JP4140205B2

JP4140205B2 - インゴット切断装置

Info

Publication number: JP4140205B2
Application number: JP2001079542A
Authority: JP
Inventors: 浩紀石口
Original assignee: Sumco Corp
Current assignee: Sumco Corp
Priority date: 2001-03-19
Filing date: 2001-03-19
Publication date: 2008-08-27
Anticipated expiration: 2021-03-19
Also published as: JP2002273724A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｓｉ（シリコン）単結晶等のインゴットを無端の帯状のブレードを用いて切断するインゴット切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＺ法（チョクラルスキー法）による単結晶引き上げによって製造されるＳｉ単結晶等のインゴットを、所定長さに切断したり、ウェーハ状に切断するために、インゴットの切断装置が用いられている。従来、インゴット切断装置としては、例えば一対のプーリーの外周面に、表面にダイヤモンドの微粉末が電着された無端帯状のブレードが巻き回されたものが用いられている。このインゴット切断装置は、プーリーを回転駆動してブレードを回転させ、この回転するブレードによってインゴットを切断するものである。
このインゴット切断装置では、切削抵抗の低減やブレードの冷却などの目的から、インゴットの切断位置よりもブレードの回転方向の前段の位置で、ブレードの刃先に切削水を吹き付けながらインゴットの切断を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のインゴット切断装置には、次のような課題が残されている。すなわち、上記インゴット切断装置では、インゴットの切断中に発生した切粉が切断位置の周囲に霧状に発生して周辺を汚すこととなる。
この切粉がブレードを受けるプーリーの外周面に付着すると、プーリーの外周面とブレードとの間に滑りが生じやすくなり、ブレードが切削抵抗を受けた場合にブレードの位置がずれやすくなってしまう。
このようにブレードの位置がずれてしまうと、ブレードの切断能力が低下するので、インゴットの切断時にその切断面の終端部分に突起が形成されてしまうなど、加工精度が低下してしまう。
また、ブレードの位置がずれることで切削水がブレードの刃先に十分に当たらなくなって切削抵抗がさらに増大するので、さらにブレードのずれ量が大きくなってしまう。
そして、このように切削抵抗が増大すると、インゴットの切断時におけるブレードのそり量が大きくなり、そのままインゴットの切断を続けた場合には、ブレード自体に癖がついてそりが戻らなくなってしまい、ブレードの寿命を縮めてしまう。
【０００４】
このように、ブレードのずれが発生すると様々な不都合が生じるが、従来のインゴット切断装置では、切粉の付着によるブレードの切削能力の低下を防ぐためにブレードに洗浄液を照射して切粉を除去する機構は設けられていたものの、ブレード以外の他の部分に付着した切粉を除去する機構は有していなかった。
このため、従来は、プーリーの外周面にサンドペーパーをかけるなどして、プーリーに付着した切粉の除去を不定期に実施していた。しかし、この作業は作業員が手作業によって行っており、安全のためにインゴット切断装置を停止させた状態で、手回しによってプーリーを回転させながらプーリーの外周面にサンドペーパーを当てているので、作業効率が低かった。
また、プーリーの表面にはブレードの滑りを防止するための溝が形成されていている場合があるが、この場合には溝内に詰まった切粉を取り除くことは困難であった。
【０００５】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、プーリーに付着した切粉を効果的に除去することができるインゴット切断装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
