JP4056555B2 - 酸化物層と電流誘導加熱を使用した熱アシスト磁気書込み - Google Patents
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Description
writing)に関し、より詳細には磁気ランダム・アクセス・メモリ・デバイスにおける電流誘導加熱(current-inducedheating)に関する。
magnetic electrode)とを有する不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスを提供する。酸化物をバリアとして使用するとき、固定磁気電極および自由磁気電極はその酸化物と隣接している。ホールを有する酸化物の設計では、2つの電極の間に非磁性体のスペーサ金属を設けることもできる。酸化物層は、固定磁気電極と自由磁気電極の間にある。本発明では、導体を固定磁気電極に接続する。酸化物層は、電流誘導加熱によって自由磁気電極の磁気異方性を低下させるのに十分な電力消費が起こることを可能にするレベルの抵抗をもっている。電流誘導加熱を、スピン転移トルクまたは磁界と組み合わせて使用して、自由磁気電極をスイッチングさせる。固定磁気電極は、自由磁気電極よりも厚いか、または磁気異方性が高くなっている。
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
絶縁体層と、
自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にする、デバイス。
(2)
前記固定磁気電極が、1層または複数層を含む、上記(1)に記載のデバイス。
(3)
前記自由磁気電極および前記固定磁気電極に接続されたビット線およびワード線をさらに備え、前記加熱電流が、前記ビット線およびワード線を流れる電流による磁界とあいまって、前記自由磁気電極をスイッチングさせる、上記(1)に記載のデバイス。
(4)
前記絶縁体層の前記抵抗および熱特性が、前記電流誘導加熱によって、前記異方性を一時的に低減するように最適化される、上記(1)に記載のデバイス。
(5)
前記自由磁気電極用の材料は、該自由磁気電極の異方性を温度増加に従って低減し、前記情報の書込み時に限界電流密度が低減するのを可能にするように、最適化される、上記(1)に記載のデバイス。
(6)
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
前記固定磁気電極に接続され、連続でピン・ホールのない絶縁体層と、
前記絶縁体層に接続された自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層が前記固定磁気電極と
前記自由磁気電極の間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、デバイス。
(7)
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
ポーラス絶縁体層と、
前記絶縁体層に隣接した非磁性体層と、
自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層および前記非磁性体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の
異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させる、デバイス。
(8)
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移ベースの書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、上記(7)に記載のデバイス。
(9)
前記自由磁気電極および前記固定磁気電極に接続されたビット線およびワード線をさらに備え、前記加熱電流が、前記ビット線およびワード線を流れる電流による磁界とあいまって、前記自由磁気電極をスイッチングさせる、上記(7)に記載のデバイス。
(10)
前記絶縁体層の前記抵抗および熱特性が、前記電流誘導加熱によって、前記異方性を一時的に低減するように最適化される、上記(7)に記載のデバイス。
(11)
前記自由磁気電極用の材料は、該自由磁気電極の異方性を温度増加に従って低減し、前記情報の書込み時に限界電流密度が低減するのを可能にするように、最適化される、上記(7)に記載のデバイス。
(12)
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスを製造する方法であって、
固定磁気電極を形成するステップと、
前記固定磁気電極上にポーラス絶縁体層を形成するステップと、
前記絶縁体層が前記固定磁気電極と自由磁気電極の間にくるように前記絶縁体層上に前記自由磁気電極を形成するステップとを含み、
前記絶縁体層を形成する前記ステップが、前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有するように実施され、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させる、方法。
(13)
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスを製造する方法であって、
固定磁気電極を形成するステップと、
前記固定磁気電極上に絶縁体層を形成するステップと、
前記絶縁体層が前記固定磁気電極と自由磁気電極の間にくるように前記絶縁体層上に前記自由磁気電極を形成するステップとを含み、
前記絶縁体層を形成する前記ステップが、前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有するように実施され、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移ベースの書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、方法。
(14)
不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
前記固定磁気電極に接続され、連続でピン・ホールのない絶縁体層と、
前記絶縁体層に接続された自由磁気電極とを備え、
