JP4200926B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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Description
そのため、設計作業の負担が増え、製品の開発期間が長くなるという不利益が生じている。
そのため、上記電源スイッチセルは、上記回路セルの配置領域に分散して配置され、上記電源スイッチセルによる電源供給の遮断は、比較的少数の回路セルごとに、きめ細かく行われる。これにより、回路ブロックごとに電源スイッチを設ける従来の方法に比べて、電源スイッチによる電源の電圧降下が小さくなるとともに、上記電源スイッチセルの配置の自由度が高まる。
これにより、電源の配線構造の対称性が高まる。
上記スイッチ用トランジスタの駆動能力を、上記スイッチ用トランジスタを介して電源が供給される回路セルの消費電力に応じた適切な大きさに設定することで、上記トランジスタ用スイッチの駆動能力を一律に設定する場合に比べて、電源電圧の低下を抑えつつ、回路面積やリーク電流を小さくすることが可能になる。
これにより、上記回路セルの配置密度が向上する。
この場合、上記第1の分岐線および上記第2の分岐線は、同一の配線層において並んで形成されても良いし、あるいは、異なる配線層において互いに向かい合って形成されても良い。
更に、この場合、上記電源スイッチセルは、上記第1の分岐線上に挿入される第5の配線と、上記第2の分岐線上に挿入される第6の配線と、上記第1の分岐線と上記第2の分岐線との間に接続されるスイッチ回路とを含んでも良い。
また、電源スイッチセルによる電源の電圧降下を抑えることができるため、電源スイッチセルで生じる電圧降下が信号遅延に与える影響を緩和できる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体集積回路の構成の一例を示す図である。同図においては、電源に関連する配線と、これに接続される回路セルとが概略的に図解されている。
分岐線群BL2は、本発明の分岐線群の一実施形態である。
回路セル10は、本発明の回路セルの一実施形態である。
電源スイッチセル20は、本発明の電源スイッチセルの一実施形態である。
電源線群PL2は、電源線群PL1に対して直交する向きで、縞状に配置されている。図1の例では、ほぼ等間隔で平行に配置されている。
そして、この縞状の電源線群PL1と縞状の電源線群PL2とが互いに交わり合って、格子縞状の電源線パターンを形成している。
この電源入力用セル41および42を介して、半導体集積回路の外部から電源線VSSおよびVDDに電源電圧が供給される。
また、分岐線群BL1およびBL2は、それぞれ、電源線群PL1と所定の角度をなす方向に伸びて形成される。例えば図1に示すように、電源線群PL1と直交する方向に伸びて形成される。
半導体集積回路に含まれる回路セル10は、基本的に、こうした分岐線群から電源供給を受ける。ただし、常時動作する等により電源線の遮断が不要な回路については、例えば図1に示す回路ブロック30のように、分岐線群を経由せず、電源線群から直接電源供給を受けるものも含まれる。
一方、分岐線群BL2も、2つの分岐線(VDDBおよびVSSB))を有する。分岐線VDDBは電源線VDD、分岐線VSSBは電源線VSSにそれぞれ接続される。
分岐線群BL1とBL2との違いは、電源スイッチセル20の挿入の有無にある。すなわち、両者のうち、分岐線群BL2上には、電源スイッチセル20が挿入される。
例えば、電源スイッチセル20は、スイッチ用トランジスタを含んでおり、入力される制御信号に応じて、分岐線群BL2の少なくとも一方の分岐線を切断する。
MTCMOS型の半導体集積回路の場合、このスイッチ用トランジスタには、高しきい電圧のMOSトランジスタが用いられる。例えば、分岐線VSSBを制御信号に応じて切断する場合、スイッチ用トランジスタとして高しきい電圧のn型MOSトランジスタが用いられる。分岐線VDDBを制御信号に応じて切断する場合は、高しきい電圧のp型MOSトランジスタが用いられる。
図2において、符号‘40’は、電源入力用セル41および42を含む入出力用セルを示す。その他、図1と図2の同一符号は同一の構成要素を示している。
図2に示す電源非遮断領域A1と電源遮断領域A2は、各分岐線群における電源スイッチセル20の挿入の有無を選択することによって、それぞれの範囲を自由に定めることが可能である。
そのため、電源スイッチセル20を、回路セル10の配置可能な領域に広く分散して配置して、電源スイッチセル20による電源供給の遮断を、比較的少数の回路セルごとに、きめ細かく行うことが可能になる。
これにより、回路ブロックごとに電源スイッチを設ける従来の方法に比べて、電源スイッチセル20に流れる電源電流が減少して、その電源電圧降下が小さくなるため、電源スイッチセル20で生じる電圧降下が信号遅延に与える影響を緩和できる。
