JP3843869B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、コントロールゲートにより制御される不揮発性メモリ素子を備えた不揮発性半導体記憶装置に関する。
【0002】
【背景技術】
不揮発性半導体記憶装置の一例として、チャネルとゲートとの間のゲート絶縁層が、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜の積層体からなり、窒化シリコン膜に電荷がトラップされるMONOS(Metal-Oxide-Nitride-Oxide -Semiconductorまたは-substrate)型が知られている。
【0003】
このMONOS型不揮発性半導体記憶装置は、文献(Y.Hayashi,et al,2000 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers p.122-p.123)に開示されている。この文献には、1つのワードゲートと、2つのコントロールゲートにより制御される2つの不揮発性メモリ素子(MONOSメモリ素子)を備えたツインMONOSフラッシュメモリセルが開示されている。すなわち、1つのフラッシュメモリセルが、電荷のトラップサイトを2つ有し、1セルで2ビットのデータを記憶している。
【0004】
このような構造を有する複数のツインMONOSフラッシュメモリセルを行方向及び列方向にそれぞれ複数配列させて、メモリセルアレイが構成される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ツインメモリセルの一方のメモリ素子が選択セルであり、他方のメモリ素子が非選択セル(対向セルという)である場合を考える。選択セルからデータをリードする時、選択セルのコントロールゲートには選択電圧を、対向セルのコントロールゲートにはオーバライド電圧を供給し、対向セル以外の非選択セルのコントロールゲートには0Vを供給する。
【0006】
ここで、オーバライド電圧とは、対向セルのプログラムの有無に拘わらず、その対向セルのトランジスタをオンさせてリード電流またはプログラム電流を流すために必要な電圧である。
【0007】
ここで、データリード時のオーバライド電圧、データプログラム時の選択電圧及びオーバライド電圧は電源電圧より高く、これらは昇圧回路から供給される。
【0008】
従来の課題として、この種の不揮発性半導体記憶装置では、特にリード動作を高速化する必要がある。しかし、コントロールゲート線を0Vから最終電圧まで立ち上げるのに時間を要していた。
【0009】
本発明の目的は、高速読み出しが可能な不揮発性半導体記憶装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の不揮発性半導体記憶装置は、
1つのワードゲートと、第1,第2のコントロールゲートにより制御される第1,第2の不揮発性メモリ素子とを有するツインメモリセルを、列方向及び行方向にそれぞれ複数配列してなるメモリセルアレイを含む不揮発性半導体記憶装置であって、
前記第1および第2の不揮発性メモリ素子の一方は、データを記憶する機能を有し、
前記第1および第2の不揮発性メモリ素子の他方は、データを記憶する機能を有しない。
【0011】
本発明によれば、データリード時において、データを記憶しない不揮発性メモリ素子(非選択対向セル)のコントロールゲートに印加される電圧は、メモリ素子に電荷がない状態でのしきい値電圧よりも高い電圧であればよい。このため、オーバーライド電圧を印加する必要がなく、低電圧化を図ることができる。その結果、消費電力を低減することができる。また、コントロールゲートの電圧の立ち上がりを早めることができ、その分、高速読み出しが可能となる。
【0012】
データリード時では、一つのツインメモリセルの前記第1,第2の不揮発性メモリ素子の一方が選択セル、他方が非選択対向セルとされ、前記選択セルおよび前記非選択対向セルの双方には前記電源電圧以下の電圧が供給されることができる。この場合、選択セル及び非選択セルのコントロールゲートの双方に選択電圧を印加しても良い。
【0013】
これによれば、データリード時において、そのコントロールゲートに、昇圧電圧を印加する必要がない。チップイネーブル信号によりリードモードになった後、リード動作が開始するまでの時間を、昇圧電圧が必要な場合に比べて短くすることができる。したがって、高速読み出しをすることができる。また、リード時において昇圧電圧が不要であるため、消費電力を低減することができる。
【0014】
本発明は、具体的には、前記第1,第2の不揮発性メモリ素子にはそれぞれビット線が接続され、
前記ワードゲート、前記コントロールゲートおよび前記ビット線を駆動するための駆動電圧を生成する駆動回路をさらに含み、
前記駆動回路は、データリード時において、電源電圧以下の前記駆動電圧を生成することができる。
【0015】
