JP4062803B2 - 磁気ヘッド用サスペンションの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置の磁気ヘッドを支えるためのサスペンションに関する。より詳しくは、配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ハードディスク装置に用いられている従来の磁気ヘッド用サスペンションは、バネ性金属片の一端に磁気ヘッド素子を設け、磁気ヘッド素子とハードディスク装置の信号処理素子の入出力端子との間は、バネ性金属片に一体化していないワイヤで配線されている。
【0003】
ところで、近年、ハードディスク装置の小型高容量化の進展に対し、磁気ヘッド用サスペンション自体も小型軽量化する必要がある。しかし、バネ性金属片に比べワイヤ配線の小型軽量化は十分ではないために、磁気ヘッド用サスペンションの小型軽量化を推進すると、バネ性金属片に対するワイヤ配線の質量、剛性が相対的に大きくなり、意図した性能のサスペンションが製造できないという問題が生ずる。
【0004】
このため、バネ性金属片に軽量な配線を一体化することにより、意図した性能を有し且つ配線一体型で小型軽量タイプの磁気ヘッド用サスペンションが提案されている(特開平9−306114号公報)。この配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの配線の形成は、図3に示すように行われている。
【0005】
先ず、ステンレス箔(バネ材)31/ポリイミドフィルム(絶縁ベース)32/銅箔(配線)33を、接着剤(図せず)で積層した積層材料を用意する(図3(a))。
【0006】
この積層材料の銅箔33をフォトリソグラフ法によりパターニングしてメタルマスク34を形成する(図3(b))。このメタルマスク34は、ポリイミドフィルム32をエッチングにより所期の形状の絶縁ベース35(図3(c)参照)とするためのエッチングマスクとして機能する。ここで、エッチングの手法としては、エキシマレーザー光の照射、プラズマエッチング、強アルカリウェットエッチング等が挙げられる。
【0007】
次に、積層材料のメタルマスク34側から、例えばエキシマレーザー光Lを照射し、露出している部分のポリイミドフィルム32を、ステンレス箔31が露出しない厚みを残してフォトエッチングにより除去し、絶縁ベース35を形成する(図3(c))。
【0008】
次に、メタルマスク34をフォトリソグラフ技術によりパターニングして配線36を形成する(図3(d))。
【0009】
次に、絶縁ベース35以外のステンレス箔31上のポリイミドフィルム薄膜を、エキシマレーザー光Lの照射によりフォトエッチングして除去する(図3(e))。
【0010】
次に、形成された配線36上に、常法によりカバーコート層37を形成する(図3(f))。これにより配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションが得られる。必要に応じ、サスペンションの機械的性質を改善するために、ステンレス箔31に曲げ加工を施することが一般的である(図3(g))。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示した配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法においては、銅箔のパターニングを2回(メタルマスクパターニグ及び配線パターニング)行う必要があり、銅箔のパターニング工程の統一化が模索されている。また、絶縁ベースとなるポリイミドフィルムをパターニングする手法に関し、エキシマレーザー光照射の場合には、高い設備コスト、頻繁なメンテナンス、高いランニングコスト、レーザー照射部に導電性炭化物の付着等の問題がある。また、ウェットエッチングの場合には、人体に対し有害で高コストのエッチャントを使用する必要があり、作業安全上の点でも廃液処理の点でも問題が多い。
【0012】
本発明は、以上の従来の技術を解決しようとするものであり、配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションを製造するに際し、配線となる銅箔のパターニングを1回でできるようにし、且つ絶縁ベースを低コストで簡便に形成できるようにすることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ポリアミック酸層等のポリイミド前駆体層が、熱可塑性であるために接着性に優れ、非常に廉価なアルカリにより造塩して温水処理により簡単に除去でき、また、設備コストがかからず、処理操作も簡便なイミド化処理により接着性、耐熱性及び寸法安定性に優れたポリイミドに変換できること、しかもポリイミド前駆体層が銅箔のパターニング条件(酸性エッチャント等)に対して耐性を有するので、銅箔をメタルマスクとして機能させる必要がなく、銅箔のパターニングも1回で済むことを見出し、本発明を完成させるに至った。
【0014】
即ち、本発明は、以下の工程(a)〜(f)
(a)バネ性材料層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(b)ポリイミド前駆体層上に配線用金属層を形成する工程;