すなわち、本発明のインゴット切断装置は、軸線を略平行にした状態で互いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによって単結晶引き上げによって製造される単結晶のインゴットを切断するインゴット切断装置であって、
前記プーリーの外周面に溝を有する滑り止め部材が設けられ、
前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有し、
前記プーリー洗浄機構は、前記プーリーの露出している外周面および前記滑り止め部材の溝内に洗浄液を吹き付け、前記溝内に詰まった切粉も洗い流すスプレー機構を有していることを特徴とする。
本発明のインゴット切断装置は、軸線を略平行にした状態で互いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによって単結晶引き上げによって製造される単結晶のインゴットを切断するインゴット切断装置であって、
前記プーリーの外周面に溝を有する滑り止め部材が設けられ、
前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有し、
前記プーリー洗浄機構は、前記プーリーの露出している外周面および前記滑り止め部材の溝内に当接して前記溝内に詰まった切粉も払い落とすよう変形可能な洗浄部材を有していることを特徴とする。
また、本発明は、軸線を略平行にした状態で互いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによってインゴットを切断するインゴット切断装置であって、前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有していることができる。
このインゴット切断装置では、プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有しているので、プーリー洗浄機構によってプーリーの外周面を洗浄して、プーリーに付着した切粉を除去することができ、ブレードのずれを抑えることができる。
【０００７】
また、本発明のインゴット切断装置は、プーリー洗浄機構が、プーリーの露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構を有する構成としてもよい。このインゴット切断装置では、プーリーの露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構を有するので、プーリーの外周面に付着した切粉が洗浄液によって洗い流されることとなる。
例えば、プーリーの表面にブレードの滑りを防止するための溝が形成されていた場合にも、溝内に詰まった切粉を洗浄液によって洗い流すことができる。
【０００８】
また、本発明のインゴット切断装置は、プーリー洗浄機構が、前記プーリーの露出している外周面に当接可能な洗浄部材を有する構成としてもよい。このインゴット切断装置では、プーリーの露出している外周面に当接可能な洗浄部材を有するので、洗浄部材によってプーリーの外周面に付着している切粉が直接こすり落とされることとなり、より確実に切粉が除去される。
ここで、プーリー洗浄機構を、洗浄部材に加えて前記のスプレー機構を有する構成とすれば、切粉の除去をより一層効果的に行うことができる。
【０００９】
さらに、本発明のインゴット切断装置は、前記洗浄部材が、ブラシ部材またはスポンジ部材である技術が採用される。すなわち、このインゴット切断装置では、プーリーの表面にブレードの滑りを防止するための溝が形成されていた場合にも、洗浄部材を溝内にまで到達させることができ、溝内に詰まった切粉も取り除くことができる。
【００１０】
また、本発明のインゴット切断装置は、プーリー洗浄機構が、プーリーの回転軸と平行した軸で回転可能とされかつ外周面にシート状の前記洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有する構成としてもよい。すなわち、このインゴット切断装置では、シート状の前記洗浄部材がローラーの外周面に巻かれているので、ローラーが回転することで、洗浄部材の片減りを生じにくくすることができる。さらに、シート状の洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有するので、洗浄部材の目詰まり等の状態に応じて洗浄部材の取り替えができるとともに、切粉の付着状況に応じて異なる種類の洗浄部材に適宜変更することが容易となる。これにより、洗浄作業の効率化をさらに図ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
