JP3855684B2 - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物を載置する加工テーブルや加工ヘッド、被加工物の位置を検出するための位置検出手段から構成されるレーザ加工装置およびレーザ加工方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、加工手段にレーザ光を用い、被加工物を載置する加工テーブルや加工ヘッド、被加工物の位置を検出するための位置検出手段などから構成される加工装置においては、図12のように構成されている。以下、図12を参照しながら説明する。
【0003】
1は加工位置や加工条件が記述されているドリルデータ、2はドリルデータ1を位置データ31と加工条件32に分割する主制御部である。
【0004】
71は被加工物であるプリント基板であり、加工テーブル7に載置されている。
【0005】
61はY軸駆動装置、62はX軸駆動装置で、両駆動装置にて加工テーブル7を2次元的に駆動する。
【0006】
レーザ発振器51から出力されたレーザ光は、ミラー52a、52bにより加工テーブル7と向かい合う位置に固定された加工ヘッド81に導かれる。
【0007】
加工ヘッド81は加工ヘッド制御装置8によって制御され、入射されたレーザ光を2次元的に位置決めしレーザ光をプリント基板71上に照射する。
【0008】
加工ヘッド81にはプリント基板に設けられたアライメント用のマークを見るためのカメラ91が取り付けられており、認識装置9はカメラ91で見た画像からアライメント用マークの位置を認識してからプリント基板71の位置を検出する。
【0009】
認識装置9にて検出されたプリント基板71の位置情報は主制御部2へ送られ、主制御部2はプリント基板71の位置と加工ヘッド81の位置のズレを実質的に無くすような移動指令を加工テーブル制御装置6に出力し、加工テーブル制御装置6は主制御部2からの移動指令を受け、位置データ31を読み込み、Y軸駆動装置61とX軸駆動装置62を制御して加工テーブルをプリント基板71の位置と加工ヘッド81の位置のズレを実質的に無くすような位置に移動する。
【0010】
主制御部2は加工テーブル制御装置6から移動完了の信号を受けて加工ヘッド制御装置8に加工ヘッド81の制御開始の指令を出力するとともに、レーザ制御部5へレーザ制御の指令を出力する。
【0011】
レーザ制御部5は主制御部2からレーザ制御の指令を受けると、加工条件データ32を読み込み、レーザ発振器51を制御しレーザ光の出射を行う。
【0012】
上記のように構成された加工装置では、プリント基板を1枚ずつ搬入して加工を行い、加工が終了すれば搬出して次のプリント基板を搬入して加工する作業を繰り返している。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の加工装置においては、プリント基板に設けられたアライメント用のマークの位置をカメラ、認識装置にて検出し、プリント基板の位置と加工ヘッドの位置のズレを実質的に無くすように加工テーブルを移動し、位置のズレが無くなってから加工を行っている。
【0014】
昨今、電子機器の小型化、軽量化への要望はますます高まっており、パッケージや高密度実装に対する需要が増大している。
【0015】
それに伴い生産性の向上が求められているが、加工開始から加工終了までのタクトタイムには限界があり、生産性を向上させるためには複数台の加工装置を揃える必要があった。
【0016】
しかし、加工装置を複数台揃えるためには設置するための場所が必要になり、その結果として面積生産性が悪くなるという問題がある。
【0017】
そこで、1台の加工装置に少なくとも2つの加工ヘッドと1つの加工テーブルを設け、少なくとも2枚のプリント基板を同時に加工できる加工装置とすることで、設置面積の増加を抑えたまま生産性の向上を図った加工装置が求められている。
【0018】
このような要望に対し、従来の加工装置に複数の加工ヘッドを取り付ける際には取り付け上の位置の誤差があり、また、1つの加工テーブルに少なくとも2枚のプリント基板を載せる位置にも誤差があるため、少なくとも2枚のプリント基板を同時に加工する際には、前記2つの位置の誤差の合成分が加工位置の誤差として表れてしまうという問題があった。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1記載の本発明は、少なくとも2つの被加工物を載置する加工テーブルと、前記加工テーブルに向い合う位置に略固定し、被加工物にレーザ光を照射して加工する少なくとも2つの加工ヘッドと、前記加工ヘッドに設けた被加工物の位置を検出する検出部と、前記加工テーブルを移動する駆動部と、前記駆動部を制御する加工テーブル制御部と、加工ヘッドで最大に加工できる範囲内で加工範囲を移動する制御部を備え、前記各検出手段から信号を入力し、被加工物の位置とこの被加工物を加工する加工ヘッドの位置のズレを入力する位置決め制御部を設け、前記位置決め制御部は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる信号を前記制御部に出力するように構成したものである。
【0020】
請求項2記載の本発明は、前記位置決め制御部が、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、該当する加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止する信号を出力するように構成したものである。
【0021】
請求項3記載の本発明は、被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる際に、この移動データを加工テーブル補正データとし、加工位置データと前記加工テーブル補正データを位置決め制御部で処理するように構成したものである。
【0022】
請求項4記載の本発明は、被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、この移動データを加工ヘッド補正データとし、加工位置データと前記加工ヘッド補正データを位置決め制御部で処理するように構成したものである。
【0023】
請求項5記載の本発明は、加工ヘッドにレーザ光を供給するレーザ発振器を設け、加工ヘッドには供給されたレーザ光を被加工物へ照射するガルバノスキャナとレンズを有するように構成したものである。