前記ビット線は、前記行方向にて隣り合う各行の2つのツインメモリセルの隣り合う前記第1,第2の不揮発性メモリ素子に共通接続され、前記列方向に延びていることができる。この場合、2つのツインメモリセルの隣り合う前記第1,第2の不揮発性メモリ素子は、同一のビット線を共用することとなる。
【0016】
また、前記2つのツインメモリセルの一方のメモリセルの第1の不揮発性メモリ素子と、前記2つのツインメモリセルの他方のメモリセルの第2の不揮発性メモリ素子とに、同一のデータを記憶することができる。これにより、データリード時の電流量を増やすことができる。また、複数ビット線の各々は、ソース側かドレイン側かに固定され、前記2つのメモリセルに共通接続されたビット線がドレイン線として機能する。
【0017】
本発明では、前記メモリセルアレイは、前記列方向で複数にブロック分割され、
前記複数のブロックの各々に前記ビット線がそれぞれ設けられ、
前記複数のブロックの各々のビット線とメインビット線とを接続/非接続するスイッチング素子とをさらに含み、
データリード時にて、前記スイッチング素子を駆動する電圧は、電源電圧以下とすることができる。
【0018】
前記第1及び第2の不揮発性メモリ素子の各々は、酸化膜(O)、窒化膜(N)及び酸化膜(O)からなるONO膜を電荷のトラップサイトとして有することができる。ただし、これ以外のトラップ構造を採用することができる。
【0019】
前記ツインメモリセルは、1ビットのデータを記憶していることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0021】
1.ツインメモリセル構造
図1は不揮発性半導体記憶装置の一断面を示している。図1において、1つのツインメモリセル100は、P型ウェル102上にゲート酸化膜を介して例えばポリシリコンを含む材料から形成されるワードゲート104と、第1,第2のコントロールゲート106A,106Bと、第1,第2の不揮発性メモリ素子(MONOSメモリ素子)108A,108Bとを有する。
【0022】
第1,第2のコントロールゲート106A,106Bは、ワードゲート104の両側壁に形成され、ワードゲート104とはそれぞれ電気的に絶縁されている。
【0023】
第1,第2の不揮発性メモリ素子108A,108Bの各々は、MONOSのM(金属)に相当するポリシリコンにて形成される第1,第2のコントロールゲート106A,106Bの一つと、P型ウェル102との間に、酸化膜(O)、窒化膜(N)及び酸化膜(O)を積層することで構成される。なお、第1,第2のコントロールゲート106A,106Bは、シリサイドなどの導電材で構成することもできる。
【0024】
このように、1つのツインメモリセル100は、スプリットゲート(第1,第2のコントロールゲート106A,106B)を備えた第1,第2のMONOSメモリ素子108A,108Bを有し、第1,第2のMONOSメモリ素子108A,108Bにて一つのワードゲート104を共用している。
【0025】
この第1,第2のMONOSメモリ素子108A,108Bは、本来、それぞれ電荷のトラップサイトとして機能する。すなわち、第1,第2のMONOSメモリ素子108A,108Bの各々は、ONO膜109にて電荷をトラップすることが可能である。本発明の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置は、一方のMONOSメモリ素子のみデータが記憶され、他方のMONOSメモリ素子は、プログラム時にデータが書き込まれない状態で使用に供される。つまり、1つのツインメモリセルは、1方のメモリ素子のみがデータ記憶の対象となり、1ビットの情報を記憶する。
【0026】
図1に示すように、行方向Bに間隔をおいて配列された複数のワードゲート104は、ポリサイドなどで形成される1本のワード線WLに共通接続されている。
【0027】
また、図1に示すコントロールゲート106A,106Bは、列方向(図1の紙面に垂直な方向)に沿って延び、列方向に配列される複数のツインメモリセル100にて共用される。よって、符号106A,106Bをコントロールゲート線とも称する。
【0028】
ここで、[i]番目のツインメモリセル100[i]のコントロールゲート線106Bと、[i+1]番目のツインメモリセル100[i+1]のコントロールゲート線106Aとには、例えばワードゲート,コントロールゲート,ワード線よりも上層の金属層で形成されるサブコントロールゲート線SCG[i+1]が接続されている。
【0029】
P型ウェル102には、[i]番目のツインメモリセル100[i]のMONOSメモリ素子108Bと、[i+1]番目のツインメモリセル100[i+1]のMONOSメモリ素子108Aとに共用される[i+1]番目の不純物層110[i+1]が設けられている。
【0030】
