 저하 등의 빈발로 연결되기 때문에, 이와 같은 검사장치(3)는 신속하게 수리하거나 새로운 것으로 교환하는 것이 바람직한 것이 된다.

이 때문에 본 실시형태 3에서는 실시형태 1의 구성에 더하여, 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 검사장치(3)의 수리의 필요 여부를 판정하는 수리 판정부(27) 등을 새롭게 구비함으로써 검사장치(3)의 수리의 필요 여부를 판정하는 것으로 하고 있다. 수리 판정부(27)는 발생 이력 기록부(26)에 기록된 발생 이력 중, 예를 들면 불규칙 신호의 발생시각의 시계열 데이터에 의거하여 불규칙 신호의 발생빈도를 파악하여, 발생 빈도가 소정의 값 이상이 된 경우에 수리가 필요한다고 판정한다. 또한 수리 판정부(27)의 판정 메카니즘으로서는 발생 빈도만을 사용하는 것은 아니고, 예를 들면 발생 이력 기록부(26)에 발생한 불규칙 신호의 피크 전압 등에 관해서도 기록하고, 피크 전압의 값 등도 가미하여 수리의 필요 여부를 판정하는 것으로 하여도 좋다.

(실시형태 4)

다음에 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템에 대하여 설명한다. 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템은, 예를 들면 반도체기기 제조공장과 같이, 대량의 검사대상(2)의 검사를 행하는 환경에 대응하기 위하여 복수의 검사장치를 동시에 사용하는 경우에 사용되는 것으로서, 실시형태 1 등과 동일한 구성을 가지는 복수의 신호 검출장치를 관리서버에 의하여 일원적으로 관리하는 시스템에 의하여 실현 된다.

도 7은 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 7에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템은, 복수의 검사장치(3-1∼3-n)(n : 2 이상의 자연수)에 대하여 적용되는 것으로, 검사장치(3-1∼3-n)의 각각에 대응하여 배치된 신호 검출장치(30-1∼30-n)와, 신호 검출장치(30-1∼30-n)의 각각이 접속된 네트워크(31)와, 네트워크(31)와 접속되어 네트워크(31)를 거쳐 신호 검출장치(30-1∼30-n)로부터 소정의 정보를 취득함과 동시에 신호 검출장치(30-1∼30-n)의 관리를 행하는 관리서버(32)를 구비한다.

신호 검출장치(30-1∼30-n)는, 실시형태 1 ∼ 실시형태 3 중 어느 하나에 관한 신호 검출장치와 동일한 기본구성을 가짐과 동시에, 네트워크(31)와 접속하기 위한 소정의 인터페이스를 구비한다. 따라서 실시형태 1 ∼ 실시형태 3에서 설명한 바와 같이 전원 전압신호 중으로부터 소정 강도의 전압성분을 추출하고, 추출한 전압성분의 시간 변화율을 도출하여 시간 변화율에 의거하는 소정의 시간 간격을 도출한 후에, 시간 간격에 의거하는 판정처리를 행함으로써, 불규칙 신호를 검출하는 기능을 가진다.

네트워크(31)는, 신호 검출장치(30-1∼30-n)와 관리서버(32)와의 사이의 정보전송을 가능하게 하기 위한 것이다. 따라서 네트워크(31)의 구체예로서는 이와 같은 기능을 실현할 수 있는 것이면 되고, LAN(Local Area Network), WAN(Wide Area Network), 인터넷, 무선 LAN 등, 임의의 구성의 것을 사용하는 것이 가능하다.

관리서버(32)는, 복수로 배치된 신호 검출장치(30-1∼30-n)를 일원적으로 관리하기 위한 것이다. 구체적으로는 관리서버(32)는, 신호 검출장치(30-1∼30-n)로부터 출력된 정보가 입력되고, 입력된 정보에 의거하여 검사장치(3-1∼3-n) 중 어느 하나에서 불규칙 신호가 생긴 경우에 불규칙 신호의 발생을 사용자에 대하여 고지하는 기능을 최저한 구비한다.

