JP2002273724A - インゴット切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プーリーに付着した切粉を効果的に除去す
る。 【解決手段】 互いに離間して配置される一対のプーリ
ー７と、これら一対のプーリー７の外周面に無端帯状の
ブレード９が巻き回され、プーリー７を回転駆動する駆
動機構が設けられているインゴット切断装置において、
プーリー７の外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を設け
る。プーリー洗浄機構を、プーリー７の露出している外
周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構１６によって構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｓｉ（シリコン）
単結晶等のインゴットを無端の帯状のブレードを用いて
切断するインゴット切断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＣＺ法（チョクラルスキー法）による単
結晶引き上げによって製造されるＳｉ単結晶等のインゴ
ットを、所定長さに切断したり、ウェーハ状に切断する
ために、インゴットの切断装置が用いられている。従
来、インゴット切断装置としては、例えば一対のプーリ
ーの外周面に、表面にダイヤモンドの微粉末が電着され
た無端帯状のブレードが巻き回されたものが用いられて
いる。このインゴット切断装置は、プーリーを回転駆動
してブレードを回転させ、この回転するブレードによっ
てインゴットを切断するものである。このインゴット切
断装置では、切削抵抗の低減やブレードの冷却などの目
的から、インゴットの切断位置よりもブレードの回転方
向の前段の位置で、ブレードの刃先に切削水を吹き付け
ながらインゴットの切断を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のインゴット
切断装置には、次のような課題が残されている。すなわ
ち、上記インゴット切断装置では、インゴットの切断中
に発生した切粉が切断位置の周囲に霧状に発生して周辺
を汚すこととなる。この切粉がブレードを受けるプーリ
ーの外周面に付着すると、プーリーの外周面とブレード
との間に滑りが生じやすくなり、ブレードが切削抵抗を
受けた場合にブレードの位置がずれやすくなってしま
う。このようにブレードの位置がずれてしまうと、ブレ
ードの切断能力が低下するので、インゴットの切断時に
その切断面の終端部分に突起が形成されてしまうなど、
加工精度が低下してしまう。また、ブレードの位置がず
れることで切削水がブレードの刃先に十分に当たらなく
なって切削抵抗がさらに増大するので、さらにブレード
のずれ量が大きくなってしまう。そして、このように切
削抵抗が増大すると、インゴットの切断時におけるブレ
ードのそり量が大きくなり、そのままインゴットの切断
を続けた場合には、ブレード自体に癖がついてそりが戻
らなくなってしまい、ブレードの寿命を縮めてしまう。

【０００４】このように、ブレードのずれが発生すると
様々な不都合が生じるが、従来のインゴット切断装置で
は、切粉の付着によるブレードの切削能力の低下を防ぐ
ためにブレードに洗浄液を照射して切粉を除去する機構
は設けられていたものの、ブレード以外の他の部分に付
着した切粉を除去する機構は有していなかった。このた
め、従来は、プーリーの外周面にサンドペーパーをかけ
るなどして、プーリーに付着した切粉の除去を不定期に
実施していた。しかし、この作業は作業員が手作業によ
って行っており、安全のためにインゴット切断装置を停
止させた状態で、手回しによってプーリーを回転させな
がらプーリーの外周面にサンドペーパーを当てているの
で、作業効率が低かった。また、プーリーの表面にはブ
レードの滑りを防止するための溝が形成されていている
場合があるが、この場合には溝内に詰まった切粉を取り
除くことは困難であった。

【０００５】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、プーリーに付着した切粉を効果的に除去すること
ができるインゴット切断装置を提供することを目的とし
ている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明
のインゴット切断装置は、軸線を略平行にした状態で互
いに離間して配置される一対のプーリーと、該一対のプ
ーリーに巻き回された無端帯状のブレードと、前記一対
のプーリーの少なくとも一方を回転駆動して前記ブレー
ドを回転させる駆動機構とを有し、回転する前記ブレー
ドによってインゴットを切断するインゴット切断装置で
あって、前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄
機構を有していることを特徴としている。このインゴッ
ト切断装置では、プーリーの外周面を洗浄するプーリー
洗浄機構を有しているので、プーリー洗浄機構によって
プーリーの外周面を洗浄して、プーリーに付着した切粉
を除去することができ、ブレードのずれを抑えることが
できる。

