CN102203943B - 通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，该多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。除了最终激光束处理，至少两个激光束处理的所述序列的处理被用于调整将被移除的经处理的膜区。应用所述最终激光束处理以实际上移除材料从而形成凹槽。此外，本发明涉及一种通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的装置，该多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。所述装置包括用于除了最终激光束处理的、至少两个激光束处理的所述序列的处理的第一调整激光器并且所述装置包括用于所述最终激光束处理的第二激光器。

Description

通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法

技术领域

本发明涉及一种用于通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，所述多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。

背景技术

现今，各种太阳能电池技术是在商业上可用的。在它们中，采用薄的非晶和/或微晶硅膜的薄膜太阳能电池正在积极地得到研制。在低温下和在大的面积（>1m²）上处理多个这种电池的可能性使得该技术有利地成为实现所谓的电网平价的良好候选。

图1示出根据现有技术的包括多个薄膜太阳能电池的常规光伏模块1的一个部分的概略截面。在透明的绝缘体基板2上布置透明（前）电极层3。在所述透明（前）电极层3上，形成光电转换半导体层4，并且在该光电转换半导体层4上形成另一个透明（后）电极层5。所述光电转换半导体层4包括非晶和/或微晶硅子层的叠层。

另外，图1在这三个层3、4、5中示出三种不同类型的凹槽6、7、8，这些凹槽构造光伏模块的平面。这种构造方法的目的在于形成由串联电连接的多个薄膜太阳能电池组成的光伏模块。所述透明（前）电极层3被一组第一隔离凹槽6划分，该组凹槽6确定了各个薄膜太阳能电池的宽度。当所述三个层3、4、5的叠层以如下顺序在制造过程期间构建时：透明（前）电极层3、第一隔离凹槽6、光电转换半导体层4、凹槽7、另一个透明（后）电极层5、第二隔离凹槽8，所述光电转换半导体层4填充所述第一隔离凹槽6。填充有所述透明（后）电极层5的材料的所述凹槽7允许在相邻电池之间的电接触。实际上，一个电池的所述透明（后）电极层5接触相邻电池的所述透明（前）电极层3。所述透明（后）电极层5和所述光电转换半导体层4最后被一组所述第二隔离凹槽8划分。这种构造工艺优选地通过采用激光等得以实现。

所述薄膜光伏模块1例如能够如下地制造：最初，例如，通过LPCVD（低压化学气相沉积），在所述透明绝缘体基板2上沉积所述透明（前）电极层3。所述透明（前）电极层3，也称为透明导电氧化物（TCO，例如由ZnO、SnO₂或者氧化铟锡（Indiumtinoxide）构成），此后被激光划线以移除所述透明（前）电极层3的一部分以形成第一组所述隔离凹槽6，该第一组所述隔离凹槽6将所述透明（前）电极层3划分成多个隔离的、横向相邻的区域。随后，在该图案化的透明（前）电极层3上，采用等离子体化学气相沉积以沉积所述光电转换层4。所述光电转换层4包含例如非晶硅的至少一个p掺杂子层、一个本征绝缘子层和一个n掺杂子层。子层的这种叠层可以重复以形成多结非晶硅薄膜太阳能电池。因而，第二、第三和甚至更多的p-i-n结能够从微晶材料或者非晶和微晶材料的混合物形成，以建立所述光电转换半导体层4。所述光电转换半导体层4然后被激光划线以移除所述光电转换半导体层4的一部分以形成一组凹槽7（在以后称作：接触线9），其将所述光电转换半导体层4划分为彼此横向分离的多个区域。随后，所述透明（后）电极层5被沉积以填充所述凹槽7，并且由此产生所述接触线9，并且还覆盖所述光电转换半导体层4。所述透明（后）电极层5同样能够是透明导电氧化物（TCO，例如由ZnO、SnO₂或者氧化铟锡构成）。最后，所述光电转换半导体层4和所述透明（后）电极层5被激光划线，从而形成一组第二隔离凹槽8，该组第二隔离凹槽8将所述光电转换半导体层4横向划分成串联电连接的多个光活区域。这样，如图1所示的包括薄膜太阳能电池的所述光伏模块1得以制造。

