JP3618538B2

JP3618538B2 - シリコンを含有する化学増幅型レジスト組成物

Info

Publication number: JP3618538B2
Application number: JP05254198A
Authority: JP
Inventors: 相俊崔; 春根朴; 海元李
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 1997-04-10
Filing date: 1998-03-04
Publication date: 2005-02-09
Anticipated expiration: 2018-03-04
Also published as: KR100230417B1; NL1006624C2; FR2761999A1; KR19980076497A; US5981141A; US5998557A; FR2761999B1; JPH10282678A; DE19735059A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は化学増幅型レジスト組成物に係り、特にシリコンを含有する高分子化合物よりなる化学増幅型レジスト組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程が複雑で集積度が増加するに従って微細なパターンの形成が要求され、それによりリソグラフィー技術においても新たなレジストの開発が必須である。さらに、半導体素子の容量が１Ｇｂｉｔ級以上に増加しながら光波長領域もＡｒＦエクサイマーレーザー（１９３ｎｍ）で作用できる新たなレジスト材料が要るようになった。
【０００３】
ＡｒＦレジストは半導体工程進行上ＳＬＲ（ｓｉｎｇｌｅ−ｌａｙｅｒｒｅｓｉｓｔ）とＢＬＲ（ｂｉ−ｌａｙｅｒｒｅｓｉｓｔ）に分けうる。一般的にＳＬＲを使用する場合にはＢＬＲを使用する場合に比べてレジストパターン形成工程が単純である。しかし、ＳＬＲを使用してレジストパターンを形成する場合には乾式エッチングに対する耐性（ｄｒｙｅｔｃｈｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）が十分に確保できない。また、横縦比（ａｓｐｅｃｔｒａｔｉｏ）が大きくなるとレジストパターンが傾きながら倒れる場合が多くてレジストパターンを形成するに難しい。
【０００４】
ＢＬＲはシリコンを含有するレジストである。ＢＬＲを利用してレジストパターンを形成する場合にはＳＬＲの場合に比べてレジストパターン形成工程が複雑である。しかし、Ｏ２プラズマによる乾式エッチング時にレジスト物質内のシリコン原子がガラス化されてレジスト層の表面に硬化層が形成され、このように形成された硬化層が後続の乾式エッチング工程時にエッチングマスクとして作用するので横縦比が大きい場合にレジストパターンを形成するのが容易である。
【０００５】
一方、ＢＬＲを製造する時にはポリマーに含まれているシリコンの含有量が重要な因子として作用する。
【０００６】
ＡｒＦエクサイマーレーザーリソグラフィーに使用するためのＢＬＲとして今までは文献（ＡｋｉｋｏＫｏｔａｃｈｉ他、”Ｓｉ−ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇＰｏｓｉｔｉｖｅＲｅｓｉｓｔｆｏｒＡｒＦＥｘｃｉｍｅｒＬａｓｅｒＬｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ”、Ｊ．ＰｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、Ｖｏｌ．８、Ｎｏ．４、ｐ６１５、１９９５）に開示されたシリコン含有ポリマーが知られている。
【０００７】
しかし、前記文献に開示されたポリマーのシリコン含有量は約８重量％である。一般的に、充分な横縦比を確保するためにはＢＬＲで１０重量％以上のシリコン含有量が要求されることを考えると、前記文献に開示されたポリマーのシリコン含有量には充分の横縦比が確保できない。また、前記ポリマーは接着特性がよくなくて、これより製造されたレジスト膜がその下地膜からリフトされる現像が発生する問題が起こりうる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的はＡｒＦエクサイマーレーザーリソグラフィーに使用するためのＢＬＲとして使用するに充分のシリコン含有量を有しながら優れた接着特性を有するポリマーを提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は前記にようなポリマーを含有する化学増幅型レジスト組成物を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明は下記構造式に示され、重量平均分子量が３０００〜２０００００の化学増幅型レジスト用ポリマーを提供する。
【化１１】

式中、Ｒ１は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
【００１１】
本発明によるレジスト組成物は前記式のポリマーとＰＡＧ（ｐｈｏｔｏａｃｉｄｇｅｎｅｒａｔｏｒ）を含む。前記ＰＡＧの含有量は前記ポリマーの重量を基準として１〜２０重量％である。前記ＰＡＧはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択されたいずれか一つを使用する。
【００１２】
本発明によるコポリマーは下記構造式で示され、重量平均分子量が５０００〜２０００００である。
【化１２】