これらの不純物層110[i],[i+1],[i+2]は例えばP型ウェル内に形成されるn型不純物層で、列方向(図1の紙面に垂直な方向)に沿って延び、列方向に配列される複数のツインメモリセル100にて共用されるビット線として機能する。よって、符号110[i],[i+1],[i+2]などをビット線BL[i],[i+1],[i+2]とも称する。
【0031】
2.不揮発性半導体記憶装置の全体構成
上述のツインメモリセル100を用いて構成される不揮発性半導体記憶装置の全体構成について、図2(A)〜図2(E)を参照して説明する。
【0032】
図2(A)は1チップの不揮発性半導体記憶装置の平面レイアウト図であり、メモリセルアレイ200とグローバルワード線デコーダ201とを有する。メモリセルアレイ200は、例えば計64個の第0〜第63のセクタ領域210を有する。
【0033】
64個のセクタ領域210は、図2(A)に示すようにメモリセルアレイ200を行方向Bでそれぞれ分割したもので、各セクタ領域210は列方向Aを長手方向とする縦長形状を有する。データ消去の最小単位がセクタ領域210であり、セクタ領域210内の記憶データは一括してまたは時分割で消去される。
【0034】
メモリセルアレイ200は、例えば4K本のワード線WLと、4K本のビット線BLとを有する。ここで、本実施の形態では1本のビット線BLに1つのMONOSメモリ素子108A,108Bが接続されるため、4K本のビット線BLは4Kbitの記憶容量を意味する。各セクタ領域210の記憶容量はメモリ全体の記憶容量の1/64であり、(4K本のワード線WL)×(64本のビット線BL)で定義される記憶容量を有する。
【0035】
図2(B)は、図2(A)に示す不揮発性半導体記憶装置の隣り合う2つの第0及び第1のセクタ領域210の詳細を示している。図2(B)に示すように、2つのセクタ210の両側に、ローカルドライバ(ローカルコントロールゲートドライバ、ローカルビット線選択ドライバ及びローカルワード線ドライバを含む)220A,220Bが配置されている。また、2つのセクタ210と2つのローカルドライバ220A,220Bの例えば上辺には、セクタ制御回路222が配置されている。
【0036】
各セクタ領域210は行方向にて分割され、16ビットのデータをリード・ライト可能にI/O0〜I/O15用の16個のメモリブロック(入出力ビットに対応したメモリブロック)214を有している。各メモリブロック214は、図2(B)に示すように、4K(4096)本のワード線WLを有する。
【0037】
図2(C)に示すように、図2(B)に示す各一つのセクタ領域210は、列方向Aにて8個のラージブロック212に分割されている。この各ラージブロック212は、図2(D)に示すように、列方向Aにて8個のスモールブロック215に分割されている。
【0038】
各スモールブロック215は、図2(E)に示すように、64本のワード線WLを有する。
【0039】
3.セクタ領域の詳細
図3は、図2(A)に示すセクタ領域0の詳細を示している。図3に示すスモールメモリブロック216は、図4に示すように、ツインメモリセル100を列方向に例えば64個、行方向に例えば4個配列したものである。一つのスモールメモリブロック216には、例えば4本のサブコントロールゲート線SCG0〜SCG3と、データの入出力線である4本のビット線BL0〜BL3と、64本のワード線WLとが接続されている。
【0040】
ここで、偶数のサブコントロールゲート線SCG0,SCG2には、偶数列(第0列または第2列)の複数のツインメモリセルの各々の第2のコントロールゲート106Bと奇数列(第1列または第3列)の複数のツインメモリセルの各々の第1のコントロールゲート106Aとが共通接続されている。同様に、奇数のサブコントロールゲート線SCG1,SCG3には、奇数列(第1列または第3列)の複数のツインメモリセルの各々の第2のコントロールゲート106Bと偶数列(第2列または第4列)の複数のツインメモリセルの各々の第1のコントロールゲート106Aとが共通接続されている。
【0041】
図3に示すように、一つのメモリブロック214内にはスモールメモリブロック216が列方向に64個配列され、16ビットの入出力を行うために、16個のI/O0〜I/O15に対応した16個のメモリブロック214が行方向に配列されている。
【0042】
行方向に配列された16個のスモールメモリブロック216の16本のサブコントロールゲート線SCG0が、行方向にメインコントロールゲート線MCG0に共通接続されている。同様に、16本のサブコントロールゲート線SCG1はメインコントロールゲート線MCG1に、16本のサブコントロールゲート線SCG2はメインコントロールゲート線MCG2に、16本のサブコントロールゲート線SCG3はメインコントロールゲート線MCG3にそれぞれ共通接続されている。
【0043】
このセクタ領域0のコントロールゲート駆動部であるCGドライバ300−0〜300−63が設けられている。このCGドライバ300には、行方向に延びる上述の4本のメインコントロールゲート線MCG0〜MCG3が接続されている。