在美国专利No.4,292,092、美国公报2005/0272175、WO 2008/019066中公开了使用划线激光器的制造方法。

尽管针对包括串联连接的薄膜太阳能电池的光伏模块的制造工艺的激光划线具有已知的优点，但是已知在邻近于光伏模块的激光处理部分的区部中发生激光引起的问题。对于一些材料，沿着激光划线线或者凹槽的边缘留下了导电脊或者“凸缘”。另外，在划线凹槽的底部处熔化的残余物可能引入电气短路、在相邻的薄膜太阳能电池之间的不良隔离，和低的分流电阻，降低了在串联连接的薄膜太阳能电池阵列之上的电压集成度。在用于所描述的意图的现有技术激光处理中，通常使用具有超过计算出的、实际上有必要的功率的输出功率的激光源。这么做是为了确保避免上述问题类似所移除材料的熔化余留物。这些高功率激光器是昂贵的并且在光路、测量等等中要求另外的努力。在WO 2008/019066 A2中公开了避免这些问题并且因此改进串联连接的薄膜太阳能电池的电压集成度的一种方法。在其中，描述了允许主激光束首次地沿着一条线行进以形成具有第一和第二边缘的凹槽。随后，该激光束更近似地沿着同一线一次或者多次地行进并且改进在所述第一和所述第二边缘之间的电隔离程度，因此形成包括所述多个薄膜太阳能电池的所述光伏模块。

发明内容

本发明的目的在于创建一种与起初述及的技术领域有关的、用于通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，该方法允许降低所用激光系统的功率并且减轻或者甚至避免已知在邻近于材料的激光处理部分的区部中发生的、激光引起的问题。

权利要求1的特征规定了本发明的方案。根据本发明，除了最终激光束处理的、至少两个激光束处理序列的处理被用于调整将被移除的经处理的膜区，而应用所述最终激光束处理来实际上移除材料从而形成凹槽。

所述最终激光束处理可以优选地作为单一激光束处理步骤执行，但是遵循WO 2008/019066 A2的教示，还能够被在多于一个处理步骤中以移除的形式采用。

对于本发明来说用于与其一起工作的激光器包括连续波或者脉冲激光器，优选地连续波或者具有大于100ns的脉冲持续时间的长脉冲激光器。在基板上的光束焦点中，它们的功率应该在0.5W和10W之间。适当的波长是255nm、532nm和1064nm（+/-50nm）。

这个方案的优点是结果产生的所述凹槽的、与通过现有技术方法获得的相比更加陡峭和更加平滑的侧壁。另外地，能够更快地并且以更好的准确度地对所述凹槽划线。进而，避免了沿着激光划线线或者凹槽的边缘留下的导电脊或者“凸缘”以及避免了在划线凹槽的底部处的熔化残余物，所述熔化残余物可能引入电气短路、在相邻的薄膜太阳能电池之间的不良隔离，和低的分流电阻，降低了在串联连接的薄膜太阳能电池阵列之上的电压集成度。

优选地，根据本发明的装置包括用于除了最终激光束处理的、至少两个激光束处理的所述序列的处理的第一调整激光器并且包括用于所述最终激光束处理的第二激光器。这允许将被移除的经处理的膜区的所述调整的步骤和移除经调整材料从而形成所述凹槽的步骤的最佳分离。

可替代地，在该创造性方法的背景中，所述第一调整激光器和所述第二激光器可以结合在同一激光器中，该同一激光器提供两种不同的工作模式，即用于调整所述经处理膜区的第一工作模式和用于移除所述经处理膜区的材料的第二工作模式。

优选地，除了所述最终激光束处理，通过所述至少两个激光束处理的所述序列的、以前的处理，基本上无任何物质将经由烧蚀/蒸发而被移除。特别地，凹槽（形成由所述凹槽分离的第一和第二边缘，提供第一电绝缘水平）不通过所述以前的处理形成。这具有以下优点，即，所述以前的处理局部地改变了所述膜的材料性质，例如对所述膜进行退火。这个调整相当于所述凹槽的“标记”。这个过程在所述膜中诱发热应力轨迹，在热应力轨迹中，所述最终激光束处理对所述凹槽划线，因此在所述多个区域中划分所述膜。