〔第一の実施の形態〕
以下、本発明の第一の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態にかかるインゴット切断装置１は、図１の斜視図に示すように、略円柱形状をなすインゴット２が軸線を水平にした状態で載置される台座３と、台座３の上方側で上下に昇降可能にして設けられる昇降台４とを有している。
【００１２】
昇降台４には、台座３上のインゴット２の軸線を挟んで両側に位置するように互いに離間させて、それぞれ垂直軸まわりに回転可能な一対の主軸部６が設けられている。これら主軸部６の下端には、それぞれ主軸部６と同軸にしてかつ主軸部６と一体的に回転可能にしてプーリー７が設けられている。
これらプーリー７の外周面には、図３に示すように、全周にわたってゴム等からなる滑り止め部材８が設けられている。また、滑り止め部材８の外周面には、プーリー７の周方向に延びる溝８ａが複数形成されている。
これら一対のプーリー７の外周面には、下縁に切刃が形成された無端帯状のブレード９が巻き回されて、プーリー７の回転に伴って回転可能とされている。このブレード９は、無端帯状の台金の表面にダイヤモンドの微粉末が電着された構成とされている。ここで、図２の平面図に概略的に示すように、前記一対のプーリー７は、それぞれ他方のプーリー７を向く側で外周面が露出されている。
【００１３】
また、昇降台４には、駆動軸部を略垂直にした状態で駆動モータ１１が設けられている。駆動モータ１１の駆動軸部と前記対をなす主軸部６のうちの一方には、無端のＶベルト１２が巻き回されており、これによって駆動軸部の回転がＶベルト１２を介してこの一方の主軸部６に伝達されて、この主軸部６に取り付けられるプーリー７が回転駆動されるようになっている。以下では、主軸部６のうち駆動モータ１１によって回転駆動される側を駆動側主軸部６ａ、他方の主軸部６を従動側主軸部６ｂとする。これら駆動モータ１１、Ｖベルト１２、駆動側主軸部６ａは、プーリー７を回転駆動する駆動機構を構成している。
【００１４】
昇降台４には、前記ブレード９において前記一対のプーリー７間に位置する範囲の両端でブレード９を案内してこの範囲内でのブレード９のぶれを抑える静圧ユニット１３が設けられている。インゴット切断装置１は、ブレード９において静圧ユニット１３間に位置する範囲でインゴット２の切断を行うものである。
さらに、昇降台４には、静圧ユニット１３間でブレード９に切削水を照射する切削水供給機構１４が設けられている。
また、昇降台４において台座３上のインゴット２に対向する位置には、この台座３上のインゴット２と平行にして、インゴット２の切断時におけるインゴット２との干渉を避けるための断面Ｕ字形状の溝４ａが形成されている。
【００１５】
そして、インゴット切断装置１には、図１及び図２に示すように、プーリー７の外周面を洗浄するプーリー洗浄機構が設けられている。
本実施の形態では、プーリー洗浄機構として、プーリー７の露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構１６を用いている。
スプレー機構１６は、洗浄液供給源１７と、一端を洗浄液供給源１７に接続され、他端側をプーリー７の露出している外周面に対向させた状態にして昇降台４に取り付けられる洗浄液供給管１８と、洗浄液供給管１８のプーリー７側の端部に先端をプーリー７に向けた状態で設けられる洗浄液噴射ノズル１９とを有している。
【００１６】
ここで、本実施の形態では、洗浄液供給源１７が供給する洗浄液として、濾過によって不純物が取り除かれた濾過水を用いている。洗浄液としては、これに限らず、他の洗浄液を用いてもよい。
また、洗浄液供給管１８は、昇降台４の昇降動作を許容するようにして設けられるものである。この洗浄液供給管１８には、洗浄液供給管１８内での洗浄液の流通を制御するバルブＶが設けられている。
そして、洗浄液噴射ノズル１９は、洗浄液供給源１７から洗浄液供給管１８を通じて供給される洗浄液を、プーリー７の外周面に向けて円錐状に広がるようにしてかつ均一に噴出するものである。
【００１７】