【０００７】また、本発明のインゴット切断装置は、プ
ーリー洗浄機構が、プーリーの露出している外周面に洗
浄液を吹き付けるスプレー機構を有する構成としてもよ
い。このインゴット切断装置では、プーリーの露出して
いる外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構を有する
ので、プーリーの外周面に付着した切粉が洗浄液によっ
て洗い流されることとなる。例えば、プーリーの表面に
ブレードの滑りを防止するための溝が形成されていた場
合にも、溝内に詰まった切粉を洗浄液によって洗い流す
ことができる。

【０００８】また、本発明のインゴット切断装置は、プ
ーリー洗浄機構が、前記プーリーの露出している外周面
に当接可能な洗浄部材を有する構成としてもよい。この
インゴット切断装置では、プーリーの露出している外周
面に当接可能な洗浄部材を有するので、洗浄部材によっ
てプーリーの外周面に付着している切粉が直接こすり落
とされることとなり、より確実に切粉が除去される。こ
こで、プーリー洗浄機構を、洗浄部材に加えて前記のス
プレー機構を有する構成とすれば、切粉の除去をより一
層効果的に行うことができる。

【０００９】さらに、本発明のインゴット切断装置は、
前記洗浄部材が、ブラシ部材またはスポンジ部材である
技術が採用される。すなわち、このインゴット切断装置
では、プーリーの表面にブレードの滑りを防止するため
の溝が形成されていた場合にも、洗浄部材を溝内にまで
到達させることができ、溝内に詰まった切粉も取り除く
ことができる。

【００１０】また、本発明のインゴット切断装置は、プ
ーリー洗浄機構が、プーリーの回転軸と平行した軸で回
転可能とされかつ外周面にシート状の前記洗浄部材が着
脱可能に巻かれたローラーを有する構成としてもよい。
すなわち、このインゴット切断装置では、シート状の前
記洗浄部材がローラーの外周面に巻かれているので、ロ
ーラーが回転することで、洗浄部材の片減りを生じにく
くすることができる。さらに、シート状の洗浄部材が着
脱可能に巻かれたローラーを有するので、洗浄部材の目
詰まり等の状態に応じて洗浄部材の取り替えができると
ともに、切粉の付着状況に応じて異なる種類の洗浄部材
に適宜変更することが容易となる。これにより、洗浄作
業の効率化をさらに図ることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】〔第一の実施の形態〕以下、本発
明の第一の実施の形態について、図面を参照しながら説
明する。本実施形態にかかるインゴット切断装置１は、
図１の斜視図に示すように、略円柱形状をなすインゴッ
ト２が軸線を水平にした状態で載置される台座３と、台
座３の上方側で上下に昇降可能にして設けられる昇降台
４とを有している。

【００１２】昇降台４には、台座３上のインゴット２の
軸線を挟んで両側に位置するように互いに離間させて、
それぞれ垂直軸まわりに回転可能な一対の主軸部６が設
けられている。これら主軸部６の下端には、それぞれ主
軸部６と同軸にしてかつ主軸部６と一体的に回転可能に
してプーリー７が設けられている。これらプーリー７の
外周面には、図３に示すように、全周にわたってゴム等
からなる滑り止め部材８が設けられている。また、滑り
止め部材８の外周面には、プーリー７の周方向に延びる
溝８ａが複数形成されている。これら一対のプーリー７
の外周面には、下縁に切刃が形成された無端帯状のブレ
ード９が巻き回されて、プーリー７の回転に伴って回転
可能とされている。このブレード９は、無端帯状の台金
の表面にダイヤモンドの微粉末が電着された構成とされ
ている。ここで、図２の平面図に概略的に示すように、
前記一対のプーリー７は、それぞれ他方のプーリー７を
向く側で外周面が露出されている。