式中、Ｒ２及びＲ３は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、Ｘは水素、ヒドロキシル、ハロゲン、Ｃ１〜Ｃ４アルキル及びＣ１〜Ｃ４アルコキシよりなる群から選択されたいずれか一つの基であり、ｍ及びｎは整数であり、ｍ／（ｍ＋ｎ）は０．１〜０．９である。
【００１３】
また、本発明は下記構造式で示され、重量平均分子量が３０００〜１０００００の化学増幅型レジスト用コポリマーを提供する。
【化１３】

式中、Ｒ４は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
【００１４】
本発明によるターポリマーは下記構造式で示され、重量平均分子量が５０００〜２０００００である。
【化１４】

式中、Ｒ５及びＲ６は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、Ｒ８はメチル、２−ヒドロキシエチル及びＣ２〜Ｃ６アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、ｌ、ｍ及びｎは各々整数であり、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）は０．１〜０．９である。ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．９であり、ｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５である。
【００１５】
本発明によるテトラポリマーは下記構造式を有し、重量平均分子量が５，０００〜２００，０００である。
【化１５】

式中、Ｒ９、Ｒ１０及びＲ１２は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、Ｒ１３はｔ−ブチル、テトラヒドロピラニル、２−ヒドロキシエチル及びＣ２〜Ｃ６アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、ｋ、ｌ、ｍ及びｎは各々整数であり、ｋ／（ｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．９であり、ｌ／（ｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．９であり、ｍ／（ｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．９であり、ｎ／（ｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施例に対して詳細に説明する。
【００１７】
【実施例１】
モノマーの合成
本実施例によるモノマー（ＩＩ）の合成反応は次の式で示されうる。
前記式で示したモノマー（ＩＩ）の合成を段階別に説明すれば次の通りである。
【化１６】

【００１８】
（１）１，３−ビス（トリメチルシリル）−２−プロパノール（Ｉ）の合成
ジエチルエーテルに溶解された０．３モルのトリメチルシリルメチルマグネシウムクロライド溶液が入っている５００ｍＬのフラスコ内にギ酸エチル（０．１モル）を徐々に添加した後、還流状態で約２４時間反応させた。塩化アンモニウム溶液を使用して反応物を加水分解した後、得られた生成物を減圧蒸留法によって分離及び精製した（収率７０％）。得られた蒸留物をＮＭＲ及びＦＴ−ＩＲ分光分析法で分析して構造を確認した。
【００１９】
図１は前記のような方法によって得られた１，３−ビス（トリメチルシリル）−２−プロパノール（Ｉ）に対するＮＭＲ分析結果、図２はそのＦＴ−ＩＲ分析結果を各々示し、その分析結果は次の通りである。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３、ｐｐｍ）：
０．０（１８Ｈ、−ＣＨ３）、０．９（４Ｈ、−ＣＨ２−）、１．２（１Ｈ、−ＯＨ）、４．０（１Ｈ、−ＣＨ−）
ＦＴ−ＩＲ（ＮａＣｌ、ｃｍ−１）：
３３００（−ＯＨ）、２９５０（Ｃ−Ｈ）、１４００及び１２６０（Ｓｉ−Ｃ）
【００２０】
（２）１，３−ビス（トリメチルシリル）プロフィールメタクリレート（ＢＰＭＡ）
【００２１】
（ＩＩ）の合成
５００ｍＬのフラスコ内で１，３−ビス（トリメチルシリル）−２−プロパノール（Ｉ）（０．１モル）とトリエチルアミン（０．１モル）を塩化メチレンに溶解させた後、ここにメタクリロイルクロライド（０．１モル）を徐々に添加し、還流状態で約２４時間反応させた。得られた生成物を減圧蒸留法によって分離した（収率７５％）。
【００２２】
図３は前記のような方法によって得られたＢＰＭＡ（ＩＩ）に対するＮＭＲ分析結果、図４はそのＦＴ−ＩＲ分析結果を各々示し、その分析結果は次の通りである。
１Ｈ−ＮＭＲ（ＣＤＣｌ３、ｐｐｍ）：
０．０（１８Ｈ、−ＣＨ３）、１．０（４Ｈ、−ＣＨ２−）、１．９（３Ｈ、−ＣＨ３）、５．２（１Ｈ、−ＣＨ−）、５．５及び６．０（２Ｈ、＝ＣＨ２）
ＦＴ−ＩＲ（ＮａＣｌ、ｃｍ−１）：
２９５０（Ｃ−Ｈ）、１７２０（Ｃ＝Ｏ）、１６００（Ｃ＝Ｃ）、１４００及び１２６０（Ｓｉ−Ｃ）
【００２３】
【実施例２】
ホモポリマーの製造
実施例１で合成したモノマーＢＰＭＡ（ＩＩ）（０．１モル）をＡＩＢＮ（ａｚｏｂｉｓｉｓｏ−
ｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）４モル％と共にトルエンに溶かした後、Ｎ２パージ下で約６５〜７０℃で約２４時間重合させた。
反応物を過量のｎ−ヘキサンで沈殿させ、その沈殿物をＴＨＦ（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏ−ｆｕｒａｎ）に溶かした後、またｎ−ヘキサンで再沈殿させた。
得られた沈殿物を約５０℃に維持される真空オーブン内で約２４時間乾燥させて次の式のようなホモポリマーを得た（収率８０％）。
【化１７】