【0024】
請求項6記載の本発明は、請求項1から5のいずれかに記載の加工装置を用いた加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有する加工方法である。
【0025】
請求項7記載の本発明は、移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動する際に、各加工ヘッドの加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止するようにした加工方法である。
【0026】
請求項8記載の本発明は、請求項3記載の加工装置を用いた加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有する加工方法である。
【0027】
請求項9記載の本発明は、請求項4記載の加工装置を用いた加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有する加工方法である。
【0028】
請求項10記載の本発明は、請求項4記載の加工装置を用いた加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有する加工方法である。
【0029】
請求項11記載の本発明は、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップの後で、被加工物に加工ヘッドを介してレーザ光を照射するようにした加工方法である。
【0030】
【発明の実施の形態】
上記構成により、請求項1記載の発明は、加工ヘッドに設けた被加工物の位置を検出する検出部からの信号により、被加工物の位置とこの被加工物を加工する加工ヘッドの位置のズレを入力する位置決め制御部は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる信号を制御部に出力するという作用を有する。
【0031】
請求項2記載の発明は、前記位置決め制御部が、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、該当する加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止する信号を出力するという作用を有する。
【0032】
請求項3記載の発明は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させるための移動データを加工テーブル補正データとし、被加工物の加工位置を示す加工位置データと前記加工テーブル補正データを位置決め制御部で処理するという作用を有する。
【0033】
請求項4記載の発明は、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、この移動データを加工ヘッド補正データとし、被加工物の加工位置を示す加工位置データと前記加工ヘッド補正データを位置決め制御部で処理するという作用を有する。
【0034】
請求項5記載の発明は、請求項1から4に記載の発明において、加工ヘッドにはガルバノスキャナとレンズを有し、レーザ発振器から供給されたレーザ光を被加工物へ照射するという作用を有する。
【0035】
請求項6記載の本発明は、加工テーブルに置かれた少なくとも2つの被加工物の位置を認識し、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出し、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動させ、更に各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するという作用を有する。
【0036】
請求項7記載の本発明は、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動する際に、各加工ヘッドの加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止するという作用を有する。
【0037】
請求項8記載の本発明は、少なくとも2つの被加工物の置かれている位置を認識し、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出し、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとして加工テーブルを移動し、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するという作用を有する。
【0038】
請求項9記載の本発明は、少なくとも2つの被加工物の置かれた位置を認識して、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出し、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動し、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するという作用を有する。
【0039】
請求項10記載の本発明は、少なくとも2つの被加工物の置かれた位置を認識し、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出し、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとして加工テーブルを移動し、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとして加工範囲を移動するという作用を有する。
【0040】
請求項11記載の本発明は、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動した後に、被加工物に加工ヘッドを介してレーザ光を照射するという作用を有する。
【0041】
以下、本発明のレーザ加工機の実施の形態について、図1ないし図11および図13ないし図15を参照しながら説明する。
【0042】
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1につき図1に沿って説明する。