【００１３】また、昇降台４には、駆動軸部を略垂直に
した状態で駆動モータ１１が設けられている。駆動モー
タ１１の駆動軸部と前記対をなす主軸部６のうちの一方
には、無端のＶベルト１２が巻き回されており、これに
よって駆動軸部の回転がＶベルト１２を介してこの一方
の主軸部６に伝達されて、この主軸部６に取り付けられ
るプーリー７が回転駆動されるようになっている。以下
では、主軸部６のうち駆動モータ１１によって回転駆動
される側を駆動側主軸部６ａ、他方の主軸部６を従動側
主軸部６ｂとする。これら駆動モータ１１、Ｖベルト１
２、駆動側主軸部６ａは、プーリー７を回転駆動する駆
動機構を構成している。

【００１４】昇降台４には、前記ブレード９において前
記一対のプーリー７間に位置する範囲の両端でブレード
９を案内してこの範囲内でのブレード９のぶれを抑える
静圧ユニット１３が設けられている。インゴット切断装
置１は、ブレード９において静圧ユニット１３間に位置
する範囲でインゴット２の切断を行うものである。さら
に、昇降台４には、静圧ユニット１３間でブレード９に
切削水を照射する切削水供給機構１４が設けられてい
る。また、昇降台４において台座３上のインゴット２に
対向する位置には、この台座３上のインゴット２と平行
にして、インゴット２の切断時におけるインゴット２と
の干渉を避けるための断面Ｕ字形状の溝４ａが形成され
ている。

【００１５】そして、インゴット切断装置１には、図１
及び図２に示すように、プーリー７の外周面を洗浄する
プーリー洗浄機構が設けられている。本実施の形態で
は、プーリー洗浄機構として、プーリー７の露出してい
る外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構１６を用い
ている。スプレー機構１６は、洗浄液供給源１７と、一
端を洗浄液供給源１７に接続され、他端側をプーリー７
の露出している外周面に対向させた状態にして昇降台４
に取り付けられる洗浄液供給管１８と、洗浄液供給管１
８のプーリー７側の端部に先端をプーリー７に向けた状
態で設けられる洗浄液噴射ノズル１９とを有している。

【００１６】ここで、本実施の形態では、洗浄液供給源
１７が供給する洗浄液として、濾過によって不純物が取
り除かれた濾過水を用いている。洗浄液としては、これ
に限らず、他の洗浄液を用いてもよい。また、洗浄液供
給管１８は、昇降台４の昇降動作を許容するようにして
設けられるものである。この洗浄液供給管１８には、洗
浄液供給管１８内での洗浄液の流通を制御するバルブＶ
が設けられている。そして、洗浄液噴射ノズル１９は、
洗浄液供給源１７から洗浄液供給管１８を通じて供給さ
れる洗浄液を、プーリー７の外周面に向けて円錐状に広
がるようにしてかつ均一に噴出するものである。

【００１７】このように構成されるインゴット切断装置
１は、駆動モータ１１によってＶベルト１２及び駆動側
主軸部６ａを介してプーリー７を回転駆動して、プーリ
ー７の外周面に巻き回されるブレード９を回転させ、こ
の回転するブレード９においてプーリー７間に位置する
部分でインゴット２の切断を行うものである。本実施形
態に示すインゴット切断装置１では、昇降台４を台座３
上のインゴット２の上方に位置させ、上記のようにして
ブレード９を回転させながら昇降台４を降下させること
で、ブレード９の下縁に形成される切刃によってインゴ
ット２を軸線に直交する方向に切断するようになってい
る。

【００１８】インゴット２の切断を行うことで、インゴ
ット２の切断中に発生した切粉が切断位置の周囲に霧状
に発生して周辺を汚すこととなり、この切粉はブレード
９を受けるプーリー７の外周面にも付着することとな
る。すると、プーリー７の外周面とブレード９との間に
滑りが生じやすくなり、ブレード９が切削抵抗を受けた
場合にブレード９の位置がずれやすくなってしまう。こ
のようにブレード９の位置がずれてしまうと、様々な不
都合が生じるので、本実施の形態に示すインゴット切断
装置１では、プーリー洗浄機構であるスプレー機構１６
によって定期的または不定期的にプーリー７の洗浄を行
う。

