JP4129108B2 - マイクロフォン用フィルタおよびマイクロフォン装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体チップ内に形成され、エレクトレットコンデンサ等の音圧を感知する素子を備えるマイクロフォン装置、およびマイクロフォン装置の出力信号のうち音声信号として不要な直流成分や低周波成分を除去するマイクロフォン用フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のマイクロフォン装置およびマイクロフォン用フィルタを図4に示す。図4においては、マイクロフォン装置MU2としてエレクトレットコンデンサECを備えるマイクロフォン装置を例示している。エレクトレットコンデンサECは音圧を受けると容量値が変化して、その両電極間で入力信号Vinが発生する。エレクトレットコンデンサECの一端には接地電位GNDが与えられる。そして、エレクトレットコンデンサECの両端には、ダイオードD1,D2、抵抗R1およびNチャネルMOS型のトランジスタT1,T2からなるインピーダンス変換回路が接続される。具体的には、ダイオードD1のアノードがエレクトレットコンデンサECの一端に、カソードがエレクトレットコンデンサECの他端にそれぞれ接続される。また、ダイオードD2については、ダイオードD1に対してアノードおよびカソードが逆転してエレクトレットコンデンサECの両端に接続される。さらに、抵抗R1がエレクトレットコンデンサECの両端に並列に接続される。また、トランジスタT1のソースがエレクトレットコンデンサECの一端に接続され、ゲートがエレクトレットコンデンサECの他端に接続される。トランジスタT1のドレインにはトランジスタT2のソースが接続される。そして、トランジスタT2のドレインには電源電位Vddが、ゲートには一定電位Vref2がそれぞれ与えられる。また、トランジスタT1,T2のバックゲートには接地電位GNDが与えられる。
【0003】
トランジスタT1のゲート−ソース間の電圧は、入力信号Vinが与えられないときにはダイオードD1,D2、抵抗R1によって0Vに維持される。入力信号Vinが与えられたときには、トランジスタT1のゲート−ソース間の電圧が変動する。そして、それに伴ってドレイン−ソース間に流れる電流が変化する。なお、トランジスタT1はデプリーション型であり、ゲート−ソース間電圧が0Vであってもドレイン−ソース間には電流が流れている。トランジスタT1のドレイン−ソース間電流の変化により、トランジスタT2のドレイン−ソース間に流れる電流も変化し、トランジスタT2のゲート−ソース間電圧が変動する。そして、このトランジスタT2のソースにおける電位の変動が出力信号Vout2となる。
【0004】
また、図4に示すように、マイクロフォン用フィルタFT2は、コンデンサC1および抵抗R4からなるCR回路で構成されている。コンデンサC1の一端にはマイクロフォン装置MU2からの出力信号Vout2が与えられ、コンデンサC1の他端には抵抗R4の一端が接続される。また、抵抗R4の他端には一定電位Vref1が与えられる。
【0005】
マイクロフォン用フィルタFT2は、抵抗R4での電圧降下を出力することで出力信号Vout2に含まれる直流成分や低周波成分を除去する。出力信号Vout2は音声信号として機能するため、その周波数領域はおよそ100Hz〜20kHzでよい。そのために音声信号として不要な直流成分や低周波成分が出力信号Vout2から除去される。
【0006】
マイクロフォン用フィルタFT2の出力は増幅器に入力される。図4においては、ボルテージフォロアと反転増幅器とを含む増幅器を例示している。すなわち、マイクロフォン用フィルタFT2の出力は演算増幅器OP1の正入力端に入力される。演算増幅器OP1の負入力端には演算増幅器OP1の出力が入力され、演算増幅器OP1はボルテージフォロアとして機能する。そして、演算増幅器OP1の出力は、抵抗R2を介して演算増幅器OP2の負入力端に入力される。また、演算増幅器OP2の負入力端には演算増幅器OP2の出力Vout3も抵抗R3を介して入力され、演算増幅器OP2は反転増幅器として機能する。なお、演算増幅器OP2の正入力端には一定電位Vref1が与えられる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