(c)配線用金属層をサブトラクティブ法によりパターニングして配線を一回だけ形成する工程;
(d)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(e)パターニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程;及び
(f)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法を提供する。
【0015】
この製造方法において、工程(f)は、工程(e)の後で実施してもよく、あるいは工程(f)を、工程(c)と工程(d)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(d)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(e)においてポリイミド絶縁ベース層の形成の際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成してもよい。
【0016】
また、本発明は、以下の工程(aa)〜(ee)
(aa)バネ性材料層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(bb)ポリイミド前駆体層上にセミアディティブ法により配線を1回だけ形成する工程;
(cc)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(dd)パターンニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程; 及び
(ee)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法を提供する。
【0017】
この製造方法において、工程(ee)は、工程(dd)の後で実施してもよく、あるいは工程(ee)を、工程(bb)と工程(cc)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(cc)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(dd)においてポリイミド絶縁ベース層の形成の際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成してもよい。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法を図面を参照しながら工程毎に詳細に説明する。
【0019】
なお、図1は配線をサブトラクティブ法により形成する例であり、図2は配線をセミアディティブ法により形成する例である。先ず、図1の態様から説明する。
【0020】
工程(a)
バネ性材料層1上にポリイミド前駆体層2を形成する(図1(a))。
【0021】
具体的には、バネ性を有するステンレススチール箔等のバネ性材料層1の片面に、ポリアミック酸等のポリイミド前駆体をN−メチルピロリドン等に溶解したポリイミド前駆体ワニスを、コンマコーター、ナイフコーター、ロールコーター、リップコーター、ダイコーター等により塗工し、層間密着強度の低下や後工程での発泡の発生を防止するために残存揮発分(溶剤、縮合により生ずる水など)含有量(ポリイミド前駆体層中の全揮発成分の重量百分率(重量%))を30〜50重量%の範囲内に収まるように、通常150℃〜200℃で加熱乾燥してポリイミド前駆体層2を形成する。
【0022】
なお、この乾燥中に、ポリイミド前駆体の一部がイミド化するが、乾燥後のポリイミド前駆体層2のイミド化率が50%を超えないようにする。50%以下であれば、アルカリエッチング液を利用するフォトリソグラフ技術でポリイミド前駆体層2を、微細、高精度且つ低コストでパターニングすることができる。
【0023】
ポリイミド前駆体層2の厚みは、薄すぎると機械的強度が弱くなり、厚すぎるとイミド化後のポリイミド絶縁層がバネ性材料層1の塑性変形に及ぼす影響が大きくなるので、好ましくは5〜25μmである。
【0024】
また、ポリイミド前駆体層2を構成するポリイミド前駆体としては、バネ性材料層1の変形を防止するために、ポリイミド前駆体のイミド化後のポリイミドの熱線膨張係数が、イミド化条件下でアニールされるバネ性材料層1の熱線膨張係数と略同一となるようなものを使用することが好ましい。
【0025】
ここで、ポリイミド前駆体としては、酸二無水物とジアミンとから得られるポリアミック酸類(特開昭60−157286号公報、特開昭60−243120号公報、特開昭63−239998号公報、特開平1−245586号公報、特開平3−123093号公報、特開平5−139027号公報参照)、過剰な酸二無水物とジアミンとから合成した末端が酸二無水物であるポリアミック酸プレポリマーとジイソシアネート化合物とから得られる一部イミド化したポリアミック酸類(ポリアミド樹脂ハンドブック,日刊工業新聞社発行(536頁,1988年);高分子討論集,47(6),1990年参照)等を使用することができる。中でも、酸二無水物とジアミンとから得られるポリアミック酸類を好ましく使用することができる。