この際、得られたホモポリマー生成物の重量平均分子量は２４０００であったし、多分散度は２．２であった。Ｓｉ含有量は２１％（理論値）であった。
【００２４】
図５は本実施例から得られたホモポリマーの熱的安全性を熱重量分析（ＴＧＡ）によって評価したグラフである。昇温速度を２０℃／ｍｉｎとして窒素気流下でホモポリマーに熱を加えながら温度変化にともなうホモポリマーの重量変化を分析して百分率で示した。図５の結果で本実施例によるホモポリマーの初期分解温度は約１７３℃で示された。
【００２５】
【実施例３】
コポリマーの合成
本実施例によるコポリマー（ＩＩＩ）の合成反応は次の式で示されうる。
【化１８】

【００２６】
実施例１で合成したＢＰＭＡ（ＩＩ）モノマー（０．１モル）とスチレンモノマー（０．１モル）をＡＩＢＮ（４モル％）と共にＴＨＦ（モノマーの５倍）に溶かした後、Ｎ２パージし、還流状態で約２４時間重合させた。
重合反応物を過量のｎ−ヘキサンで沈殿させ、得られた沈殿物をＴＨＦに溶かした後ｎ−ヘキサンで再沈殿させた。最終的に得られた沈殿物を真空オーブンで約２４時間乾燥させてコポリマー（ＩＩＩ）を得た（収率７０％）。
この際、得られたコポリマー（ＩＩＩ）生成物の重量平均分子量は１５０００であったし、多分散度は２．１であった。Ｓｉ含有量は１５％（理論値）であった。
【００２７】
【実施例４】
コポリマーの合成
実施例１で合成したＢＰＭＡ（ＩＩ）モノマー（０．１モル）と無水マレイン（０．１モル）をＡＩＢＮ（４モル％）と共にＴＨＦ（モノマーの５倍）に溶かした後、Ｎ２パージし、還流状態で約２４時間重合させた。
重合反応物を過量のｎ−ヘキサンで沈殿させ、得られた沈殿物をＴＨＦに溶かした後ｎ−ヘキサンで再沈殿させた。最終的に得られた沈殿物を真空オーブンで約２４時間乾燥させて次の式のようなポリマー（ＩＶ）を得た（収率７０％）。
この際、得られたコポリマー（ＩＶ）生成物の重量平均分子量は８０００であったし、多分散度は２．３であった。Ｓｉ含有量は１５％（理論値）であった。
【化１９】

【００２８】
【実施例５】
ターポリマーの製造
本実施例によるターポリマー（Ｖ）の合成反応は次の式で示されうる。
【化２０】

【００２９】
実施例１で合成したＢＰＭＡ（ＩＩ）モノマー（０．１モル）と、ｔ−ブチルメタクリレート（ｔＢＭＡ）（０．１モル）と、メタクリル酸（ＭＡＡ）（０．１モル）をＡＩＢＮ（４モル％）と共にＴＨＦ（モノマーの５倍）に溶かした後、Ｎ２パージし、還流状態で約２４時間重合させた。
重合反応物を過量のｎ−ヘキサンで沈殿させ、得られた沈殿物をＴＨＦに溶かした後ｎ−ヘキサンで再沈殿させた。最終的に得られた沈殿物を約５０℃に維持される真空オーブンで約２４時間乾燥させてターポリマー（Ｖ）を得た（収率７５％）。
この際、得られたターポリマー（Ｖ）生成物の重量平均分子量は２５０００であったし、多分散度は２．３であった。Ｓｉ含有量は１１％（理論値）であった。
【００３０】
図６は前記のような方法によって得られたターポリマー（Ｖ）のＮＭＲ分析結果、図７はそのＦＴ−ＩＲ分析結果を各々示す。
【００３１】
図８は本実施例で得られたターポリマー（Ｖ）の熱的安全性をＴＧＡによって評価したグラフである。図８の結果から約１６０℃以上の温度で分解が起きる熱的安全性を有することが分かる。
【００３２】
【実施例６】
テトラポリマーの製造
実施例１で合成したＢＰＭＡ（ＩＩ）モノマー（０．１モル）と、ｔ−ブチルメタクリレート（ｔＢＭＡ）（０．１モル）と、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）と、メタクリル酸（ＭＡＡ）（０．１モル）をＡＩＢＮ（４モル％）と共にＴＨＦ（モノマーの５倍）に溶かした後、Ｎ２パージと、還流状態で約２４時間重合させた。
重合反応物を過量のｎ−ヘキサンで沈殿させ、得られた沈殿物をＴＨＦに溶かした後ｎ−ヘキサンで再沈殿させた。最終的に得られた沈殿物を約５０℃に維持される真空オーブンで約２４時間乾燥させて次の式のようなテトラポリマー（ＶＩ）を得た（収率７５％）。
【化２１】