【0043】
1は加工位置や加工条件が記述されているドリルデータ、2はドリルデータ1を位置データ31と加工条件32に分割する主制御部である。
【0044】
71と72は被加工物であるプリント基板であり加工テーブル7に載置する。
【0045】
61はY軸駆動装置、62はX軸駆動装置、6は加工テーブル制御装置で加工テーブル制御装置6は両駆動装置を制御し加工テーブル7を2次元的に駆動する。
【0046】
レーザ発振器51から出力されたレーザ光はミラー52a、52bにより加工テーブル7と向かい合う位置に固定された加工ヘッド81に導かれる。
【0047】
またミラー52aと52bの間には分光器53が設置されており、レーザ光を分光してもう一方の加工ヘッド82に導かれる。
【0048】
加工ヘッド81および82は加工ヘッド制御装置8によって制御され、入射されたレーザ光を2次元的に位置決めしレーザ光をプリント基板71および72上に照射する。
【0049】
加工ヘッド81および82は前記2次元的な位置決めが可能な範囲があり、それは図13に示すような限界の範囲である最大加工範囲801と通常の加工に使用する加工範囲802からなる。
【0050】
加工範囲802は加工ヘッド制御装置8により制御され、最大加工範囲801の範囲内で移動させることができる。加工ヘッド81および82にはプリント基板に設けられたアライメント用のマークを見るためのカメラ91および92が取り付けられており、認識装置9はカメラ91および92で見た画像からアライメント用マークの位置を認識してからプリント基板71および72の各々の位置を検出する。
【0051】
主制御部2から動作指令を受けた位置決め制御部4は、前記認識装置9にて検出されたプリント基板71および72の位置情報を受け取り、プリント基板71の位置と加工ヘッド81の位置のズレ、プリント基板72と加工ヘッド82の位置のズレがほぼ等しくなるような移動指令を加工テーブル制御装置6に出力し、加工テーブル制御装置6はY軸駆動装置61とX軸駆動装置62を制御して加工テーブル7を移動する。
【0052】
更に位置決め制御部4は、加工テーブル7の移動で残った各加工ヘッド毎の位置のズレを実質的に無くすような移動指令を加工ヘッド制御装置8に出力し、各加工ヘッドにて加工範囲802を移動する。
【0053】
このように、前記位置決め制御部4を設けることによって、各加工ヘッドと各被加工物との間の位置のズレがほぼ等しくなるよう加工テーブルを移動させ、残りの位置のズレを実質的に無くすように各加工ヘッドの加工範囲を移動させることで、1台の加工テーブルに複数の被加工物を載置し複数の加工ヘッドで同時加工する際の、加工ヘッドと被加工物の位置のズレを無くすことができる。
【0054】
(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2について図1および図2に沿って説明する。
【0055】
図2は図1の位置決め制御部4の詳細を図示したものである。
【0056】
位置決め制御部4は各加工ヘッドの最大加工範囲を記憶する記憶手段43を設け、位置決め制御部4が各加工ヘッドの加工範囲を移動して各加工ヘッドと被加工物との位置のズレを実質的に無くすように制御する際に、前記加工範囲の移動が前記記憶手段43に記憶されている最大加工範囲を超えるかどうか判定し、超える場合は加工を中止する信号を主制御部2、認識装置9、加工ヘッド制御装置8、レーザ制御部5、加工テーブル制御部6に出力する。
【0057】
これにより、各加工ヘッドの最大加工範囲を超えて加工範囲を移動するのを防ぐことができる。
【0058】
(実施の形態3)
以下、本発明の実施の形態3につき図1および図3、図14に沿って説明する。
【0059】
図3は図1の位置決め制御部4の詳細を図示したものである。
【0060】
44は加工テーブル補正部で、認識装置9から受け取った各加工ヘッドと各被加工物との間の位置のズレから、前記位置のズレがほぼ等しくなるような加工テーブルの移動量を加工テーブル補正データとして前記位置のズレの平均値から算出し、位置決め制御部4に出力する。
【0061】
加工テーブル補正データの算出方法を図14を用いて説明する。
【0062】
図14においてヘッド1側の位置ズレを(x1、y1)、ヘッド2側の位置ズレを(x2、y2)とすると、両者の平均は(x1/2+x2/2、y1/2+y2/2)となり、この分だけ加工テーブルを移動すると、両ヘッドの位置ズレが最も小さくなる。(図14の矢印線)
したがって、この移動量を加工テーブル補正データとし加工データ補正部は動作する。
【0063】
(実施の形態4)
以下、本発明の実施の形態4につき図1および図4、図15に沿って説明する。
【0064】
図4は図1の位置決め制御部4の詳細を図示したものである。
【0065】
45は加工ヘッド補正部で、各加工ヘッド毎の位置のズレが実質的に無くなるような加工ヘッド補正データを算出し、位置決め制御部4に出力する。
【0066】
位置決め制御部4は受け取った加工ヘッド補正データに基づき加工ヘッド制御装置8に移動指令を出力し各加工ヘッドでの加工範囲を移動させる。
【0067】
図15に沿って説明すると、(a)の実線は加工ヘッド1の位置のズレ、(b)の実線は加工ヘッド2の位置のズレを表し、加工テーブルを各加工ヘッド毎の位置のズレがほぼ等しくなるように移動したものがそれらの中間に位置する矢印線を表す。
【0068】
このとき、各加工ヘッド毎の位置のズレは、加工テーブルが矢印線の移動を行ったことにより加工ヘッド1側の位置のズレはL1、加工ヘッド2側の位置のズレはL2になる。
【0069】
このL1、L2を実質的に無くすために各加工ヘッドにおいて加工範囲の移動を行う。
【0070】
したがって、加工ヘッド毎の加工ヘッド補正データはL1、L2となり、各加工ヘッドにおける加工範囲の位置は図15下段のイメージとなる。
【0071】
(実施の形態5)
以下、本発明の実施の形態5につき図1および図5に沿って説明する。
【0072】
レーザ発振器5から出射されたレーザ光は、ミラー52により加工ヘッド81に導かれ、ガルバノスキャナ810、820で2次元的に位置決めされ、レンズ830にて被加工物上に焦点を結ぶことで加工を行う。
【0073】
レーザ光の2次元的な位置決めはガルバノスキャナ810、820によって実現され、加工ヘッド制御装置8はガルバノスキャナ810、820の制御を行っている。
