JP3763747B2 - 実装装置および実装方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置基板にフレキシブル基板を実装する際の実装装置および実装方法に関する。この実装とは、具体的には、端子電極列同士を電気的に接続することである。たとえば、TFT(Thin Film Transistor)液晶ディスプレイ装置の端子電極と、駆動用LSI(Large Scale Integrated circuit)を実装したフレキシブル配線板であるTCP(Tape Carrier Package)の端子電極とを接続する際に用いる実装装置および実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図10、図11を参照して、従来における、液晶層1が封入された液晶表示装置2と、駆動用LSIを実装したフレキシブル配線板4との、接続方法について説明する。接続を行なうには、図10に示すように、液晶表示装置2の端子電極3と、フレキシブル配線板4の端子電極5とが、接着剤6などにより熱圧着されていた。熱圧着は、シリンダ方式のヒータツール8を降下させて押しつけることによって行われていた。
【0003】
熱圧着した状態の平面図を図11に示す。一般に、熱圧着においては、フレキシブル配線板4が伸びることが知られている。図11では、端子電極3と端子電極5とは、一直線上に重なり合っているように見えるが、端子電極列のうち端に位置する端子電極3と端子電極5との重なり合いを拡大すると、図12に示すように、フレキシブル配線板4の伸び量に起因して、電極幅方向に位置ずれ量7だけずれた関係になる。
【0004】
従来は、フレキシブル配線板4の伸び量を調整するために、作業者が顕微鏡などを用いて、位置ずれ量7を測定し、圧着温度、圧着圧力、圧着時間などのパラメータを変え、再度熱圧着を行なって位置ずれ量7を測定し、試行錯誤を繰返して、その都度、適当な条件を見出して、熱圧着を行なっていた。
【0005】
特に、従来は、端子電極のピッチが大きく、フレキシブル配線板の伸び量を考慮する必要にはさほど迫られておらず、また、実際にフレキシブル配線板の伸び量を制御するために、何をどうすれば制御できるのかが判明していなかった。そのため、従来の装置において変更可能なパラメータとして、ヒータツールの下降速度を調整するためにエアの流量などを変更するなど、作業者の勘と経験を頼りに、材料やサイズの差異に伴う伸び量のずれを抑えこむこととしていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
昨今のフレキシブル配線板の高精細化に伴い、端子電極のピッチが狭くなり、フレキシブル配線板の伸び量を正確に把握する必要が生じてきたため、従来の実装方法では対応しきれなくなってきている。
【0007】
そもそも上述のような従来の技術においては、3つの問題点があった。
第一には、シリンダ方式のヒータツール8による圧着温度、圧着圧力、圧着時間の調整は、作業者の勘や経験に基づいてされており、フレキシブル配線板4の伸び量の必要調整量に対して最適な定量的調整ができていないことが挙げられる。また、作業者の熟練度にもよるが、一般に調整時間がかかり、短時間で調整を行なわなければならない場合には対応しきれない。
【0008】
第二には、シリンダ方式のヒータツール8では、ストロークが長いため、シリンダ内部における圧力変動が大きく、対象物に加える荷重が安定しない。なお、荷重を圧着面積で割ったものが圧着圧力である。このことにより、伸び量がばらつき、端子電極3,5の位置ずれ不良を引き起こしていた。そのため、接続対象となる端子電極列の狭ピッチ化に十分対応することができなかった。
【0009】
第三には、画像処理装置では、端子電極3,5間の位置ずれ量7の検出が不可能であったことから、位置ずれ量7の測定は、作業者が顕微鏡を用いて行なわざるを得ず、測定自体に時間がかかっていた。しかも、フレキシブル配線板の端子電極5は、一般的に、薬液によるエッチングによって形成されているため、図13に示すように1本1本の端子電極5の断面が台形状になっており、たとえば人間がA,B,Cのうちどの位置を端子電極5の端と認識して測定するかによって数μmの測定誤差が生じていた。また、圧着されている箇所と圧着されていない箇所とでは端子電極5の伸び量が異なることによっても、位置ずれ量7の測定結果にばらつきが発生していた。また、人手による顕微鏡での測定であるため、フレキシブル配線板4の端子電極列の両端の端子電極5の中心線同士の距離、すなわち、いわゆる「トータルピッチ」、などを即座に求めることができなかった。そのため、フィードバックを行なうことができず、伸び量のばらつきをリアルタイムに解消することができなかった。
【0010】
そこで、本発明は、短時間でフレキシブル配線板の伸び量の検出および調整を可能とし、位置ずれ不良を防止できる実装装置および実装方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に基づく実装装置の一つの局面では、表示装置基板に設けられた第1の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第2の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、上記表示装置基板と上記フレキシブル配線板とを、熱圧着するためのヒータヘッドと、上記ヒータヘッドが上記表示装置基板と上記フレキシブル配線板を所定の荷重で押圧するように、上記ヒータヘッドを駆動するヒータヘッド駆動手段と、熱圧着による上記第2の端子電極列の伸び量を制御するために、上記ヒータヘッド駆動手段によって上記ヒータヘッドが上記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段とを備える。
