JPH08114812A - 液晶パネル製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶駆動用ＩＣ部品と液晶セルの接続をより
良好に行える液晶パネル製造装置を提供する。 【構成】 液晶セル１の所定の実装ポジションにＴＡＢ
部品２を位置決めし、仮圧着する仮圧着装置１５と、Ｔ
ＡＢ部品２が仮圧着されてなる液晶セル１を受取り、各
ＴＡＢ部品２を液晶セル１に本圧着する本圧着装置１６
と、ＴＡＢ部品２が本圧着されてなる液晶セル１を受取
り、上記液晶セル１とＴＡＢ部品２との接合部位を検査
する検査装置１０と、上記各実装ポジションにおけるＴ
ＡＢ部品２と上記液晶セル１との本圧着後のずれを検出
し、その検出結果を上記仮圧着装置１５にフィードバッ
クすることにより、この仮圧着装置１５に本圧着後の位
置ずれを想定した位置決めを行わせる第１の制御部６６
を有する液晶パネル製造装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、液晶セルに
ＴＡＢ部品等の液晶駆動用ＩＣを実装することで液晶パ
ネルを製造する液晶パネル製造装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図１０に示
すように２枚の第１、第２の液晶ガラス基板１ａ、１ｂ
を対向させて形成される液晶セル１の周囲に液晶駆動用
ＩＣが実装される。この液晶駆動用ＩＣとしては、図１
１に示すようなＴＡＢ部品２（図２１に示す２ａ、２
ｂ）が一般的に使用されている。

【０００３】このＴＡＢ部品２は、表面に所定の回路パ
ターン３が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィル
ムキャリア４に半導体素子５をインナーリードボンディ
ングし、このフィルムキャリア４を図に示す外形に打ち
抜くことで製造されたものである。

【０００４】このＴＡＢ部品２を、上記液晶セル１の第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに実装するには、例え
ば異方性導電膜が用いられる。この異方性導電膜は、図
示しないが、熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム
中に着中に導電粒子を混入させたテープ状の接着材であ
る。

【０００５】この異方性導電膜は、ＴＡＢ部品２側ある
いは第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ側にあらかじめ
貼付される。この場合、この異方性導電膜は、長手方向
を上記複数本のアウタリード７と交差させた状態で貼付
される。

【０００６】上記ＴＡＢ部品２と上記第１、第２のガラ
ス基板１ａ、１ｂとを接続する場合には、まず、ＴＡＢ
部品４のアウタリード７とガラス基板の縁部に形成され
た配線パターンの電極とを対向位置決めする。そして、
上記ＴＡＢ部品２を上記異方性導電膜を介して上記第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに押し付けることで、
この異方性導電膜の粘着力によって上記ＴＡＢ部品２
（２ａ、２ｂ）を上記第１、第２のガラス基板１ａ、１
ｂに仮圧着する。

【０００７】ついで、熱圧着ツールを用いて上記ＴＡＢ
部品２のアウタリード７を上記第１、第２のガラス基板
１ａ、１ｂに対して加圧し加熱する。このことで、上記
異方性導電膜６は軟化し、このアウタリード７と上記第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの配線パターンは電気
的、機械的に接合される。

【０００８】上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ
は、このような仮圧着工程および本圧着工程を経ること
で、上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂにそれぞれ
実装される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ＴＡＢ
部品２と液晶セル１（第１、第２のガラス基板１ａ、１
ｂ）との接続を精度良く行うには、上記仮圧着工程にお
ける両者の位置決めが重要である。従来の仮圧着装置
は、上記ＴＡＢ部品２を一定の位置に供給すると共に、
仮圧着動作を行う毎に上記液晶セル１を単に所定ピッチ
ずつずらすことで、この液晶セル１に上記ＴＡＢ部品２
を順次仮圧着していた。

【００１０】しかし、大型の液晶パネルを製造する場
合、上記液晶セル１の一辺はかなり長く、その一辺に実
装するＴＡＢ部品２の数も多くなる。上述した方法で、
大型の液晶セル１に多くのＴＡＢ部品２を仮圧着してい
く場合には、仮圧着開始時には位置決め精度が高くて
も、仮圧着の個数が進むにしたがって次第に大きな位置
決め誤差が生じてくるということがある。

【００１１】また、仮圧着時には精度の高い位置決めが
されていても、本圧着を行った際にＴＡＢ部品２と液晶
セル１との間に位置ずれが生じるということも考えられ
る。また、この位置ずれ量は本圧着の際の条件によって
決定され、例えば、上記液晶セル１の一辺に沿う両端部
と中央部とではその位置ずれ量は一様ではない。

【００１２】また、上述した従来の仮圧着方法では、上
記液晶セル１の一辺に対する一連の動作で上記複数ＴＡ
Ｂ部品２を仮圧着しているので、上記液晶セル１の任意
位置のみに上記ＴＡＢ部品２を一つだけ実装（個別実
装）するというような動作を行うことができず、例え
ば、液晶セル１に実装された複数のＴＡＢ部品２のうち
の一部をリペアして再実装を行う場合には、再実装する
ＴＡＢ部品２と上記液晶セル１とを手動で位置合わせし
て仮圧着を行わせる必要があった。

【００１３】なお、近年の液晶パネルには高精細化の要
請があり、画素数の増加および緻密化により液晶セル１
の第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの縁部に導出され
る電極端子はますます多端子狭ピッチ化している。

【００１４】したがって、上記ＴＡＢ部品２と上記第
１、第２のガラス基板１ａ、１ｂとの間には高精度の位
置合わせが要求されている。このような状況の下で、上
述したような位置合わせ誤差の存在や手動による位置決
め実装を行うことは、上述した要請に反することとな
る。

【００１５】また、上述したような端子の多端子狭ピッ
チ化が進むと、微細な塵埃が接合部に付着した場合でも
導通不良が生じるおそれがある。例えば、液晶駆動用Ｉ
Ｃとして上記ＴＡＢ部品２を使用する場合には、このＴ
ＡＢ部品２がキャリアテープを打ち抜いて製造される部
品であることから、このＴＡＢ部品２の接合部に、打ち
抜き時に生じた塵埃（キャリアテープのかす）等が付着
するということがある。

【００１６】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、液晶駆動用ＩＣ部品と液晶セルの接続をよ
り良好に行える液晶パネル製造装置を提供することを目
的とするものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、液晶セルに、液晶駆動用ＩＣ部品を実装し、液晶パ
ネルを製造する液晶パネル製造装置において、上記液晶
セルの所定の実装ポジションにＩＣ部品を位置決めする
位置決め手段と、位置決めされたＩＣ部品を、上記液晶
セルに仮圧着する仮圧着機構と、ＩＣ部品が仮圧着され
てなる液晶セルを受取り、各ＩＣ部品を液晶セルに本圧
着する本圧着機構と、ＩＣ部品が本圧着されてなる液晶
セルを受取り、上記液晶セルとＩＣ部品との接合部位を
検査する検査手段と、上記各実装ポジションにおけるＩ
Ｃ部品と上記液晶セルとの本圧着後のずれ量を検出し、
その検出結果を上記位置決め手段にフィードバックする
ことにより、上記位置決め手段に本圧着後の位置ずれを
想定した位置決めを行わせる手段とを有することを特徴
とする液晶パネル製造装置である。

【００１８】第２の手段は、液晶セルの各実装ポジショ
ンに液晶駆動用ＩＣ部品を圧着し、液晶パネルを製造す
る液晶パネル製造装置において、液晶セルを支持し、こ
の液晶セルの各実装ポジションを圧着位置に一次位置決
めするセルステージと、所定のＩＣ部品を上記圧着位置
に順次供給する部品供給機構と、上記一次位置決めされ
た液晶セルの実装ポジションと上記ＩＣ部品とを認識し
て、両者の精密位置合わせを行う位置合わせ手段と、位
置合わせが成された上記ＩＣ部品と上記液晶セルとを圧
着する圧着機構と、上記各実装ポジションについて検出
された圧着後の位置ずれデータを保持し、この保持され
た位置ずれデータに基づき、上記位置合わせ手段に圧着
後の位置ずれを想定した位置合わせを行なわせる制御部
とを有することを特徴とする液晶パネル製造装置であ
る。

