JPH04249335A - プローブ検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体チップを検
査する場合に用いるプローブ検査システムに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体チップの検査において、検
査装置であるテスターと、その測定部であるプローバー
および、検査データ表示器であるステーションがある。 このような検査装置にあっては、検査データをリアルタ
イムで解析し、プローバーが正常に動作しているか監視
することが重要であり、かつ測定されたデータを不良原
因解析のためウエハ毎に保有する必要があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の実際のプローブ検査では、検査途中でプローバーの状
態を監視することは困難であった。そのために本来良品
であるべき半導体チップが、プローバーの異常によって
不良と判定されることがあった。また、全ての検査デー
タをウエハ毎に保有するには、ウエハ検査毎に、ステー
ションに付属しているプリンタからオペレータが手動操
作による出力をしなければならないために事実上不可能
であった。

【０００４】本発明は上記従来の問題を解決するもので
、プローバーの測定進行状態に対応して、プローバーの
状態を監視し本来良品であるべき半導体チップがプロー
バーの異常によって不良判定されることなく、かつ全て
の検査データを収集管理することができるプローブ検査
システムを提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のプローブ検査システムは、検査測定部である
プローバーが接続されたテスターのステーションにおい
て不良カテゴリー信号を検出可能な信号検出手段と、前
記信号検出手段からの不良カテゴリー信号を検査データ
として収集し前記プローバーの状態を監視して異常と判
定すると前記プローバーを停止処理する機能を有する収
集手段と、前記収集手段をコントロールするとともに、
前記収集手段で収集したデータを集計管理する機能を有
するコンピュータとを備えたものである。

【０００６】

【作用】上記構成により、テスターのステーションから
、収集手段で不良カテゴリーの検査データを収集し基準
値と比較処理してリアルタイムにプローバーの状態を監
視し、異常と判断されると収集手段がプローバーを停止
させて速やかに適切な処置が実行できるようにする。 これにより、従来のように、本来良品であるべき半導体
チップがプローバーの異常によって不良判定されること
はなくなる。また、収集手段はコンピュータへ収集した
検査データを送出し、コンピュータはこれを解析用デー
タとして集計管理するので、不良原因の解析などが容易
となる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の一実施例のプローブ
検査システムの構成を示すブロック図である。図１にお
いて、テスター１は半導体チップの検査装置であり、プ
ローバー２はテスター１の測定部である。テスター１の
ステーション３は、検査データ表示器４、その後段の信
号検出装置５、さらにその後段の出力インターフェース
６から構成されており、検査データ表示器４で検査デー
タを表示するとともに、信号検出装置５で不良カテゴリ
ーの検査データと状態信号である検査スタート信号を検
出する機能を有する。ステーション３の出力インターフ
ェース６およびプローバー２に接続される収集装置７は
、入出力インターフェース８、入出力インターフェース
８に接続される演算装置としてのＣＰＵ９、ＣＰＵ９に
接続される記憶装置１０およびカウンタ１１から構成さ
れており、検査スタート信号の検出によりステーション
３の出力インターフェース６からの不良カテゴリーの検
査データを収集し、不良カテゴリーの検査データ毎のカ
ウンタ１１のカウント値と記憶装置１０の基準データと
をＣＰＵ９で比較処理し、この比較処理結果によりプロ
ーバー２を監視して異常と判定するとプローバー２の停
止処理を行う機能を有する。収集装置７の入出力インタ
ーフェース８に接続されるコンピュータ１２は、入出力
インターフェース１３、入出力インターフェース１３に
接続される演算装置としてのＣＰＵ１４、ＣＰＵ１４に
接続されるキーボード１５、ディスプレイ１６およびデ
ータベース１７から構成されており、収集装置７をコン
トロールして基準データの設定および初期設定可能であ
り、また、収集装置７で収集されたデータを集計管理す
る機能を有する。コンピュータ１２の入出力インターフ
ェース１３はプリンタ１８に接続されて、プリンタ１８
から各種集計出力が可能である。 また、コンピュータ１２の入出力インターフェース１３
はプローバー状態表示盤１９に接続されて、プローバー
２の停止をオペレータに知らせる。以上によりプローブ
検査フェールストップシステムが構成される。