【0012】
上記構成を採用することにより、荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整することによって、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【0015】
上記発明において好ましくは、上記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと上記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、上記位置ずれ量に基づいて、上記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出手段と、上記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第1の端子電極列の伸び量と上記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める、補正量導出手段とを備える。
【0016】
上記構成を採用することにより、補正量導出手段によって補正量を求めることができるため、従来、作業者の勘や経験に頼っていた場合に比べて、正確で、短時間に補正量を得ることができる。
【0017】
上記発明において好ましくは、上記伸び量制御手段は、上記補正量をフィードバックすることで、制御を行なう手段である。この構成を採用することにより、従来のように作業者の勘や経験に基づいていた場合に比べて、実際のデータに基づいた補正ができるため、伸び量のばらつきに対して、正確かつリアルタイムでの対応が可能となる。
【0018】
上記発明において好ましくは、操作パラメータと上記第2の端子電極列の伸び量との関係に関するデータを保持するためのデータ保持手段を備え、上記伸び量制御手段は、上記補正量に基づいて、上記データ保持手段に保持されたデータから必要な制御方法を導出して、制御を行なう手段である。この構成を採用することにより、速やかに必要な制御方法を導出し、制御することができる。また、保持するデータを充実させることによって、より優れた制御が行なえるようになる。
【0019】
本発明に基づく実装方法の一つの局面においては、表示装置基板に設けられた第1の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第2の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、上記表示装置基板と、上記フレキシブル配線板とを、ヒータヘッドによって熱圧着することによる実装方法であって、上記ヒータヘッドが上記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を操作することによって、熱圧着による上記第2の端子電極列の伸び量を制御する。
【0020】
上記方法を採用することにより、荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整することによって、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【0023】
上記発明において好ましくは、上記荷重変化量および上記到達時間の操作は、上記荷重変化量および上記到達時間を実質的に一定値にすることである。
。この構成を採用することにより、比較的単純な機構で、伸び量を安定させることができ、位置ずれ不良を低減することができる。
【0024】
上記発明において好ましくは、上記荷重変化量および上記到達時間の操作は、上記伸び量が所望の値になるように定量制御することである。この構成を採用することにより、伸び量は定量制御によって所望の値に維持される。その結果、位置ずれ不良を低減することができる。
【0025】
上記発明において好ましくは、上記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと上記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出工程と、上記位置ずれ量に基づいて、上記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、上記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第1の端子電極列の伸び量と上記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程とを含み、上記補正量をフィードバックすることで定量制御を行なう。
【0026】
上記構成を採用することにより、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた場合より迅速かつ客観的に補正量を求め、フィードバック制御を行なうことができる。そのため、生産ラインにおけるリアルタイムでの伸び量調整という要求にも問題なく対応することができる。