【0074】
したがって、加工範囲の移動は加工ヘッド制御装置の指令を受けガルバノスキャナ810、820によって行うことができる。今回は加工ヘッド81について説明したが、加工ヘッド82においても同様である。
【0075】
(実施の形態6)
以下、本発明の実施の形態6につき図6に沿って説明する。
【0076】
加工の開始とともにプリント基板(被加工物)の載置ステップ101により少なくとも2枚のプリント基板が加工テーブルに載置される。
【0077】
次に、プリント基板位置検出ステップ111によりプリント基板の位置が検出される。
【0078】
次に、ヘッド毎位置ズレ算出ステップ121により各加工ヘッド毎に加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが算出される。
【0079】
次に、加工テーブルを移動ステップ131により、前記算出された位置のズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動する。
【0080】
次に、加工範囲を移動ステップ141により加工テーブル移動後の各加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが実質的に無くすように加工範囲を移動することで、加工ヘッドとプリント基板の位置のズレは補正される。
【0081】
そして加工が実行される。
【0082】
これら一連の処理が実施される加工方法である。
【0083】
(実施の形態7)
以下、本発明の実施の形態7につき図7に沿って説明する。
【0084】
図7は図6のうちヘッド毎の位置ズレ算出121と加工テーブルを移動131の間に、加工ヘッドの加工範囲の移動量が最大加工範囲を越えないかどうかをチェックするステップ125を設け、範囲内であれば加工テーブルを移動131に進み、範囲外であればエラー処理ステップ126で加工停止などのエラー処理を行い、加工を終了する加工方法である。
【0085】
これにより、加工範囲が最大加工範囲を越えた場所に移動してしまうのを防止することができる。
【0086】
(実施の形態8)
以下、本発明の実施の形態8につき図8に沿って説明する。
【0087】
図8は実施の形態3の加工装置を用いた加工方法であって、加工の開始とともにプリント基板(被加工物)の載置ステップ101により少なくとも2枚のプリント基板が加工テーブルに載置される。
【0088】
次に、プリント基板位置検出ステップ111によりプリント基板の位置が検出される。
【0089】
次に、ヘッド毎位置ズレ算出ステップ121により各加工ヘッド毎に加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが算出される。
【0090】
次に、加工テーブル補正データ作成ステップ122は、前記算出された位置のズレから各ヘッドの位置のズレの平均値を計算し加工テーブル補正データを作成する。
【0091】
加工ヘッドの加工範囲の移動量が最大加工範囲を越えないかどうかをチェックするステップ125を設け、範囲内であればステップ132に進み、範囲外であればエラー処理ステップ126で加工停止などのエラー処理を行い、加工を終了する。
【0092】
次に、ステップ132は前記ステップ122にて作成された加工テーブル補正データを目標とする位置に加算することで、補正後の位置へ加工テーブルを移動させる。次に、ステップ141により加工テーブル移動後の各加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが実質的に無くすように加工範囲を移動することで、加工ヘッドとプリント基板の位置のズレは補正される。
【0093】
そして加工が実行される。これら一連の処理が実施される加工方法である。
【0094】
(実施の形態9)
以下、本発明の実施の形態9につき図9に沿って説明する。
【0095】
図9は実施の形態4の加工装置を用いた加工方法であって、加工の開始とともにプリント基板(被加工物)の載置ステップ101により少なくとも2枚のプリント基板が加工テーブルに載置される。
【0096】
次に、プリント基板位置検出ステップ111によりプリント基板の位置が検出される。
【0097】
次に、ヘッド毎位置ズレ算出ステップ121により各加工ヘッド毎に加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが算出される。
【0098】
次に、加工ヘッド補正データ作成ステップ123は、加工テーブル移動ステップ131で移動した場合の加工ヘッドの残りのズレを補正する加工ヘッド補正データを作成する。
【0099】
次に、加工ヘッドの加工範囲の移動量が最大加工範囲を越えないかどうかをチェックするステップ125を設け、範囲内であればステップ131に進み、範囲外であればエラー処理ステップ126で加工停止などのエラー処理を行い、加工を終了する。
【0100】
次に、加工テーブルを移動ステップ131により、前記算出された位置のズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動する。
【0101】
次に、ステップ142により前記算出した加工ヘッド補正データで加工ヘッドの加工範囲をシフトさせ、加工ヘッドとプリント基板の位置のズレは補正された。
【0102】
そして加工が実行される。
【0103】
これら一連の処理が実施される加工方法である。
【0104】
(実施の形態10)
以下、本発明の実施の形態10につき図10に沿って説明する。
【0105】
図10は実施の形態4の加工装置を用いた加工方法であって、加工の開始とともにプリント基板(被加工物)の載置ステップ101により少なくとも2枚のプリント基板が加工テーブルに載置される。
【0106】
次に、プリント基板位置検出ステップ111によりプリント基板の位置が検出される。
【0107】
次に、ヘッド毎位置ズレ算出ステップ121により各加工ヘッド毎に加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが算出される。
【0108】
次に、加工テーブル補正データ作成ステップ122は、前記算出された位置のズレから各ヘッドの位置のズレの平均値を計算し加工テーブル補正データを作成する。
【0109】