【0044】
4.動作説明
本実施形態の不揮発性メモリのデータ読み出し、データプログラム及びデータ消去動作について説明する。図5は、データ読み出し時での電圧設定を説明するための概略説明図である。
【0045】
不揮発性メモリの選択セルには、選択サイド(Selected Side)のメモリ素子(選択セル)108Aまたは108Bと、対向サイド(Opposite side)のメモリ素子(非選択対向セル)108Bまたは108Aとがある。具体的には、選択サイドのメモリ素子がデータ記憶対象の素子で、対向サイドのメモリ素子には、プログラム時にデータがプログラムされない。
【0046】
以上のような定義の下で、リード時、プログラム時及び消去(イレーズ)時のコントロールゲート線CG、ビット線BL及びワード線WLの各電位を、下記の表1に示す。
【0047】
【表1】
【0048】
なお、上記の電位は、駆動回路340により供給することができる。具体的には、選択信号線BS、ビット線BL、コントロールゲートCGおよびワード線WLの各所には、図6に示すように、駆動回路340によって、所定の電圧が供給される。所定の電圧としては、電源電圧Vdd、チャージポンプ型昇圧回路310に基づいて生成された電圧(8V、5.5V、2.5V、8V、4.5〜5V)、レギュレータ320に基づいて生成された電圧(1.5V、約1V)、または、負電圧チャージポンプ330に基づいて生成された電圧(−1〜−3V)がある。
【0049】
5.作用効果
(1)ツインメモリセルの一方のメモリ素子はデータが記憶され、他方のメモリ素子はデータが書き込まれないことにより次の効果を有する。
【0050】
選択サイドのメモリ素子のデータを読み出す場合、対向サイドのメモリ素子(非選択対向セル)のコントロールゲートにも電圧を印加する必要がある。図7に示すように、非選択対向セルにデータが記憶されていない場合(電荷がない場合)には、そのセルに印加する電圧は、データが記憶されている場合(電荷がある場合)に比べて、小さな電圧でよい。つまり、表1に示すように、非選択対向セルに印加する電圧は、そのセルに電荷がない状態でのしきい値電圧よりも高い電圧、たとえば選択電圧でよくなる。あるいは、そのしきい値電圧が電源電圧以下である場合には、対向セルのコントロールゲートに印加する電圧は、表1のとおり、電源電圧Vddでもよい。その結果、そのしきい値電圧が電源電圧以下である場合には、読み出し時において、対向サイドのメモリ素子のコントロールゲートに電圧を印加する際、チャージポンプを使用して昇圧した電圧を生成しなくてもよく、電源電圧以下の電圧でツインメモリセルを駆動することができる。
【0051】
これにより、データリード時において、ツインメモリセルを図6に示すチャージポンプ型昇圧回路310に基づいて生成された電圧を使用する必要がなく、電源電圧Vdd、レギュレータに基づいて生成された電圧のみによってツインメモリセルを駆動することができる。その結果、図8に示すように、チップイネーブル信号によりリードモードになった後、リード動作が開始するまでの時間を、昇圧電圧が必要な場合に比べて短くすることができる。したがって、高速読み出しをすることができる。また、リード時において昇圧電圧が不要であるため、消費電力を低減することができる。
【0052】
6.変形例
(1)図9に示すように、1ビットを2セルに記憶させることができる。この場合、具体的には、行方向にて隣り合う2つのツインメモリセル100A,100Bの一方のツインメモリセル100Aの第1の選択セル108Bと、ツインメモリセル100Bの第2の選択セル108Aとは、同一のデータが記憶される。これにより、電流能力を向上させることができ、より高速化を図ることができる。また、センスアンプの動作の確実性を向上させることができる。また、このような場合、BL[i−1]、BL[i+1]をソースに固定することができ、BL[i]、BL[i+2]をドレインに固定することができる。
【0053】
(2)上記実施の形態においては、リード時において、リバースモードの例を示したが、フォワードモードであってもよい。
【0054】
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【0055】
不揮発性メモリのツインメモリセルのプログラム動作及び消去動作の詳細説明は省略したが、必要があれば本願出願人による先願の特願平2001−137165等に詳述されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る不揮発性半導体記憶装置に用いられるメモリセルの断面図である。
【図2】図2(A)は図1に示す不揮発性半導体記憶装置全体の平面レイアウト図、図2(B)は図2(A)中の2つのセクタ領域の平面図、図2(C)は図2(B)中の一つのメモリブロックの平面図、図2(D)は図2(C)中の一つのラージブロックの平面図、図2(E)は図2(D)中の一つのスモールブロックの平面図である。