このように構成されるインゴット切断装置１は、駆動モータ１１によってＶベルト１２及び駆動側主軸部６ａを介してプーリー７を回転駆動して、プーリー７の外周面に巻き回されるブレード９を回転させ、この回転するブレード９においてプーリー７間に位置する部分でインゴット２の切断を行うものである。
本実施形態に示すインゴット切断装置１では、昇降台４を台座３上のインゴット２の上方に位置させ、上記のようにしてブレード９を回転させながら昇降台４を降下させることで、ブレード９の下縁に形成される切刃によってインゴット２を軸線に直交する方向に切断するようになっている。
【００１８】
インゴット２の切断を行うことで、インゴット２の切断中に発生した切粉が切断位置の周囲に霧状に発生して周辺を汚すこととなり、この切粉はブレード９を受けるプーリー７の外周面にも付着することとなる。すると、プーリー７の外周面とブレード９との間に滑りが生じやすくなり、ブレード９が切削抵抗を受けた場合にブレード９の位置がずれやすくなってしまう。
このようにブレード９の位置がずれてしまうと、様々な不都合が生じるので、本実施の形態に示すインゴット切断装置１では、プーリー洗浄機構であるスプレー機構１６によって定期的または不定期的にプーリー７の洗浄を行う。
【００１９】
具体的には、前述の駆動機構によってプーリー７を回転駆動させながら、スプレー機構１６の洗浄液供給管１８に設けられるバルブＶを開いて、洗浄液供給源１７から洗浄液供給管１８内に供給される洗浄液を、洗浄液噴射ノズル１９からプーリー７の外周面に向けて噴出させる（図３参照）。
このようにプーリー７を回転させた状態でその外周面に洗浄液を吹き付けることで、プーリー７の外周面全周に洗浄液が吹き付けられることとなり、プーリー７の外周面に付着した切粉が洗浄液によって洗い流されることとなる。
また、この際に洗浄液はプーリー７の外周面に設けた滑り止め部材８の溝８ａ内にも吹き付けられるので、溝８ａ内に詰まった切粉も洗い流されることとなる。
【００２０】
ここで、上記のプーリー洗浄機構によるプーリー７の洗浄は、インゴット２の切断作業を休止している状態で行うほか、インゴット２の切断作業と並行して行うようにしてもよい。
【００２１】
このように構成されるインゴット切断装置１は、ブレード９が巻き回されるプーリー７の外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有しているので、プーリー洗浄機構によってプーリー７の外周面を洗浄して、プーリー７に付着した切粉を除去することができ、ブレード９のずれを抑えることができる。
さらに、本実施の形態では、プーリー洗浄機構として、プーリー７の露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構１６を用いているので、プーリー７の外周面に付着した切粉だけでなく、プーリー７の外周面に設けられる滑り止め部材８の溝８ａ内に詰まった切粉も洗浄液によって洗い流すことができる。
【００２２】
そして、このようにブレード９のずれが抑えられることで、ブレードの切断能力の低下を抑えて加工精度を維持することができ、また切削水供給機構１４によって供給される切削水がブレード９の刃先に十分に当たることとなり、切削抵抗の増加を抑えることができる。
そして、このように切削抵抗が抑えられることで、インゴットの切断時におけるブレードのそり量を小さくすることができ、ブレード自体に癖をつきにくくして、ブレードの寿命をのばすことができる。
【００２３】
〔第二の実施の形態〕
以下に、本発明の第二の実施形態について図４及び図５を参照して説明する。本実施形態にかかるインゴット切断装置４１は、図４の斜視図に示すように、第一の実施の形態に示したインゴット切断装置１において、プーリー洗浄機構として、スプレー機構１６に加えて、さらにプーリー７の露出している外周面に当接可能な洗浄部材２１を設けたものである。
【００２４】
洗浄部材２１は、昇降台４の溝４ａ内に取付具２２を介して着脱可能にして取り付けられる。
本実施の形態では、取付具２２は、図５の分解斜視図に示すように、一端に溝４ａの内面を受ける当接板２４が設けられ他端は外周に右ネジが形成された右ネジ部２３ａとされる丸棒状の第一のシャフト２３と、第一のシャフト２３と同径の丸棒状とされて一端に当接板２４が設けられ他端は外周に左ネジが形成された左ネジ部２５ａとされる第二のシャフト２５と、一端には第一のシャフト２３の右ネジ部２３ａが螺合され、他端には第二のシャフト２５の左ネジ部２５ａが螺合されてこれら第一、第二のシャフト２３、２５を同軸かつ互いの間隔を調整可能にして接続するターンバックル２６とを有している。