【００１９】第３の手段は、第２の手段の液晶パネル製
造装置において、さらに、上記ＩＣ部品の実装ポジショ
ンを個別に指定する指定手段を具備し、上記制御部は、
上記セルステージおよび位置合わせ手段を制御し、指定
手段により指定された実装ポジションに対し、上記ＩＣ
部品をそのポジションにおける圧着後の位置ずれを想定
して位置合わせすることを特徴とする液晶パネル製造装
置である。

【００２０】第４の手段は、第３の手段の液晶パネル製
造装置において、上記指定手段は、上記ＩＣ部品が実装
された後の液晶パネルの図形を表示すると共に、その図
形に対するタッチ位置を検出し得るモニターと、上記タ
ッチ位置に基づいて、指定された実装ポジションを決定
する手段とを具備することを特徴とする液晶パネル製造
装置である。

【００２１】第５の手段は、第２の手段の液晶パネル製
造装置において、上記液晶セルを裏返す反転手段を有
し、上記液晶セルを構成する２枚のガラス基板の双方に
ＩＣ部品を圧着することを特徴とする液晶パネル製造装
置である。

【００２２】第６の手段は、液晶セルの各実装ポジショ
ンに液晶駆動用ＩＣ部品を圧着し、液晶パネルを製造す
る液晶パネル製造装置において、液晶セルを保持し、こ
の液晶セルの各実装ポジションを圧着位置に一次位置決
めするセルステージと、所定のＩＣ部品を上記圧着位置
に順次供給する部品供給機構と、上記部品供給機構によ
り供給されるＩＣ部品を洗浄する洗浄機構と、上記一次
位置決めされた液晶セルの実装ポジションと上記ＩＣ部
品とを認識して、両者の位置合わせを行う位置合わせ手
段と、位置合わせが成された上記ＩＣ部品と上記液晶セ
ルとを圧着する圧着機構とを具備することを特徴とする
液晶パネル製造装置である。

【００２３】第７の手段は、第６の手段の液晶パネル製
造装置において、上記洗浄機構は、上記ＩＣ部品の上記
液晶セルとの接合部に粘着テープを押し付け、この接合
部に付着した塵埃等を除去する手段を有することを特徴
とする液晶パネル製造装置である。

【００２４】

【作用】第１の手段によれば、ＩＣ部品の仮圧着の際
に、液晶セルの各実装ポジション毎に本圧着後の位置ず
れを想定した位置合わせを行える。第２の手段によれ
ば、ＩＣ部品を液晶セルの各実装ポジション毎に実装後
の位置ずれを想定した位置合わせを行える。

【００２５】第３の手段によれば、第２の手段に加えて
各実装ポジション毎の個別実装を行える。第４の手段に
よれば、個別実装の指令がモニターの画面をタッチする
だけでえ容易に行える。

【００２６】第５の手段によれば、単純マトリクスタイ
プや非線形素子をアクティブ素子とするアクティブマト
リクスタイプの液晶パネルも製造することができる。第
６の手段によれば、ＩＣ部品の洗浄を行えるから、接続
ミスを少なくすることができる。第７の手段によれば、
ＩＣ部品の洗浄を粘着テープで行える。

【００２７】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構
成要素には同一符号を付してその説明は省略する。この
実施例の液晶パネル製造装置は、単純マトリクスタイプ
の液晶パネルやＭＩＭ等の非線形抵抗素子をアクティブ
素子とするアクティブマトリクスタイプの液晶パネルの
ように、対向する第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの
双方に液晶駆動用ＩＣ部品としてのＴＡＢ部品を実装す
る装置である。

【００２８】この液晶パネル製造装置は、図１に示すよ
うに、液晶セル１に異方性導電膜を貼着する異方性導電
膜貼着装置８と、この異方性導電膜貼着装置８から上記
液晶セル１を受け取り、この液晶セル１に上記異方性導
電膜を介してＴＡＢ部品２を仮圧着する仮圧着装置１５
と、この仮圧着装置１５から液晶セル１を受け取り、仮
圧着されたＴＡＢ部品２を上記液晶セル１に本圧着する
本圧着装置１６と、この本圧着装置１６から上記液晶セ
ル１を受け取り、この液晶セル１とＴＡＢ部品２との接
続状態を検査する検査装置１０とからなる。

【００２９】なお、上記各装置は互いに分離可能である
が、接続して使用することで、仮圧着、本圧着を含む液
晶パネル製造工程を連続的に行うことができるようにな
っている。

【００３０】次に、各装置について説明する。なお、こ
の発明の要部である仮圧着装置については特に詳しく説
明する。まず、上記異方性導電膜貼着装置８について説
明する。

【００３１】最初に、上記ＴＡＢ部品２が仮圧着、本圧
着される液晶セル１について説明する。図２（ａ）およ
び（ｂ）は、この液晶セル１の上面および下面を示すも
のである。この液晶セル１は、図に１ａ、１ｂで示す第
１、第２のガラス基板を互いに対向させ、これらを後で
液晶が注入され得る所定の隙間を存して貼り合わせてな
るものである。

【００３２】上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂの
それぞれの対向面には、図示しない配向膜（配線パター
ン）が形成され、この配向膜に接続された電極１１、１
２がそれぞれの縁部に導出されている。

【００３３】以下、上記第１のガラス基板１ａの上記電
極１１が導出されてなる２辺をそれぞれＸ1 、Ｘ2 辺と
称し、上記第２のガラス基板１ｂの上記電極１２が導出
されてなる１辺をＹ1 辺と称することとする。

【００３４】そして、この液晶セル１には、上記電極１
１、１２が導出されてなる上記第１、第２のガラス基板
１ａ、１ｂのＸ1 、Ｘ2 、Ｙ1 辺に、図１０に示すよう
に種類の異なる第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ（液
晶駆動用ＩＣ）がそれぞれ実装される。

【００３５】この異方性導電膜貼着装置８では、図４に
示すように、上記第１、第２のガラス基板１ｂ、１ａの
Ｘ1 、Ｘ2 、Ｙ1 辺に導出された上記電極１１、１２上
にそれぞれテープ状の異方性導電膜１３を貼付する。

【００３６】この異方性導電膜１３は、常温でその表面
および裏面に粘着性を有するため、上記第１、第２のガ
ラス基板１ａ、１ｂに貼付されるまでは、その表面およ
び裏面にそれぞれ塵埃付着防止用の離型紙が付けられて
いる。

【００３７】この異方性導電膜貼着装置８は、図１に示
すように、上記液晶セル１が多数枚収納されてなるマガ
ジン１４を有し、このマガジン１４から図に２２で示す
セルステージ上に上記液晶セル１を一枚ずつ取り出し、
図に１８で示すツールにより上記テープ状の異方性導電
膜１３を液晶セル１に貼付する。

【００３８】この際、この異方性導電膜貼着装置８は、
上記異方性導電膜１３の下面側に貼着された離型紙を剥
がすと共に、この異方性導電膜１３を所定の長さに切断
する。

【００３９】そして、この異方性導電膜１３を液晶セル
１に貼着した後、図示しない離型紙剥離機構によりこの
異方性導電膜１３の上面側に貼着された離型紙を剥が
し、この状態で上記液晶セル１を前記仮圧着装置１５に
移送する。

【００４０】この移送は、図に２５で示す液晶セル受け
渡し機構を用いて行われる。次に、この仮圧着装置１５
について説明する。この仮圧着装置１５は、図１および
図３に示すように、架台１７上に、上記異方性導電膜貼
着機構８から移送された液晶セル１を保持し所定の仮圧
着位置（後述するＤ）に搬送するセルステージ１９を具
備する。

【００４１】さらに、この仮圧着装置１５は、図３に示
すように、すでに半導体素子５（図１１）が所定の間隔
でインナーリードボンディングされてなる長尺テープ状
のフィルムキャリア４を供給するフィルムキャリア供給
機構２０（部品供給機構）と、このフィルムキャリア４
を打ち抜きＴＡＢ部品２を成形する打ち抜き機構２１
（同じく部品供給機構）と、ＴＡＢ部品２を受け取りこ
のＴＡＢ部品２を上記仮圧着位置Ｄに供給するＴＡＢ部
品搬送機構２３と、このＴＡＢ部品２を上記液晶セル１
の第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに上記異方性導電
膜６を介して仮圧着する仮圧着機構２４とを具備する。