次に、加工ヘッド補正データ作成ステップ123は、加工テーブル移動ステップ132で移動した場合の加工ヘッドの残りのズレを補正する加工ヘッド補正データを作成する。
【0110】
次に、加工ヘッドの加工範囲の移動量が最大加工範囲を越えないかどうかをチェックするステップ125を設け、範囲内であればステップ132に進み、範囲外であればエラー処理ステップ126で加工停止などのエラー処理を行い、加工を終了する。
【0111】
次に、ステップ132は前記ステップ122にて作成された加工テーブル補正データを目標とする位置に加算することで、補正後の位置へ加工テーブルを移動させる。
【0112】
次に、ステップ142により前記算出した加工ヘッド補正データで加工ヘッドの加工範囲をシフトさせ、加工ヘッドとプリント基板の位置のズレは補正される。
【0113】
そして加工が実行される。
【0114】
ステップ122、ステップ123にて予め補正データを作成しておくことにより、ステップ132、ステップ142の補正処理が簡略化でき、容易に補正をかけることができる。
【0115】
(実施の形態11)
以下、本発明の実施の形態11につき図11に沿って説明する。
【0116】
図11は実施の形態4の加工装置を用いた加工方法であって、加工の開始とともにプリント基板(被加工物)の載置ステップ101により少なくとも2枚のプリント基板が加工テーブルに載置される。
【0117】
次に、プリント基板位置検出ステップ111によりプリント基板の位置が検出される。
【0118】
次に、ヘッド毎位置ズレ算出ステップ121により各加工ヘッド毎に加工ヘッドとプリント基板の位置のズレが算出される。
【0119】
次に、加工テーブル補正データ作成ステップ122は、前記算出された位置のズレから各ヘッドの位置のズレの平均値を計算し加工テーブル補正データを作成する。
【0120】
次に、加工ヘッド補正データ作成ステップ123は、加工テーブル移動ステップ132で移動した場合の加工ヘッドの残りのズレを補正する加工ヘッド補正データを作成する。
【0121】
次に、加工ヘッドの加工範囲の移動量が最大加工範囲を越えないかどうかをチェックするステップ125を設け、範囲内であればステップ132に進み、範囲外であればエラー処理ステップ126で加工停止などのエラー処理を行い、加工を終了する。
【0122】
次に、ステップ132は前記ステップ122にて作成された加工テーブル補正データを目標とする位置に加算することで、補正後の位置へ加工テーブルを移動させる。
【0123】
次に、ステップ142により前記算出した加工ヘッド補正データで加工ヘッドの加工範囲をシフトさせ、加工ヘッドとプリント基板の位置のズレは補正される。
【0124】
以上のステップが実行された後にレーザ光を照射して加工ステップ152が実行される。
【0125】
これにより、各プリント基板に対して位置決めが確定してから加工を行うことになるため、加工位置の精度は良好にできる。
【0126】
そして、実施の形態1ないし11に共通していることは、加工ヘッドに設けた検出部により被加工物の位置を検出し、被加工物の位置とこの被加工物を加工する加工ヘッドの位置のズレを算出して、各加工ヘッド毎の位置のズレをほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させ、更に加工ヘッドの加工範囲を移動させることにより各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすようにできることである。
【0127】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を載置する加工テーブルと、前記加工テーブルに向い合う位置に略固定し、被加工物を加工する少なくとも2つの加工ヘッドと、前記加工ヘッドに設けた被加工物の位置を検出する検出部と、前記加工テーブルを移動する駆動部と、前記駆動部を制御する加工テーブル制御部と、加工ヘッドで最大に加工できる範囲内で加工範囲を移動する制御部を備え、前記各検出手段から信号を入力し、被加工物の位置とこの被加工物を加工する加工ヘッドの位置のズレを入力する位置決め制御部を設け、前記位置決め制御部は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる信号を前記制御部に出力するように構成することで、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすようにすることができる。
【0128】
また、請求項2記載の発明によれば、前記位置決め制御部が、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、該当する加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止する信号を出力するように構成することで、最大加工範囲を超えた範囲で加工することを防止することができる。
【0129】
また、請求項3記載の発明によれば、被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる際に、この移動データを加工テーブル補正データとし、加工位置データと前記加工テーブル補正データを位置決め制御部で処理するように構成することで容易に前記ズレを補正することができる。
【0130】
また、請求項4記載の発明によれば、被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、この移動データを加工ヘッド補正データとし、加工位置データと前記加工ヘッド補正データを位置決め制御部で処理するように構成することで容易に前記ズレを補正することができる。
【0131】
また、請求項5記載の発明によれば、加工ヘッドにレーザ光を供給するレーザ発振器を設け、加工ヘッドには供給されたレーザ光を被加工物へ照射するガルバノスキャナとレンズを有するように構成したもので、レーザ光を容易に被加工物に照射することができる。
【0132】
また、請求項6記載の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するので各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすようにすることができる。
【0133】