可替代地，所述以前的处理已经能够移除一些物质，然而该物质的主要部分是在最终激光束处理期间移除的。

有利地，在0.01ms到1000ms、优选地0.1ms到100ms的时间窗口内，在第一激光束处理之后进行第二、第三激光束处理等等。使用较高数目的激光处理具有以下优点，即，在将被移除的所述经处理膜区中的所述材料的所述调整能够利用具有降低的功率的激光器以数目增加的调整处理执行。这是经济的，因为能够使用并非那么强大的激光器。所述时间窗口的选择具有以下优点，即，在能量在由一个调整处理沉积的所述材料中的分布和合理的处理节奏之间，调整工艺得以优化，从而所述膜的划分能够以最佳速度获得。

优选地，利用连续波激光器产生第一调整激光束并且利用脉冲激光器产生第二激光束。这具有以下优点，即，被用于相应的意图的激光束的类型最优地适合于所述相应的意图的要求。

可替代地，这两个激光束均能够或者利用脉冲激光器或者利用连续波激光器产生。作为另一个替代，所述第一调整激光束能够利用脉冲激光器产生并且所述第二激光束能够利用连续波激光器产生。

有利地，所述基板在用于支撑所述基板的桌状（table-like）装置上沿着一个方向移动。这个一个方向性的移动具有以下优点，即，该移动的致动是简单的，并且能够容易地以高精度并且同时以成本有效方式获得该移动。作为替代，所述基板还可以在基板的整个平面上而不是仅仅在一个方向上在用于支撑所述基板的所述桌状装置上移动。

优选地，如在其整体在此通过引用而被结合的WO 2005/118440 A1中公开地，该基板在所述桌状装置上的气垫上移动。优选地，被安装在载架上的第一调整激光器被用于执行调整步骤并且被安装在所述载架上并且在沿着所述载架的移动方向定向的线中从所述第一调整激光器隔开地布置的第二激光器被用于执行移除步骤。这允许将被移除的经处理膜区的所述调整步骤和用于形成所述凹槽的所述移除步骤的最佳分离。此外，它具有以下优点，即，被用于相应的步骤的激光器能够最优地适合于相应的步骤的要求。另外地，所述调整步骤和所述移除步骤能够在所述载架的单一移动期间执行，这是节约时间的并且因此成本有效的。

有利地，通过使用在所述载架上安设的、与所述第一调整激光器和所述第二激光器成所述线的另一个调整激光器实现了激光器装置的双向功能性。这具有以下优点，即，在处理所述膜时，所述载架能够沿着所述移动方向的任一方向移动。因此，对在此处必须形成多于一个凹槽的、大的膜区的处理能够以时间节约的方式执行。

可替代地，该载架能够被重定向以在不同于初始移动的方向的方向上移动期间形成凹槽。

优选地，通过沿着所述一个方向在所述桌状装置上移动所述基板并且通过沿着与所述一个方向交叉地定向的所述移动方向移动带有激光器装置的所述载架，所述基板的任何区域得以处理。这具有以下优点，即，在所述移动方向和所述一个方向这两者的致动能够被保持为一个方向并且能够因此被保持为是简单的时，所述膜的整个区能够得以处理。相应地，该两个移动的实现是成本有效的并且要求很少的维护努力。

优选地，所述凹槽被形成为平行于所述移动方向和所述线。这具有以下优点，即，在所述载架沿着所述移动方向的一个移动内，所述调整步骤和所述移除步骤这两者均能够得以执行。相应地，以时间节约并且因此成本有效的方式形成了所述凹槽。

有利地，激光束被从透光的所述基板的另一主表面照射通过所述基板到相应的所述膜的所述相同区，因此将所述膜划分/分段成所述多个区域。这可以增加所形成的凹槽的质量，因为所移除材料的喷射得以改进。可替代地，能够从所述基板的、与定位所述膜相同的主表面的方向照射所述激光束。

优选地，在所述膜中形成所述凹槽，其中所述载架沿着所述移动方向在任一方向上移动并且所述第二激光器和所述第一调整激光器和所述另一个调整激光器之一——当在所述载架的移动方向上看时其在所述第二激光器前面——正在运行，从而将在此处形成所述凹槽的、在所述膜的所述相同区上的任何点首先用或者所述第一调整激光器或者所述另一个调整激光器处理并且随后用所述第二激光器处理。这具有以下优点，即，在所述载架沿着所述移动方向的任一方向的移动内，所述调整步骤和所述移除步骤这两者均能够得以执行。相应地，能够以时间节约并且因此成本有效的方式形成所述凹槽。