マイクロフォン用フィルタFT2は、コンデンサC1の容量値をCとし、抵抗R4の抵抗値をRとすれば、カットオフ周波数f=1/(2πCR)で直流成分や低周波成分を出力信号Vout2から除去する。出力信号Vout2からおよそ100Hz以下の低周波信号および直流成分を除去するには、容量値Cおよび抵抗値Rの積、すなわち時定数が大きな値でなければならず、例えば1μFの容量値と1.6kΩの抵抗値あるいは100pFの容量値と16MΩの抵抗値といった組み合わせが必要となる。このような大きな抵抗と容量との組み合わせを一つの半導体チップ内に形成しようとすれば、チップ面積が大きくなってしまい、半導体チップの小型化およびコスト削減を阻害する。よって、従来のマイクロフォン用フィルタFT2は、マイクロフォン装置MU2を形成した半導体チップ内に収めることはできず、個別部品のコンデンサや抵抗を用いて構成しなければならなかった。
【0008】
しかし、個別部品のコンデンサや抵抗を用いても、その部品代が高価であることや加工工程数が増加すること、マイクロフォン装置を形成した半導体チップ内に収められないことなどから、小型化およびコスト削減を図ることは困難であった。また、これに伴って増幅器もマイクロフォン装置を形成した半導体チップ内に収められることはなかった。
【0009】
そこで、この発明の課題は、マイクロフォン装置と同じ半導体チップ内に形成することが可能で抵抗値および容量値を成分とする時定数が大きいマイクロフォン用フィルタを実現し、ひいてはマイクロフォン装置の小型化およびコスト削減を図ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、一端とマイクロフォンの出力が入力される他端とを有するコンデンサと、前記コンデンサの前記一端に接続された第1電流電極と固定電位が与えられた第2電流電極と制御電極とを有する第1トランジスタと、第1電流電極と前記第1トランジスタの前記第2電流電極に接続された第2電流電極と前記第1トランジスタの前記制御電極に接続された制御電極とを有する第2トランジスタと、前記第2トランジスタの前記第1電流電極および前記制御電極に接続された定電流源とを備えるマイクロフォン用フィルタである。
【0011】
請求項2に記載の発明は、半導体チップ内に形成されたマイクロフォンと、前記半導体チップ内に形成され、前記マイクロフォンの出力が前記コンデンサの他端に入力される請求項1に記載のマイクロフォン用フィルタとを備えるマイクロフォン装置である。
【0012】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載のマイクロフォン装置であって、前記半導体チップ内に形成され、前記マイクロフォン用フィルタの前記第1トランジスタの前記第1電流電極に接続される入力端を有する増幅器をさらに備えるマイクロフォン装置である。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施の形態にかかるマイクロフォン装置MU1を示したものである。図1においても、図4に示したマイクロフォン装置MU2と同様、例としてエレクトレットコンデンサECを備えるマイクロフォン装置を示している。すなわち、エレクトレットコンデンサECの一端には接地電位GNDが与えられ、エレクトレットコンデンサECは音圧を受けると容量値が変化して、その両電極間で入力信号Vinが発生する。そして、ダイオードD1のアノードがエレクトレットコンデンサECの一端に、カソードがエレクトレットコンデンサECの他端にそれぞれ接続される。また、ダイオードD2については、ダイオードD1に対してアノードおよびカソードが逆転してエレクトレットコンデンサECの両端に接続される。さらに、抵抗R1がエレクトレットコンデンサECの両端に並列に接続される。また、トランジスタT1のソースがエレクトレットコンデンサECの一端に接続され、ゲートがエレクトレットコンデンサECの他端に接続される。トランジスタT1のドレインにはトランジスタT2のソースが接続される。そして、トランジスタT2のドレインには電源電位Vddが、ゲートには一定電位Vref2がそれぞれ与えられる。また、トランジスタT1,T2のバックゲートには接地電位GNDが与えられる。