【００４２】次に、これらの構成を図３〜図５を参照し
てさらに詳しく説明する。上記セルステージ１９は、Ｘ
方向に沿って設けられたガイドレール３３上にＸ方向移
動自在に設けられたＸＹテーブル３４と、このＸＹテー
ブル３４上に立設されたθ駆動部３５と、このθ駆動部
３５の上面設けられたＸ字形状の吸着アーム３６とから
なる。

【００４３】また、上記θ駆動部３５には、このθ駆動
部３５の上面から突没自在に設けられ、突出すること
で、上端で上記液晶セル１を保持することができる図示
しない少なくとも３つのリフトピンが設けられている。

【００４４】上記異方性導電膜貼着装置８から、この仮
圧着装置のセルステージ１９に上記液晶セル１を受け渡
す場合には、上記異方性導電膜貼着装置８に設けられた
液晶セル受け渡し機構２５から、図３に３１で示す受け
取り機構の供給アーム３０上に上記液晶セル１が受け渡
される。

【００４５】ついで、この供給アーム３０は、上記セル
ステージ１９の上方に上記液晶セル１を搬送する。つい
で、上記セルステージ１９は、上記リフトピンを上昇さ
せることで、上記供給アーム３０の上面から上記液晶セ
ル１を持ち上げる。そして、上記供給アーム３０をこの
セルステージ１９から後退させた後、上記リフトピンを
上記θ駆動部３５内に収納する。このことで、上記液晶
セル１は、上記Ｘ字形状の吸着アーム３６の上面に受け
渡され、この吸着アーム３６の先端部に吸着保持され
る。

【００４６】また、上記フィルムキャリア供給機構２０
は、テープ状のフィルムキャリア４を巻回収納する供給
リール３８を回転自在に保持するフィルムキャリア収納
部３９を具備する。上記供給リール３８に巻回されたフ
ィルムキャリア４には、半導体素子５が所定間隔でイン
ナーリードボンディングされている。

【００４７】また、上記フィルムキャリア供給機構２０
は、テンションプーリ４０および送り用スプロケット４
１を具備し、上記供給リール３８の上方に設けられた巻
取リール４２でスペーサテープ２９（フィルムキャリア
４の表面に貼付されている保護テープ）を剥がしなが
ら、上記フィルムキャリア４を間欠送り駆動し、上記打
ち抜き機構２１に供給する。

【００４８】上記打ち抜き機構２１は、図４に示すよう
に、上型４３および下型４４を具備する。上記フィルム
キャリア４は、この上型４３と下型４４との間に供給さ
れ（図示しない）、上記半導体素子５がインナーリード
ボンディングされた部位をこの位置に順次停止させる。

【００４９】上記上型４３は、下型４４に対して上下駆
動されるようになっていて、上記フィルムキャリア４を
図１１に示す外形に打ち抜く。このことで、図１１を引
用して示すＴＡＢ部品２（第１、第２のＴＡＢ部品２
ａ、２ｂ）が成形される。

【００５０】図４に示すように、上記下型４３はＹ駆動
部４５によってＹ方向移動自在に保持されていて、上記
ＴＡＢ部品２を上面に保持した状態で、この架台１７上
をＹ方向に移動し、このＴＡＢ部品２を上記打ち抜き機
構２１から取り出すようになっている。

【００５１】図３〜図５に示すように、このフィルムキ
ャリア供給機構２０および打ち抜き機構２１は、並列に
２組設けられている。これは、上記液晶セル１の第１、
第２のガラス基板１ａ、１ｂのそれぞれに仮圧着される
異なる種類の第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂを成形
するためである。

【００５２】一方、図３〜図５に示すように、上記架台
１７上には、門型のフレーム４６が設けられている。こ
のフレーム４６の上部の水平梁部４６ａはＸ方向に沿っ
て設けられ、この水平梁部４６ａには、この水平梁部４
６ａに沿ってＸ方向に位置決め駆動されるＴＡＢ部品搬
送ヘッド４７が設けられている。

【００５３】このＴＡＢ部品搬送ヘッド４７には、図
３、図４に示すように吸着ノズル４８が設けられ、この
吸着ノズル４８を上下方向に駆動することで、上記下型
４３に保持されたＴＡＢ部品２をこの下型４３から上方
に取り出すことができるようになっている。そして、こ
のＴＡＢ部品搬送ヘッド４７は、Ｘ方向に駆動されるこ
とでこのＴＡＢ部品２をＴＡＢ部品搬送機構２３の方向
に移送する。

【００５４】一方、上記ＴＡＢ部品搬送機構２３は、水
平面内で９０°毎に間欠回転可能なロータリインデック
ステーブル４８を具備する。このロータリインデックス
テーブル４８の外周縁には、下面で上記ＴＡＢ部品を吸
着保持可能なＴＡＢチャック５０が、図４に示すよう
に、一端部をこのロータリインデックステーブル４８か
ら径方向外側に突出させた状態で周方向に９０°毎に設
けられている。

【００５５】そして、このＴＡＢチャック５０は、この
ロータリインデックステーブル４８が９０°毎に間欠回
転駆動されることで、図５にＡで示す部品受け渡しステ
ージから、ＴＡＢ部品洗浄ステージＢ、ＴＡＢ仮位置決
めステージＣ、仮圧着ステージＤの４つのステージに順
次対向位置決めされる。なお、この図５においては上記
ＴＡＢチャック５０は図示を省略した。

【００５６】上記部品受け渡しステージＡには、上記架
台１７上にＸ方向に移動可能かつ上下動可能な部品受け
渡しテーブル５１が設けられている。この部品受け渡し
テーブル５１は上記ＴＡＢ部品搬送ヘッド４７から上記
ＴＡＢ部品２を受け取り、これを上記部品受け渡しステ
ージＡに位置するＴＡＢチャック５０の下方に搬送す
る。

【００５７】そして、上記部品受け渡しテーブル５１
は、この位置で、上記ＴＡＢ部品２を上昇させること
で、このＴＡＢ部品２を上記ＴＡＢチャック５０の下面
に当接させる。このことで上記ＴＡＢ部品２は上記ＴＡ
Ｂチャック５０の下面に吸着保持され、受け渡しが完了
する。

【００５８】上記ＴＡＢ部品洗浄ステージＢには、同図
および図４に示すように、ＴＡＢ部品洗浄機構５２が設
けられている。次に、このＴＡＢ部品洗浄機構５２の構
成および動作を、図６および図７（ａ）〜（ｄ）を参照
して説明する。

【００５９】図６中５０はＴＡＢチャックである。この
ＴＡＢチャック５０の下面には上記ＴＡＢ部品２が吸着
保持されている。このＴＡＢ部品洗浄機構装置５２は、
図に５３で示す粘着テープを用いて上記ＴＡＢ部品に付
着した塵埃等を除去するものである。

【００６０】上記粘着テープは、図に２００で示す保持
体の長手方向両端部にブラケットを介して設けられた第
１、第２の固定ローラ２０１、２０２間に、その粘着面
を上方に向けた状態で張設されている。この第１、第２
の固定ローラ２０１、２０２は異なる高さに配設されて
おり、上記第２の固定ローラ２０２の方が、第１の固定
ローラ２０１よりも高い位置に設けられている。

【００６１】また、上記保持体２０１の長手方向中途部
には、ガイドレール２０４が設けられ、このガイドレー
ル２０４には図に２０５で示す移動体がスライド自在に
設けられている。

【００６２】この移動体２０５の上面には、ブラケット
を介して、それぞれ上記粘着テープを下方に付勢する第
１の移動ローラ２０６、上記粘着テープを上方に付勢す
る第２の移動ローラ２０７が設けられている。