【0026】
ここで、酸二無水物の例としては、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,4,3′,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,4,3′,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,4,3′,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)が好ましく挙げられる。また、ジアミンの例としては、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル(DPE)、パラフェニレンジアミン(p−PDA)、4,4′−ジアミノベンズアニリド(DABA)、4,4′−ビス(p−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン(BAPS)が好ましく挙げられる。
【0027】
バネ性材料層1としては、従来の磁気ヘッド用サスペンションで用いられているものと同様のものを使用することができる。例えば、SUS304箔、SUS430箔等のステンレススチールを挙げることができる。
【0028】
なお、バネ性材料層1の厚みは、通常、20〜25μmである。
【0029】
工程(b)
次に、ポリイミド前駆体層2上に配線用金属層3を形成する(図1(b))。
【0030】
具体的には、ポリイミド前駆体層2上に、配線用金属層3として電解銅箔などの金属箔を熱プレス法もしくはロールラミネーション法等により積層すればよい。あるいは、ポリイミド前駆体層2上にスパッタ法で銅等の金属の薄膜を積層させ、更にその上に電解銅等の金属メッキ層を積層して第2金属層を形成することもできる。
【0031】
工程(c)
次に、配線用金属層3を微細で且つ良好な位置精度でパターニングが可能なフォトリソグラフ技術を利用するサブトラクティブ法によりパターニングして配線4を形成する(図1(c))。
【0032】
具体的には、バネ性材料層1の表面を保護フィルム(好ましくは軽剥離性の弱粘着テープ)で被覆した後、配線用金属層3上に配線パターンレジスト層を形成し、塩化第2銅水溶液等のエッチング液で配線用金属層3をエッチングして配線4を形成し、その後、配線パターンレジスト層と保護フィルムとを剥離すればよい。
【0033】
工程(d)
ポリイミド前駆体層2を、後述するポリイミド絶縁ベース層5(図1(e)参照)に対応した形状にフォトリソグラフ技術によりパターニングする(図1(d))。具体的には、ポリイミド前駆体層2上にパターニングレジスト層を形成し、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液や水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で処理し、更に温水でリンスすることによりパターニングすることができる。
【0034】
工程(e)
次に、ポリイミド前駆体層2をイミド化してポリイミド絶縁ベース層5を形成する(図1(e))。
【0035】
ここで、イミド化の条件は、ポリイミド前駆体の種類等に応じて実験的に適宜決定することができる。例えば、大気圧下、窒素ガス雰囲気中で160℃(30分)/180℃(30分)/250℃(30分)/300℃(30分)というようにステップ加熱すればよい。
【0036】
工程(f)
次に、配線4上にカバーコート層6を形成する(図1(f))。これにより、磁気ヘッド用サスペンションが得られる。
【0037】
この工程(f)は工程(e)の後で実施してもよく、あるいは工程(f)を、工程(c)と工程(d)との間で、先ず配線4上にカバーコート用ポリイミド前駆体層7を設ける前工程と、工程(d)においてポリイミド前駆体層2のポリイミド絶縁ベース層5に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層7をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(e)においてポリイミド絶縁ベース層5を形成する際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層7をイミド化してカバーコート層6を形成する後工程とから構成してもよい。
【0038】
工程(f)を工程(e)の後で実施する場合、具体的には、配線4上に感光性樹脂を塗布しパターニングした後に光硬化させることによりカバーコート層6を形成してもよい。また、配線4上に工程(a)と同様にカバーコート用ポリイミド前駆体層7を形成してパターニングし、工程(d)と同様にイミド化することによりしてカバーコート層6を形成してもよい。
【0039】
工程(e)を、前述したように前工程と中工程と後工程をから構成する場合、具体的には、先ず工程(c)の後で配線4上にカバーコート用ポリイミド前駆体層7を設け(図1(f1))、次いでそのカバーコート用ポリイミド前駆体層7を、工程(d)において同時にパターニング(図1(f2))し、工程(e)において同時にイミド化してカバーコート層6を形成すればよい(図1(f3))。