また、回路ブロックの外部に電源スイッチを配置する従来の方法に比べて、電源スイッチセル20の配置の自由度が高くなり、図2や図3に示すように電源遮断領域を自由に定めることが可能になるため、電源スイッチセル20を含めたレイアウトの自動設計を容易に実現できる。したがって、従来人手で行われていた設計作業の負担を軽減し、開発期間の短縮を図ることができる。
次に、本発明の第2の実施形態を述べる。
図4に示す回路セル11は、p型MOSトランジスタQp1およびn型MOSトランジスタQn1の直列回路として構成されるインバータ回路と、このインバータ回路に電源を供給する配線L111およびL112を有する。
なお、図4においては一例としてインバータ回路セルを示しているが、本実施形態で述べる回路セル11には、例えばNAND回路セルなどのように、基本回路として用いられる他の種々の回路セルも含まれる。
電源スイッチセル21は、n型MOSトランジスタQn2と、配線L211〜L213とを有する。
n型MOSトランジスタQn2は、本発明のスイッチ回路の一実施形態である。
配線L211は、本発明の第1の配線の一実施形態である。
配線L212は、本発明の第2の配線の一実施形態である。
n型MOSトランジスタQn2がオンすると、配線L211と配線L212とが接続され、2つの分岐線VSSBにつながる回路セル11に電源が供給される。n型MOSトランジスタQn2がオフすると、配線L211と配線L212とが切り離され、回路セル11への電源供給が遮断される。
図6の例では、電源線群PL1から分岐線群BL2−1〜BL2−4が分岐している。分岐線群BL2−1〜BL2−4は、それぞれ分岐線VDDBおよびVSSBを有しており、何れも電源線群PL1と直交する方向に伸びている。
分岐線群BL2−3およびBL2−4は、互いに隣接しており、分岐線VSSB共有している。
分岐線群BL2−2およびBL2−4は、電源線群PL1の共通の分岐点から分岐しており、共通の電源スイッチセル21を経由して、互いに反対方向に伸びている。
電源線VDDから配線L213へ分岐する配線には、配線層を貫いて電源線VDDとその下層の配線L213とを接続するコンタクト配線CT1が用いられる。
その他、第1の実施形態に係る半導体集積回路と同様な構成によって、これと同様な効果を奏することができる。
次に、本発明の第3の実施形態を述べる。
電源スイッチセル22は、n型MOSトランジスタQn3と、配線L221〜L223とを有する。
n型MOSトランジスタQn3は、本発明のスイッチ回路の一実施形態である。
配線L221は、本発明の第3の配線の一実施形態である。
配線L222は、本発明の第4の配線の一実施形態である。
n型MOSトランジスタQn3がオンすると、配線L221と配線L222とが接続され、分岐線VSSB1につながる回路セル11に電源が供給される。n型MOSトランジスタQn3がオフすると、配線L221と配線L222とが切り離され、回路セル11への電源供給が遮断される。
図8の例では、電源線群PL1から分岐線群BL3−1〜BL3−4が分岐している。分岐線群BL3−1〜BL3−4は、それぞれ分岐線VDDBおよびVSSBを有しており、分岐線VSSBは、更に分岐線VSSB1とVSSB2とを含んでいる。
分岐線VSSB2は、電源線VSSとコンタクト配線CT4を介して接続される。
分岐線VSSB1は、電源スイッチセル22を介して分岐線VSSB2と接続される。
これらの分岐線は、何れも電源線群PL1と直交する方向に伸びている。
分岐線群BL3−3およびBL3−4は、互いに隣接しており、分岐線VSSB(VSSB1およびVSSB2)を共有している。
分岐線群BL3−2およびBL3−4は、電源線群PL1の共通の分岐点から分岐しており、この分岐点から互いに反対方向に伸びている。
分岐線群BL3−1およびBL3−2に挿入される2つの電源スイッチセル22についても同様であり、同一の制御信号Scによって制御される。
そのため、常に動作させる回路セル11については、図8に示すように、電源線群PL1と電源スイッチセル22との間の空きスペースに配置して、そこで分岐線VSSB2およびVDDBから電源を供給することも可能である。
その他、第1の実施形態に係る半導体集積回路と同様な構成によって、これと同様な効果を奏することができる。
次に、本発明の第4の実施形態を述べる。
図9に示す回路セル12は、p型MOSトランジスタQp1およびn型MOSトランジスタQn1の直列回路として構成されるインバータ回路と、このインバータ回路に電源を供給する配線L121〜L123を有する。
なお、図9においては一例としてインバータ回路セルを示しているが、本実施形態で述べる回路セル12には、例えばNAND回路セルなどのように、基本回路として用いられる他の種々の回路セルも含まれる。