【００６３】上記第２の移動ローラ２０７は上記第１の
移動ローラ２０６よりも高く配設され、上記第２の固定
ローラ２０２と同じ高さに設けられている。したがっ
て、上記第２の固定ローラ２０２と第２の移動ローラ２
０７の間では、上記粘着テープ５３は常に水平に張設さ
れるようになっている。

【００６４】なお、上記粘着テープ５３は、図４に２１
０で示す供給リールから繰り出され、同図に２１１で示
す巻取リールに巻き取られるようになっている。また、
この粘着テープ５３は、図６に２１２で示す付勢機構に
より繰出し方向に一定のテンションが与えられるように
なっている。

【００６５】また、上記移動体２０５は、図６に示すア
ーム２１３が揺動することでカム駆動され、上記ガイド
レール２０４上をスライド移動するようになっている。
なお、上記保持体２０１は、図に２１５で示す油圧シリ
ンダにより上記駆動されるようになっている。

【００６６】次に、図７を参照して、このＴＡＢ部品洗
浄機構５２の動作を説明する。上記ＴＡＢチャック５０
は、上記ＴＡＢ部品受け渡しステージＡでＴＡＢ部品を
吸着保持したならば、上記ロータリインデックステーブ
ル４８が９０°回動することで、上記ＴＡＢ部品洗浄ス
テージＢに位置決めされる。この状態を示したのが、図
７（ａ）である。

【００６７】洗浄動作開始前は、上記移動体２０５は上
記ガイドレール２０４の紙面の最も左側の部位に位置
し、上記第２の固定ローラ２０２と第２の移動ローラ２
０７間に水平に張設された粘着テープ５３の粘着面（上
面）を、上記ＴＡＢチャック５０に吸着保持されたＴＡ
Ｂ部品２に対向させている。

【００６８】なお、次に説明する洗浄動作中、上記粘着
テープ５３は送り駆動されることはなく、上記第１、第
２の固定ローラ２０１、２０２は回転しない。上記ＴＡ
Ｂ部品２が、この洗浄ステージＢに位置決めされたなら
ば、上記油圧シリンダ２１５が作動し、上記保持体２０
０を上昇駆動する。このことで、図７（ｂ）に示すよう
に、上記粘着テープ５３は、その粘着面を上記ＴＡＢ部
品２に接触させる。

【００６９】ついで、上記移動体２０５は図に矢印で示
す方向に駆動される。このことで、上記第２の移動ロー
ラ２０７は上記粘着テープ５３を上記ＴＡＢ部品２に押
し付けつつ移動し、第１の移動ローラ２０６はＴＡＢ部
品２に押し付けられた粘着テープ５３を上記ＴＡＢ部品
２から順次剥離しつつ移動する。

【００７０】図７（ｃ）に示すように、上記第２の移動
ローラ２０７が上記ＴＡＢ部品２の端部に達したなら
ば、図７（ｄ）に示すように、上記油圧シリンダ２１５
は上記保持体２００を下降駆動する。このことによっ
て、上記ＴＡＢ部品２の接合部に付着した塵埃は上記粘
着テープ５３に転写され、上記ＴＡＢ部品２は洗浄され
る。

【００７１】以上説明した一連の動作により、ＴＡＢ部
品２の洗浄は終了する。なお、この洗浄は一つのＴＡＢ
部品２毎に行われ、次のＴＡＢ部品２の洗浄を行うまで
に、上記粘着テープ５３は所定ピッチ送られ、また、上
記移動体２０５は図７（ａ）に示す元の位置に復帰す
る。

【００７２】洗浄を終えたＴＡＢ部品２は、上記ロータ
リインデックステーブルが９０°回動することで、ＴＡ
Ｂ仮位置決めステージＣに移送される。このＴＡＢ仮位
置決めステージＣには、上記ＴＡＢ部品２に当接するこ
とで、このＴＡＢ部品２の姿勢を機械的に補正（粗位置
決め、一次位置決め）する粗位置決めユニット５５が設
けられている。

【００７３】この粗位置決めユニットにより粗位置決め
（一次位置決め）がされたＴＡＢ部品は、上記ロータリ
インデックステーブル４８がさらに９０°間欠的に回動
することで、上記仮圧着ステージＤに搬送される。この
状態で、上記ＴＡＢ部品２のアウタリード７は所定の仮
圧着位置に位置決めされる。

【００７４】この仮圧着ステージＤの上方には、図１お
よび図３に示すように第１の撮像カメラ５８が設けられ
ている。この第１の撮像カメラ５８は、図２（ａ）、
（ｂ）に示すように上記液晶セル１を構成する第１、第
２のガラス基板１ａ、１ｂのＸ1 、Ｘ2 辺およびＹ1 辺
の両端部に設けられた位置決め用＋マーク（位置合わせ
用目印、マーク）５７…を認識し、この液晶セル１全体
の位置決め（粗位置決め）を行なわせる役割を有する。

【００７５】また、この仮圧着ステージＤの下側には、
図１および図３に示すように、位置認識光学系６０が設
けられている。この位置認識光学系６０は、図１に示す
ように、鏡筒６１と、この鏡筒の基端部に接続された第
２の撮像カメラ６２と、上記鏡筒６１の先端部に設けら
れ上記ＴＡＢ部品２の仮圧着が行われる仮圧着位置の像
を上記第２の撮像カメラ６２に送る反射ミラー６３とを
有する。

【００７６】この位置認識光学系６０は、上記仮圧着位
置で突き合わされた上記ＴＡＢ部品２のアウタリード７
とガラス基板１ａ、１ｂの電極１１、１２を視野に収
め、上記第２の撮像カメラ６２を用いて撮像認識するこ
とで、両者の精密位置合わせを行なわせる役割を有す
る。

【００７７】なお、一方、上記仮圧着ステージＤには、
上述したように上記第１、第２ののＴＡＢ部品２ａ、２
ｂを上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着す
る仮圧着機構２４が設けられている。

【００７８】この仮圧着機構２４は、上記第１、第２の
ガラス基板１ａ、１ｂの下面を保持する圧力支持部６９
を具備する。この圧力支持部６９は、詳しくは図示しな
いが、上記第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂが上記仮
圧着ステージＤに搬送され、上記第１、第２のガラス基
板１ａ、１ｂに対向位置決めされたならば、この第１、
第２のガラス基板１ａ、１ｂの下面側に突出する構成と
なっている。

【００７９】また、上記仮圧着機構２４は、上記圧力支
持機構６９と上記第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂを
挟んで対向する位置に、仮圧着ブロック７０を有する。
この仮圧着ブロック７０は、上記圧力支持機構６９が上
記第１あるいは第２のガラス基板１ａ、１ｂの下面を保
持したならば下降し、上記第１、第２のＴＡＢ部品２
ａ、２ｂのアウタリード７を上記第１、第２のガラス基
板１ａ、１ｂの電極１１、１２の方向に押圧して、この
第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂを上記第１、第２の
ガラス基板１ａ、１ｂに仮圧着する。上記第１、第２の
ＴＡＢ部品２ａ、２ｂと第１、第２のガラス基板１ａ、
１ｂとは、上記異方性導電膜１３の粘着力により容易に
仮圧着される。

【００８０】以上説明した機構は、図１に６６で示す第
１の制御部に接続され、上記第１、第２の撮像カメラ５
８、６２はそれぞれ画像処理装置６５、６５を介してこ
の第１の制御部６６に接続されている。

【００８１】以下、この第１の制御部６６の機能を、
（１）液晶セル１全体の位置決め、（２）上記ＴＡＢ部
品２のアウタリード７と上記第１、第２のガラス基板１
ａ、１ｂに設けられた透明電極１１、１２の位置決め、
および（３）上記ＴＡＢ部品２の仮圧着、の各動作に従
って説明する。

【００８２】まず、液晶セル１全体の位置決めから説明
する。なお、この仮圧着装置１５は、上記第１、第２の
ガラス基板１ａ、１ｂのうち、まず上記第１のガラス基
板１ａのＸ1 、Ｘ2 辺（図２に示す）に対して第１のＴ
ＡＢ部品２ａ…を仮圧着し、その後上記第２のガラス基
板１ｂのＹ1 辺に大して第２のＴＡＢ部品２ｂを仮圧着
するものとする。