【００１９】具体的には、前述の駆動機構によってプー
リー７を回転駆動させながら、スプレー機構１６の洗浄
液供給管１８に設けられるバルブＶを開いて、洗浄液供
給源１７から洗浄液供給管１８内に供給される洗浄液
を、洗浄液噴射ノズル１９からプーリー７の外周面に向
けて噴出させる（図３参照）。このようにプーリー７を
回転させた状態でその外周面に洗浄液を吹き付けること
で、プーリー７の外周面全周に洗浄液が吹き付けられる
こととなり、プーリー７の外周面に付着した切粉が洗浄
液によって洗い流されることとなる。また、この際に洗
浄液はプーリー７の外周面に設けた滑り止め部材８の溝
８ａ内にも吹き付けられるので、溝８ａ内に詰まった切
粉も洗い流されることとなる。

【００２０】ここで、上記のプーリー洗浄機構によるプ
ーリー７の洗浄は、インゴット２の切断作業を休止して
いる状態で行うほか、インゴット２の切断作業と並行し
て行うようにしてもよい。

【００２１】このように構成されるインゴット切断装置
１は、ブレード９が巻き回されるプーリー７の外周面を
洗浄するプーリー洗浄機構を有しているので、プーリー
洗浄機構によってプーリー７の外周面を洗浄して、プー
リー７に付着した切粉を除去することができ、ブレード
９のずれを抑えることができる。さらに、本実施の形態
では、プーリー洗浄機構として、プーリー７の露出して
いる外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構１６を用
いているので、プーリー７の外周面に付着した切粉だけ
でなく、プーリー７の外周面に設けられる滑り止め部材
８の溝８ａ内に詰まった切粉も洗浄液によって洗い流す
ことができる。

【００２２】そして、このようにブレード９のずれが抑
えられることで、ブレードの切断能力の低下を抑えて加
工精度を維持することができ、また切削水供給機構１４
によって供給される切削水がブレード９の刃先に十分に
当たることとなり、切削抵抗の増加を抑えることができ
る。そして、このように切削抵抗が抑えられることで、
インゴットの切断時におけるブレードのそり量を小さく
することができ、ブレード自体に癖をつきにくくして、
ブレードの寿命をのばすことができる。

【００２３】〔第二の実施の形態〕以下に、本発明の第
二の実施形態について図４及び図５を参照して説明す
る。本実施形態にかかるインゴット切断装置４１は、図
４の斜視図に示すように、第一の実施の形態に示したイ
ンゴット切断装置１において、プーリー洗浄機構とし
て、スプレー機構１６に加えて、さらにプーリー７の露
出している外周面に当接可能な洗浄部材２１を設けたも
のである。

【００２４】洗浄部材２１は、昇降台４の溝４ａ内に取
付具２２を介して着脱可能にして取り付けられる。本実
施の形態では、取付具２２は、図５の分解斜視図に示す
ように、一端に溝４ａの内面を受ける当接板２４が設け
られ他端は外周に右ネジが形成された右ネジ部２３ａと
される丸棒状の第一のシャフト２３と、第一のシャフト
２３と同径の丸棒状とされて一端に当接板２４が設けら
れ他端は外周に左ネジが形成された左ネジ部２５ａとさ
れる第二のシャフト２５と、一端には第一のシャフト２
３の右ネジ部２３ａが螺合され、他端には第二のシャフ
ト２５の左ネジ部２５ａが螺合されてこれら第一、第二
のシャフト２３、２５を同軸かつ互いの間隔を調整可能
にして接続するターンバックル２６とを有している。こ
こで、第一、第二のシャフト２３、２５の当接板２４に
おいて溝４ａの内面を受ける側には、それぞれ滑り止め
のパッド２７が貼付されている。このパッド２７として
は例えば研磨布が用いられる。

