JP3785083B2 - 半導体装置、電子カード及びパッド再配置基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体装置、例えば電子カードに用いられる半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近時、カードに半導体集積回路(IC)チップを埋め込んだICカードやメモリカードが普及しつつある。本明細書では、ICカードやメモリカード等、ICチップを埋め込んだカードを総称して、電子カードと呼ぶ。
【0003】
電子カードは、例えば既存の磁気カードに比較して、大容量のデータを記憶でき、また、既存の磁気ディスクに比較して、より小型化が可能である。これらのような利点から、電子カードは、将来、磁気カードや磁気ディスクを置き換える可能性を持つメディアの一つである。
【0004】
電子カードの分野においても、ICチップと同じく、その小型化とともに、高機能化、大容量化が求められている。このため、電子カード内におけるICチップの実装密度は急速に増大しつつある。実装密度が高まると、カードの外表面からICチップまでの距離が近くなる。この結果、外界からのサージがICチップに直接に入力されてしまう可能性が高まってきた。
【0005】
電子カードにおいて、サージ源となる可能性が高いのは、電子カードを携帯している人間である。そして、サージが入力される可能性が高い箇所は、人間が無意識にカードを掴んでしまう箇所である。この無意識に掴む箇所として、図22Aに示すように、電子カードの隣接する2つの角部、例えば電子カードの電子機器挿入側に対して、反対側の2つの角部がクローズアップされてきた。
【0006】
これらの2つ角部は、図22Bに示すように、例えば電子カードを電子機器に挿入する際、あるいは電子カードを電子機器から抜き出す際に無意識に掴みやすい。この傾向は、電子カードの小型化、例えば電子カードの幅Wcardが小さくなるにつれて、より顕著になる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
このように電子カードの小型化、高密度実装化が進むにつれ、内部に搭載されたICチップに対して、サージが直接に入力される可能性が高まりつつある。このため、電子カードだけでなく、電子カード内に搭載されるICチップにおいても、何等かの対策を講じる必要がある。
【0008】
この発明は、上記のような事情に鑑みて為されたもので、その目的の一つは、静電破壊耐性を向上させることが可能な半導体装置、およびその半導体装置を搭載した電子カード、及び半導体装置の構成部品の一つであるパッド再配置基板を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明の第1態様に係る半導体装置は、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0010】
この発明の第2態様に係る半導体装置は、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0011】
この発明の第3態様に係る半導体装置は、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0012】
この発明の第4態様に係る半導体装置は、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0013】
この発明の第5態様に係る電子カードは、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備える。
【0014】
この発明の第6態様に係る電子カードは、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備える。
【0015】
この発明の第7態様に係る電子カードは、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備える。
【0016】
この発明の第8態様に係る電子カードは、基板と、前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備える。
【0017】
この発明の第9態様に係るパッド再配置基板は、半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記絶縁性基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0018】
この発明の第10態様に係るパッド再配置基板は、半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記絶縁性基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続された接地されるアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0019】
この発明の第11態様に係るパッド再配置基板は、半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記絶縁性基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0020】
この発明の第12態様に係るパッド再配置基板は、半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、前記絶縁性基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されている。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