【００８３】上記液晶セル１は、第１のガラス基板１ａ
を下面側に位置させた状態で、前述したように上記セル
ステージ１９上に受け渡される。ついで、上記セルステ
ージ１９は、上記仮圧着ステージＤの側方に移動し、上
記液晶セル１の第１のガラス基板１ａの、まずＸ1 辺を
上記第１の撮像カメラ５８の下方（位置認識位置）に対
向させる。

【００８４】上記セルステージ１９は、上記第１のガラ
ス基板１ａのＸ1 辺の両端部に設けられた２つの位置決
め用＋マーク５７の両方を上記第１の撮像カメラ５８で
認識するために、上記液晶セル１をＸ方向にスキャンす
る。

【００８５】この第１の撮像カメラ５８は、図１に示す
ように、画像処理装置６５を介して上記第１の制御部６
６に接続されている。この第１の制御部６６は、上記画
像処理装置６５からの上記２つの位置決め用＋マーク５
７、５７の位置検出信号に基づいて上記第１のガラス基
板１ａの位置ずれ量（ｘ、ｙ、θ）を算出する。そし
て、この第１の制御部６６は、このずれ量に基づいて、
上記セルステージ１９を制御し、上記第１のガラス基板
１ａのその後の駆動経路を補正するようにする。

【００８６】このような工程を経てその位置およびずれ
量が認識された液晶セル１は、上記位置決め用＋マーク
５７の位置に基づいて、この第１のガラス基板１ａのＸ
1辺の上記第１のＴＡＢ部品２ａが最初に仮圧着される
ポジションを上記仮圧着ステージＤに位置決め駆動され
る（一次位置決め）。

【００８７】次に、上記ＴＡＢ部品２のアウタリード７
と上記第１のガラス基板１ａに設けられた電極１１の位
置決めについて説明する。図１に示すように、上記位置
認識光学系６０は、この仮圧着位置Ｄで互いに対向させ
られる上記ＴＡＢ部品２のアウタリード７と上記第１の
ガラス基板１ａの電極とを同時に視野に収め、上記反射
ミラー６３を介して上記第２の撮像カメラ６２でこれを
撮像する。

【００８８】この第２の撮像カメラ６２は、上記第１の
撮像カメラ５８と同様に、画像処理装置６５を経て上記
第１の制御部６６に接続されている。上記第１の制御部
６６は、上記画像処理装置６５からの上記第１のＴＡＢ
部品２ａのアウタリード７および上記第１ガラス基板１
ａの端子の位置検出信号に基づき上記セルステージ１９
を微作動させ、上記第１のガラス基板１ａをずらすこと
で、両者を精密に位置合わせする。

【００８９】この精密位置合わせにより、前述した液晶
セル１の粗位置決め（一次位置決め）の補正がなされ、
上記ＴＡＢ部品２と液晶セル１との正確な位置合わせが
なされる。

【００９０】なお、この精密位置合わせは、前述した検
査装置（図１に１０で示す）による本圧着後の検査結果
に基づいて行われる。この位置合わせの方法を図８に示
すフローチャートを参照して説明する。

【００９１】を上記検査装置１０は、フローチャートの
下部に示す本圧着後の工程において、上記液晶セル１に
本圧着された第１、第２のＴＡＢ部品１ａ、１ｂの接合
状態を検査し、このＴＡＢ部品２ａ、２ｂが接合された
ポジション（図９に示すｘ1 〜ｘ8 、ｙ1 〜ｙ4 ）毎
に、接合後の液晶セルと１のずれ量を検出する。このず
れは、上記仮圧着時の位置決め誤差および圧着時に生じ
た部品間のずれに起因する。

【００９２】上記検査装置１０は、ＴＡＢ部品２ａ、２
ｂが本圧着されているポジション（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ1 〜
ｙ4 ）毎に、そのずれ量を、この仮圧着装置１５の第１
の制御部６６にフィードバックする。

【００９３】そして、上記仮圧着前の精密位置合わせ
は、上記ポジション毎に入力（フィードバック）された
本圧着後のずれ量を想定して行う。すなわち、圧着後の
ずれ量が生じる方向と反対の方向にそのずれ量に相当す
る距離だけ、上記ＴＡＢ部品２ａ、２ｂと液晶セル１
（第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂ）とをずらして位
置合わせする。

【００９４】なお、このずれ量は、ＴＡＢ部品２ａ、２
ｂの実装されるポジションによって異なると考えられる
ので、上記制御はポジションごとに個別われることにな
る。

【００９５】このようにして、互いに精密位置合わせが
なされたならば、上記第１のガラス基板１ａは、上記端
子を上記ＴＡＢ部品２のアウタリード７の直下部に位置
させられる。このことで、上記アウタリード７と上記端
子とは上記仮圧着位置において対向する。

【００９６】ついで、上記第１の制御部６６は、上記仮
圧着機構２４を作動させ、上記第１のＴＡＢ部品２ａを
上記第１のガラス基板１ａに仮圧着する。この仮圧着
は、上記異方性導電膜１３の粘着力により成される。

【００９７】このような動作により第１のＴＡＢ部品２
ａが上記液晶セル１の第１のガラス基板１ａのＸ1 辺に
その実装ポジション（ｘ1 〜ｘ4 ）毎に個別に位置合わ
せされ仮圧着される。また、一つの第１のＴＡＢ部品２
ａが上記仮圧着ステージＤにおいて仮圧着されている
間、次に仮圧着される第１のＴＡＢ部品２ａがすでに上
記ＴＡＢ仮位置決めステージＣに待機している。したが
って、上記ロータリインデックステーブル４８が９０°
回動する毎に順次仮圧着がなされていくようになてい
る。

【００９８】なお、途中、上記第１のガラス基板１ａの
他方のＸ2 辺に上記第１のＴＡＢ部品２ａを仮圧着する
ために、上記セルステージ１９は、この液晶セル１を水
平方向に１８０°回動させる。

【００９９】この仮圧着装置１５は、上記液晶セル１を
水平方向に１８０°回動させたならば、上記第１のＴＡ
Ｂ部品２ａを上記第１のガラス基板１ｂのＸ2 辺に設け
られた各実装ポジション（ｘ5 〜ｘ8 ）に対して位置決
めし仮圧着を行っていく。

【０１００】また、図３に示すように、この仮圧着ステ
ージＤの側方には、液晶セル反転機構７２が設けられて
いる。この液晶セル反転機構７２は、上記門型フレーム
４６の水平梁部４６ａの下面に軸線を垂直にして設けら
れた一対のガイドポール７３と、このガイドポール７３
に上下移動自在に取着された反転ヘッド７４と、この反
転ヘッド７４に開閉自在に設けられた一対のＴ字チャッ
ク７５、７５とを具備する。また、この一対のＴ字チャ
ック７５、７５は、水平軸線回りに一体的に１８０°回
動するようになっている。

【０１０１】上記セルステージ１９は、上記液晶セル１
の第１のガラス基板１ａのＸ1 、Ｘ2 辺に設けられたす
べての実装ポジションに上記第１のＴＡＢ部品２ａが仮
圧着されたならば、この液晶セル１を上記反転機構７２
の方向に駆動する。そして、この液晶セル１を上記一対
のＴ字チャック７５、７５の間に挿入する。

【０１０２】なお、この間に、上記フィルムキャリア供
給機構２０および打ち抜き機構２１では、品種の切り替
えが行われ、上記第１のＴＡＢ部品２ａに代わって上記
第２のガラス基板１ｂに仮圧着される第２のＴＡＢ部品
２ｂが上記ＴＡＢ部品搬送機構２３に送られる。

【０１０３】一方、上記反転機構７２は、この液晶セル
１を上昇させた後、上記Ｔ字チャック７５を水平軸線回
りに１８０°回動させることで、上記液晶セル１を裏返
す（反転する）。そして、この反転機構７２は、裏返し
た液晶セル１を上記セルステージ１９の吸着アーム３６
上に再び載置する。

【０１０４】上記セルステージ１９は、上記液晶セル１
を水平面内で９０°回動させ、上記第２のガラス基板１
ｂのＹ1 辺をを上記第１の撮像カメラ５８の下方に移動
させる。