【0040】
工程(g)
上記のように得られた磁気ヘッド用サスペンションに対し、必要に応じてそのバネ性材料層1に曲げ加工を施してもよい(図1(g))。これにより、バネ性材料層1に形状安定性を付与することができる。あるいは、サブトラクティブ法によりバネ性材料層1を所定の形状にエッチングしてもよい(図示せず)。
【0041】
次に、図2の態様について説明する。
【0042】
工程(aa)
図1の態様の工程(a)と同様に、バネ性材料層21上にポリイミド前駆体層22を形成する(図2(a))。
【0043】
工程(bb)
ポリイミド前駆体層22上にセミアディティブ法により配線23を形成する(図2(b))。具体的には、バネ性材料層21上に保護フィルムを貼った後に、ポリイミド前駆体層22上にスパッタ法で銅等の薄膜を積層し、その薄膜上に導体回路パターンレジスト層を形成した後に、電解メッキ法により銅等の金属メッキ層を積層し、次いで配線パターンレジスト層を常法により剥離した後に、ソフトエッチングすることにより配線23を形成し、その後、保護フィルムを剥離すればよい。
【0044】
工程(cc)
ポリイミド前駆体層22を、図1の態様の工程(d)と同様に、ポリイミド絶縁ベース層22(図2(d)参照)に対応した形状にフォトリソグラフ技術によりパターニングする(図2(c))。
【0045】
工程(dd)
パターンニングされたポリイミド前駆体層22を、図1の態様の工程(e)と同様にイミド化してポリイミド絶縁ベース層24を形成する(図2(d))。
【0046】
工程(ee)
次に、配線23上にカバーコート層25を形成する(図2(e))。これにより、磁気ヘッド用サスペンションが得られる。
【0047】
この工程(ee)は、工程(dd)の後で実施してもよく、あるいは工程(ee)を、工程(bb)と工程(cc)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(cc)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(dd)においてポリイミド絶縁ベース層を形成する際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成してもよい。
【0048】
工程(ee)を工程(dd)の後で実施する場合、具体的には、配線23上に感光性樹脂を塗布しパターニングした後に光硬化させることによりカバーコート層25を形成してもよい。また、配線23上に工程(aa)と同様にカバーコート用ポリアミック酸層を形成してパターニングし、工程(d)と同様にイミド化することによりしてカバーコート層25を形成してもよい。
【0049】
工程(ee)を、前述したように前工程と中工程と後工程をから構成する場合、具体的には、先ず工程(bb)の後で配線23上にカバーコート用ポリイミド前駆体層26を設け(図2(e1))、次いでそのカバーコート用ポリイミド前駆体層26を、工程(cc)において同時にパターニング(図2(e2))し、工程(dd)において同時にイミド化してカバーコート層25を形成すればよい(図2(e3))。
【0050】
工程(ff)
上記のように得られた磁気ヘッド用サスペンションに対し、必要に応じてそのバネ性材料層21に曲げ加工を施してもよい(図2(f))。これにより、バネ性材料層21に形状安定性を付与することができる。あるいは、サブトラクティブ法によりバネ性材料層21を所定の形状にエッチングしてもよい(図示せず)。
【0051】
図1の態様においては、先ずバネ性材料層1上にポリイミド前駆体層2を設け、更にポリイミド前駆体層2上に配線用金属層3を設けているが、先に配線用金属層3上にポリイミド前駆体層2を設け、更にポリイミド前駆体層2上にバネ性材料層1を設けてもよい。即ち、工程(a)及び工程(b)に代えて、以下の工程(a′)及び(b′)を実施し、それ以外の工程(c)〜工程(f)は上述した通りの工程である製造方法も本発明の範囲である。
【0052】
即ち、以下の工程
(a´)配線用金属層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(b´)ポリイミド前駆体層上にバネ性材料層を形成する工程;
(c)配線用金属層をサブトラクティブ法によりパターニングして配線を1回だけ形成する工程;
(d)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(e)パターニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程; 及び
(f)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法も本発明の範囲である。
【0053】
この製造方法においても、工程(f)は、工程(e)の後で実施してもよく、あるいは工程(f)を、工程(c)と工程(d)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(d)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(e)においてポリイミド絶縁ベース層の形成の際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成してもよい。