【００２５】取付具２２は、ターンバックル２６を操作
してこれら第一、第二のシャフト２３、２５間の間隔を
調整して、第一、第二のシャフト２３、２５をそれぞれ
当接板２４を溝４ａの対向する内壁面に当接させた状態
でさらに突っ張らせることで、溝４ａ内に装着される。
そして、ターンバックル２６を操作してこれら第一、第
二のシャフト２３、２５間の間隔を縮めて、第一、第二
のシャフト２３、２５の当接板２４を溝４ａの対向する
内壁面から離間させることで溝４ａから取り外すことが
できる。

【００２６】さらに、第一のシャフト２３または第二の
シャフト２５には、これらに対して軸線を直交させた状
態で着脱を可能にして支持軸部２８が設けられている。
支持軸部２８は、取付具２２を溝４ａ内に装着した状態
では、前記プーリー７の近傍でプーリー７と軸線を平行
にした状態に設けられる。支持軸部２８の一端には、第
一のシャフト２３または第二のシャフト２５の外周面を
受ける受け面２８ａが形成されており、支持軸部２８に
おいて受け面２８ａが形成される端部には、受け面２８
ａとの間に第一のシャフト２３または第二のシャフト２
５を挟み込んで固定するクランプ部材２８ｂがボルトに
よって螺着されるようになっている。

【００２７】支持軸部２８の他端には、外周面をプーリ
ー７の外周面と対向させた状態で支持軸部２８と同軸ま
わりに回転可能にしてローラー３１が取り付けられてい
る。このローラー３１は、中心軸に沿って支持軸部２８
が挿通される挿通孔３１ａが形成されている。この挿通
孔３１ａは支持軸部２８の外径よりも若干大径とされて
おり、これによってローラー３１は支持軸部２８の軸線
回りに回転可能とされている。また、ローラー３１の外
周面には、その全周にわたって、後述する第二の面ファ
スナー３４との係合面を外周に向けた状態にして第一の
面ファスナー３３が取り付けられている。ここで、支持
軸部２８には、支持軸部２８に装着されたローラー３１
の上端を受けてローラー３１の上方への移動を規制する
フランジ状のストッパー２８ｃが設けられている。ま
た、支持軸部２８の下端には外周にねじ溝が形成されて
ネジ部２８ｄとされており、ネジ部２８ｄには、支持軸
部２８に装着されるローラー３１の下端を受けるナット
３２が螺着されるようになっている。

【００２８】本実施の形態では、洗浄部材２１は、ロー
ラー３１の外周面に着脱を可能にして装着されるシート
状のスポンジ部材２１ａとされている。スポンジ部材２
１ａの裏面には、両面テープ３５を介して、第一の面フ
ァスナー３３との係合面をスポンジ部材２１ａの裏面に
向けた状態にして第二の面ファスナー３４が貼り付けら
れている。ここで、第一、第二の面ファスナー３３、３
４は互いに着脱を可能にして係合するものである。スポ
ンジ部材２１ａは、裏面に設けられた第二の面ファスナ
ー３４をローラー３１の外周面に設けられる第一の面フ
ァスナー３３と係合させつつ巻くことで、ローラー３１
の外周面に着脱を可能にして装着されている。ここで、
本実施の形態では、洗浄部材２１としてシート状のスポ
ンジ部材２１ａを用いているが、これに限られることな
く、洗浄部材２１としてはサンドペーパーや、研磨布等
の繊維からなるシート等、プーリー７の外周面に付着し
た切粉をこすり落とすことができ、かつローラー３１の
外周面に巻くことが可能な構成のものであれば任意のも
のを用いることができる。

【００２９】本実施の形態にかかるインゴット切断装置
では、第一の実施の形態と同様に、プーリー洗浄機構に
よって、定期的または不定期的にプーリー７の外周面の
洗浄を行う。スポンジ部材２１ａによるプーリー７の洗
浄は、以下のようにして行われる。まず、図４に示すよ
うに、取付具２２を昇降台４の溝４ａ内に取り付けて、
この取付具２２によってスポンジ部材２１ａをプーリー
７の露出されている外周面に当接させた状態で保持す
る。この状態で、駆動機構によってプーリー７を回転駆
動することで、スポンジ部材２１ａによってプーリー７
の外周面に付着した切粉が払い落とされる。