【０１０５】ついで、この仮圧着装置１５は、上述した
第１のガラス基板１ｂに対する第１のＴＡＢ部品２ａの
仮圧着動作と同様の動作を行うことで、上記ＴＡＢ部品
２ｂについても、第２のガラス基板１ｂのＹ1 辺の各実
装ポジション（ｙ1 〜ｙ4）毎の位置合わせを行い、順
次仮圧着していく。

【０１０６】この液晶セル１の第２のガラス基板１ｂの
すべての実装ポジションに上記第２のＴＡＢ部品２ｂが
仮圧着されたならば、上記セルステージ１９は、この液
晶セル１を図３、図５に矢印（イ）で示す方向に駆動
し、この架台１７の端部に停止させる。

【０１０７】この仮圧着装置の横側には上述した本圧着
装置１６が接続されている（図１）。仮圧着装置の架台
１７の端部に位置決めされた液晶セル１は、図１に示す
ように、この本圧着装置１６の架台８０上に設けられた
受け渡しユニット７８によって保持され、上記本圧着装
置１６に受け渡される。

【０１０８】なお、この仮圧着装置１５においては、上
記ＴＡＢ部品１個の仮圧着を約５秒で行い、一枚の液晶
セル１について、約６０秒（約５秒×装着するＴＡＢ部
品の数＋約８秒（受け渡し時間）＋約５秒（マーク認識
補正時間）＋約７秒（反転時間））ですべてのＴＡＢ部
品２…の仮圧着を終了させ、この液晶セル１を上記本圧
着装置１６に送出する。

【０１０９】なお、上記第１の制御部６６には、図１に
６７で示すモニターが接続されている。このモニター６
７には、必要な数値情報の他、図９に示すように、液晶
パネルの図形が表示されるようになっている。そして、
上記液晶セルに対するＴＡＢ部品２の実装ポジション
（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ1 〜ｙ4 ）が表示されるようになって
いる。

【０１１０】また、このモニター６７の画面には、画面
に対するタッチ位置を検出するタッチセンサあるいは静
電気センサ（図示しない）が設けられている。このセン
サは、上記第１の制御部６６に接続されている。

【０１１１】このセンサは、作業者が上記モニター画面
に触れることでＴＡＢ部品の実装ポジションを指定する
ためのもので、この発明の指定手段として機能する。こ
の指定は、後に説明するリペア時の個別実装を行う場合
に行われ、個別実装モードに切り換えられている場合
に、作業者が画面上、例えばポジションｘ1 に位置する
ＴＡＢ部品２の図形に触れた場合には、上記センサによ
りそのことが検出され、上記第１の制御部６６を通じ
て、上記仮圧着装置に対してポジションｘ1 に対するＴ
ＡＢ部品２の個別実装動作が命令されるようになってい
る。

【０１１２】すなわち、上記第１の制御部６６は、個別
実装モードにおいて所定のポジション（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ
1 〜ｙ4 ）が指定された場合には、そのポジションにつ
いて記憶されている位置合わせ情報に基づいて上記ＴＡ
Ｂ部品と上記ガラス基板の位置合わせを行わせ、仮圧着
動作を行わせるようになっている。

【０１１３】例えば、ポジションｘ6 が指定された場合
には、上記第１の制御部６６は、上記ＴＡＢ部品供給機
構２０に第１のＴＡＢ部品２ａの打ち抜きを行わせ、こ
の第１のＴＡＢ部品２ａを上記仮圧着ステージＤに移送
する。

【０１１４】また、上記セルステージ１９を作動させる
ことで上記第１のガラス基板１ａのＸ2 辺のポジション
ｘ6 を上記仮圧着位置Ｄに粗位置決め（一次位置決め）
させる。そして、そのポジションｘ6 について上記検査
装置１０からのフィードバック位置ずれ情報を加味した
位置合わせを行わせる。そして、上記仮圧着機構２４を
作動させることで、上記ポジションｘ6 に対する上記第
１のＴＡＢ部品２ａの仮圧着を行うようになっている。

【０１１５】次に、上記本圧着装置１６について説明す
る。図１に示すように、この本圧着装置１６は、上記仮
圧着装置１５の架台２０と略同じ高さで設けられた架台
８０を有する。この架台８０上には、上記仮圧着装置１
５から液晶セル１を受け取る受け渡しユニット７８と、
この受け渡しユニット７８から液晶セル１を受取りＸＹ
θ方向に駆動し位置決めする第１のセルステージ８１と
が設けられている。

【０１１６】この第１のセルステージ８１に保持された
液晶セル１は第１のボンディング位置Ｅに位置決めされ
る。この位置決めは、このボンディング位置Ｅの側方に
配設された第１の撮像カメラ１０７ａを用いて行う。こ
の第１の撮像カメラ１０７ａは画像処理装置１２４を介
して第２の制御部１２５に接続され、この第２の制御部
１２５からの指令により上記第１のセルステージ８１は
上記液晶セル１の位置決めを行う。

【０１１７】また、この第１のボンディング位置には、
第１のボンディング機構８２が配設され、この第１のボ
ンディング機構８２は、図１に示す２つのボンディング
ツール１０４を用いて上記液晶セルの第１のガラス基板
１ａのＸ1 、Ｘ2 辺に仮圧着された第１のＴＡＢ部品２
ａを順次本圧着する。

【０１１８】この本圧着は、上記ボンディングツール１
０４による押圧および加熱により、上記異方性導電膜１
３に含まれた多数の導電粒子を上記アウタリード７と電
極１１間で押し潰して両者を導通させると共に、上記異
方性導電膜１３を軟化させ上記ＴＡＢ部品２ａと第１の
ガラス基板１ａとを機械的に接着することで行う。

【０１１９】この第１のボンディング機構８２により、
上記第１のＴＡＢ部品２ａの本圧着が終了したならば、
上記液晶セル１は上記反転機構８３のＴ字チャック７５
に受け渡され、反転され裏返される。なお、この反転機
構８３の構成は上記仮圧着装置１５の反転機構７２と略
同じ構成を有する。したがって、同一の構成要素には同
一符号を付し、その説明は省略する。

【０１２０】反転された液晶セル１は、この液晶セル１
をＸＹθ方向に駆動し位置決めする第２のセルステージ
８４に受け渡され、第２のボンディング位置Ｆに位置決
めされる。なお、この位置決めは、図に１０７ｂで示す
第２の撮像カメラを用いて行われる。この第２の撮像カ
メラ１０７ｂは、画像処理装置１２４を介して上記第２
の制御部１２５に接続されている。

【０１２１】上記第２のボンディング位置Ｆには、第２
のボンディング機構８５が配設され、この第２のボンデ
ィング機構８５は、前記第１のボンディング機構８２と
略同じ動作により、２つのボンディングツール１０４、
１０４を用いて上記液晶セル１の第２のガラス基板１ｂ
に仮圧着された第２のＴＡＢ部品１ｂを本圧着する。

【０１２２】上記第２のＴＡＢ部品２ｂの本圧着が終了
したならば、この液晶セル１は、図に８７で示すセル排
出ユニットに受け渡され、このセル排出ユニットによっ
てこの本圧着機構１６から排出されて前記検査装置１０
に送出される。

【０１２３】なお、この本圧着装置１６の第２の制御部
１２５と上記仮圧着装置１５の第１の制御部６６は互い
に接続され、情報を交換することができるようになって
いる。例えば上記本圧着装置１６は上記仮圧着装置１５
の仮圧着が終了したことに基づいて作動するようになっ
ており、上記仮圧着装置１５は上記本圧着装置１６から
液晶セル１が排出されたことに基づいて上記本圧着装置
１６への液晶セル１の受け渡しを行うようになってい
る。

【０１２４】また、上記仮圧着装置１５が前述した個別
実装モードにより作動し、液晶セル１の任意のポジショ
ンにのみＴＡＢ部品２の仮圧着を行った場合には、上記
本圧着装置１６は、その情報を受取り、仮圧着されたＴ
ＡＢ部品２のみの本圧着を行うようになっている。