また、請求項7記載の発明によれば、移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動する際に、各加工ヘッドの加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止するようにしたので、最大加工範囲を超えた範囲で加工することを防止することができる。
【0134】
また、請求項8記載の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するので容易に前記ズレを補正することができる。
【0135】
また、請求項9記載の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するので、容易に前記ズレを補正することができる。
【0136】
また、請求項10記載の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するので、容易に前記ズレを補正することができる。
【0137】
また、請求項11記載の発明によれば、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップの後で、被加工物に加工ヘッドを介してレーザ光を照射するようにしたので、2つの被加工物ともに位置ズレなしに加工位置にレーザ光を照射することができる。
【0138】
以上説明したように、面積生産性を高めるために少なくとも2つの加工ヘッドと1つの加工テーブルで構成した加工装置において、加工位置精度を確保するためには前記加工ヘッドの取り付け位置のズレが無いように取り付けを行い、更に1つの加工テーブルに少なくとも2つの被加工物の位置のズレが無いように置かなければならなかったものを、請求項1ないし11の発明によれば、少なくとも2つの被加工物を1つの加工装置にて同時に加工する際に、容易に2つの被加工物と加工ヘッドの位置ズレを無くし、正しい位置にレーザ光を照射することができ、加工位置精度の高い加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における加工装置の構成図
【図2】本発明の実施の形態2における加工装置の構成図
【図3】本発明の実施の形態3における加工装置の構成図
【図4】本発明の実施の形態4における加工装置の構成図
【図5】本発明の実施の形態5における加工装置の構成図
【図6】本発明の実施の形態6における加工方法のフローチャート
【図7】本発明の実施の形態7における加工方法のフローチャート
【図8】本発明の実施の形態8における加工方法のフローチャート
【図9】本発明の実施の形態9における加工方法のフローチャート
【図10】本発明の実施の形態10における加工方法のフローチャート
【図11】本発明の実施の形態11における加工方法のフローチャート
【図12】従来の加工装置の構成図
【図13】加工ヘッドにおける加工範囲の模式図
【図14】加工ヘッドの位置ズレを加工テーブルで補正する処理の説明図
【図15】加工ヘッドの位置ズレを加工ヘッドで補正する処理の説明図
【符号の説明】
4 位置決め制御部
44 加工テーブル補正部
45 加工ヘッド補正部
51 レーザ発振器
52a,52b ミラー
6 加工テーブル制御部
61 Y軸駆動装置
62 X軸駆動装置
7 加工テーブル
71、72 プリント基板
8 加工ヘッド制御装置
81、82 加工ヘッド
810、820 ガルバノミラー
830 レンズ
9 認識装置
91,92 カメラ
Claims (11)
- 少なくとも2つの被加工物を載置する加工テーブルと、前記加工テーブルに向い合う位置に略固定し、被加工物にレーザ光を照射して加工する少なくとも2つの加工ヘッドと、前記加工ヘッドに設けた被加工物の位置を検出する検出部と、前記加工テーブルを移動する駆動部と、前記駆動部を制御する加工テーブル制御部と、加工ヘッドで最大に加工できる範囲内で加工範囲を移動する制御部を備え、前記各検出手段から信号を入力し、被加工物の位置とこの被加工物を加工する加工ヘッドの位置のズレを入力する位置決め制御部を設け、前記位置決め制御部は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる信号を前記制御部に出力するレーザ加工装置。
- 前記位置決め制御部は、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる信号を加工テーブル制御部に出力するとともに、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、該当する加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止する信号を出力する請求項1記載のレーザ加工装置。
- 被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、前記各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる際に、この移動データを加工テーブル補正データとし、加工位置データと前記加工テーブル補正データを位置決め制御部で処理する請求項1または2記載のレーザ加工装置。
- 被加工物の加工位置を示す加工位置データを記憶する記憶手段を設け、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる際に、この移動データを加工ヘッド補正データとし、加工位置データと前記加工ヘッド補正データを位置決め制御部で処理する請求項1から3のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 加工ヘッドにレーザ光を供給するレーザ発振器を設け、加工ヘッドには供給されたレーザ光を被加工物へ照射するガルバノスキャナとレンズを有する請求項1から4のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するレーザ加工方法。
- 移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動する際に、各加工ヘッドの加工範囲が最大加工範囲内に収まらないときに加工を中止する請求項6記載のレーザ加工方法。
- 請求項3記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するレーザ加工方法。