【図3】図2(B)に示す一つのセクタ領域の多数のスモールメモリブロックとその配線とを説明するための概略説明図である。
【図4】図3に示すスモールメモリブロックの回路図である。
【図5】データ読み出し時での選択ブロック内の電圧設定を説明するための概略説明図である。
【図6】駆動回路についてのブロック図である。
【図7】作用効果を説明するための、電圧(VCG)とソース−ドレイン電流Idsとの関係を示す特性図である。
【図8】作用効果を説明するためのタイミングチャートである。
【図9】変形例に係るデータ読み出し時での選択ブロック内の電圧設定を説明するための概略説明図である。
【符号の説明】
100 ツインメモリセル
102 P型ウェル
104 ワードゲート
106A,106B コントロールゲート(線)
108A,108B 不揮発性メモリ素子(MONOSメモリ素子)
109 ONO膜
110 不純物層(ビット線)
200 メモリセルアレイ
310 チャージポンプ型昇圧回路
320 レギュレータ
330 負電圧チャージポンプ
340 駆動回路
Claims (11)
- 1つのワードゲートと、第1,第2のコントロールゲートにより制御される第1,第2の不揮発性メモリ素子とを有するツインメモリセルを、列方向及び行方向にそれぞれ複数配列してなるメモリセルアレイを含む不揮発性半導体記憶装置であって、
前記第1および第2の不揮発性メモリ素子の一方は、データを記憶する機能を有し、
前記第1および第2の不揮発性メモリ素子の他方は、データを記憶する機能を有しない、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1において、
データリード時では、一つのツインメモリセルの前記第1,第2の不揮発性メモリ素子の一方が選択セル、他方が非選択対向セルとされ、前記選択セルおよび前記非選択対向セルの双方には前記電源電圧以下の電圧が供給される、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項2において、
前記選択セルからのデータリード時に前記非選択対向セルのコントロールゲートに印加される電圧は、前記非選択対向セルに電荷がない状態でのしきい値電圧よりも高く設定される、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項2または3において、
前記選択セルからのデータリード時に、前記選択セルおよび前記非選択対向セルの双方に選択電圧が供給される、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1,第2の不揮発性メモリ素子にはそれぞれビット線が接続され、
前記ワードゲート、前記コントロールゲートおよび前記ビット線を駆動するための駆動電圧を生成する駆動回路をさらに含み、
前記駆動回路は、データリード時において、電源電圧以下の前記駆動電圧を生成する、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項5において、
前記ビット線は、前記行方向にて隣り合う各行の2つのツインメモリセルの隣り合う前記第1,第2の不揮発性メモリ素子に共通接続され、前記列方向に延びている、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項6において、
前記2つのツインメモリセルの一方のメモリセルの第1の不揮発性メモリ素子と、前記2つのツインメモリセルの他方のメモリセルの第2の不揮発性メモリ素子とは、同一のデータが記憶されている、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項7において、
前記2つのツインメモリセルに共通接続された前記ビット線は、ドレイン線として機能する、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項5〜8のいずれかにおいて、
前記メモリセルアレイは、前記列方向で複数にブロック分割され、
前記複数のブロックの各々に前記ビット線がそれぞれ設けられ、
前記複数のブロックの各々のビット線とメインビット線とを接続/非接続するスイッチング素子とをさらに含み、
データリード時にて、前記スイッチング素子を駆動する電圧は、電源電圧以下である、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1〜9のいずれかにおいて、
前記第1及び第2の不揮発性メモリ素子の各々は、酸化膜(O)、窒化膜(N)及び酸化膜(O)からなるONO膜を電荷のトラップサイトとして有する、不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1において、
前記ツインメモリセルが1ビットのデータを記憶している、不揮発性半導体記憶装置。
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