【0015】
エレクトレットコンデンサEC並びにダイオードD1,D2、抵抗R1およびトランジスタT1,T2からなるインピーダンス変換回路の動作は、マイクロフォン装置MU2と同様であるので説明を省略する。
【0016】
さて、本発明の実施の形態にかかるマイクロフォン装置MU1は半導体チップ内に形成されるが、この半導体チップ内にはさらにマイクロフォン用フィルタFT1および増幅器も形成される。
【0017】
マイクロフォン用フィルタFT1は、基本的には従来のマイクロフォン用フィルタFT2と同様のCR回路であるが、その抵抗にはカレントミラー回路のトランジスタが用いられる。すなわち、マイクロフォン用フィルタFT1は、コンデンサC1、NチャネルMOS型のトランジスタT3,T4および定電流源ISを備えており、トランジスタT3,T4および定電流源ISがカレントミラー回路を構成する。コンデンサC1の一端にはマイクロフォン装置MU1からの出力信号Vout2が与えられる。そして、コンデンサC1の他端にはトランジスタT4のドレインが接続される。また、トランジスタT4のソースには一定電位Vref1が与えられる。トランジスタT3のソースにはトランジスタT4のソースが接続され、トランジスタT3のゲートにはトランジスタT4のゲートが接続される。そして、トランジスタT3のドレインには定電流源ISの一端が接続され、さらにトランジスタT4のゲートが短絡される。定電流源ISの他端には電源電位Vddが与えられる。なお、トランジスタT3,T4のバックゲートにも接地電位GNDが与えられる。
【0018】
マイクロフォン用フィルタFT1は、トランジスタT4のドレイン−ソース間での電圧降下を出力することでトランジスタT2のソースにおける出力信号に含まれる直流成分や低周波成分を除去する。
【0019】
マイクロフォン用フィルタFT1の出力は増幅器に入力される。図1においても図4と同様、ボルテージフォロアと反転増幅器とを含む増幅器を例示している。すなわち、マイクロフォン用フィルタFT1の出力は演算増幅器OP1の正入力端に入力される。演算増幅器OP1の負入力端には演算増幅器OP1の出力が入力され、演算増幅器OP1はボルテージフォロアとして機能する。そして、演算増幅器OP1の出力は、抵抗R2を介して演算増幅器OP2の負入力端に入力される。また、演算増幅器OP2の負入力端には演算増幅器OP2の出力Vout3も抵抗R3を介して入力され、演算増幅器OP2は反転増幅器として機能する。なお、演算増幅器OP2の正入力端には一定電位Vref1が与えられる。
【0020】
さて、マイクロフォン用フィルタFT1における抵抗としてカレントミラー回路のトランジスタが用いられることの理由について以下に説明する。
【0021】
例えばMOSトランジスタの場合、ドレイン−ソース間電流IDSとドレイン−ソース間電圧VDSとの関係すなわち電流電圧特性は、一般に、ドレイン−ソース間電圧VDSの増加に伴ってドレイン−ソース間電流IDSが増加する抵抗性領域と、ドレイン−ソース間電圧VDSが増加してもドレイン−ソース間電流IDSが一定の値以上には増加しない定電流領域とに区分される。しかし、実際には、図2に示すように、定電流領域においてもドレイン−ソース間電圧VDSの増加に伴ってドレイン−ソース間電流IDSが若干増加する現象が見られる。この現象は、ドレイン端において発生した空乏層が実効的なチャネル長を変化させることから生じると考えられており、チャネル長変調効果と称される。このチャネル長変調効果は、次の数1および数2で表わされる。
【0022】
【数1】
【0023】
【数2】
【0024】