図10に示す回路セル13は、p型MOSトランジスタQp1およびn型MOSトランジスタQn1の直列回路として構成されるインバータ回路と、このインバータ回路に電源を供給する配線L131〜L133を有する。
電源スイッチセル23は、n型MOSトランジスタQn4と、配線L231〜L233とを有する。
n型MOSトランジスタQn4は、本発明のスイッチ回路の一実施形態である。
配線L231は、本発明の第5の配線の一実施形態である。
配線L232は、本発明の第6の配線の一実施形態である。
n型MOSトランジスタQn4がオンすると、配線L231と配線L232とが接続され、分岐線VSSB3につながる回路セル12に電源が供給される。n型MOSトランジスタQn4がオフすると、配線L231と配線L232とが切り離され、回路セル12への電源供給が遮断される。
図12の例では、電源線群PL1から分岐線群BL4−1〜BL4−4が分岐している。分岐線群BL4−1〜BL4−4は、それぞれ分岐線VDDB、VSSB3、およびVSSB4を有している。ただし、分岐線VSSB3は、電源線VSSと直接接続されておらず、電源スイッチセル23がオンのときに、分岐線VSSB4を介して電源線VSSと接続される。また、これらの分岐線は、何れも電源線群PL1と直交する方向に伸びている。
分岐線群BL4−3およびBL4−4は、互いに隣接しており、分岐線VSSB4を共有している。
分岐線群BL4−2およびBL4−4は、電源線群PL1の共通の分岐点から分岐しており、共通の電源スイッチセル23を経由して、互いに反対方向に伸びている。
電源線VDDから配線L233へ分岐する配線には、配線層を貫いて電源線VDDとその下層の配線L233とを接続するコンタクト配線CT5が用いられる。
図13に示すように、回路セル12および13は、分岐線群上の任意の位置に混在して配置することが可能である。
そのため、図13に示すように、電源スイッチセル23によって電源供給の遮断が可能な回路セル12と、常に電源を供給する回路セル13とを、分岐線群上の任意の位置に混在して配置することができる。これにより、電源遮断を行う回路と常時通電する回路とを非常に自由に配置することが可能になるため、レイアウトの制約が少なくなり、電源スイッチセル23を含めたレイアウトの自動設計がより簡易な処理で実現可能になる。
例えば図13の例において、分岐線群BL4−5とBL4−6、分岐線群BL4−7とBL4−8、分岐線群BL4−9とBL4−10は、それぞれ、分岐線VDDBを共有している。また、分岐線群BL4−6とBL4−7、分岐線群BL4−8とBL4−9、分岐線群BL4−10とBL4−11は、それぞれ、分岐線VSSB4を共有している。
そのため、分岐線を別々に設ける場合に比べて、回路面積を削減することができる。
その他、第1の実施形態に係る半導体集積回路と同様な構成によって、これと同様な効果を奏することができる。
次に、本発明の第5の実施形態を述べる。
図14に示す回路セル14は、p型MOSトランジスタQp1およびn型MOSトランジスタQn1の直列回路として構成されるインバータ回路と、このインバータ回路に電源を供給する配線L141〜L143を有する。
なお、図14においては一例としてインバータ回路セルを示しているが、本実施形態で述べる回路セル14には、例えばNAND回路セルなど、基本回路として用いられる他の種々の回路セルも含まれる。
なお、図14の例では、p型MOSトランジスタQp1の基板が配線L143に接続され、n型MOSトランジスタQn1の基板が配線L142に接続されている。後述するように、配線L142およびL143は常に電源線VSSおよびVDDに接続されるため、電源遮断の有無に関わらず、これらのMOSトランジスタの基板電位を安定に保つことができる。
図15に示す回路セル15は、p型MOSトランジスタQp1およびn型MOSトランジスタQn1の直列回路として構成されるインバータ回路と、このインバータ回路に電源を供給する配線L151〜L153を有する。
電源スイッチセル24は、n型MOSトランジスタQn5と、配線L241〜L243とを有する。
n型MOSトランジスタQn5は、本発明のスイッチ回路の一実施形態である。
配線L241は、本発明の第5の配線の一実施形態である。
配線L242は、本発明の第6の配線の一実施形態である。
n型MOSトランジスタQn5がオンすると、配線L241と配線L242とが接続され、分岐線VSSB5につながる回路セル14に電源が供給される。n型MOSトランジスタQn5がオフすると、配線L241と配線L242とが切り離され、回路セル14への電源供給が遮断される。
図17の例では、電源線群PL1から分岐線群BL5−1〜BL5−4が分岐している。分岐線群BL5−1〜BL5−4は、それぞれ分岐線VDDB、VSSB5、およびVSSB6を有している。ただし、分岐線VSSB5は、電源線VSSと直接接続されておらず、電源スイッチセル24がオンのときに、分岐線VSSB6を介して電源線VSSと接続される。また、これらの分岐線は、何れも電源線群PL1と直交する方向に伸びている。