- 請求項4記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するレーザ加工方法。
- 請求項4記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法において、少なくとも2つの被加工物を加工テーブルに置くステップと、置かれた被加工物の位置を認識するステップと、各被加工物と加工ヘッドの位置のズレを算出するステップと、各加工ヘッド毎のズレを各加工ヘッドでほぼ等しくなるように加工テーブルを移動させる移動データを加工テーブル補正データとし、算出した各ズレがほぼ等しくなる位置に加工テーブルを移動するステップと、この移動した加工テーブルの位置において、各加工ヘッド毎のズレを実質的に無くすように加工ヘッドの加工範囲を移動させる移動データを加工ヘッド補正データとし、各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップを有するレーザ加工方法。
- 各加工ヘッドと被加工物のズレを実質的に無くすように加工範囲を移動するステップの後で、被加工物に加工ヘッドを介してレーザ光を照射する請求項6から10のいずれかに記載のレーザ加工方法。
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KR100846259B1 (ko) * | 2007-06-04 | 2008-07-18 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 레이저 가공 장치 |
ATE458579T1 (de) * | 2007-06-30 | 2010-03-15 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh | Werkzeugmaschine und verfahren zum bearbeiten eines werkstückes |
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JP5288987B2 (ja) * | 2008-10-21 | 2013-09-11 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
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JP5474451B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2014-04-16 | ビアメカニクス株式会社 | 加工装置ならびに加工方法 |
JP5311396B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2013-10-09 | 武井電機工業株式会社 | レーザ加工装置、レーザ加工装置におけるキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラム |
KR101186279B1 (ko) * | 2010-06-09 | 2012-09-27 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 가공 시스템 및 그 가공방법 |
JP5383920B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2014-01-08 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置および基板位置検出方法 |
JP5329505B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2013-10-30 | 株式会社片岡製作所 | レーザ加工機 |
CN102837130A (zh) * | 2011-06-24 | 2012-12-26 | 太航常青汽车安全设备(苏州)有限公司 | 弱化激光加工设备 |
CN102615429A (zh) * | 2012-04-18 | 2012-08-01 | 深圳市恒毅兴实业有限公司 | 基于浪涌保护器脱离器焊接点的焊接方法及焊接系统 |
CN102699463A (zh) * | 2012-04-18 | 2012-10-03 | 深圳市恒毅兴实业有限公司 | 基于电路板焊接的焊接方法及焊接系统 |
CN102806421B (zh) * | 2012-08-22 | 2014-12-03 | 温州泛波激光有限公司 | 光点补偿控制系统及其激光切割设备 |
CN103769949A (zh) * | 2012-10-18 | 2014-05-07 | 上海京美电脑机械有限公司 | 加工机的工件检测装置及其方法 |
US8854406B1 (en) * | 2013-04-01 | 2014-10-07 | Telesis Technologies, Inc. | Collective marking of a surface by steering multiple laser beams generated by a laser controller |
JPWO2014171245A1 (ja) * | 2013-04-17 | 2017-02-23 | 村田機械株式会社 | レーザ加工機およびレーザ加工方法 |
CN103600170B (zh) * | 2013-04-28 | 2015-08-26 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种纵向金属板上下料与切割方法及其系统 |
DE102013105881A1 (de) * | 2013-06-06 | 2014-12-11 | Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh | Vorrichtungen zum Verbinden zweier Werkstückteile mittels Laser- Durchstrahlschweißen |
KR101517226B1 (ko) | 2013-07-26 | 2015-05-06 | (주)하드램 | 2d 온 더 플라이 타입 레이저 커팅 시스템 및 그 제어 방법 |