この際、得られたテトラポリマー（ＶＩ）生成物の重量平均分子量は２４０００であったし、多分散度は２．４であった。
【００３３】
図９は前記のような方法によって得られたテトラポリマー（ＶＩ）のＮＭＲ分析結果を示す。
【００３４】
図１０は本実施例で得られたテトラポリマー（ＶＩ）の熱的安全性をＴＧＡによって評価したグラフである。図１０の結果で約１４１℃で５％重量損失されることが分かる。このように、本実施例によるテトラポリマー（ＶＩ）は分解温度が比較的高くて熱的安全性に優れる。
【００３５】
【実施例７】
レジスト組成物の製造
実施例５で合成したターポリマー（Ｖ）１．０ｇをＰＧＭＥＡ（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅｇｌｙｃｏｌｍｏｎｏｍｅｔｈｙｌｅｔｈｅｒａｃｅｔａｔｅ）８ｇに溶解させた後、ここにＰＡＧ（ｐｈｏｔｏａｃｉｄｇｅｎｅｒａｔｏｒ）としてトリフェニルスルホニウムトリフレート（ＴＰＳＯＴｆ）０．０２ｇを加えて十分に撹拌した。次いで、前記混合物を０．２μｍフィルターを利用して濾過した後、得られたレジスト組成物をウェーハ上に約０．３μｍの厚さでスピンコーティングした。
レジスト組成物がコーティングされた前記ウェーハを約１１０℃の温度で約９０秒間ソフトベーキングし、開口数（ＮＡ）が０．４５のＫｒＦエクサイマーレーザーを利用するステッパを使用して露光した後、約１１０℃の温度で約９０秒間ポストベーキングした。その後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）溶液を利用して現像した。
【００３６】
次の反応式１には本発明の望ましい実施例によって提供されたターポリマーの露光メカニズムが示されている。
【化２２】

【００３７】
前記反応式１から前記露光過程を経る前のポリマーは現像液によく溶解されない反面、酸触媒下の露光過程を経た後のポリマーは現像液によく溶解されることが分かる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の望ましい実施例によれば、ＡｒＦエクサイマーレーザー用シリコンが含まれたＢＬＲ製造時に要求される高いシリコン含有量を有しながら膜質に対して優れた接着特性を有するレジスト組成物が提供できる。
【００３９】
以上、本発明を望ましい実施例を挙げて詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の技術的な思想の範囲内で当分野で通常の知識を有する者によっていろいろ変形ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるモノマーの合成に必要な中間生成物のＮＭＲ（ｎｕｃｌｅａｒｍａｇｎｅｔｉｃｒｅｓｏｎａｎｃｅ）分析結果を示したグラフである。
【図２】本発明によるモノマーの合成に必要な中間生成物のＦＴ−ＩＲ（Ｆｏｕｒｉｅｒｔｒａｎｓｆｏｒｍｉｎｆｒａｒｅｄｒａｄｉａｔｉｏｎ）分析結果を示したグラフである。
【図３】本発明によるモノマーのＮＭＲ分析結果を示したグラフである。
【図４】本発明によるモノマーのＦＴ−ＩＲ分析結果を示したグラフである。
【図５】本発明によるホモポリマーのＴＧＡ（ｔｈｅｒｍｏｇｒａｖｉｍｅｔｒｉｃａｎａｌｙｓｉｓ）結果を示したグラフである。
【図６】本発明によるターポリマーのＮＭＲ分析結果を示したグラフである。
【図７】本発明によるターポリマーのＦＴ−ＩＲ分析結果を示したグラフである。
【図８】本発明によるターポリマーのＴＧＡ結果を示したグラフである。
【図９】本発明によるテトラポリマーのＮＭＲ分析結果を示したグラフである。
【図１０】本発明によるテトラポリマーのＴＧＡ結果を示したグラフである。