【0027】
上記発明において好ましくは、上記フレキシブル配線板と、上記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、上記仮圧着工程の後に行なう上記位置ずれ量検出工程と、上記位置ずれ量検出工程の後に行なう本圧着工程とを含む。この方法を採用することにより、仮圧着によって相対的位置を固定した状態で測定を行なうため、安定して測定を行なうことができる。そこから得た結果を本圧着に反映することができるため、より適正な圧着が可能となる。
【0028】
上記発明において好ましくは、上記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターン同士の相対位置関係と、上記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターン同士の相対位置関係とを求める相対位置検出工程と、上記相対位置検出工程の後に行なう、上記フレキシブル配線板と、上記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、上記相対位置検出工程で得た情報に基づいて、上記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、上記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第1の端子電極列の伸び量と上記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程と、上記仮圧着工程の後に行なう本圧着工程とを含む。この方法を採用することにより、仮圧着から本圧着までの間に測定作業を挿入できない場合でも、第2の端子電極列の伸び量を求めることができ、本圧着時には適正な制御を行なうことができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
(構成)
図1〜図3を参照して、本発明に基づく実施の形態1における実装装置について説明する。
【0030】
この実装装置は、図3に示すように、熱圧着するためのヒータヘッド80と、ヒータヘッド80を駆動するためのヒータヘッド駆動手段としてのシリンダ20とを備えている。さらに、この実装装置は、シリンダ20によってヒータヘッド80がフレキシブル配線板4(図1参照)に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段としての制御機構21を備えている。これらの構成要素の働きについて詳しくは以下に述べる。
【0031】
(実装のための動作)
この実装装置によって、図1に示すように、液晶層1を封入した液晶表示装置2の端子電極3と、フレキシブル配線板4の端子電極5とを熱圧着することによって、液晶表示装置2をフレキシブル配線板4に実装する。フレキシブル配線板4は、たとえば、ポリイミド製のベース基材に高密度で端子電極5が縞状に設けられたものである。図2では、端子電極5として、縞の両端の端子電極51,52のみを表示し、中間のものは図示省略している。フレキシブル配線板4の端子電極列の左右には、位置決めパターン131,132が設けられている。液晶表示装置2側には、端子電極列の左右には、基準位置パターン141,142が設けられている。基準位置パターン141,142間のピッチ18は、フレキシブル配線板4の設計上既知である。なお、以下、「ピッチ」とは、中心間距離をいう。
【0032】
位置決めパターン131,132と基準位置パターン141,142とは、圧着前の位置合わせのときに中心同士が一致していたとしても、熱圧着後には、フレキシブル配線板4の伸びに伴なってずれ、図2に示すように、中心同士のずれである相対位置ずれ量151,152を生じる。
【0033】
図1に示すように、相対位置ずれ量151,152を、位置ずれ量検出手段としての伸び量検出ユニット24に備えられた撮像装置16(カメラなど)によって撮影し、画像処理装置17で定量的に検出する。本圧着の前に仮圧着を行なう場合、この撮影および検出は、仮圧着前、仮圧着後のいずれの段階で行なってもよい。
【0034】
図2に示す幾何学的関係において、伸び量検出ユニット24で相対位置ずれ量151,152を定量的に検出し、伸び量導出手段を用いて演算処理を行ない、相対位置ずれ量151,152から、フレキシブル配線板4の左右の位置決めパターン間のピッチ18の伸び率を導出する。伸び量導出手段は、たとえば、LSI(Large Scale Integration)チップなどを組み合わせて、CPU(Central Processing Unit)とメモリを備えた形にすることによって構成することができる。ただし、他の目的のために設けられたCPUを兼用してもよい。
【0035】
こうして伸び量導出手段によって得られた伸び率に基づいて、フレキシブル配線板4の両端の端子電極51,52間のピッチ11の伸び量を算出する。ピッチ11の伸び量に基づいて、補正量導出手段を用いて演算処理を行ない、予定した伸び量と実際の伸び量との差、すなわち、補正量を求めることができる。補正量は、端子電極31,51の中心線同士のずれ191と、端子電極32,52の中心線同士のずれ192との和として表される。補正量導出手段も、上述の伸び量導出手段と同様に、LSIチップなどによって構成することができる。