ここで、VGSはMOSトランジスタのゲート−ソース間電圧、VTはMOSトランジスタの閾値電圧、λはチャネル長変調係数、βはゲイン定数、Wはチャネル幅、Lはチャネル長、μはチャネル表面でのキャリア移動度、COXは単位面積あたりのゲート絶縁膜の容量値をそれぞれ表わしている。
【0025】
なお、図2に示すように、チャネル長変調効果を考慮した定電流領域における各電流電圧特性をVDS軸に向けて外挿すると、一つの交点に収束することが知られている。この交点までの電圧の絶対値はアーリー電圧VAと称され、その値は集積回路上のトランジスタにおいて50〜100V程度である。
【0026】
このチャネル長変調効果は、見方を変えれば、ドレイン−ソース間電流IDSのわずかな変化によってドレイン−ソース間電圧VDSが大きく変化する現象、と考えることができる。すなわち、定電流領域におけるMOSトランジスタは、大きな値の抵抗(微分抵抗)を有していると見ることができる。
【0027】
よって、このことを利用すれば、個別部品の抵抗を用いずとも大きな値の抵抗を半導体チップ上に設けることができる。そして抵抗値が大きければ、マイクロフォン用フィルタFT1における容量値を大きな値にしなくて済む。これが、マイクロフォン用フィルタFT1における抵抗としてトランジスタが用いられる理由である。
【0028】
ただし、一つのMOSトランジスタに一定のゲート−ソース間電圧を与えて、そのときのドレイン−ソース間を抵抗として用いるだけでは、問題となる場合がある。例えば、温度変化により電流電圧特性が変化して、マイクロフォン用フィルタFT1における抵抗としての値が変動してしまうことが考えられる。その場合、カットオフ周波数fの値に大きく影響を与えるので、音声信号用のフィルタとしての機能を損なうこともありうる。
【0029】
そのために、カレントミラー回路のトランジスタをマイクロフォン用フィルタFT1における抵抗として採用する。カレントミラー回路であれば、温度変化による特性の変動に対する耐性があり、また、それほど面積を増大させることなく半導体チップ内に形成することができる。
【0030】
マイクロフォン用フィルタFT1では、トランジスタT3,T4のいずれのドレイン−ソース間にも、定電流源ISから出力される電流と同じ値の定電流が流れる。しかし、上記のようにチャネル長変調効果が存在することから、トランジスタT4のドレイン−ソース間電圧VDSに変動があった場合には、トランジスタT4のドレイン−ソース間電流IDSが線形特性でわずかに変動する。つまり、トランジスタT4が大きな値の抵抗として機能することになる。
【0031】
なお、図2の電流電圧特性を見れば分かるように、ゲート−ソース間電圧VGSが低いほど、すなわち、定電流領域におけるドレイン−ソース間電流IDSの値が低いほど、チャネル長変調効果は弱くなり、抵抗(定電流領域における微分抵抗)の値は無限大に近づく。よって、抵抗値を大きくするためには、トランジスタT4のドレイン−ソース間電流IDSが小さな値に保たれるよう定電流源ISから出力される電流を絞っておき、トランジスタT4のドレイン−ソース間電圧VDSの変動に対してドレイン−ソース間電流IDSの変動が小さくなるようにしておけばよい。
【0032】
また、チャネル長変調効果は、数2におけるゲイン定数βの値が大きくなることによっても弱まる。図3に示すように、ゲイン定数βの値が異なれば、アーリー電圧VAの値が変化するからである。なお、図3においては、β1>β2、VA1>VA2である。よって、抵抗値を大きくするためには、ゲイン定数βの値を大きくしておけばよい。そのためには、数2から分かるように、トランジスタT4のチャネル長Lを短く設計するか、またはチャネル幅Wを大きく設計すればよい。もちろんこれらのトランジスタサイズは、チップ面積等その他の要素を考慮しつつシミュレーションを行ったり試作品を作製、評価することによって決定される。
【0033】
なお、本実施の形態においては、MOSトランジスタのチャネル長変調効果を利用したが、もちろんバイポーラトランジスタのアーリー効果を用いても同様の効果がある。バイポーラトランジスタをトランジスタT3,T4に用いる場合には、上記のゲート、ドレイン、ソースをそれぞれベース、コレクタ、エミッタと読み替えればよい。