有利地，所述基板能够在用于支撑所述基板的所述桌状装置上沿着一个方向移动。这个一个方向性的机动性具有以下优点，即，所述基板在所述桌状装置上的致动是简单的并且它能够容易地以高精度并且同时以成本有效的方式获得。作为替代，所述基板还能够在用于支撑所述基板的所述桌状装置上在基板的整个平面中而不是仅仅在一个方向上移动。

优选地，如在其整体在此通过引用而被结合的WO 2005/118440 A1中示出地，该基板能够在所述桌状装置上的气垫上移动。有利地，容纳多个激光器的载架至少包括所述第一调整激光器和隔开的但是与第一调整激光器的移动方向成一条线布置的所述第二激光器。这具有以下优点，即，能够在所述载架的单一移动期间执行调整步骤和移除步骤，这是时间节约的并且因此成本有效的。

优选地，所述载架能够包括与所述第一调整激光器和所述第二激光器成所述线布置的另一个调整激光器从而允许所述激光器装置的双向功能性。这具有以下优点，即，通过沿着所述移动方向的任一方向移动所述载架，对在此处必须形成多于一个凹槽的、大的膜区的处理能够以时间节约的方式执行。

可替代地，该载架可以是能够被重定向的，以在不同于初始移动的方向的方向上在移动期间形成凹槽。

有利地，所述第一调整激光器是连续波激光器并且所述第二激光器是脉冲激光器。这具有以下优点，即，被用于相应的意图的激光器的类型能够最优地适合于所述具体意图的要求。

可替代地，两个激光器均能够是脉冲激光器或者连续波激光器。作为另外的替代，所述第一调整激光器能够是脉冲激光器并且所述第二激光器能够是连续波激光器。

优选地，所述第一调整激光器和所述另一个调整激光器是相同的并且所述第一调整激光器和所述另一个调整激光器在所述第二激光器的相同距离处但是在相反的方向定位。这具有以下优点，即，独立于所述载架沿着所述移动方向的移动的方向，激光器的参数和所述载架的移动速度是相同的。这简化了在制造所述凹槽期间对所述装置的控制。相应地，所述装置的研发和生产是成本有效的。

作为替代，激光器之间的距离可以改变并且所述第一调整激光器和所述另一个调整激光器的类型可以是不同的。在存在将在具有不同性质的不同的膜中形成的凹槽的情形中，在所述载架上的相应装置可以是有利的。在该情形中，同一载架能够被用于对不同膜的处理。

有利地，通过沿着所述一个方向在所述桌状装置上移动所述基板并且通过沿着被与所述一个方向交叉地定向的所述移动方向移动带有激光器装置的所述载架，所述基板的任何区域均能够得以处理。这具有以下优点，即，在所述移动方向和所述一个方向这两者的致动能够被保持为一个方向并且能够因此被保持为是简单的时，所述膜的整个区能够得以处理。相应地，所述装置的实现是成本有效的并且要求很少的维护努力。

以下详细说明和所有的权利要求给出了其它有利的实施例和特征组合。

附图说明

被用于解释实施例的附图示出：

图1是根据现有技术的层和激光划线凹槽的装置；

图2是根据本发明的激光器的装置；

图3是指示移动方向的基板和激光器的装置；以及

图4是在WO 2005/118440 A1中公开的桌状装置。

在图中，相同的构件被给予相同的引用符号。

具体实施方式

图2示出容纳多个激光器的载架10的概略表示。这个载架10至少包括被配置为执行如上所述的调整步骤的第一调整激光器11，和，隔开的但是与所述第一调整激光器11的移动方向成一条线布置的第二激光器12，该第二激光器12被配置为执行在本发明中如上所述的移除步骤。为了允许所述激光装置的即所述载架10的双向功能性，可以在所述载架10上安设另一个调整激光器13，再次与所述第一调整激光器11和所述第二激光器12成所述线，如由双向箭头指示地，所述线平行于所述载架10的移动方向。箭头14指示激光的方向。

图3示出根据本发明的、用于通过在半导体膜中划线一组凹槽15而将透明绝缘体基板2上的所述膜划分成多个区域的装置。所述透明绝缘体基板2具有平坦厚片状的形状。它在桌状装置16（图4所示）上被以水平定向安装，在它的下主表面上带有所述半导体膜。它能够沿着垂直于所述凹槽15的一个方向17（由双向箭头指示）移动。在所述透明绝缘体基板2的上主表面上方，所述载架10安装有被布置在沿着所述凹槽15并且垂直于所述一个方向17的所述线中的所述第一调整激光器11、所述第二激光器12和所述另一个调整激光器13。所述第一调整激光器11、所述第二激光器12和所述另一个调整激光器13的光被向下引导。所述载架10能够沿着平行于所述线和所述凹槽15并且垂直于所述一个方向16的移动方向18（由双向箭头指示）移动。