【００３０】ここで、図４では、スポンジ部材２１ａを
支持する支持軸部２８を第一のシャフト２３側に装着し
て、第一のシャフト２３に近い側のプーリー７の洗浄を
行っている状態を示している。そして、他方のプーリー
７の洗浄を行う場合には、スポンジ部材２１ａを支持す
る支持軸部２８を第二のシャフト２５側に移し替えるこ
とで、同様にして他方のプーリー７の洗浄を行うことが
できる。また、このようにプーリー７を片方ずつ洗浄す
る他、第一のシャフト２３と第二のシャフト２５の両方
に装着して、両方のプーリー７を同時に洗浄するように
してもよい。

【００３１】本実施の形態では、洗浄部材２１として変
形の容易なスポンジ部材２１ａを用いているので、プー
リー７の外周面に設けた滑り止め部材８の溝８ａ内にも
洗浄部材２１を到達させることができ、溝８ａ内に詰ま
った切粉も払い落とすことができる。さらに、本実施の
形態では、プーリー洗浄機構としてスプレー機構１６も
設けられており、洗浄液による洗浄と並行して洗浄部材
２１による洗浄が行われるので、プーリー７の外周面に
付着した切粉をさらに効果的に除去することができる。

【００３２】また、本実施の形態では、洗浄部材２１を
ローラー３１の外周面に設けており、洗浄部材２１は回
転するプーリー７と接触することでローラー３１ととも
に回転することとなるので、洗浄部材２１の片減りを生
じにくくすることができる。ここで、ローラー３１の回
転には負荷が加えられており、これによってプーリー７
の外周面に対して滑りを生じさせて切粉を払い落とすよ
うになっている。

【００３３】ここで、洗浄部材２１として、例えば同じ
構成の予備のスポンジ部材や、硬さや形状の異なるスポ
ンジ部材、もしくはサンドペーパー等の他の構成のもの
を複数種類用意することで、洗浄部材２１の目詰まり等
の状態に応じて洗浄部材２１の取り替えができるととも
に、切粉の付着状況に応じて異なる種類の洗浄部材２１
に適宜変更することが容易となる。これにより、洗浄作
業の効率化をさらに図ることができる。また、洗浄部材
２１の交換は、洗浄部材２１のみを交換する以外にも、
洗浄部材２１をローラー３１ごと交換するようにしても
よい。

【００３４】ここで、本実施の形態では、ローラー３１
の外周面にシート状のスポンジ部材２１ａを着脱可能に
して設けた例を示したが、これに限られることなく、例
えば図６の分解斜視図に示すように、支持軸部２８に対
して、ローラー３１の代わりに洗浄部材２１である円柱
形状のブラシ３６を装着して、このブラシ３６によって
プーリー７の外周面の洗浄を行うようにしてもよい。ま
た、上記のように洗浄部材２１をローラー３１に装着す
る構成としたり、洗浄部材２１として円柱形状のブラシ
３６を用いる代わりに、例えば図７（ａ）や図７（ｂ）
の平面図に示すように、支持軸部２８に対して直接ブロ
ック状のスポンジ部材３７やブラシ部材３８を支持軸部
２８まわりの回転を規制した状態で装着して、これらス
ポンジ部材３６やブラシ部材３７によって直接プーリー
７の外周面に付着した切粉を払い落とす構成としてもよ
い。また、取付具２２の構成は、上記の構成に限らず、
任意の構成とすることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プーリー洗浄機構によってプーリーの外周面を洗浄し
て、プーリーに付着した切粉を除去することができ、ブ
レードのずれを抑えることができる。そして、このよう
にブレードのずれが抑えられることで、ブレードの切断
能力の低下を抑えて加工精度を維持することができる。
また、切削水がブレードの刃先に十分に当たることとな
り、切削抵抗の増加を抑えることができる。そして、イ
ンゴットの切断時におけるブレードのそり量を小さくす
ることができ、ブレード自体に癖をつきにくくすること
ができ、ブレードの寿命をのばすことができる。