【０００８】上記構成により、以下その動作を説明する
。まず、スタート準備として、プローバー２の異常を判
定するための基準データとして、コンピュータ１２のキ
ーボード１５から入力される基準データまたは、あらか
じめデータベース１７に記憶されている基準データを、
入出力インターフェース１３を介して収集装置７に送出
する。 収集装置７は入出力インターフェース８を介して記憶装
置１０へ基準データを格納する。このとき、すでに基準
データが記憶装置１０に格納されていれば、これを更新
する。そして、カウンタ１１を初期化してステーション
３からの検査スタート信号を待つ。

【０００９】次に、ステーション３は、データ表示部４
からの検査スタート信号および不良カテゴリー表示信号
を信号検出装置５で検出し、出力インターフェース６を
介してこれらの信号を収集装置７へ送出する。そして、
収集装置７は入出力インターフェース８を介して検査ス
タート信号を検出すると、不良カテゴリー信号を検出毎
に、項目Ｎｏ．別にカウンタ１１でカウントすると同時
に、記憶装置１０の基準データとカウントした値とをＣ
ＰＵ９で比較する処理を検査終了信号を検出するまで繰
り返す。すなわち、収集装置７は項目毎の不良率の変化
でリアルタイムにプローバー２の状態を監視する。検査
終了信号を検出すると、カウントした値を不良カテゴリ
ー信号の項目Ｎｏ．別に１ウエハの検査データとして、
入出力インターフェース８を介してコンピュータ１２へ
送出し、カウンタ１１を初期化する。

【００１０】以上の処理を繰り返して実行し、検査終了
信号を検出するまでに、カウントした値が基準データ値
に達した場合、すなわち、不良率が異常と判断された場
合、収集装置７は、入出力インターフェース７を介して
プローバー２に停止信号を送出すると同時に、オペレー
タにプローバー２が停止したことを知らせるため、プロ
ーバー状態表示盤１９にプローバー２が停止したことを
表示させる信号を送出し、集計装置７は再びステーショ
ン３から再スタート信号を検出するまで信号検出待ちの
状態となる。このとき、プローバー状態表示盤１９によ
ってオペレータはプローバー２が停止したことを知ると
、速やかに適切な処置を行いプローバー２を再スタート
させる。

【００１１】一方、収集装置７で収集されたデータはコ
ンピュータ１２のＣＰＵ１４に入出力インターフェース
１３を介してウエハ毎に送出され、コンピュータ１２は
受け取った検査データを解析用データとしてデータベー
ス１７に蓄積するとともに、現在までの検査結果をロッ
ト単位に累計し、その状況を不良カテゴリーの項目Ｎｏ
．別にディスプレイ１６で表示する。また、コンピュー
タ１２のもう一つの機能としてデータベース１６に蓄積
されたウエハ検査データを、ロット単位でグラフあるい
は、集計表形式などにして任意にプリンタ１８でプリン
ト出力することができ、不良原因の解析に威力を発揮す
る。

【００１２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、プローバ
ーのリアルタイム監視および自動フェールストップによ
る良品チップの救済と、集積された検査データの活用に
よる不良原因解析に威力を発揮することができるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のプローブ検査システムの構
成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１　　　　テスター ２　　　　プローバー ３　　　　ステーション ５　　　　信号検出装置 ７　　　　収集装置 ８、１３　　　　入出力インターフェース９、１４　　
　　ＣＰＵ １０　　　　記憶装置 １１　　　　カウンタ １２　　　　コンピュータ １５　　　　キーボード １６　　　　ディスプレイ １７　　　　データベース

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】検査測定部であるプローバーが接続された
   テスターのステーションにおいて不良カテゴリー信号を
   検出可能な信号検出手段と、前記信号検出手段からの不
   良カテゴリー信号を検査データとして収集し前記プロー
   バーの状態を監視して異常と判定すると前記プローバー
   を停止処理する機能を有する収集手段と、前記収集手段
   をコントロールするとともに、前記収集手段で収集した
   データを集計管理する機能を有するコンピュータとを備
   えたプローブ検査システム。