通过沿着所述移动方向18为每一个所述凹槽15移动所述载架10，该组所述凹槽15在所述膜中划线。在这个移动期间，所述第二激光器12运行。另外地，所述第一调整激光器11和所述另一个调整激光器13中的一个激光器运行，所述这个激光器沿着所述载架10的移动方向远离所述第二激光器12定位。在所述凹槽15中的所述一个凹槽被划线之后，所述透明绝缘体基板2以相应于在所述凹槽15中的两个之间的距离的步长沿着所述一个方向17移动，而所述第一调整激光器11、所述第二激光器12和所述另一个调整激光器13中无任何一个激光器被致动。随后，在所述第二激光器12和或者所述第一调整激光器11或者所述另一个调整激光器13被致动的情况下，通过沿着所述移动方向18移动所述载架10，所述凹槽15中的下一个得以划线。

图4示出当桌状装置16能够被用于如在图3中所指示的基板和激光器的装置时用于沿着所述一个方向17在气垫上移动所述透明绝缘体基板2的所述桌状装置16的实施例。在以其整体在这里并入的WO 2005/118440 A1中公开了这个具体实施例：所述桌状装置16包括被划分成第一半部19.1和第二半部19.2的桌面19。所述第一半部19.1和所述第二半部19.2的上主表面一起地形成用于所述透明绝缘体基板2的、所述桌状装置16的平坦支撑区20。所述平坦支撑区20包括流体（这里：空气）在此处流出的、大数目的喷射口21并且包括所述平坦支撑区20上的所述流体的至少一些部分在此处被吸出的大数目的排放口22。所述排放口22是在所述平坦支撑区20中形成浅凹并且沿着所述平坦支撑区20的宽度23具有锯齿形或者蛇状形状的流道。它们沿着所述平坦支撑区20的长度24被同等地隔开地分布。它们的数目依赖于所述长度24并且被选择为在整个所述平坦支撑区20上保证所述流体被均匀地吸出。在所述排放口22之间，具有圆状截面的所述喷射口21沿着所述平坦支撑区20的所述宽度23和所述长度24被同等地分布。所述喷射口21的面积显著地小于所述排放口22的面积。

在所述桌面19的所述第一半部19.1和所述第二半部19.2之间，线性间隙25沿着整个宽度23将所述平坦支撑区20划分成两个部分。在所述线性间隙25和所述第一半部19.1之间，第一方块26.1被联结到所述第一半部19.1。所述第一方块26.1的上表面与所述第一半部19.1的所述上主表面齐平。以相同的方式，在所述线性间隙25和所述第二半部19.2之间，第二方块26.2被联结到所述第二半部19.2。所述第二方块26.2的上表面与所述第二半部19.2的所述上表面齐平。

在所述第一方块26.1的所述上表面中，平行的两行26.11被同等地隔开的第二喷射口被沿着所述第一方块26.1的长度即沿着所述平坦支撑区20的所述宽度23放置。在所述平行的两行26.11的所述被同等地隔开的第二喷射口之间，定位一行第二排放口26.12。所述一行第二排放口26.12的开口具有圆状截面，其具有比所述平行的两行26.11的所述第二喷射口的直径显著更大的直径。

在所述第二方块26.2的所述上主表面中，一行被同等地隔开的开口26.21被沿着所述第二方块26.2的长度即沿着所述平坦支撑区20的所述宽度23布置。所述开口26.21由具有双T状形状的内部排放口构成，方形外部喷射口构成其外框。

所有的排放口均被排放系统连接并且被与所述桌状装置16的一侧上的分散孔27关联。所述分散孔27被与通过所述排放口分散所述流体的泵（未示出）连接。以相同的方式，所有的喷射口均经由带有压缩机（未示出）的管道系统而被连接，该压缩机允许以电子方式控制的过压调节并且因此允许对流出所述喷射口的所述流体流进行调节。