Claims

下記構造式で示され、重量平均分子量が3000〜200000の化学増幅型レジスト用ポリマー。

式中、R1は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
下記構造式で示され、重量平均分子量が3000〜200000の化学増幅型レジスト用ポリマーとPAGを含むレジスト組成物。

式中、R1は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
前記PAGの含有量が前記ポリマーの重量を基準として1〜20重量%の請求項2に記載のレジスト組成物。
前記PAGはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択された請求項2に記載のレジスト組成物。
下記構造式で示され、重量平均分子量が5000〜200000の化学増幅型レジスト用コポリマー。

式中、R2及びR3は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、Xは水素、ヒドロキシル、ハロゲン、C1〜C4アルキル及びC1〜C4アルコキシよりなる群から選択されたいずれか一つの基であり、m及びnは整数であり、m/(m+n)は0.1〜0.9である。
下記構造式で表示され、重量平均分子量が5000〜200000のコポリマーとPAGを含むレジスト組成物。

式中、R2及びR3は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、Xは水素、ヒドロキシル、ハロゲン、C1〜C4アルキル及びC1〜C4アルコキシよりなる群から選択されたいずれか一つの基であり、m及びnは整数であり、m/(m+n)は0.1〜0.9である。
前記PAGの含有量が前記コポリマーの重量を基準として1〜20重量%の請求項6に記載のレジスト組成物。
前記PAGはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択されたいずれか一つの請求項6に記載のレジスト組成物。
下記構造式で示され、重量平均分子量が3000〜100000の化学増幅型レジスト用コポリマー。

式中、R4は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
下記構造式で示され、重量平均分子量が5000〜200000のコポリマーとPAGを含むレジスト組成物。

式中、R4は水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つである。
前記PAGの含有量が前記コポリマーの重量を基準として1〜20重量%の請求項10に記載のレジスト組成物。
前記PAGはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択されたいずれか一つの請求項10に記載のレジスト組成物。
下記構造式で示され、重量平均分子量が5000〜200000の化学増幅型レジスト用ターポリマー。

式中、R5、R6及びR7は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、R8はメチル、2-ヒドロキシエチル及びC2〜C6アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、l、m及びnは各々整数であり、l/(l+m+n)=0.1〜0.9であり、m/(l+m+n)=0.1〜0.9であり、n/(l+m+n)=0.1〜0.5である。
下記式で示され、重量平均分子量が5000〜200000のターポリマーとPAGを含むレジスト組成物。

式中、R5、R6及びR7は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、R8はメチル、2-ヒドロキシエチル及びC2〜C6アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、l、m及びnは各々整数であり、l/(l+m+n)=0.1〜0.9であり、m/(l+m+n)=0.1〜0.9であり、n/(l+m+n)=0.1〜0.5である。
前記PAGの含有量が前記ターポリマーの重量を基準として1〜20重量%の請求項14に記載のレジスト組成物。
前記PAGはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択されたいずれか一つの請求項14に記載のレジスト組成物。
下記構造式で示され、重量平均分子量が5000〜200000の化学増幅型レジスト用テトラポリマー。

式中、R9、R10、R11及びR12は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、R13はt-ブチル、テトラヒドロピラニル、2-ヒドロキシエチル及びC2〜C6アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、k、l、m及びnは各々整数であり、k/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、l/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、m/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、n/(k+l+m+n)=0.1〜0.5である。
下記構造式で示され、重量平均分子量が5000〜200000のテトラポリマーとPAGを含むレジスト組成物。

式中、R9、R10、R11及びR12は各々水素及びメチルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、R13はt-ブチル、テトラヒドロピラニル、2-ヒドロキシエチル及びC2〜C6アルキルよりなる群から選択されたいずれか一つであり、k、l、m及びnは各々整数であり、k/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、l/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、m/(k+l+m+n)=0.1〜0.9であり、n/(k+l+m+n)=0.1〜0.5である。
前記PAGの含量が前記テトラポリマーの重量を基準として1〜20重量%の請求項18に記載のレジスト組成物。
前記PAGはトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩よりなる群から選択された請求項18に記載のレジスト組成物。
PAGはトリフェニルスルホニウムトリフレート及びジフェニルヨードニウムトリレートよりなる群から選択された請求項 20 に記載のレジスト組成物。