【0022】
(第1実施形態)
図1Aはこの発明の第1実施形態に係るプラスチック−ランドグリッドアレイ(以下P−LGA)パッケージの外観を示す斜視図、図1Bは図1A中の1B−1B線に沿う断面を分解して示す分解断面図である。
【0023】
図1A、図1Bに示すように、第1実施形態に係るP−LGAパッケージ1は、基板3と、この基板3上に搭載された半導体チップ(以下ICチップ)5と、基板3及び半導体チップ5を封止する絶縁性封止材7とを含む。
【0024】
基板3は、ランド面とボンディング面とを有する。ボンディング面は、ICチップ5を搭載するICチップ搭載面である。ランド面は、パッケージ1を、例えばサーキットボード上に実装する際の実装面である。この基板3は、例えばICチップ5のボンディングパッドを、サーキットボードと接続可能に再配置する、いわゆるパッド再配置基板である。
【0025】
ボンディング面には、ダイボンディング部9、及び内部端子11が設けられる。ダイボンディング部9には、ICチップ5がボンディングされる。本第1実施形態に係るパッケージ1のボンディング部9は、ICチップ5の形に応じて窪んでいる。この理由の一つは、例えばパッケージ1の厚さTPを極力薄くすることである。ただし、ICチップ5の形に応じた窪みは、必要に応じて設けられれば良い。厚さTPの一例は、約0.6〜0.7μm以下である。厚さTPを薄くする理由の一つは、本パッケージ1が、ICカード、あるいはメモリカード等の電子カードに搭載されることが予定されていることである。例えばICチップ5の一例は、不揮発性半導体記憶装置、例えばNAND型フラッシュメモリである。
【0026】
内部端子11は、ICチップ5のボンディングパッドに電気的に接続される。本第1実施形態に係るパッケージ1の内部端子11は、ICチップ5のボンディングパッドに、ボンディングワイヤ13を介して電気的に接続される。
【0027】
ランド面には、外部端子15が設けられる。外部端子15は、例えばサーキットボードの配線に電気的に接続される部分である。外部端子15は、基板3内に設けられた内部配線により、内部端子11と電気的に接続される。これにより、ICチップ5は、サーキットボードの配線に電気的に接続される。
【0028】
なお、本第1実施形態のパッケージ1では、図1Aに示すように、実際にICチップ5に電気的に接続される外部端子15と、ICチップ5に電気的に接続されないダミー外部端子15-Dとが設けられている。ダミー外部端子15-Dは、例えばサーキットボードの接地された配線に電気的に接続される。
【0029】
また、ICチップ5は、絶縁性封止材7、例えば絶縁性プラスチックにより封止される。
【0030】
図2Aは、図1B中の破線枠2A内を拡大して示す拡大断面図である。図2Aに示す断面の寸法の一例を、図2Bに示す。
【0031】
図2A、図2Bに示すように、ICチップ5の厚さ(チップ厚)Aの一例は、200±15μmである。ICチップ5をダイボンディング部9にボンディングするペーストの厚さ(ペースト厚)、例えば接着テープの厚さ(テープ厚)Bの一例は、40±20μmである。基板3の厚さ(基板厚)Cの一例は、190±20μmである。絶縁性封止材7のボンディング面からの厚さ(キャビティ厚)Dの一例は、435±20μmである。ランド面から絶縁性封止材7の上面までの厚さ(パッケージ厚、図1Aの厚さTPに相当)Fの一例は、625±28μmである。ICチップ5上のボンディングワイヤ13の高さ(ループ高さ)Gの一例は125±25μmである。内部端子11の露出面からICチップ5のボンディングパッド面までの段差(ボンディング段差)Hの一例は、250μmである。ボンディングワイヤ13上の絶縁性封止材7の厚さ(ワイヤ上樹脂厚)Jは、75±41μmである。
【0032】
また、図2Aに示すように、本第1実施形態に係るパッケージ1の基板3は、絶縁性コア材21、絶縁性コア材21のランド面に設けられたランド面配線(第1層内部配線)23、この配線23を、外部端子15の部分を除いて被覆する絶縁層25、絶縁性コア材21のボンディング面に設けられたボンディング面配線(第2層内部配線)27、この配線27を、及び内部端子11の部分を除いて被覆する絶縁層29を含む。ボンディング面配線27は、ランド面配線23に、絶縁性コア材21に形成されたスルーホール31を介して接続されている。
【0033】
以下、本第1実施形態に係るパッケージ1の基板3について、より詳細に説明する。
【0034】
図3は基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0035】
図3に示すように、絶縁性コア材21のランド面上には、ランド面配線23が形成されている。配線23の材質の一例は銅であり、その厚さの一例は20μmである。配線23は外部端子15に接続される。外部端子15は、絶縁性コア材21のランド面から外部に露出されるが、外部端子15以外の箇所は、例えば絶縁層25により被覆される。絶縁層25のパターンの一例を図4に示す。
【0036】
図4に示すように、絶縁層25には、外部端子15、及びダミー外部端子15が露出される開孔33を有する。絶縁層25の材質の一例はソルダーレジストであり、その厚さの一例は配線23が無い部分で30μm、配線23がある部分で20μmである。
【0037】
また、配線23は、ボンディング面配線27に、スルーホール31を介して接続される。ボンディング面配線27のパターンの一例を図5に、また、ボンディング面上にICチップ5を搭載した状態を図6に示す。
【0038】