所述透明的绝缘体基板2以水平定向位于所述平坦支撑区20上方从而带有所述膜的表面指向下。所述流出所述喷射口的所述流体流在所述平坦支撑区20和所述透明绝缘体基板2之间产生气垫，从而所述透明绝缘体基板2在顶上浮动并且能够在所述支撑区20上沿着所述一个方向17（沿着所述长度24定向）移动。这个移动的进给由致动系统（未示出）提供，该致动系统被附于线性引导件28，线性引导件28被联结到所述桌面19的所述第一半部19.1和所述第二半部19.2的两个长度侧边缘（在图4中，仅仅在一个长度侧边缘上示出所述线性引导件28从而了解下面的物体的情况）。所述致动系统包括被联结到所述线性引导件28的两个导轨。四个载架在所述两个导轨上行进。在位于所述两个导轨中的第一个上的第一载架和位于所述两个导轨中的第二个上的第二载架之间，放置第一保持器。第二保持器被放置在位于所述两个导轨中的所述第一个上的第三载架和位于所述两个导轨中的所述第二个上的第四载架之间。所述透明绝缘体基板2被放置在所述第一保持器和所述第二保持器之间并且通过沿着所述两个导轨移动带有所述第一和所述第二保持器的所述四个载架而沿着所述一个方向17移动。

根据图3所示装置，所述载架10位于所述桌状装置16上方从而所述第一调整激光器11、所述第二激光器12和所述另一个调整激光器13的光通过所述透明绝缘体基板而被从上方照射到所述透明绝缘体基板2的下主表面上的所述膜上。

本发明不限于上述实施例。其它实施例同样是可能的，即，例如其中多于所述两个或者三个的激光器被布置于所述载架10上的示例实施例。在该情形中，所述第二激光器12和几个调整激光器能够被沿着所述线布置。相应地，在所述载架10的移动方向从所述第二激光器12定位的、所述多于一个的调整激光器能够被致动。相应地，通过所述多于一个的调整激光器的处理局部地改变所述膜的材料性质，例如对所述膜进行退火。这个过程在所述膜中诱发热应力轨迹，在热应力轨迹内，利用所述第二激光器12的所述最终激光束处理对所述凹槽划线，因此在所述多个区域中划分所述膜。在带有多于两个或者三个的、被布置于所述载架10上的激光器的相同情形中，每组带有一个第二激光器和至少一个调整激光器的、多于一组的激光器能够沿着平行线被布置于所述载架10上。这允许在所述载架10沿着所述移动方向18的一个移动期间每组激光器对一个凹槽进行划线。

根据本发明，所述透明绝缘体基板2被以水平定向安装在所述桌状装置16上（在它的下主表面上带有所述膜的情况下）不是必须的。在它的上主表面上带有所述膜的情况下在所述桌状装置16上安装所述透明绝缘体基板2也是可能的。进而，在所述透明绝缘体基板2下面在所述桌状装置16的所述间隙25中布置所述载架10并且将激光器的光从下面照射在所述膜上是可能的。

此外，所述第一调整激光器11、第二激光器12或者另一个调整激光器13中的任一个如上所述地被安装在所述载架10上并非必要。同样地能够在所述桌状装置16侧向的固定位置中安装这些激光器并且利用纤维或者反射镜系统将激光器的所述光引导到所述载架10并且将所述光从那里引导在所述膜上。另外地，并不要求使得所述载架10能够沿着所述移动方向18移动。相反，同样地能够在所述透明绝缘体基板2上方或者下面的固定位置中安装所述载架并且沿着所述移动方向18将激光器的所述光引导在所述膜上。

图4所示并且在WO 2005/118440 A1中公开的桌状装置是本发明的优选实施例。虽然如此，存在能够被用作本发明的实施例的、提供相同功能性的桌状装置的其它实施例。

总之，应该指出本发明提供一种用于通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，该方法允许降低所用激光系统的功率并且减轻或者甚至避免已知在邻近于材料的激光处理部分的区部中发生的、激光引起的问题。

Claims (15)

