JPS63234543A - 半導体集積回路の自動選別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路（以下ＩＣと呼ぶ）の良品、不
良品を区別する自動選別装置（以下オートハンドラと呼
ぶ）、特に良品ＩＣが前記ハンドラの良品収納部に収納
され、或いは不良品ＩＣが不良品収納部に収納されたか
どうかを確認できるオートハンドラに関するものである
。

〔従来の技術〕

従来、この種のオートハンドラは、電気的特性を測定す
る試験評価装置（以下ＩＣテスタと呼ぶ）からの前記Ｉ
Ｃに対する良・不良信号を受け、良品、不良品を該当す
る収納パレットに収納するだけであり、その良・不良品
の数量は前記ＩＣテスタの良・不良信号をカウントし表
示するのみであった・ 〔発明が解決しようとする問題点〕 近年、ＩＣの選別作業においては、前記ＩＣ１個あたり
の４１す定時間を短縮し、作業能率向上を図るため、１
台のハンドラで複数個同時に測定している。

測定終了後、ハンドラはＩＣテスタからの複数個のＩＣ
に対する判定結果を同時に受け、各々のＩＣを判定結果
に基づき定められた収納パレッ１へに収納するようにな
っている。

前記オートハンドラはフロア効率向上、価格低減等を考
慮し測定部のみ複数系統のラインを有するが、収納パレ
ット付近で１ラインに統合し該当パレットに収納するよ
うになっているが、このとき、ＩＣの分類は良品区分数
種（能力区分）、不良区分、分類不明区分と数種の分類
が必要となるため、前記ＩＣテスタの判定結果が正しく
前記オートハンドラに伝えられその判定結果通り正しく
該当収納パレットへ収納されたかどうか判別するのが非
常に困難になってきている。

又、測定終了から製品収納までの間に何らかのトラブル
によりオートハンドラが停止し、その解除においてシス
テムクリヤにて解除を行ったとき、不良混入防止の立場
より製品は分類不明区分に収納され再測定となる。

すなわち、オートハンドラの異常動作の発見は困難であ
り、作業者にとって正常分類されたか否かの判断が難し
いという欠点がある。

本発明の目的は異常動作の発見及び良品、不良品の正常
分類の判断を容易にした半導体集積回路の自動選別装置
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は半導体集積回路試験評価装置からの分類信号を
自動選別装置の正常動作時のみカウントアツプする第１
のカウンターと、製品が実際に収納されたときのみカウ
ントアツプする第２のカウンターと、第１のカウンター
と第２のカウンターとの内容を比較しその内容が一致し
ているかどうか検知する比較部と、比較部での比較結果
を表示する表示部とを有することを特徴とする半導体集
積回路の自動選別装置である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図において、２はオートハンドラであり、オートハ
ンドラ２は、製品（半導体集積回路）を個々に供給する
製品供給パレット５と、該パレツ１−５から供給された
製品の電気的特性を測定する製品測定部６と、カテゴリ
ー毎の良品収納パレット７及び不良品収納パレット８並
びに分類不明品収納パレッ１−９とを有する。

また、１はＩＣテスタであり、該ＩＣテスタ１は、オー
トハンドラ２の製品測定部６との間で信号の授受を行う
製品測定電気回路３と、該製品測定電気回路３からの出
力を受けて良品、不良品の分類信号を出力するカテゴリ
ー発生回路４とを備えている。

さらに本発明はカテゴリー毎のトータルカウンタ１１と
、ＩＣテスタ１からの分類信号をオートハンドラ２の正
常動作時のみカウントアツプするカテゴリー毎の良品カ
ウンタ１２と、製品が実際に収納パレットに収納された
ときのみカウントアツプするカテゴリー毎の収納カウン
タ１３と、カウンタ１２とカウンタ１３との内容の一致
を比較検知する製品数量一致判定回路１４と、カウンタ
内容の比較結果を表示するカウンタ内容表示回路１５と
を備えている。

実施例において、オートハンドラ２の製品供給パレット
５から送りだされた製品は測定部６で、ＩＣテスタ１の
製品測定電気回路３からの信号に基づいてその電気的特
性が測定される。その良・不良の判定信号はカテゴリー
発生回路４よりオートハンドラ２へ送られ、定ったカテ
ゴリー毎の良品収納パレット７あるいは不良品収納パレ
ット８へ該当する製品が収納され、カテゴリー毎のトー
タルカウンタ１１にて数量がカウントアツプされる。

このとき、ＩＣテスタ１からの良・不良信号はオートハ
ンドラ２が正常動作時はカテゴリー毎の良品カウンタ１
２がカウントアツプし、製品が製品収納パレットへ収納
されるとき収納カウンタ１３もカウントアツプする。オ
ートハンドラ２が製品測定後、何らかのトラブルにより
停止し解除後、イニシャルスイッチ１０にて復帰させた
とき、製品は分類不明区分納パレット９へ収納し、良品
収納パレット７へ収納されないため、良品カウンタ１２
及び収納カウンタ１３はカウントアツプしない状態とな
る。

このような状態で次々に製品を選別し、ロット終了後、
カウンタ内容表示回路１５にトータルカウンタ１１、良
品カウンタ１２、収納カウンタ１３の内容を表示すると
共に製品数量一致判定回路１４で良品カウンタ１２と収
納カウンタ１３の内容を比較し、その結果もあわせて表
示するものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明はカテゴリー毎のトータルカ
ウンタ内容とＩＣテスタのカテゴリー分類カウンタの内
容を比較することにより、ＩＣテスタとオートハンドラ
間のインターフェースの確認を行うことができ、又、良
品カウンタの内容と収納カウンタの内容を比較すること
により、オートハンドラ自体の誤動作が確認でき、かつ
現物の数量を確認することにより作業者がミスをしたか
どうかの判定を行うことができる。

このように各チェックを行うことにより製品の不良混入
を未然に防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のオートハンドラを示すブロック図であ
る。 １・・・ＩＣテスタ　　　　　　２・・・オートハンド
ラ３・・・製品測定電気回路　　　４・・・良・不良の
カテゴリー発生回路５・・・製品供給パレット　　　６
・・・製品測定部７・・・カテゴリー毎の良品収納パレ
ット８・・・不良品収納パレット　　９・・・分類不明
品収納パレット１０・・・イニシャルスイッチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体集積回路試験評価装置からの分類信号を自
   動選別装置の正常動作時のみカウントアップする第１の
   カウンターと、製品が実際に収納されたときのみカウン
   トアップする第２のカウンターと、第１のカウンターと
   第２のカウンターとの内容を比較しその内容が一致して
   いるかどうか検知する比較部と、比較部での比較結果を
   表示する表示部とを有することを特徴とする半導体集積
   回路の自動選別装置。