【0036】
図3に、本実施の形態における実装装置の一部を示す。このヒータツールは、従来と同じくシリンダ方式であるが、ヒータヘッド80を駆動するヒータ駆動手段としてのシリンダ20へのエア圧、エア流量を電気的にフィードバック制御する制御機構21を有する。制御機構21は、シリンダ20内の圧力変動を電気信号に変え、その信号を基にシリンダ20への供給エア圧、供給エア流量を制御するものである。制御機構21としては、市販のもの、たとえばSMC社製の電空レギュレータなどを用いることができる。制御機構21による制御は、ヒータヘッド80がフレキシブル配線板4に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整するものである。
【0037】
(作用・効果)
本実施の形態における実装装置によれば、位置ずれ量検出手段としての撮像装置16によって、相対位置ずれ量151,152を検出し、伸び量導出手段および補正量導出手段を用いて補正量を求めることができる。したがって、補正量の情報を伸び量制御手段に反映させることで、伸び量に対する対応を、従来に比べて格段に迅速に行なうことができる。
【0038】
この実施の形態では、実装装置は、ヒータヘッド、ヒータヘッド駆動手段および伸び量制御手段のみならず、位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段をも備えるものとして説明した。この場合、得られた補正量の情報をフィードバックして制御を行なうことが望ましい。
【0039】
しかし、位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段が備えられていなくとも、ヒータヘッド、ヒータヘッド駆動手段および伸び量制御手段を備えていれば、伸び量の制御を行ない、一定の効果を挙げることができる。
【0040】
ただし、ここでいう伸び量制御手段は、シリンダ20への供給エア圧、供給エア流量を制御することによって、ヒータヘッド80がフレキシブル配線板4に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整するものである。押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整すれば、フレキシブル配線板4の伸び量を調整することができるからである。
【0041】
あるいは、フィードバック制御を行なうことが困難である場合は、ヒータヘッド80がフレキシブル配線板4に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を実質的に一定値にすることとしても、伸び量はある程度一定値に維持することができるため、好ましい。
【0042】
(実施の形態2)
(構成)
図1、図2、図4〜図6を参照して、本発明に基づく実施の形態2における実装装置について説明する。
【0043】
この実装装置は、図4に示すように、熱圧着するためのヒータヘッド80と、ヒータヘッド80を駆動するためのヒータヘッド駆動手段としてのシリンダ20およびモータ22とを備えている。さらに、この実装装置は、シリンダ20およびモータ22によってヒータヘッド80がフレキシブル配線板4(図1参照)に向かって進行する速度を調整する、伸び量制御手段としての制御機構21を備えている。
【0044】
(実装のための動作)
補正量を求めるまでの動作については、実施の形態1で説明したものと同じである。位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段の有無についても実施の形態1で説明した内容と同様である。ただし、制御機構21による制御は、ヒータヘッド80がフレキシブル配線板4に向かって進行する速度を調整するものである。
【0045】
(作用・効果)
ヒータヘッド駆動手段がモータ22を含んでいるため、ヒータヘッド80の進行速度を調整することができ、フレキシブル配線板4の伸び量を調整することができる。
【0046】
また、ヒータヘッド駆動手段がモータ22を含むということは、押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量をより大きくすることができる。図6に、フレキシブル配線板4の押圧を開始してからの短い時間における荷重の変化の様子を示す。モータ22がない場合を曲線12で示し、モータ22がある場合を曲線23で示す。フレキシブル配線板4は熱を加えられることによって伸びるが、圧力を加えておくことによって、伸びにくくなる。そこで、単位時間当たりの荷重変化量によって各値の圧力がかかっている時間を調整し、伸び量を制御する。
【0047】
また、モータ22を用いることは、ヒータヘッドの動きの再現性がよくなるため、フレキシブル配線板4に生じる伸び量も再現性が高まり、本実施の形態のみならず、実施の形態1を実施する上でも有利である。
【0048】
本実施の形態における実装装置としては、熱圧着装置25を、図5に示すように、伸び量検出ユニット24と接続し、リアルタイムでフィードバック制御を行なうこととすれば、生産ラインにおいて、位置ずれ不良に迅速に対応することができ、好ましい。また、再現性も高いものとなる。
【0049】