【0034】
また、本実施の形態においてはマイクロフォン装置としてエレクトレットコンデンサを備えるものを例にとって説明したが、その他にも半導体チップ内に形成することが可能なマイクロフォン装置であれば、本発明を適用することができる。そのような例として、例えば半導体チップ内に形成された圧電型マイクロフォン素子などが考えられる。
【0035】
本発明の実施の形態に係るマイクロフォン装置MU1を用いれば、トランジスタT4のドレイン−ソース間の電流電圧特性におけるチャネル長変調効果による微分抵抗を抵抗として利用することができ、抵抗値および容量値を成分とする時定数が大きいマイクロフォン用フィルタを実現できる。また、トランジスタT3,T4および定電流源ISがカレントミラー回路を構成するので、温度変化によるトランジスタT4の電流電圧特性の変動に対する耐性があり、また、それほど面積を増大させることなく半導体チップ内に形成することができる。
【0036】
また、マイクロフォン用フィルタとマイクロフォンとを同じ半導体チップ内に備えるので、マイクロフォン装置の小型化およびコスト削減を図ることができる。
【0037】
また、増幅器をも同じ半導体チップ内に備えるので、さらにマイクロフォン装置の小型化およびコスト削減を図ることができる。
【0038】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、第1トランジスタの第1および第2電流電極間の電流電圧特性におけるチャネル長変調効果またはアーリー効果による微分抵抗を抵抗として利用することができ、抵抗値および容量値を成分とする時定数が大きいマイクロフォン用フィルタを実現できる。また、第1および第2トランジスタ並びに定電流源がカレントミラー回路を構成するので、温度変化による第1トランジスタの電流電圧特性の変動に対する耐性があり、また、それほど面積を増大させることなく半導体チップ内に形成することができる。
【0039】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載のマイクロフォン用フィルタとマイクロフォンとを同じ半導体チップ内に備えるので、マイクロフォン装置の小型化およびコスト削減を図ることができる。
【0040】
請求項3に記載の発明によれば、増幅器をも備えるので、さらにマイクロフォン装置の小型化およびコスト削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態に係るマイクロフォン装置を示す図である。
【図2】 チャネル長変調効果およびアーリー電圧を説明する図である。
【図3】 ゲイン定数とアーリー電圧との関係を説明する図である。
【図4】 従来のマイクロフォン装置およびマイクロフォン用フィルタを示す図である。
【符号の説明】
C1 コンデンサ、T1〜T4 トランジスタ、IS 定電流源、EC エレクトレットコンデンサ、OP1,OP2 演算増幅器。
Claims (3)
- 一端とマイクロフォンの出力が入力される他端とを有するコンデンサと、
前記コンデンサの前記一端に接続された第1電流電極と固定電位が与えられた第2電流電極と制御電極とを有する第1トランジスタと、
第1電流電極と前記第1トランジスタの前記第2電流電極に接続された第2電流電極と前記第1トランジスタの前記制御電極に接続された制御電極とを有する第2トランジスタと、
前記第2トランジスタの前記第1電流電極および前記制御電極に接続された定電流源と
を備えるマイクロフォン用フィルタ。 - 半導体チップ内に形成されたマイクロフォンと、
前記半導体チップ内に形成され、前記マイクロフォンの出力が前記コンデンサの他端に入力される請求項1に記載のマイクロフォン用フィルタと
を備えるマイクロフォン装置。 - 請求項2に記載のマイクロフォン装置であって、
前記半導体チップ内に形成され、前記マイクロフォン用フィルタの前記第1トランジスタの前記第1電流電極に接続される入力端を有する増幅器
をさらに備えるマイクロフォン装置。
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