【0054】
以上のようにして得られる磁気ヘッド用サスペンションは、配線がバネ性金属片に一体的に作り込まれているので非常に小型軽量化したものであり、従って記録容量の増大したハードディスク装置に好ましく適用できるものとなる。しかも、ワイヤレスであるので磁気ヘッド素子のバネ性金属片への組み込み生産性も非常に向上し、更にデータの転送速度の高速化にも対応できるものとなる。
【0055】
【実施例】
以下、本発明を具体的に説明する。
【0056】
参考例
温度コントローラーとジャケット付きの60リットルの反応釜に、パラフェニレンジアミン(PDA、三井化学社製)1.05kg(11.2モル)と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル(DPE、和歌山精化社製)0.86kg(4.8モル)とを、窒素ガス雰囲気下で溶剤N−メチル−2−ピロリドン(NMP、三菱化学社製)約45kgに溶解した。その後、50℃において、ピロメリット酸二無水物(PMDA、三菱瓦斯化学社製)3.523kg(16.14モル)を徐々に加えながら、3時間反応させた。これにより、固形分約12%、粘度25Pa・S(25℃)のポリアミック酸ワニスを調製した。
【0057】
実施例1
25μm厚のステンレススチール箔(SUS箔)上に、参考例で得られたポリアミック酸ワニスを塗布し、100℃(5分)、140℃(5分)、170℃(10分)の連続炉で溶剤を揮散させ、ポリイミド前駆体層として10μm厚のポリアミック酸層を形成した。
【0058】
次に、ポリアミック酸層上に9μm厚の銅箔を重ね、170℃のプレス装置(50kg/cm2)で10分間熱圧着した。
【0059】
次に、SUS箔の表面を保護フィルムで被覆した後、銅箔上に配線パターンレジスト層を形成し、塩化第2銅水溶液等のエッチング液で銅箔をエッチングして70μmピッチの配線を形成した。その後、配線パターンレジスト層と保護フィルムとを剥離した。
【0060】
配線上にポリアミック酸層のエッチングレジストパターン層を形成し、60℃に加温したTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)水溶液で処理した後、60℃の温水でリンスすることによりポリアミック酸層をパターニングし、常法によりエッチングレジストパターン層を除去した。
【0061】
次に、得られたSUS箔/パターン化ポリアミック酸層/配線からなる積層体を、加熱処理装置に投入し、160℃(30分)、180℃(30分)、250℃(30分)及び300℃(30分)のステップ加熱を施すことによりイミド化処理を行い、ポリアミック酸層をポリイミド絶縁ベース層とした。
【0062】
次に、配線上に、カバーコート用のポリアミック酸層を形成し、イミド化することによりカバーコート層を形成した。これにより、磁気ヘッド用サスペンションが得られた。
【0063】
実施例2
25μm厚のステンレススチール箔(SUS箔)上に、参考例で得られたポリアミック酸ワニスを塗布し、100℃(5分)、140℃(5分)、170℃(10分)の連続炉で溶剤を揮散させ、ポリイミド前駆体層として10μm厚のポリアミック酸層を形成した。
【0064】
ポリイミド前駆体層上に、スパッタ法でNi層を約200Å厚で堆積し、その上にCu層を約1000Å厚で堆積し、その薄膜上に配線パターンレジスト層を形成した。電解メッキ法により電解銅メッキ層を18μm厚みで堆積し、次いで配線パターンレジスト層を剥離した。更に、全面を過酸化水素及び硫酸の混合液でソフトエッチングして配線を形成した。
【0065】
次に、配線上にポリアミック酸層のエッチングレジストパターン層を形成し、60℃に加温したTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)水溶液で処理した後、60℃の温水でリンスすることによりポリアミック酸層をパターニングし、常法によりエッチングレジストパターン層を除去した。
【0066】
次に、得られたSUS箔/パターン化ポリアミック酸層/配線からなる積層体を、加熱処理装置に投入し、160℃(30分)、180℃(30分)、250℃(30分)及び300℃(30分)のステップ加熱を施すことによりイミド化処理を行い、ポリアミック酸層をポリイミド絶縁ベース層とした。
【0067】
次に、配線上に、カバーコート用のポリアミック酸層を形成し、イミド化することによりカバーコート層を形成した。これにより、磁気ヘッド用サスペンションが得られた。
【0068】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、配線となる銅箔のパターニングが1回でよく、しかも絶縁ベースを低コストで簡便に形成できる配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの製造工程図である。
【図2】本発明の配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの製造工程図である。