図5の構成において、熱圧着装置25に代えて、実施の形態1における熱圧着装置を採用してもよい。
【0050】
(実施の形態3)
図7を参照して、本発明に基づく実施の形態3における実装装置について説明する。本実施の形態では、仮圧着を行なう場合であって、かつ、撮影および検出を仮圧着後に行なう例を示す。「仮圧着」とは、液晶表示装置2とフレキシブル配線板4との最終的な圧着である「本圧着」の前に、一旦、液晶表示装置2とフレキシブル配線板4との間の相対位置関係を固定するために仮に圧着するものである。
【0051】
図7に示すように、フレキシブル配線板4を液晶表示装置2に重ね合わせて仮圧着する。図7は、実施の形態1における図2と類似しているが、まだ仮圧着したのみであるので、フレキシブル配線板4は左右方向にはわずかしか熱膨張していない。
【0052】
仮圧着した後に、位置決めパターン131,132と液晶表示装置2の基準位置パターン141,142との相対位置ずれ量351,352を、撮像装置16を有する画像処理装置17で検出する。検出された相対位置ずれ量351,352から、この後に行なう予定である本圧着において位置決めパターン131,132間のピッチ38が伸びるべき伸び率(以下、「必要伸び率」という。)を導出する。この必要伸び率から、フレキシブル配線板4に並ぶ端子電極のうち両端の端子電極51,52間の現在の伸び量を導出し、設計値と現在の伸び量との差を端子電極51,52間のピッチの補正量として求める。
【0053】
この実装装置においては、事前に確認したデータとして、端子電極51,52間のピッチの補正量のさまざまな値に対して、それぞれ図6のグラフのような必要荷重の立ち上げ曲線のデータが記憶されている。現時点で得られている端子電極51,52間のピッチの補正量に関して、このデータを参照し、必要であれば演算処理を行なって、ヒータヘッドをどのように制御すればよいかを求める。ヒータヘッドを制御し、端子電極51,52間のピッチの伸び量を定量的に制御する。
【0054】
(実施の形態4)
図8、図9を参照して、本発明に基づく実施の形態4における実装装置について説明する。本実施の形態では、仮圧着を行なう場合であって、かつ、撮影および検出を仮圧着前に行なう例を示す。
【0055】
図8は、仮圧着前の実装装置の使用状況を示す。液晶表示装置2とフレキシブル配線板4とは接近しているが、まだ重ね合わせられていない。この状態で、伸び量検出ユニット24に設けられた撮像装置16によって、液晶表示装置2の先端とフレキシブル配線板4の先端とを撮影する。得られる画像は、図9のようになる。画像処理装置17によって、フレキシブル配線板4の位置決めパターン131,132を検出し、位置決めパターン131,132間のピッチ38を求める。さらに、画像処理装置17によって、液晶表示装置2の基準位置パターン141,142を検出し、基準位置パターン141,142間のピッチ39を求める。ピッチ38とピッチ39との値から、この後に行なう予定である本圧着においてピッチ38が伸びるべき伸び率(以下、「必要伸び率」という。)を導出する。以下の動作は、実施の形態3で説明したものと同様である。
【0056】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【0057】
【発明の効果】
本発明によれば、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、作業者の勘や経験に頼らなくとも、正確かつ迅速に伸び量の測定を行なうことができ、伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に基づく実施の形態1における実装の様子の説明図である。
【図2】 本発明に基づく実施の形態1における熱圧着された対象物の平面図である。
【図3】 本発明に基づく実施の形態1における熱圧着装置の概念図である。
【図4】 本発明に基づく実施の形態2における熱圧着装置の概念図である。
【図5】 本発明に基づく実施の形態2における実装装置の概念図である。
【図6】 本発明に基づく実施の形態2における実装装置を用いたときの荷重の変化を示すグラフである。
【図7】 本発明に基づく実施の形態3における仮圧着後の対象物の平面図である。
【図8】 本発明に基づく実施の形態4における熱圧着装置の概念図である。
【図9】 本発明に基づく実施の形態4における仮圧着前の対象物の平面図である。
【図10】 従来技術に基づく実装の様子の説明図である。
【図11】 従来技術に基づいて熱圧着された対象物の平面図である。
【図12】 従来技術に基づいて熱圧着された端子電極の拡大図である。
【図13】 端子電極の断面図である。
【符号の説明】
1 液晶層、2 液晶表示装置、3,31,32 (液晶表示装置の)端子電極、4 フレキシブル配線板、5,51,52 (フレキシブル配線板の)端子電極、6 接着剤、8 ヒータツール、11,18,38,39 ピッチ、12,23 曲線、16 撮像装置、17 画像処理装置、20 シリンダ、21 制御機構、24 伸び量検出ユニット、81 ヒータヘッド、131,132 位置決めパターン、141,142 基準位置パターン、151,152,351,352 相対位置ずれ量、191,192 ずれ。

Claims (10)