分岐線群BL5−3およびBL5−4は、互いに隣接しており、分岐線VSSB5およびVSSB6を共有している。
分岐線群BL5−2およびBL5−4は、電源線群PL1の共通の分岐点から分岐しており、共通の電源スイッチセル24を経由して、互いに反対方向に伸びている。
電源線VDDから配線L243へ分岐する配線には、配線層を貫いて電源線VDDとその下層の配線L243とを接続するコンタクト配線CT7が用いられる。
その他、第4の実施形態に係る半導体集積回路と同様な構成によって、これと同様な効果を奏することができる。
次に、本発明の第6の実施形態を述べる。
第3の実施形態に係る半導体集積回路では、電源スイッチセル22の配線L221と分岐線VSSB1とを介してn型MOSトランジスタQn3のドレインに接続される回路セル11の消費電力に応じて、このn型MOSトランジスタQn3の駆動能力を設定する。
第4の実施形態に係る半導体集積回路では、電源スイッチセル23の配線L231と分岐線VSSB3とを介してn型MOSトランジスタQn4のドレインに接続される回路セル12の消費電力に応じて、このn型MOSトランジスタQn4の駆動能力を設定する。
第5の実施形態に係る半導体集積回路では、電源スイッチセル24の配線L241と分岐線VSSB5とを介してn型MOSトランジスタQn5のドレインに接続される回路セル14の消費電力に応じて、このn型MOSトランジスタQn5の駆動能力を設定する。
図18の例では、非電源遮断時における消費電力の大きさに応じて、スイッチ用トランジスタの駆動能力が異なる3種類の電源スイッチセル(20A〜20C)を使い分けている。すなわち、消費電力が大きい回路には駆動能力が最大の電源スイッチセル20A、消費電力が中程度の回路には駆動能力が中間の電源スイッチセル20B、消費電力が小さい回路には駆動能力が最小の電源スイッチセル20Cを用いている。
図19および図20は、2線式構造と3線式構造とを組み合わせる例を示す図である。
このように、様々な配線構造を組み合わせることによって、設計の自由度が向上するため、設計対象の回路に応じたより適切な配線構造を選択することが可能になる。
Claims (6)
- 複数の回路セルと、
電源線群と、
少なくとも一部が上記電源線群の下層領域に含まれ、上記電源線群に接続される電源スイッチセルと、
上記電源スイッチセルに接続され、所定の上記回路セルに電源を供給する分岐線群と、を有し、
上記電源スイッチセルは、入力される制御信号に応じて、上記分岐線群のうち、上記所定の回路セルに接続される少なくとも1つの分岐線への電源の供給を遮断する
半導体集積回路。 - 上記電源スイッチセルにより電源供給が遮断される上記分岐線は、多層配線構造で上層と下層の配線間を接続するコンタクト配線を介して上記電源線群と接続される、
請求項1に記載の半導体集積回路。 - 上記電源スイッチセルは、上記所定の回路セルの非電源遮断時における消費電力に応じて設定された駆動能力を有するスイッチ用トランジスタを含む、
請求項1に記載の半導体集積回路。 - 複数の回路セルと、
電源線群と、
上記電源線群に接続される電源スイッチセルと、
上記電源スイッチセルに接続され、所定の上記回路セルに電源を供給する分岐線群と、を有し、
上記電源スイッチセルは、
上記分岐線群の少なくとも1つの分岐線に接続されている第1の配線と、
上記電源線群の少なくとも1つの電源線に接続されている第2の配線と、
上記第1の配線と上記第2の配線との間に接続され、制御信号に応じてオンまたはオフするスイッチ回路と、
を含み、
上記第2の配線は、少なくとも一部が上記電源線群の下層領域に含まれ、コンタクト配線を介して、より上層の電源線に接続されている
半導体集積回路。 - 上記スイッチ回路は、上記所定の回路セルの非電源遮断時における消費電力に応じて設定された駆動能力を有するスイッチ用トランジスタを含む、
請求項4に記載の半導体集積回路。 - 所定の領域内に配置された複数の回路セルと、
前記領域内を通る電源線群と、
上記領域内で上記電源線群の下層領域に、少なくとも一部が上記電源線群と平面パターンで重なって配置され、上記電源線群の少なくとも1つの電源線に接続される電源スイッチセルと、
上記電源スイッチセルに接続され、所定の上記回路セルに電源を供給する分岐線群と、を備え、
上記電源スイッチセルは、入力される制御信号に応じて、上記分岐線群のうち、上記所定の回路セルに接続される少なくとも1つの分岐線への電源の供給を遮断する
半導体集積回路。
Priority Applications (17)
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