図5、図6に示すように、ボンディング面配線27は、スルーホール31から導出されたランド面配線23を、ボンディング面上に設けられた内部端子11にと接続する。本第1実施形態では、スルーホール31が、絶縁性コア材21の4辺のうち、互いに相対する辺に沿って2列設けられている。
【0039】
さらに本第1実施形態では、絶縁性コア材21の、ランド面上の4つの角部に、配線41が設けられている。配線41は、例えばダミー外部端子15-Dに接続され、接地される。以下、配線41を、本明細書ではアンテナ配線と呼ぶ。
【0040】
上記第1実施形態に係るP−LGAパッケージ1は、パッケージ1の内部にアンテナ配線41を有し、かつアンテナ配線41は、パッケージ1の4つの角部、例えば基板3の4つの角部に設けられている。アンテナ配線41は接地される。このため、パッケージ1の角部にサージが入力された場合、このサージはアンテナ配線41を介して接地点に逃がすことができる。
【0041】
また、アンテナ配線41は、パッケージ1の4つ角部に設けられているので、パッケージ1が電子カードに搭載され、例えば図7Aに示すように、カード外装体51の隣接する2つの角部53からサージが入力された場合、これらサージについても、パッケージ1のアンテナ配線41を介して接地点に逃がすことができる。
【0042】
もちろん、アンテナ配線41は、図7Aに示した隣接する2つの角部53から入力されたサージに限らず、例えば図7Bに示すように、カード外装体51の互いに相対する2辺から入力されるサージについても、接地点に逃がすことが可能である。
【0043】
このように第1実施形態に係るパッケージ1は、その4つの角部、例えば基板3の4つの角部に、接地されるアンテナ配線41を有する。これにより、内部に収容されたICチップ5を、静電破壊から保護することができる。
【0044】
また、半導体装置の静電破壊耐性が向上することから、第1実施形態に係るパッケージ1は、図8に示すように、カード外装体51の表面からICチップ5までの距離dが小さい、いわゆる高密度実装に特に有利である。距離dの一例としては、例えば1mm未満である。
【0045】
また、アンテナ配線41は、ICチップ5ではなく、これを収容するパッケージ1の4つの角部、例えば基板3の4つの角部に設けられる。このため、この発明を実施するに当たり、ICチップ5には、例えば設計変更等の作業は必要とされない。つまり、この発明に係る静電破壊対策は簡便であり、例えば生産コストがむやみに増加するようなこともない。
【0046】
また、アンテナ配線41を、パッケージ1、例えば基板3の4つの角部に設けることによる利点の一つは、例えば図9A〜図9Dに示すように、0°、90°、180°、270°の様々な向きで、パッケージ1をカード外装体51内に収容したとしても、アンテナ配線41は、カード外装体51の隣接する2つの角部53に隣接することである。つまり、カード外装体51に収容する際のパッケージ配置に関するフレキシビリティが高い。
【0047】
しかしながら、図10に示すように、カード外装体51内において、パッケージ1の配置が決まっている場合には、アンテナ配線41は、隣接する2つの角部53に応じて、パッケージ1の隣接する2つの角部にのみ設けるようにすることも可能である。
【0048】
次に、アンテナ配線41を形成する方法の一例を説明する。
【0049】
図11はアンテナ配線を形成する方法の一例を示す平面図である。図11は、基板3を切り出す前の絶縁性フレームの平面図、例えばガラス−エポキシフレームのランド面側の平面図を示しており、基板3となる部分が2箇所設けられている。
【0050】
図11に示すように、基板3となる部分の周囲は、配線61によって囲まれている。配線61は、ダミー外部端子15-Dをメッキ、例えば電解メッキにより形成する際に用いられるメッキ配線である。メッキ配線61は基板3となる部分に延びており、例えば先端にはダミー外部端子15-Dが電解メッキにより形成される。また、外部端子15も電解メッキにより形成される。外部端子15のメッキ配線は、本第1実施形態では、メッキ配線61とは別の層、例えばボンディング面に形成されている。このメッキ配線は、図11には図示されていないが、その一部は、例えば図5、図6中に参照符号63により示されている。
【0051】
メッキ配線61には、例えばランド面配線23と同一の導電層、例えば銅箔を用いることができる。このため、メッキ配線61をアンテナ配線41に用いれば、アンテナ配線41を形成するために、新たな導電層を形成する必要がない、という利点を得ることができる。
【0052】
また、例えばメッキ配線61をアンテナ配線41に用いた場合には、例えば図3に示すように、アンテナ配線41に、基板3の端部から露出する部位43を設けることができる。これにより、アンテナ配線41は、例えば基板3の内部に形成される配線パターン23よりも外側、つまりカード外装体51の近くに引き出すことができる。これによる利点の一つは、サージが、例えば配線パターン23よりも、アンテナ配線41に入力され易くなることである。原理は避雷針とほぼ同様である。サージが、例えば配線パターン23よりもアンテナ配線41に入力されやすくなれば、ICチップ5を静電破壊から保護する利点は、さらに高まる。
【0053】
なお、露出する部位43は、基板3の端部からパッケージ1の外界に露出させたままにしても良いし、必要であれば、例えば絶縁性封止材によりパッケージ1内に封止しておいても良い。
【0054】
また、アンテナ配線41を基板3の端部から露出させるには、メッキ配線61を利用するばかりに限られるものではない。例えばアンテナ配線41のパターンを、基板3の端部から露出させるパターンとしても良い。
【0055】
(第2実施形態)