【図3】従来の配線一体型の磁気ヘッド用サスペンションの製造工程図である。
【符号の説明】
1,21 バネ性材料層、2,22 ポリイミド前駆体層、3 配線用金属層、4,23 配線、5,24 ポリイミド絶縁ベース層、6,25 カバーコート層、7,26 カバーコート用ポリイミド前駆体層
Claims (9)
- 以下の工程(a)〜(f)
(a)バネ性材料層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(b)ポリイミド前駆体層上に配線用金属層を形成する工程;
(c)配線用金属層をサブトラクティブ法によりパターニングして配線を一回だけ形成する工程;
(d)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(e)パターニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程; 及び
(f)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。 - 工程(f)が、工程(e)の後で行われる請求項1記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
- 工程(f)が、工程(c)と工程(d)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(d)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(e)においてポリイミド絶縁ベース層を形成する際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成されている請求項1記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
- 以下の工程(aa)〜(ee)
(aa)バネ性材料層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(bb)ポリイミド前駆体層上にセミアディティブ法により配線を1回だけ形成する工程;
(cc)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(dd)パターンニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程; 及び
(ee)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。 - 工程(ee)が、工程(dd)の後で行われる請求項4記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
- 工程(ee)が、工程(bb)と工程(cc)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(cc)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(dd)においてポリイミド絶縁ベース層を形成する際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成されている請求項4記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
- 以下の工程
(a´)配線用金属層上にポリイミド前駆体層を形成する工程;
(b´)ポリイミド前駆体層上にバネ性材料層を形成する工程;
(c)配線用金属層をサブトラクティブ法によりパターニングして配線を1回だけ形成する工程;
(d)ポリイミド前駆体層を、ポリイミド絶縁ベース層に対応した形状に、該配線をマスクとして使用することなくフォトリソグラフ技術によりパターニングする工程;
(e)パターニングされたポリイミド前駆体層をイミド化してポリイミド絶縁ベース層を形成する工程; 及び
(f)配線上にカバーコート層を形成する工程
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。 - 工程(f)が、工程(e)の後で行われる請求項7記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
- 工程(f)が、工程(c)と工程(d)との間で、先ず配線上にカバーコート用ポリイミド前駆体層を設ける前工程と、工程(d)においてポリイミド前駆体層のポリイミド絶縁ベース層に対応した形状へのパターニングの際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をカバーコート層形状にパターニングする中工程と、工程(e)においてポリイミド絶縁ベース層を形成する際に、同時にカバーコート用ポリイミド前駆体層をイミド化してカバーコート層を形成する後工程とから構成されている請求項7記載の磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
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