JP5383920B2 - レーザ加工装置および基板位置検出方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示す図である。レーザ加工装置100は、レーザ光L(パルスレーザ光)を照射することによって被加工物である基板(ワーク)4にレーザ穴あけ加工を行う装置である。本実施の形態のレーザ加工装置100は、位置決め用マーク上へカメラ39を移動させる処理と、位置決め用マークの画像処理(位置決め用マークの位置を算出する処理)と、を同時に行うことによって、基板4を載置した位置の位置ずれ量を算出する。
2 加工制御装置
3 レーザ加工部
4 基板
5 加工穴領域
6 マーク
20 加工位置算出部
21 移動指令出力部
22 速度算出部
23 テーブル位置入力部
24 基板位置算出部
25 撮像指令出力部
26 画像入力部
27 画像処理部
28 座標補正部
29 位置ずれ量算出部
30 XYテーブル
39 カメラ
40X,40Y リニアスケール
43X,43Y エンコーダ
100 レーザ加工装置
L レーザ光
M1 基板位置ずれ情報記憶部
M2 加工プログラム記憶部
M3 撮像所要時間記憶部
Claims (5)
- レーザ加工対象である基板を載置するとともに前記基板の主面と平行な面内で移動する加工テーブルと、
前記基板上に設けられて前記基板上の位置検出に用いられる位置決め用マークを順番に撮像する撮像部と、
前記加工テーブルが停止することなく連続的に前記撮像部が前記位置決め用マーク上に順番に移動してくるよう、前記加工テーブルへの移動指令を出力する移動指示部と、
前記撮像部と前記基板との間の相対位置を、前記加工テーブルの位置に基づいて算出する基板位置算出部と、
前記撮像部が前記位置決め用マーク上に移動してきた際に、前記基板位置算出部が補正した前記相対位置に基づいて、前記撮像部に撮像指示を出力する撮像指示部と、
前記移動指示部が前記加工テーブルへの移動指令を出力している間に、前記撮像部が撮像した前記位置決め用マークの画像に基づいて、前記位置決め用マークの位置を算出するマーク位置算出部と、
前記マーク位置算出部が算出した前記位置決め用マークの位置を用いて、前記基板の前記加工テーブルに対する位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、
前記基板のレーザ加工位置を、前記位置ずれ量算出部が算出した位置ずれ量で位置補正しながらレーザ加工を行うレーザ加工部と、
を備え、
前記基板位置算出部は、前記加工テーブルの移動速度に応じて変化する前記加工テーブルと前記基板との間の位置ずれ量を、前記加工テーブルの移動速度に基づいて算出し、算出した位置ずれ量を用いて前記相対位置を補正することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記加工テーブルの位置を検出するリニアスケールをさらに備え、
前記基板位置算出部は、前記リニアスケールが検出した前記加工テーブルの位置に基づいて前記相対位置を算出することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記加工テーブルを移動させるモータと、
前記モータの回転数を検出するエンコーダと、
をさらに備え、
前記基板位置算出部は、前記加工テーブルへの移動指令に対応する前記モータへの制御指令、前記エンコーダによる検出結果および前記加工テーブルへの移動指令の積算値を用いて前記相対位置を算出することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記撮像指示を出力してから前記位置決め用マークの画像が撮像されるまでに要する時間と、前記加工テーブルの移動速度と、に基づいて、前記マーク位置算出部が算出した前記位置決め用マークの位置を補正する位置補正部をさらに備え、
前記位置ずれ量算出部は、前記位置補正部が補正した位置決め用マークの位置を用いて、前記基板の前記加工テーブルに対する位置ずれ量を算出することを特徴とする請求項1,3,4のいずれか1つに記載のレーザ加工装置。 - レーザ加工対象である基板を載置するとともに前記基板の主面と平行な面内で移動する加工テーブルと、前記基板上に設けられて前記基板上の位置検出に用いられる位置決め用マークを順番に撮像する撮像部と、を備えたレーザ加工装置が、前記加工テーブルが停止することなく連続的に前記撮像部が前記位置決め用マーク上に順番に移動してくるよう、前記加工テーブルへの移動指令を出力する移動指示ステップと、
前記加工テーブルの移動速度に応じて変化する前記加工テーブルと前記基板との間の位置ずれ量を、前記加工テーブルの移動速度に基づいて算出し、算出した位置ずれ量を用いて前記相対位置を補正する相対位置補正ステップと、
前記撮像部が前記位置決め用マーク上に移動してきた際に、補正された前記相対位置に基づいて、前記撮像部に撮像指示を出力する撮像指示ステップと、
前記加工テーブルへの移動指令が出力されている間に、前記撮像部が撮像した前記位置決め用マークの画像に基づいて、前記位置決め用マークの位置を算出するマーク位置算ステップと、
算出された前記位置決め用マークの位置を用いて、前記基板の前記加工テーブルに対する位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出ステップと、
を含むことを特徴とする基板位置検出方法。
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