図3に示した基板3には、ランド面配線23、アンテナ配線41の他、例えばパッケージ1の変形を抑制するための補強パターン23-Rが設けられている。補強パターン23-Rは、例えばランド面配線23のパターンが、疎らになる部分に、必要に応じて設けられる。
【0056】
本第2実施形態は、角部に設けられたアンテナ配線41に加えて、補強パターン23-Rを、アンテナ配線として利用する例である。
【0057】
図12は、この発明の第2実施形態に係る基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0058】
図12に示すように、補強パターン23-Rは、例えば外部端子15のうち、接地端子Vssに接続される。これにより、補強パターン23-Rは、アンテナ配線41と同等の役目を果たす。また、外部端子15のうち、電気的に浮遊とされる補強パターン23-Rについては、例えばアンテナ配線41に接続すれば、アンテナ配線41と同等の役目を果たす。
【0059】
本第2実施形態によれば、パッケージ1の角部、例えば基板3の角部に設けられたアンテナ配線41に加えて、アンテナ配線41間に、別のアンテナ配線が設けられる。このため、アンテナ配線41が設置される領域が広がり、ICチップ5を静電破壊から保護する利点を、さらに高めることができる。
【0060】
(第3実施形態)
図13は、この発明の第3実施形態に係る基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0061】
図13に示すように、アンテナ配線41は、基板3の隣接する角部にそれぞれ設けられるばかりでなく、隣接する角部間を継ぐように設けられても良い。
【0062】
本第3実施形態によれば、例えば第1実施形態に比較して、アンテナ配線41が設置される領域が広がる。このため、第2実施形態と同様に、ICチップ5を静電破壊から保護する利点を、さらに高めることができる。
【0063】
(第4実施形態)
図14は、この発明の第4実施形態に係る基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0064】
図14に示すように、アンテナ配線41は、基板3の隣接する角部にそれぞれ設けられるばかりでなく、基板3の全周に設けられても良い。
【0065】
本第4実施形態によれば、例えば第1、第2、第3実施形態に比較して、アンテナ配線41が設置される領域が、さらに広がる。このため、ICチップ5を静電破壊から保護する利点を、さらに高めることができる。
【0066】
また、アンテナ配線41を基板3の全周に設けることで、例えばランド面配線23をアンテナ配線41で囲むことができる。ランド面配線23がアンテナ配線41で囲まれれば、サージは、ランド面配線23に、さらに入力されに難くなる。
【0067】
(第5実施形態)
本第5実施形態は、アンテナ配線41の幅に関する例である。
【0068】
図15Aはこの発明の第5実施形態に係るP−LGAパッケージの基板3の一例を示す斜視図である。
【0069】
図15Aに示すように、アンテナ配線41の幅W1の第1例は、幅W1をメッキ配線63の幅W2と等しくする。また、メッキ配線63の幅W2は、ボンディング面配線27(あるいはランド面配線23)の幅W3以下である。なお、図15A中、参照符号65により示される部位は、メッキ配線63の端部が基板3の端部から露出している部位を示している。
【0070】
(第6実施形態)
本第6実施形態は、第5実施形態と同様に、アンテナ配線41の幅に関する例である。
【0071】
図15Bはこの発明の第6実施形態に係るP−LGAパッケージの基板3の一例を示す斜視図である。
【0072】
図15Bに示すように、アンテナ配線41の幅W1の第2例は、幅W1をメッキ配線63の幅W2より広くする。また、アンテナ配線41の幅W1は、ボンディング面配線27(あるいはランド面配線23)の幅W3以下である。
【0073】
本第6実施形態による利点は、アンテナ配線41の幅W1が、メッキ配線63の幅W2よりも広いので、サージが、メッキ配線63に比べて、アンテナ配線41に入力され易くなることである。
【0074】
(第7実施形態)
本第7実施形態は、第5、第6実施形態と同様に、アンテナ配線41の幅に関する例である。
【0075】
図15Cはこの発明の第7実施形態に係るP−LGAパッケージの基板3の一例を示す斜視図である。
【0076】
図15Cに示すように、アンテナ配線41の幅W1の第3例は、幅W1をメッキ配線63の幅W2、及びボンディング面配線27(あるいはランド面配線23)の幅W3より広くする。
【0077】
本第7実施形態による利点は、アンテナ配線41の幅W1が、第6実施形態よりもさらに広くなるので、サージが、メッキ配線63に比べて、さらにアンテナ配線41に入力され易くなることである。
【0078】
(第8実施形態)
図16は、この発明の第8実施形態に係る基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0079】
図16に示すように、第8実施形態は、アンテナ配線41を、隣接する角部間を継ぐように設け、かつアンテナ配線41を基板3の端部に沿って露出させたものである。
【0080】
本第8実施形態においては、例えば第1実施形態に比較して、アンテナ配線41の露出部位43の面積が広がる。このため、サージは、よりアンテナ配線41に入力され易くなる。
【0081】
また、本第8実施形態では、図17に示すように、メッキ配線61のパターンを単純なラインパターンとするだけで、アンテナ配線41を形成することが可能である。このため、例えばアンテナ配線41を形成し易い、という利点がある。
【0082】
(第9実施形態)
図18は、この発明の第9実施形態に係る基板3のランド面配線パターンの一例を示す平面図である。
【0083】