【０１２５】次に検査装置１０について説明する。な
お、この検査装置１０の役割については、前記仮圧着装
置１５を説明した際に述べたので、ここではその構成と
動作について説明する。

【０１２６】この検査装置１０は、上記仮圧着装置１５
および本圧着装置１６の架台１７、８０と同じ高さで設
けられた架台９０を有し、この架台９０上には上記液晶
セル１を保持する第１、第２のセルステージ９１、９２
が設けられている。そして、この第１、第２のセルステ
ージ９１、９２の間には、液晶セルを反転させる反転機
構９３が設けられている。

【０１２７】上記第１のセルステージ９１に保持された
液晶セル１は、まず、上記第２のガラス基板１ｂのＹ1
辺を、図に９５で示す第１の撮像カメラに対向させる。
この第１の撮像カメラ９５は、上記第２のガラス基板１
ｂと第２のＴＡＢ部品２ｂとの接合部を撮像認識する。

【０１２８】この第１の撮像カメラは画像処理装置９７
を介して、図１に示す第３の制御部９８に接続されてい
る。上記第１のセルステージ９１は、上記液晶セル１の
第２のガラス基板１ｂのＹ1 辺に沿う各ポジション（ｙ
1 〜ｙ4 ）を順次上記第１の撮像カメラ９５に対向さ
せ、上記第３の制御部９８は、撮像され画像処理された
信号に基づいて上記第２のＴＡＢ部品２ｂと第２のガラ
ス基板１ｂのずれ量およびそのずれの方向を演算する。

【０１２９】このようにして第２のガラス基板１ｂの全
ての実装ポジションについて、検査及びずれ量の検出が
終了したならば、この液晶セル１は上記反転機構９３に
受け渡され、この反転機構９３によって反転される。な
お、この反転機構９３は、上記本圧着装置１６の反転機
構８３と同じ構成を有するので、同一符号を付して説明
を省略する。

【０１３０】反転された液晶セル１は第２のセルステー
ジ９２に受け渡される。第２のセルステージ９２は、上
記第１のガラス基板のＸ1 辺を図に９９で示す第２の撮
像カメラに対向させる。この第２の撮像カメラ９９は、
上記第１の撮像カメラ９５と同様に画像処理装置９７を
介して上記第３の制御部９８に接続されている。

【０１３１】上記第２のセルステージ９２は、上記第１
のガラス基板１ａのＸ1 、Ｘ2 辺に沿う各ポジション
（ｘ1 〜ｘ8 ）を順次上記第２の撮像カメラ９９に対向
させ、上記第３の制御部９８は、撮像され画像処理され
た信号に基づいて上記第１のＴＡＢ部品２ａと上記第１
のガラス基板１ａの位置ずれ量およびその方向を演算す
る。

【０１３２】なお、この第３の制御部９８は、上記仮圧
着装置１５の第１の制御部６６に接続されおり、上記第
３の制御部６６により演算された上記第１、第２のＴＡ
Ｂ部品２ａ、２ｂの実装ずれ量およびその方向は、前述
したように、その実装ポジション（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ1 〜
ｙ4 ）と共に、上記仮圧着装置１５の第１の制御部６６
にフィードバックされる。なお、このフィードバックに
基づく仮圧着装置１５の仮圧着動作についてはすでに説
明した。

【０１３３】なお、この検査装置１０で検出したずれ量
が基準の値よりも大きい場合や、検査の結果他の不良が
検出された場合には、この検査装置１０の第３の制御部
９８は、この液晶セル１を不良品（ＮＧ）と判断する。
このような液晶セル１は次工程において、ラインから排
除される。

【０１３４】一方、合格（ＯＫ）品は、次工程に送ら
れ、周辺駆動回路の接続等を行って液晶モジュールとし
て完成する。なお、不良品として判断された液晶セル１
は、必要に応じてリペア工程に送られる。リペア工程に
おいては、接合不良と判断された実装ポジションに実装
されたＴＡＢ部品２が液晶セル１から剥がされ、この実
装ポジションに対してのみＴＡＢ部品２を再実装（個別
実装）することとなる。

【０１３５】この個別実装を行う場合には、接合不良ポ
ジションに位置するＴＡＢ部品２を剥がした後の液晶セ
ル１を仮圧着装置にセットする。ついで、前述したよう
に、上記仮圧着装置１５に設けられた上記モニター６７
の画面（図９に示す）にタッチすることで、上記接合不
良ポジション（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ1 〜ｙ4 のいずれか）を
指定する。このことで、前述したように、その指定され
た実装ポジションに対してのみ、ＴＡＢ部品２の仮圧着
および本圧着が行われる。

【０１３６】以上説明した構成によれば、以下に説明す
る効果がある。第１に、この液晶パネル製造装置によれ
ば、液晶セル１の各実装ポジション（ｘ1 〜ｘ8 、ｙ1
〜ｙ4 ）に対してＴＡＢ部品２（２ａ、２ｂ）を仮圧着
する際に、上記液晶セル１とＴＡＢ部品２とを個々の実
装ポジション毎に入力された情報に基づいて精密位置合
わせするようにしている。

【０１３７】すなわち、単に液晶セル１を所定ピッチ移
動させる毎に上記仮圧着機構２４のツールを下降させて
上記ＴＡＢ部品２の仮圧着を行っていくというシーケン
ス的な動作ではなく、仮圧着するＴＡＢ部品２（実装ポ
ジション）毎に精密な位置合わせを行っている。

【０１３８】したがって、近年の液晶パネルの大画面化
及び高精細化の要求に伴い、上記液晶セル１の一辺が長
く、かつ導出された電極１１、１２が多端子狭ピッチ化
した場合でも、ＴＡＢ部品の実装を良好に行える効果が
ある。

【０１３９】第２に、上記に加え、この装置では、本圧
着装置１６の後に設けられた検査装置１０からのフィー
ドバック信号を受けることで、各実装ポジションについ
てそのポジションにおける本圧着後のずれを想定した上
記ＴＡＢ部品２の精密位置合わせを行うことができる。

【０１４０】このような構成によれば、より確実な実装
を行えると共に、実装ポジション毎にずれ量が異なる場
合であっても、そのことに有効に対応することができる
効果がある。

【０１４１】第３に、一部のＴＡＢ部品２をリペアする
場合でも、その作業を良好にかつ精度良く行える効果が
ある。すなわち、上述したように、上記仮圧着装置１５
では、それぞれの実装ポジション毎に、位置決め情報
（本圧着後のずれ量の情報も含む）を保持することがで
き、その情報に基づいて位置決め及び仮圧着を行うよう
にしている。また、ＴＡＢ部品２の供給及び清浄など
も、個々のＴＡＢ部品２（第１、第２のＴＡＢ部品２
ａ、２ｂ）毎に行うようにしている。

【０１４２】したがって、この装置では、ＴＡＢ部品２
の個別実装を通常の実装動作と同じ自動動作で行うこと
ができ、従来例のように人手で位置合わせし手動で仮圧
着装置を作動させなくとも良い。したがって、個別実装
を行う場合でも良好にかつ精度良く行え、製品の歩留ま
りが向上する効果がある。

【０１４３】第４に、リペアを行った場合に、画面をタ
ッチするのみで実装ポジションを指定することができる
から、個別実装作業をより容易に行える効果がある。す
なわち、上述したように、この発明の装置では、個別実
装を自動で行うことが可能であるから、上述したような
実装ポジション指定手段を採用することができる。ま
た、個々の実装ポジション毎に位置決め情報を保持して
いるので、上述した方法で実装ポジションを指定するだ
けで、正確な実装を行える。さらに、数値入力により実
装ポジション指定する場合と比較して装置の操作性が向
上し、指定ミスも少なくなる効果もある。

【０１４４】第５に、ＴＡＢ部品２の接合部を洗浄する
機構を備えたので、ＴＡＢ部品と液晶セルとの間に塵埃
等が挟まれてしまうということが少なくなり、より確実
な実装を行うことができる。