US10124435B2 (en) * | 2014-02-24 | 2018-11-13 | Lincoln Global, Inc. | Automatic control on auxiliary voltage for engine driven welder |
US10618131B2 (en) * | 2014-06-05 | 2020-04-14 | Nlight, Inc. | Laser patterning skew correction |
DE102015102111A1 (de) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Scanlab Ag | Mehrkopf-Laseranlage mit Sensoreinheit |
JP6374336B2 (ja) * | 2015-03-20 | 2018-08-15 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
CN105397307B (zh) * | 2015-11-26 | 2017-12-01 | 马瑞利汽车零部件(芜湖)有限公司 | 汽车车灯透镜激光切割装置 |
TWI641933B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-11-21 | 施教競 | Processing method of processing machine |
JP7034621B2 (ja) * | 2017-07-25 | 2022-03-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
US11253942B2 (en) * | 2017-09-08 | 2022-02-22 | Illinois Tool Works Inc. | Methods and apparatus for automatic control of a welding-type power supply |
DE102019116649A1 (de) * | 2019-06-19 | 2020-12-24 | Scanlab Gmbh | Vorrichtung zum Führen von mehreren Laserstrahlen |
KR102655871B1 (ko) * | 2022-05-13 | 2024-04-12 | 주식회사 상림엠에스피 | 심 밀링 장치 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4504727A (en) * | 1982-12-30 | 1985-03-12 | International Business Machines Corporation | Laser drilling system utilizing photoacoustic feedback |
KR100235340B1 (ko) * | 1990-07-31 | 1999-12-15 | 이시야마 노리다까 | 박막 정밀 가공용 야그(yag) 레이저 가공기 |
JP3298887B2 (ja) * | 1993-06-11 | 2002-07-08 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | レーザー加工複製工具 |
US5718832A (en) * | 1993-10-15 | 1998-02-17 | Fanuc Ltd. | Laser beam machine to detect presence or absence of a work piece |
JPH08235517A (ja) * | 1994-05-10 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
CA2179064A1 (en) * | 1994-10-18 | 1996-04-25 | William E. Lawson | Double x-y table system for use with a fixed beam laser system |
JP3159906B2 (ja) * | 1995-10-23 | 2001-04-23 | アルプス電気株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH106049A (ja) | 1996-06-14 | 1998-01-13 | Nec Corp | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
DE69737991T2 (de) * | 1996-11-20 | 2008-04-30 | Ibiden Co., Ltd., Ogaki | Laserbearbeitungsvorrichtung, verfahren und vorrichtung zur herstellung einer mehrschichtigen, gedruckten leiterplatte |
JP3213882B2 (ja) * | 1997-03-21 | 2001-10-02 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及び加工方法 |
JP3517082B2 (ja) * | 1997-05-26 | 2004-04-05 | 日本たばこ産業株式会社 | 帯状材の開孔装置 |
JP3302672B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2002-07-15 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置 |
US6380512B1 (en) * | 2001-10-09 | 2002-04-30 | Chromalloy Gas Turbine Corporation | Method for removing coating material from a cooling hole of a gas turbine engine component |
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