ここで、第一、第二のシャフト２３、２５の当接板２４において溝４ａの内面を受ける側には、それぞれ滑り止めのパッド２７が貼付されている。このパッド２７としては例えば研磨布が用いられる。
【００２５】
取付具２２は、ターンバックル２６を操作してこれら第一、第二のシャフト２３、２５間の間隔を調整して、第一、第二のシャフト２３、２５をそれぞれ当接板２４を溝４ａの対向する内壁面に当接させた状態でさらに突っ張らせることで、溝４ａ内に装着される。そして、ターンバックル２６を操作してこれら第一、第二のシャフト２３、２５間の間隔を縮めて、第一、第二のシャフト２３、２５の当接板２４を溝４ａの対向する内壁面から離間させることで溝４ａから取り外すことができる。
【００２６】
さらに、第一のシャフト２３または第二のシャフト２５には、これらに対して軸線を直交させた状態で着脱を可能にして支持軸部２８が設けられている。
支持軸部２８は、取付具２２を溝４ａ内に装着した状態では、前記プーリー７の近傍でプーリー７と軸線を平行にした状態に設けられる。
支持軸部２８の一端には、第一のシャフト２３または第二のシャフト２５の外周面を受ける受け面２８ａが形成されており、支持軸部２８において受け面２８ａが形成される端部には、受け面２８ａとの間に第一のシャフト２３または第二のシャフト２５を挟み込んで固定するクランプ部材２８ｂがボルトによって螺着されるようになっている。
【００２７】
支持軸部２８の他端には、外周面をプーリー７の外周面と対向させた状態で支持軸部２８と同軸まわりに回転可能にしてローラー３１が取り付けられている。このローラー３１は、中心軸に沿って支持軸部２８が挿通される挿通孔３１ａが形成されている。この挿通孔３１ａは支持軸部２８の外径よりも若干大径とされており、これによってローラー３１は支持軸部２８の軸線回りに回転可能とされている。また、ローラー３１の外周面には、その全周にわたって、後述する第二の面ファスナー３４との係合面を外周に向けた状態にして第一の面ファスナー３３が取り付けられている。
ここで、支持軸部２８には、支持軸部２８に装着されたローラー３１の上端を受けてローラー３１の上方への移動を規制するフランジ状のストッパー２８ｃが設けられている。また、支持軸部２８の下端には外周にねじ溝が形成されてネジ部２８ｄとされており、ネジ部２８ｄには、支持軸部２８に装着されるローラー３１の下端を受けるナット３２が螺着されるようになっている。
【００２８】
本実施の形態では、洗浄部材２１は、ローラー３１の外周面に着脱を可能にして装着されるシート状のスポンジ部材２１ａとされている。スポンジ部材２１ａの裏面には、両面テープ３５を介して、第一の面ファスナー３３との係合面をスポンジ部材２１ａの裏面に向けた状態にして第二の面ファスナー３４が貼り付けられている。ここで、第一、第二の面ファスナー３３、３４は互いに着脱を可能にして係合するものである。
スポンジ部材２１ａは、裏面に設けられた第二の面ファスナー３４をローラー３１の外周面に設けられる第一の面ファスナー３３と係合させつつ巻くことで、ローラー３１の外周面に着脱を可能にして装着されている。
ここで、本実施の形態では、洗浄部材２１としてシート状のスポンジ部材２１ａを用いているが、これに限られることなく、洗浄部材２１としてはサンドペーパーや、研磨布等の繊維からなるシート等、プーリー７の外周面に付着した切粉をこすり落とすことができ、かつローラー３１の外周面に巻くことが可能な構成のものであれば任意のものを用いることができる。
【００２９】
本実施の形態にかかるインゴット切断装置では、第一の実施の形態と同様に、プーリー洗浄機構によって、定期的または不定期的にプーリー７の外周面の洗浄を行う。
スポンジ部材２１ａによるプーリー７の洗浄は、以下のようにして行われる。まず、図４に示すように、取付具２２を昇降台４の溝４ａ内に取り付けて、この取付具２２によってスポンジ部材２１ａをプーリー７の露出されている外周面に当接させた状態で保持する。
この状態で、駆動機構によってプーリー７を回転駆動することで、スポンジ部材２１ａによってプーリー７の外周面に付着した切粉が払い落とされる。
【００３０】
ここで、図４では、スポンジ部材２１ａを支持する支持軸部２８を第一のシャフト２３側に装着して、第一のシャフト２３に近い側のプーリー７の洗浄を行っている状態を示している。