【００３６】また、プーリー洗浄機構が、プーリーの露
出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機構を
有している場合には、プーリーの外周面に付着した切粉
が洗浄液によって洗い流されることとなる。これによ
り、例えば、プーリーの表面にブレードの滑りを防止す
るための溝が形成されていた場合にも、溝内に詰まった
切粉を洗浄液によって洗い流すことができる。

【００３７】また、プーリー洗浄機構が、前記プーリー
の露出している外周面に当接可能な洗浄部材を有してい
る場合には、洗浄部材によってプーリーの外周面に付着
している切粉が直接こすり落とされることとなり、より
確実に切粉が除去される。

【００３８】さらに、前記洗浄部材が、ブラシ部材また
はスポンジ部材である場合には、プーリーの表面にブレ
ードの滑りを防止するための溝が形成されていた場合に
も、洗浄部材を溝内にまで到達させることができ、溝内
に詰まった切粉も取り除くことができる。

【００３９】また、プーリー洗浄機構が、プーリーの回
転軸と平行した軸で回転可能とされかつ外周面にシート
状の前記洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを有す
る構成とした場合には、ローラーが回転することで、洗
浄部材の片減りを生じにくくすることができる。さら
に、シート状の洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラー
を有するので、洗浄部材の目詰まり等の状態に応じて洗
浄部材の取り替えができるとともに、切粉の付着状況に
応じて異なる種類の洗浄部材に適宜変更することが容易
となる。これにより、洗浄作業の効率化をさらに図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第一の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置の主要部の構成を示す斜視図である。

【図２】 本発明の第一の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置の主要部の概略構成を示す平面図である。

【図３】 本発明の第一の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置のプーリー洗浄機構によるプーリーの洗浄の
様子を示す側面図である。

【図４】 本発明の第二の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置の主要部の構成を示す斜視図である。

【図５】 本発明の第二の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置のプーリー洗浄機構の構成を示す分解斜視図
である。

【図６】 本発明の第二の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置のプーリー洗浄機構の他の構成を示す分解斜
視図である。

【図７】 本発明の第二の実施の形態にかかるインゴッ
ト切断装置のプーリー洗浄機構に用いられる洗浄部材の
他の構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１、４１ インゴット切断装置 ２ インゴット ６ａ 駆動側主軸部（駆動機構） ７ プーリー ９ ブレード １１ 駆動モータ
（駆動機構） １２ Ｖベルト（駆動機構） １６ スプレー機構
（プーリー洗浄機構） ２１ 洗浄部材 ３１ ローラー

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸線を略平行にした状態で互いに離間し
   て配置される一対のプーリーと、該一対のプーリーに巻
   き回された無端帯状のブレードと、前記一対のプーリー
   の少なくとも一方を回転駆動して前記ブレードを回転さ
   せる駆動機構とを有し、回転する前記ブレードによって
   インゴットを切断するインゴット切断装置であって、 前記プーリーの外周面を洗浄するプーリー洗浄機構を有
   していることを特徴とするインゴット切断装置。
2. 【請求項２】 前記プーリー洗浄機構は、前記プーリー
   の露出している外周面に洗浄液を吹き付けるスプレー機
   構を有していることを特徴とする請求項１記載のインゴ
   ット切断装置。
3. 【請求項３】 前記プーリー洗浄機構は、前記プーリー
   の露出している外周面に当接可能な洗浄部材を有してい
   ることを特徴とする請求項１または２に記載のインゴッ
   ト切断装置。
4. 【請求項４】 前記洗浄部材は、ブラシ部材またはスポ
   ンジ部材であることを特徴とする請求項３に記載のイン
   ゴット切断装置。
5. 【請求項５】 前記プーリー洗浄機構は、前記プーリー
   の回転軸と平行した軸で回転可能とされかつ外周面にシ
   ート状の前記洗浄部材が着脱可能に巻かれたローラーを
   有していることを特徴とする請求項３または４に記載の
   インゴット切断装置。