다음에 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템의 이점에 대하여 설명한다. 예를 들면 반도체기기의 제조공장에서는 실시형태 1 ∼ 실시형태 3에서 설명한 신호 검출장치는, 단체만 사용하는 것이 아니고, 복수의 신호 검출장치를 병행하여 동작시키는 형태로 사용되는 것이 일반적이다. 이와 같은 경우에 복수의 신호 검출장치의 각각을 단독으로 동작시킨 경우, 사용자는 각각의 신호검출장치에 대하여 불규칙 신호가 검출되었는지의 여부를 차례로 확인할 필요가 있어, 신호 검출장치의 운용이 매우 번잡한 것이 된다.

이것에 대하여, 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템에서는 관리서버(32)를 새롭게 설치하고, 네트워크(31)를 거쳐 복수의 신호 검출장치(30-1∼30-n)에서 취득한 정보를 관리서버(32)가 일원적으로 관리하여, 불규칙 신호가 발생하였을 때의 고지를 일원적으로 행하는 구성으로 한다. 따라서 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템에서는 사용자는 신호 검출장치(30-1∼30-n)의 각각을 차례로 확인할 필요는 없고, 관리서버(32)의 구동상황만을 확인함으로써 신호 검출장치(30-1∼30-n)의 구동상황을 파악하는 것이 가능하다. 따라서 본 실시형태 4에 관한 신호 검출 시스템은 사용자의 관리상의 부담을 경감할 수 있음과 동시에, 신호 검출장 치(30-1∼30-n)에 대응한 검사장치(3-1∼3-n)에서 불규칙 신호가 발생한 경우에 신속하게 대처할 수 있다는 이점을 가진다.

이상, 실시형태 1 ∼ 실시형태 4에 걸쳐 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정하여 해석해야만 하는 것은 아니고, 당업자이면 여러가지 실시예, 변형예 등에 상도하는 것이 가능하다. 예를 들면, 실시형태 1 ∼ 실시예 4에서는 불규칙 신호의 혼입을 검출하는 대상인 전기신호로서, 전원 전압신호를 사용하는 것으로 하였으나, 전원 전압신호 이외에 관하여 불규칙 신호를 검출하는 구성도 유효하다. 예를 들면 검사장치 내부에서 사용되는 전기신호에 있어서도 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호가 혼입함으로써 검사장치 내부의 전자회로에 손상을 주는 등의 폐해가 있기 때문에, 불규칙 신호를 검출하는 것이 유용하기 때문이다.

또, 시간 간격을 도출할 때에 기준이 되는 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍 및 음의 값이 되는 기간의 소정의 타이밍은, 반드시 상기한 상승 타이밍 및 하강 타이밍이 아니어도 된다. 상기한 불규칙 신호의 판정 메카니즘으로부터도 분명한 바와 같이, 판정에 사용하는 시간 간격은 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간과 음의 값이 되는 기간과의 사이의 시간 간격이면 되고, 예를 들면 양의 값의 피크가 되는 타이밍과, 음의 값의 피크가 되는 타이밍과의 사이의 시간 간격을 판정에 사용하는 것으로 하여도 좋다.

또한 상기한 판정 메카니즘에 더하여, 전원 전압신호 등의 전기신호의 예정 패턴과, 실제로 생성된 전기신호의 패턴을 비교하는 기구를 설치하는 것도 유효하 다. 즉, 예정 패턴과 다른 위치에 피크가 형성된 경우에는, 이와 같은 피크는 불규칙 신호에 해당할 가능성이 높기 때문에, 상기한 판정 메카니즘과는 별도로 예정 패턴과 실제의 패턴을 비교함으로써 불규칙 신호 검출을 행하는 기구를 병설함에 의하여 더욱 확실도가 높은 불규칙 신호 검출을 실현할 수 있다는 이점을 가진다.

본 발명에 관한 신호 검출장치 및 신호 검출 시스템은, 전기신호 중으로부터 추출한 전압성분에 관하여 시간 변화율을 도출하고, 시간 변화율에 의거하여 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부의 판정을 행하는 구성을 채용하였기 때문에, 전기신호 중에 본래적으로 포함되는 통상 성분과 달리 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 확실하게 검출할 수 있다는 효과를 가진다.

또, 본 발명에 관한 신호 검출 시스템은, 복수의 신호 검출장치를 구비한 경우에 각 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과를 입력하여 판정결과를 고지하는 관리서버를 구비함으로써 관리서버가 복수의 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과의 고지를 일괄하여 행하는 것이 가능하고, 사용자는 복수의 신호 검출장치의 각각 에 있어서의 판정결과를 용이하게 인식할 수 있다는 효과를 가진다.