図19に示すように、第8実施形態は、アンテナ配線41を、基板3の全周に設け、かつアンテナ配線41を基板3の端部から全て露出させたものである。
【0084】
本第9実施形態においては、例えば第8実施形態に比較して、さらにアンテナ配線41の露出部位43の面積が広がる。このため、サージは、よりアンテナ配線41に入力され易くなる。
【0085】
また、本第9実施形態では、図19に示すように、メッキ配線61のパターンを単純なフレームパターンとするだけで、アンテナ配線41を形成することが可能である。このため、第9実施形態においても、第8実施形態と同様に、例えばアンテナ配線41を形成し易い、という利点を得ることができる。
【0086】
(第10実施形態)
図20Aはこの発明の第10実施形態に係る基板3の一例を示す斜視図、図20Bはこの発明の第10実施形態に係るP−LGAパッケージをサーキットボードに搭載した状態を示す断面図である。
【0087】
図20Aに示すように、本第10実施形態では、アンテナ配線41を基板3のボンディング面、例えば絶縁性コア材21のボンディング面に設けたものである。本第10実施形態では、外部端子15が絶縁性コア材21のランド面に形成される例を想定しているので、ボンディング面にアンテナ配線41は、ランド面に設けられたアンテナ配線41にスルーホール31を介して接続される。
【0088】
このように、アンテナ配線41は、基板3のランド面上に設けるばかりでなく、基板3のボンディング面上に設けることが可能である。
【0089】
また、アンテナ配線41を、基板3のボンディング面上に設けた場合には、メッキ配線63は、基板3のランド面、例えば絶縁性コア材21のランド面に設けるようにしても良い。これによる利点の一つは、図20Bに示すように、パッケージ1をサーキットボード71に搭載した時、例えば基板3の端部、例えば絶縁性コア材21の端部から露出するメッキ配線63を、アンテナ配線41と、サーキットボード71に設けられた接地配線Vss(GND)とで、挟めることである。露出するメッキ配線63を、アンテナ配線41と接地配線Vss(GND)とで挟めば、サージがメッキ配線63に入力されてしまう可能性を低くすることができる。
【0090】
また、図20Aに示すように、本第10実施形態は、アンテナ配線41が、ランド面に設けられたアンテナ配線41と、ボンディング面に設けられたアンテナ配線41との二層構造になっている。
【0091】
このように、アンテナ配線41は多層構造とすることも可能である。これによる利点の一つは、アンテナ配線41が多層構造となることにより、サージは、よりアンテナ配線41に入力され易くなることである。
【0092】
以上、この発明を第1〜第10実施形態により説明したが、この発明は、これら実施形態それぞれに限定されるものではなく、その実施にあたっては、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0093】
例えば第1〜第10実施形態では、基板3における配線構造を、ランド面配線23とボンディング面配線27との二層構造としたが、三層以上の配線構造とすることも、もちろん可能である。
【0094】
また、例えば第1〜第10実施形態では、基板3の内部端子11と、ICチップ5のボンディングパッドとをボンディングワイヤ13により接続する、いわゆるワイヤボンディング方式の半導体装置の例を示した。
【0095】
しかし、この発明は、ワイヤボンディング方式に限って適用されるものではなく、例えば図21に示すように、基板3の内部端子11を、ICチップ5の、例えばバンプ電極81に接続する、いわゆるフリップチップ方式の半導体装置にも、適用することができる。
【0096】
また、第1〜第10実施形態では、ICチップ5を、絶縁性封止材7により封止する例を示した。絶縁性封止材7の材料の一例は、絶縁性プラスチックであったが、例えば絶縁性セラミック等にも変更可能である。
【0097】
また、この発明は、ICチップ5を絶縁性封止材7により封止しない、いわゆるベアチップ実装にも適用することができる。ベアチップ実装は、例えばフリップチップ方式の半導体装置において良く利用されている。
【0098】
また、第1〜第10実施形態では、電子カードに搭載される半導体装置として、不揮発性半導体記憶装置を例示したが、この発明は不揮発性半導体記憶装置に限って適用されるものではない。
【0099】
また、上記第1〜第10実施形態はそれぞれ、単独で実施することが可能であるが、適宜組み合わせて実施することも、もちろん可能である。
【0100】
また、上記第1〜第10実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、各実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。
【0101】
さらに上記第1〜第10実施形態により説明した半導体装置は、電子カードに搭載されるばかりでなく、電子機器、例えば携帯電子機器等にも搭載されても、上記同様の利点を得ることができる。何故ならば、携帯電子機器においても、電子カード同様に、その小型化、及び高密度実装化が進展しつつある現在、本明細書で説明したような対策が求められるからである。
【0102】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、静電破壊耐性を向上させることが可能な半導体装置、その半導体装置を搭載した電子カード、及び半導体装置の部品の一つであるパッド再配置基板を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1Aはこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージの外観を示す斜視図、図1Bは図1A中の1B−1B線に沿う断面を分解して示す分解断面図。