そして、他方のプーリー７の洗浄を行う場合には、スポンジ部材２１ａを支持する支持軸部２８を第二のシャフト２５側に移し替えることで、同様にして他方のプーリー７の洗浄を行うことができる。
また、このようにプーリー７を片方ずつ洗浄する他、第一のシャフト２３と第二のシャフト２５の両方に装着して、両方のプーリー７を同時に洗浄するようにしてもよい。
【００３１】
本実施の形態では、洗浄部材２１として変形の容易なスポンジ部材２１ａを用いているので、プーリー７の外周面に設けた滑り止め部材８の溝８ａ内にも洗浄部材２１を到達させることができ、溝８ａ内に詰まった切粉も払い落とすことができる。
さらに、本実施の形態では、プーリー洗浄機構としてスプレー機構１６も設けられており、洗浄液による洗浄と並行して洗浄部材２１による洗浄が行われるので、プーリー７の外周面に付着した切粉をさらに効果的に除去することができる。
【００３２】
また、本実施の形態では、洗浄部材２１をローラー３１の外周面に設けており、洗浄部材２１は回転するプーリー７と接触することでローラー３１とともに回転することとなるので、洗浄部材２１の片減りを生じにくくすることができる。ここで、ローラー３１の回転には負荷が加えられており、これによってプーリー７の外周面に対して滑りを生じさせて切粉を払い落とすようになっている。
【００３３】
ここで、洗浄部材２１として、例えば同じ構成の予備のスポンジ部材や、硬さや形状の異なるスポンジ部材、もしくはサンドペーパー等の他の構成のものを複数種類用意することで、洗浄部材２１の目詰まり等の状態に応じて洗浄部材２１の取り替えができるとともに、切粉の付着状況に応じて異なる種類の洗浄部材２１に適宜変更することが容易となる。これにより、洗浄作業の効率化をさらに図ることができる。
また、洗浄部材２１の交換は、洗浄部材２１のみを交換する以外にも、洗浄部材２１をローラー３１ごと交換するようにしてもよい。
【００３４】
ここで、本実施の形態では、ローラー３１の外周面にシート状のスポンジ部材２１ａを着脱可能にして設けた例を示したが、これに限られることなく、例えば図６の分解斜視図に示すように、支持軸部２８に対して、ローラー３１の代わりに洗浄部材２１である円柱形状のブラシ３６を装着して、このブラシ３６によってプーリー７の外周面の洗浄を行うようにしてもよい。
また、上記のように洗浄部材２１をローラー３１に装着する構成としたり、洗浄部材２１として円柱形状のブラシ３６を用いる代わりに、例えば図７（ａ）や図７（ｂ）の平面図に示すように、支持軸部２８に対して直接ブロック状のスポンジ部材３７やブラシ部材３８を支持軸部２８まわりの回転を規制した状態で装着して、これらスポンジ部材３６やブラシ部材３７によって直接プーリー７の外周面に付着した切粉を払い落とす構成としてもよい。
また、取付具２２の構成は、上記の構成に限らず、任意の構成とすることができる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プーリー洗浄機構によってプーリーの外周面を洗浄して、プーリーに付着した切粉を除去することができ、ブレードのずれを抑えることができる。
そして、このようにブレードのずれが抑えられることで、ブレードの切断能力の低下を抑えて加工精度を維持することができる。また、切削水がブレードの刃先に十分に当たることとなり、切削抵抗の増加を抑えることができる。
そして、インゴットの切断時におけるブレードのそり量を小さくすることができ、ブレード自体に癖をつきにくくすることができ、ブレードの寿命をのばすことができる。
【００３６】
また、プーリー洗浄機構が、プーリーの露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構を有している場合には、プーリーの外周面に付着した切粉が洗浄液によって洗い流されることとなる。これにより、例えば、プーリーの表面にブレードの滑りを防止するための溝が形成されていた場合にも、溝内に詰まった切粉を洗浄液によって洗い流すことができる。
【００３７】
また、プーリー洗浄機構が、前記プーリーの露出している外周面に当接可能な洗浄部材を有している場合には、洗浄部材によってプーリーの外周面に付着している切粉が直接こすり落とされることとなり、より確実に切粉が除去される。
【００３８】
さらに、前記洗浄部材が、ブラシ部材またはスポンジ部材である場合には、プーリーの表面にブレードの滑りを防止するための溝が形成されていた場合にも、洗浄部材を溝内にまで到達させることができ、溝内に詰まった切粉も取り除くことができる。
【００３９】
また、プーリー洗浄機構が、プーリーの回転軸と平行した軸で回転可能とされかつ外周面にシート状の前記洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有する構成とした場合には、ローラーが回転することで、洗浄部材の片減りを生じにくくすることができる。
さらに、シート状の洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有するので、洗浄部材の目詰まり等の状態に応じて洗浄部材の取り替えができるとともに、切粉の付着状況に応じて異なる種類の洗浄部材に適宜変更することが容易となる。これにより、洗浄作業の効率化をさらに図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態にかかるインゴット切断装置の主要部の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施の形態にかかるインゴット切断装置の主要部の概略構成を示す平面図である。
【図３】本発明の第一の実施の形態にかかるインゴット切断装置のプーリー洗浄機構によるプーリーの洗浄の様子を示す側面図である。
【図４】本発明の第二の実施の形態にかかるインゴット切断装置の主要部の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の第二の実施の形態にかかるインゴット切断装置のプーリー洗浄機構の構成を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の第二の実施の形態にかかるインゴット切断装置のプーリー洗浄機構の他の構成を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第二の実施の形態にかかるインゴット切断装置のプーリー洗浄機構に用いられる洗浄部材の他の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１、４１インゴット切断装置２インゴット
６ａ駆動側主軸部（駆動機構）７プーリー
９ブレード１１駆動モータ（駆動機構）
１２Ｖベルト（駆動機構）１６スプレー機構（プーリー洗浄機構）
２１洗浄部材３１ローラー

Claims

軸線を略平行にした状態で互いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによって単結晶引き上げによって製造される単結晶のインゴットを切断するインゴット切断装置であって、
前記プーリーの外周面に溝を有する滑り止め部材が設けられ、
前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有し、
前記プーリー洗浄機構は、前記プーリーの露出している外周面および前記滑り止め部材の溝内に洗浄液を吹き付け、前記溝内に詰まった切粉も洗い流すスプレー機構を有していることを特徴とするインゴット切断装置。
軸線を略平行にした状態で互いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによって単結晶引き上げによって製造される単結晶のインゴットを切断するインゴット切断装置であって、
前記プーリーの外周面に溝を有する滑り止め部材が設けられ、
前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有し、
前記プーリー洗浄機構は、前記プーリーの露出している外周面および前記滑り止め部材の溝内に当接して前記溝内に詰まった切粉も払い落とすよう変形可能な洗浄部材を有していることを特徴とするインゴット切断装置。
前記洗浄部材は、ブラシ部材またはスポンジ部材であることを特徴とする請求項２に記載のインゴット切断装置。
前記プーリー洗浄機構は、前記プーリーの回転軸と平行した軸で回転可能とされかつ外周面にシート状の前記洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有していることを特徴とする請求項２または３に記載のインゴット切断装置。