Claims (9)

1. 소정의 검사대상의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 생성한 전기신호 중에 혼입할 수 있는 신호로서 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하는 신호 검출장치에 있어서,

   상기 전기신호 중으로부터 전압값의 절대값이 소정값 이상이 되는 전압성분을 추출하는 성분 추출수단과,

   상기 성분 추출수단에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출수단과,

   상기 변화율 도출수단에 의하여 도출된 전압값의 시간 변화율에 있어서의 시간 간격을 미리 설정된 문턱값과 비교하여, 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 판정수단과,

   적어도 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다고 상기 판정수단에 의하여 판정되었을 때에, 판정결과를 사용자에게 고지하는 고지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 전기신호는, 검사시에 상기 검사장치로부터 상기 검사대상에 대하여 출력되고, 상기 검사장치의 구동전력으로서 기능하는 전원 전압신호인 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 판정수단은, 상기 시간 변화율이 양의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍과, 음의 값이 되는 기간에 있어서의 소정의 타이밍 사이의 시간 간격이 미리 설정된 문턱값 이하인 경우, 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 시간 변화율의 0부터 양의 값으로의 변화를 검출하는 상승 검출수단과,

   상기 시간 변화율의 0부터 음의 값으로의 변화를 검출하는 하강 검출수단을 더 구비하고,

   상기 판정수단은, 상기 상승 검출수단의 검출 타이밍과, 상기 하강 검출수단의 검출 타이밍과의 사이의 시간 간격이 미리 설정된 문턱값 이하인 경우, 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,

   상기 판정수단은, 상기 시간 간격이 상기 전기신호 중의 통상 성분에 있어서의 시간 간격의 최소값보다도 작은 소정의 문턱값 이하가 된 경우에, 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다고 판정하는 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 판정수단에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 상기 전압성분의 발생 패턴을 파악하고, 상기 발생 패턴에 대응되는 불량 부분의 정보를 이용하여 상기 검사장치 중의 상기 불량 부분을 추측하는 불량 추측수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 불규칙 신호의 발생 패턴과 상기 검사장치의 불량 부분과의 대응관계를 기록한 발생 패턴 데이터베이스를 더 구비하고,

   상기 불량 추측수단은, 상기 판정수단에 의하여 불규칙 신호에 해당한다고 판정된 전압성분의 발생 패턴에 의거하여, 상기 발생 패턴 데이터베이스에 기록된 대응관계를 참조하면서 상기 검사장치의 불량 부분을 추측하는 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 불규칙 신호의 발생 이력을 기록하는 발생 이력 기록부와,

   상기 발생 이력 기록부에 기록된 불규칙 신호의 발생 이력에 의거하여 상기 검사장치의 수리의 필요 여부를 판정하는 수리 판정수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 신호 검출장치.
9. 소정의 검사대상의 전기적 특성을 검사하는 복수의 검사장치가 생성한 전기신호 중에 혼입할 수 있는 신호로서 돌발적인 전압 변동을 수반하는 불규칙 신호를 검출하는 신호 검출 시스템에 있어서,

   복수의 상기 검사장치의 각각에 대응하여 배치되고, 상기 전기신호 중으로부터 소정값 이상의 전압값을 가지는 전압성분을 추출하는 성분 추출수단과, 상기 성분 추출수단에 의하여 추출된 전압성분에 있어서의 전압값의 시간 변화율을 도출하는 변화율 도출수단과, 상기 변화율 도출수단에 의하여 도출된 전압값의 시간 변화율에 있어서의 시간 간격을 미리 설정된 문턱값과 비교하여 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당하는지의 여부를 판정하는 판정수단을 구비한 복수의 신호 검출장치와,

   복수의 상기 신호 검출장치에 의하여 얻어진 판정결과를 입력하여, 적어도 상기 전압성분이 불규칙 신호에 해당한다는 취지의 판정결과가 얻어진 경우에 판정결과를 사용자에게 고지하는 고지수단을 구비한 관리서버를 구비한 것을 특징으로 하는 신호 검출 시스템.

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