前記絶縁体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、スピン転移の書込みが前記自由磁気電極中で促進されるのに十分な電流密度が存在するのを可能にする抵抗レベルを有する、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にする、デバイス。
130 自由マグネット、自由電極
140 固定マグネット、固定電極、ハード電極
150 磁化方向
160 酸化物バリア
170 非磁性金属スペーサ
200 ビット線
210 ペデスタル(電気接点)
220 ヒートシンク
230 ワード線
240 トランジスタ
Claims (14)
- 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
絶縁体層と、
自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にする、デバイス。 - 前記固定磁気電極が、1層または複数層を含む、請求項1に記載のデバイス。
- 前記自由磁気電極および前記固定磁気電極に接続されたビット線およびワード線をさらに備え、前記加熱電流が、前記ビット線およびワード線を流れる電流による磁界とあいまって、前記自由磁気電極をスイッチングさせる、請求項1に記載のデバイス。
- 前記絶縁体層の前記抵抗および熱特性が、前記電流誘導加熱によって、前記異方性を一時的に低減するように最適化される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記自由磁気電極用の材料は、該自由磁気電極の異方性を温度増加に従って低減し、前記情報の書込み時に限界電流密度が低減するのを可能にするように、最適化される、請求項1に記載のデバイス。
- 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
前記固定磁気電極に接続され、連続でピン・ホールのない絶縁体層と、
前記絶縁体層に接続された自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層が前記固定磁気電極と
前記自由磁気電極の間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、デバイス。 - 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
ポーラス絶縁体層と、
前記絶縁体層に隣接した非磁性体層と、
自由磁気電極とを備え、前記絶縁体層および前記非磁性体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の
異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させる、デバイス。 - 前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移ベースの書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、請求項7に記載のデバイス。
- 前記自由磁気電極および前記固定磁気電極に接続されたビット線およびワード線をさらに備え、前記加熱電流が、前記ビット線およびワード線を流れる電流による磁界とあいまって、前記自由磁気電極をスイッチングさせる、請求項7に記載のデバイス。
- 前記絶縁体層の前記抵抗および熱特性が、前記電流誘導加熱によって、前記異方性を一時的に低減するように最適化される、請求項7に記載のデバイス。
- 前記自由磁気電極用の材料は、該自由磁気電極の異方性を温度増加に従って低減し、前記情報の書込み時に限界電流密度が低減するのを可能にするように、最適化される、請求項7に記載のデバイス。
- 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスを製造する方法であって、
固定磁気電極を形成するステップと、
前記固定磁気電極上にポーラス絶縁体層を形成するステップと、
前記絶縁体層が前記固定磁気電極と自由磁気電極の間にくるように前記絶縁体層上に前記自由磁気電極を形成するステップとを含み、
前記絶縁体層を形成する前記ステップが、前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有するように実施され、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させる、方法。 - 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスを製造する方法であって、
固定磁気電極を形成するステップと、
前記固定磁気電極上に絶縁体層を形成するステップと、
前記絶縁体層が前記固定磁気電極と自由磁気電極の間にくるように前記絶縁体層上に前記自由磁気電極を形成するステップとを含み、
前記絶縁体層を形成する前記ステップが、前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有するように実施され、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて前記MRAMデバイスに情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移ベースの書込みが起こるのを可能にするレベルで生ずる、方法。 - 不揮発性磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスであって、
固定磁気電極と、
前記固定磁気電極に接続され、連続でピン・ホールのない絶縁体層と、
前記絶縁体層に接続された自由磁気電極とを備え、
前記絶縁体層が、前記固定磁気電極と前記自由磁気電極との間にあり、
前記絶縁体層が、スピン転移の書込みが前記自由磁気電極中で促進されるのに十分な電流密度が存在するのを可能にする抵抗レベルを有する、
前記絶縁体層が、前記自由磁気電極を電流誘導加熱により前記自由磁気電極の異方性を低下させるのに十分な電力消費を可能にするレベルの抵抗を有し、
前記加熱が、前記自由磁気電極をスイッチングさせて情報を書き込むのを助け、前記加熱がない場合に必要とされる値よりも低い値にまで電流密度を低下させ、
前記加熱電流が、スピン分極されており、前記自由磁気電極中でスピン転移により書込みが起こるのを可能にする、デバイス。
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