  1. 表示装置基板に設けられた第1の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第2の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、前記表示装置基板と前記フレキシブル配線板とを、熱圧着するためのヒータヘッドと、
    前記ヒータヘッドが前記表示装置基板と前記フレキシブル配線板を所定の荷重で押圧するように、前記ヒータヘッドを駆動するヒータヘッド駆動手段と、
    熱圧着による前記第2の端子電極列の伸び量を制御するために、前記ヒータヘッド駆動手段によって前記ヒータヘッドが前記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段とを備えた、実装装置。
  2. 前記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと前記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、
    前記位置ずれ量に基づいて、前記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出手段と、
    前記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第1の端子電極列の伸び量と前記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める、補正量導出手段とを備えた、請求項1に記載の実装装置。
  3. 前記伸び量制御手段は、前記補正量をフィードバックすることで、制御を行なう手段である、請求項に記載の実装装置。
  4. 操作パラメータと前記第2の端子電極列の伸び量との関係に関するデータを保持するためのデータ保持手段を備え、前記伸び量制御手段は、前記補正量に基づいて、前記データ保持手段に保持されたデータから必要な制御方法を導出して、制御を行なう手段である、請求項2または3に記載の実装装置。
  5. 表示装置基板に設けられた第1の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第2の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、前記表示装置基板と、前記フレキシブル配線板とを、ヒータヘッドによって熱圧着することによる実装方法であって、
    前記ヒータヘッドが前記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を操作することによって、
    熱圧着による前記第2の端子電極列の伸び量を制御する、実装方法。
  6. 前記荷重変化量および前記到達時間の操作は、前記荷重変化量および前記到達時間を実質的に一定値にすることである、請求項に記載の実装方法。
  7. 前記荷重変化量および前記到達時間の操作は、前記伸び量が所望の値になるように定量制御することである、請求項に記載の実装方法。
  8. 前記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと前記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出工程と、
    前記位置ずれ量に基づいて、前記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、
    前記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第1の端子電極列の伸び量と前記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程とを含み、
    前記補正量をフィードバックすることで定量制御を行なう、請求項に記載の実装方法。
  9. 前記フレキシブル配線板と、前記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、
    前記仮圧着工程の後に行なう前記位置ずれ量検出工程と、
    前記位置ずれ量検出工程の後に行なう本圧着工程とを含む、請求項に記載の実装方法。
  10. 前記第1の端子電極列の両側に設けられた基準パターン同士の相対位置関係と、前記第2の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターン同士の相対位置関係とを求める相対位置検出工程と、
    前記相対位置検出工程の後に行なう、前記フレキシブル配線板と、前記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、
    前記相対位置検出工程で得た情報に基づいて、前記第2の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、
    前記第2の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第1の端子電極列の伸び量と前記第2の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程と、
    前記仮圧着工程の後に行なう本圧着工程とを含む、請求項に記載の実装方法。
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