1. 一种通过多激光束照射将在基板（2）上形成的半导体膜（3、4、5）划分成多个区域的方法，所述多激光束照射使用影响所述膜（3、4、5）的相同的区的至少两个激光束处理的序列，其中除了最终激光束处理，至少两个激光束处理的所述序列的处理被用于调整将被移除的经处理的膜（3、4、5）区，并且其中应用所述最终激光束处理以移除材料从而形成凹槽（6、7、8、15），其中被安装在载架（10）上的第一调整激光器（11）被用于执行调整步骤并且被安装在所述载架（10）上并且在沿着所述载架（10）的移动方向（18）定向的线中从所述第一调整激光器（11）隔开地布置的第二激光器（12）被用于执行移除步骤，并且其中通过使用在所述载架（10）上安设的、与所述第一调整激光器（11）和所述第二激光器（12）成所述线的另一个调整激光器（13）实现了激光器装置的双向功能性。

2. 根据权利要求1的方法，其中，除了所述最终激光束处理，通过所述至少两个激光束处理的所述序列的、以前的处理，无任何物质将经由烧蚀或蒸发而被移除。

3. 根据权利要求1的方法，其中，在0.01ms到1000ms的时间窗口内，在第一激光束处理后进行第二激光束处理、第三激光束处理以及更多数目的激光束处理。

4. 根据权利要求1的方法，其中，在0.1ms到100ms的时间窗口内，在第一激光束处理后进行第二激光束处理、第三激光束处理以及更多数目的激光束处理。

5. 根据权利要求1的方法，其中，利用连续波激光器产生第一调整激光束并且其中利用脉冲激光器产生第二激光束。

6. 根据权利要求1的方法，其中，所述基板在用于支撑所述基板（2）的桌状装置上在一个方向上移动。

7. 根据权利要求6的方法，其中，通过沿着所述一个方向（17）在所述桌状装置（16）上移动所述基板（2）并且通过沿着与所述一个方向（17）交叉地定向的所述移动方向（18）移动带有激光器装置的所述载架（10），所述基板（2）的任何区域得以处理。

8. 根据权利要求7的方法，其中，所述凹槽（6、7、8、15）被形成为平行于所述移动方向（18）和所述线。

9. 根据权利要求1的方法，其中，激光束被从透光的所述基板（2）的另一主表面照射通过所述基板（2）到相应的所述膜（3、4、5）的所述相同的区，因此将所述膜（3、4、5）划分成所述多个区域。

10. 根据权利要求1的方法，其中，在所述膜（3、4、5）中形成所述凹槽（6、7、8、15），其中所述载架（10）沿着所述移动方向（18）在任一方向上移动并且所述第二激光器（12）以及当在所述载架（10）的移动方向上看时在所述第二激光器（12）前面的所述第一调整激光器（11）和所述另一个调整激光器（13）之一正在运行，从而将在此处形成所述凹槽（6、7、8、15）的、所述膜（3、4、5）的所述相同的区上的任何点首先用所述第一调整激光器（11）或者所述另一个调整激光器（13）处理并且随后用所述第二激光器（12）处理。

11. 一种用于通过多激光束照射将在基板（2）上形成的半导体膜（3、4、5）划分成多个区域的装置，所述多激光束照射使用影响所述膜（3、4、5）的相同的区的至少两个激光束处理的序列，所述装置包括用于除了最终激光束处理的、至少两个激光束处理的所述序列的处理的第一调整激光器（11）并且包括用于所述最终激光束处理的第二激光器（12），其中所述装置包括容纳多个激光器的载架（10），所述多个激光器至少包括所述第一调整激光器（11）和隔开的但是与第一调整激光器（11）的移动方向（18）成一条线布置的所述第二激光器（12），并且其中所述载架（10）能够包括与所述第一调整激光器（11）和所述第二激光器（12）成所述线布置的另一个调整激光器（13）从而允许所述激光装置的双向功能性。

12. 根据权利要求11的装置，其中，所述基板（2）能够在用于支撑所述基板（2）的桌状装置（16）上在一个方向（17）上移动。

13. 根据权利要求11的装置，其中，所述第一调整激光器（11）是连续波激光器并且其中所述第二激光器（12）是脉冲激光器。

14. 根据权利要求11的装置，其中，所述第一调整激光器（11）和所述另一个调整激光器（13）是相同的并且其中所述第一调整激光器（11）和所述另一个调整激光器（13）在所述第二激光器（12）的相同距离处但是在相反的方向上定位。

15. 根据权利要求12的装置，其中，通过沿着所述一个方向（17）在所述桌状装置（16）上移动所述基板（2）并且通过沿着与所述一个方向（17）交叉地定向的所述移动方向（18）移动带有激光器装置的所述载架（10），所述基板（2）的任何区域均能够得以处理。

Images