JP4383993B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
− クランプ面を有するチャックを有しており、該クランプ面はこれに形成された少なくとも1つの突起を有し、基板はクランプされる際に少なくとも1つの該突起により支持され、それによりクランプ面と基板間のスペースが画成され、また、該クランピングシステムは、
− クランプ面と基板間の該スペースを通って液体を排出入するポンプを備え、
− クランプ面と基板間のスペース内の該液体は、該基板の反対側の流体よりも低圧であり、それにより正味の力が該基板に及ぼされて該基板をクランプ面に保持することを特徴とする。
− 放射線ビームB(例えばUV放射線あるいはDUV放射線)を調整するように構成された照明システム(照明装置)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、かつ、特定のパラメータに基づいて正確にパターニングデバイスの位置決めを行うように構成された第一ポジショナPMに連結を行った支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジスト塗布ウェハ)を保持するように構成され、かつ、特定のパラメータに基づいて正確に基板の位置決めを行うように構成された第二ポジショナPWに連結を行った基板テーブル(例えばウェハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAにより投影ビームBに与えられたパターンを、基板Wの目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズ)PSとにより構成されている。
1. ステップモードにおいて、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは基本的に静止状態に維持されており、投影ビームに与えられた全体パターンが1回の作動(すなわちシングル静的露光)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがx方向および/あるいはy方向にシフトされ、異なる目標部分Cが露光可能となる。ステップモードにおいては、露光フィールドの最大サイズにより、シングル静的露光にて結像される目標部分Cのサイズが制限される。
2. スキャンモードにおいて、投影ビームに与えられたパターンが目標部分Cに投影されている間、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは同時走査される(すなわちシングル動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの拡大(縮小)および像反転特性により判断される。スキャンモードにおいては、露光フィールドの最大サイズにより、シングル動的露光における目標部分の幅(非走査方向における)が制限される。一方、走査動作長が目標部分の高さ(走査方向における)を決定する。
3. 他のモードにおいて、マスクテーブルMTは、プログラム可能パターニング手段を保持し、基本的に静止状態が維持される。そして、基板テーブルWTは、投影ビームに与えられたパターンが目標部分Cに投影されている間、移動あるいは走査される。このモードにおいては、一般にパルス放射線ソースが用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは、基板テーブルWTの各運動後、もしくは走査中の連続的放射線パルスの間に、要求に応じて更新される。この稼動モードは、上述のようなタイプのプログラム可能ミラーアレイといった、プログラム可能パターニング手段を使用するマスクレスリソグラフィに容易に適用可能である。
Claims (5)
- パターンをパターニング装置から基板に転写するように調整され、かつ、基板をキャリアに保持するクランピングシステムを備えた液浸リソグラフィ装置において、
クランピングシステムは、クランプ面と該クランプ面から隆起した周囲とを有するチャックを有しており、該クランプ面はこれに形成された少なくとも1つの突起を有し、基板はクランプされる際に少なくとも1つの該突起により支持され、それによりクランプ面と基板間のスペースが画成され、
またクランピングシステムは、チャックの前記隆起した周囲により画成されるスペースへ浸液を少なくとも液浸リソグラフィ装置における投影システムの最終構成要素が浸るまで供給し、クランプ面と基板間の前記スペースから該浸液を排出するポンプを備えており、
チャックの前記隆起した周囲により画成される前記スペースに供給された前記浸液が液浸リソグラフィ装置における投影システムの最終構成要素と基板間のスペースを充填する一方、クランプ面と基板間の前記スペース内の前記浸液が基板の反対側を流れる前記浸液よりも低圧とされ、それにより基板がクランプ面に保持される、ことを特徴とする液浸リソグラフィ装置。 - 少なくとも1つのパッセージが、クランプ面に少なくとも1つの開口を有するようにチャックに形成され、また上記ポンプは、少なくとも1つの該パッセージを通って上記浸液を排出して、基板にわたって圧力差を作り出すことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- さらに上記浸液を濾過するフィルタを備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 上記ポンプは閉液体回路を形成することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 上記ポンプが上記浸液を排出入する方向を逆にするコントローラをさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
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