【０１４５】なお、この発明は、上記一実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々
変形可能である。例えば、上記一実施例では、貼り合わ
される２枚のガラス基板１ａ、１ｂの双方にＴＡＢ部品
２を実装するタイプの液晶パネルを製造する装置であっ
たが、これに限定されるものではなく、片方のガラス基
板のみにＴＡＢ部品が実装されるアクティブマトリック
スタイプの液晶パネルを製造する装置であっても良い。

【０１４６】なお、このアクティブマトリックスタイプ
の液晶パネルを製造する装置においては、上記液晶セル
１を反転する（裏返す）ための反転機構７２、８３、９
３は不要となる。また、一種類のみのＴＡＢ部品２を実
装する場合は、上記打ち抜き機構２１の金型は一組のみ
で良い。

【０１４７】さらに、上記一実施例では、上記液晶セル
１側に異方性導電膜１３を貼付する装置であったが、こ
れに限定されるものではなく、ＴＡＢ部品２側に貼付す
るようにしても良い。

【０１４８】また、上記仮圧着装置１５において、部品
供給機構は、ＴＡＢ部品２を打ち抜き機構２１で打ち抜
き、このＴＡＢ部品２をロータリインデックステーブル
４８を用いて搬送するものであったが、これに限定され
るものではなく、種々の部品供給機構を採用することが
可能である。

【０１４９】例えば上記ＴＡＢ部品２はトレイに整列さ
れており、ピックアップアンドトレースユニットを用い
て上記ＴＡＢ部品を吸着保持することでこのトレイ２か
ら取り出し、上記仮圧着ステージＤに供給するようにし
ても良い。また、液晶駆動用ＩＣはＴＡＢ部品２に限定
されるものではなく、他の種類の半導体電子部品であっ
ても良い。

【０１５０】

【発明の効果】以上述べたように、この発明では、ＩＣ
部品を液晶セルの各実装ポジションに対して個別に仮圧
着（圧着）することができると共に、仮圧着前に各実装
ポジション毎に本圧着後のＩＣ部品のずれを想定した位
置合わせを行える。

【０１５１】したがって、実装に高い精度が要求される
場合でも十分に対応することができ、近年の液晶パネル
の大画面化及び高細彩化の傾向に対応することができ
る。また、一部のＩＣ部品をリペアする場合でも、再実
装を行う実装ポジションを指定するだけで、良好な実装
結果を得ることができる。したがって製品の歩留まりが
向上する。

【０１５２】さらに、実装ポジションの指定を行う際、
モニターの画面にタッチするのみで指定できるので、指
定作業が容易になると共に指定ミスを少なくすることが
できる効果がある。

【０１５３】また、ＩＣ部品の洗浄を行えることで、接
続部に付着した塵埃等を除去することができ、接続不良
を少なくすることができる。このことにより、実装に高
い品質が要求される場合であっても十分に対応すること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す液晶パネル製造装置
の全体構成図。

【図２】同じく、液晶セルを示す上面図及び下面図。

【図３】同じく、仮圧着装置の正面斜視図。

【図４】同じく、仮圧着装置の背面斜視図。

【図５】同じく、仮圧着装置の平面図。

【図６】同じく、部品洗浄機構を示す斜視図。

【図７】同じく、部品洗浄工程を示す工程図。

【図８】同じく、液晶パネル製造装置の動作を示すフロ
ーチャート。

【図９】同じく、モニター画面を示す正面図。

【図１０】一般的な液晶パネルを示す斜視図。

【図１１】ＴＡＢ部品を示す斜視図。

【符号の説明】

１…液晶セル、２…ＴＡＢ部品（液晶駆動用ＩＣ）、２
ａ…第１のＴＡＢ部品（液晶駆動用ＩＣ）、２ｂ…第２
のＴＡＢ部品（液晶駆動用ＩＣ）、１０…検査装置（検
査手段）、１５…仮圧着装置、１６…本圧着装置（本圧
着機構）、１９…セルステージ、２０…フィルムキャリ
ア供給機構（部品供給機構）、２３…ＴＡＢ部品搬送機
構（部品供給機構）、２４…仮圧着機構、５２…洗浄機
構、５３…粘着テープ、６０…位置決め光学系（位置決
め手段）、６６…第１の制御手段（制御手段）、６７…
モニター（指定手段）、７２…反転機構（反転手段）。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶セルに、液晶駆動用ＩＣ部品を実装
   し、液晶パネルを製造する液晶パネル製造装置におい
   て、 上記液晶セルの所定の実装ポジションにＩＣ部品を位置
   決めする位置決め手段と、 位置決めされたＩＣ部品を、上記液晶セルに仮圧着する
   仮圧着機構と、 ＩＣ部品が仮圧着されてなる液晶セルを受取り、各ＩＣ
   部品を液晶セルに本圧着する本圧着機構と、 ＩＣ部品が本圧着されてなる液晶セルを受取り、上記液
   晶セルとＩＣ部品との接合部位を検査する検査手段と、 上記各実装ポジションにおけるＩＣ部品と上記液晶セル
   との本圧着後のずれを検出し、その検出結果を上記位置
   決め手段にフィードバックすることにより、上記位置決
   め手段に本圧着後の位置ずれを想定した位置決めを行わ
   せる手段と、 を有することを特徴とする液晶パネル製造装置。
2. 【請求項２】 液晶セルの各実装ポジションに液晶駆動
   用ＩＣ部品を圧着し、液晶パネルを製造する液晶パネル
   製造装置において、 液晶セルを支持し、この液晶セルの各実装ポジションを
   圧着位置に一次位置決めするセルステージと、 所定のＩＣ部品を上記圧着位置に順次供給する部品供給
   機構と、 上記一次位置決めされた上記液晶セルの実装ポジション
   と上記ＩＣ部品とを認識して、両者の精密位置合わせを
   行う位置合わせ手段と、 位置合わせが成された上記ＩＣ部品と上記液晶セルとを
   圧着する圧着機構と、 上記各実装ポジションについて検出された圧着後の位置
   ずれデータを保持し、この保持された位置ずれデータに
   基づき、上記位置合わせ手段に圧着後の位置ずれを想定
   した位置合わせを行なわせる制御部とを有することを特
   徴とする液晶パネル製造装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の液晶パネル製造装置にお
   いて、 さらに、上記ＩＣ部品の実装ポジションを個別に指定す
   る指定手段を具備し、 上記制御部は、上記セルステージおよび位置合わせ手段
   を制御し、指定手段により指定された実装ポジションに
   対し、上記ＩＣ部品をそのポジションにおける圧着後の
   位置ずれを想定して位置合わせすることを特徴とする液
   晶パネル製造装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の液晶パネル製造装置にお
   いて、 上記指定手段は、 上記ＩＣ部品が実装された後の液晶パネルの図形を表示
   すると共に、その図形に対するタッチ位置を検出し得る
   モニターと、 上記タッチ位置に基づいて、指定された実装ポジション
   を決定する手段とを具備することを特徴とする液晶パネ
   ル製造装置。
5. 【請求項５】 請求項２記載の液晶パネル製造装置にお
   いて、 上記液晶セルを裏返す反転手段を有し、 上記液晶セルを構成する２枚のガラス基板の双方にＩＣ
   部品を圧着することを特徴とする液晶パネル製造装置。
6. 【請求項６】 液晶セルの各実装ポジションに液晶駆動
   用ＩＣ部品を圧着し、液晶パネルを製造する液晶パネル
   製造装置において、 液晶セルを保持し、この液晶セルの各実装ポジションを
   圧着位置に一次位置決めするセルステージと、 所定のＩＣ部品を上記圧着位置に順次供給する部品供給
   機構と、 上記部品供給機構により供給されるＩＣ部品を洗浄する
   洗浄機構と、 上記一次位置決めされた液晶セルの実装ポジションと上
   記ＩＣ部品とを認識して、両者の位置合わせを行う位置
   合わせ手段と、 位置合わせが成された上記ＩＣ部品と上記液晶セルとを
   圧着する圧着機構と、 を具備することを特徴とする
   液晶パネル製造装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の液晶パネル製造装置にお
   いて、 上記洗浄機構は、 上記ＩＣ部品の上記液晶セルとの接合部に粘着テープを
   押し付け、この接合部に付着した塵埃等を除去する手段
   を有することを特徴とする液晶パネル製造装置。