【図2】図2Aは図1B中の破線枠2A内を拡大して示す拡大断面図、図2Bは図2Aに示す断面の寸法の一例を示す図。
【図3】図3はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図4】図4はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面絶縁層パターンの一例を示す平面図。
【図5】図5はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のボンディング面配線パターンの一例を示す平面図。
【図6】図6はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のチップ搭載後を示す平面図。
【図7】図7A、図7Bはそれぞれこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージから得られる第1の利点を示す図。
【図8】図8はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージから得られる第2の利点を示す図。
【図9】図9A〜図9Dはそれぞれこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージから得られる第3の利点を示す図。
【図10】図10はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージの一変形例を示す平面図。
【図11】図11はこの発明の第1実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のアンテナ配線を形成する方法の一例を示す平面図。
【図12】図12はこの発明の第2実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図13】図13はこの発明の第3実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図14】図14はこの発明の第4実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図15】図15Aはこの発明の第5実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板の一例を示す斜視図、図15Bはこの発明の第6実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板の一例を示す斜視図、図15Cはこの発明の第7実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板の一例を示す斜視図。
【図16】図16はこの発明の第8実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図17】図17はこの発明の第8実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のアンテナ配線を形成する方法の一例を示す平面図。
【図18】図18はこの発明の第9実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のランド面配線パターンの一例を示す平面図。
【図19】図19はこの発明の第9実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板のアンテナ配線を形成する方法の一例を示す平面図。
【図20】図20Aはこの発明の第10実施形態に係るP−LGAパッケージに含まれた基板の一例を示す斜視図、図20Bはこの発明の第10実施形態に係るP−LGAパッケージを回路基板に搭載した状態を示す断面図。
【図21】図21はこの発明の第1〜第10実施形態を適用可能な他の半導体装置パッケージの例を示す断面図。
【図22】図22A、図22Bはそれぞれこの発明の背景を説明する図。
【符号の説明】
1…プラスチック−ランドグリッドアレイパッケージ
3…基板
5…半導体チップ
7…絶縁性封止材
9…ダイボンディング部
11…内部端子
13…ボンディングワイヤ
15…外部端子
15-D…ダミー外部端子
21…絶縁性コア材
23…ランド面配線
25…絶縁層
27…ボンディング面配線
29…絶縁層
31…スルーホール
41…配線(アンテナ配線)
43…配線(アンテナ配線)の露出部位
51…カード外装体
61、63…メッキ配線
71…サーキットボード
Claims (24)
- 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記基板の互いに隣接する2つの角部間に、前記アンテナ配線がさらに設けられていることを特徴とする請求項1及び請求項2いずれかに記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記アンテナ配線は、前記ダミー外部端子を介して接地されることを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記アンテナ配線の露出部位は、前記内部配線の露出部位を形成する導電物とは別層の導電物により形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6いずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記アンテナ配線は、前記基板の前記外部端子形成面に設けられ、前記内部配線の露出部位は、前記基板の前記半導体チップ搭載面に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記アンテナ配線は、前記基板の前記半導体チップ搭載面に設けられ、前記内部配線の露出部位は、前記基板の前記外部端子形成面に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記アンテナ配線は、二層以上設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項9いずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、ランドグリッドアレイ型であることを特徴とする請求項1乃至請求項10いずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は、電子カードに用いられることを特徴とする請求項1乃至請求項11いずれか一項に記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、
前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備えることを特徴とする電子カード。 - 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、
前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備えることを特徴とする電子カード。 - 前記基板の互いに隣接する2つの角部間に、前記アンテナ配線がさらに設けられていることを特徴とする請求項13及び請求項14いずれかに記載の電子カード。
- 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、
前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備えることを特徴とする電子カード。 - 基板と、
前記基板に設けられた外部端子、及びこの外部端子に電気的に接続された内部配線と、
前記基板上に搭載され、前記内部配線に電気的に接続される半導体チップと、
前記基板に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されており、
前記基板及び前記半導体チップを収容するカード外装体を備えることを特徴とする電子カード。 - 前記基板は、前記アンテナ配線を前記カード外装体の隣接する2つの角部に隣接させて、前記カード外装体内に収容されていることを特徴とする請求項13乃至請求項17いずれか一項に記載の電子カード。
- 前記カード外装体の隣接する2つの角部は、電子カードの電子機器挿入側に対して、反対側にあることを特徴とする請求項18に記載の電子カード。
- 半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、
前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記絶縁性基板の互いに隣接する2つの角部それぞれに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とするパッド再配置基板。 - 半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、
前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記絶縁性基板の角部全てに設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続された接地されるアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とするパッド再配置基板。 - 前記絶縁性基板の互いに隣接する2つの角部間に、接地されるアンテナ配線がさらに設けられていることを特徴とする請求項20及び請求項21いずれかに記載のパッド再配置基板。
- 半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、
前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子 と、
前記絶縁性基板の隣接する角部間に亙って設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とするパッド再配置基板。 - 半導体チップ搭載面、及び外部端子形成面を有する絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の半導体チップ搭載面に設けられ、半導体チップのボンディングパッドに接続される内部端子と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記半導体チップのボンディングパッドをサーキットボードと接続可能に再配置する外部端子と、
前記絶縁性基板内に設けられ、前記外部端子を前記内部端子に接続する内部配線と、
前記絶縁性基板の外部端子形成面に設けられ、前記外部端子とは異なるダミー外部端子と、
前記絶縁性基板の全周に設けられ、前記ダミー外部端子に電気的に接続されたアンテナ配線と、を具備し、
前記内部配線、及び前記アンテナ配線は、前記絶縁性基板の端部から露出する露出部位を有し、
前記外部端子、及び前記ダミー外部端子は、メッキされた導電物から形成されていることを特徴とするパッド再配置基板。
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