JP3990150B2 - フェニル環及びラクトン基が共存する感光性ポリマー及びレジスト組成物 - Google Patents
フェニル環及びラクトン基が共存する感光性ポリマー及びレジスト組成物 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性ポリマー及びレジスト組成物、特に化学増幅型レジスト組成物に係り、特にフェニル環及びラクトン基が共存する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程が複雑になって半導体素子の集積度が増加するにつれて、微細なパターン形成が要求される。さらに、半導体素子の容量が１Ｇｂ級以上の素子において、デザインルールが０．２μｍ以下の微細なパターンサイズが要求される。しかしながら、ＫｒＦエキシマーレーザー（２４８ｎｍ）を利用した既存のレジスト材料を使用してこのような微細なパターンを形成するのには限界がある。したがって、より一層短波長領域の光波長を使用するエネルギー露光源であるＡｒＦエキシマーレーザー（１９３ｎｍ）を利用したリソグラフィ技術が登場した。
【０００３】
しかしながら、ＡｒＦエキシマーレーザーを利用したリソグラフィに使われるレジスト材料は既存のレジスト材料に比べて商用化するには多くの問題点がある。最も代表的な問題点は縦横比（アスペクト比）の増大によりパターンの崩れ現象が現れることである。したがって、レジスト膜を薄くせねばならない。しかしながら、レジスト膜の乾式エッチングに対する耐性には限界があり、実際のパターンを形成するに当たり多くの難関がある。
【０００４】
これにより、乾式エッチングに対する耐性を強化するためにフェニル基またはアダマンチル基を導入したポリマーが提案された。しかしながら、これらのポリマーは親水性が悪くて接着特性に劣り、その結果リフティングを引き起こすなどレジスト膜を利用する工程において多くの問題点を誘発することがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前記従来の問題点を解決しようとするものであり、レジストの原料として使われた時に優秀なリソグラフィ特性を提供できる構造を有する感光性ポリマーを提供することである。
【０００６】
本発明の他の目的は、乾式エッチングに対する耐性を強化し、接着特性を改善できるレジスト組成物を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、下記式（２）：
【０００８】
【化９】
【０００９】
ただし、Ｒ １ 、Ｒ ２ 及びＲ ３ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす
の構造を有することを特徴とする感光性ポリマーによって達成される。
【００１０】
前記目的はまた、下記式（４）：
【００１１】
【化１０】
【００１２】
ただし、式中、Ｒ ４ 、Ｒ ５ 及びＲ ６ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす、
で示される構造を有することを特徴とする感光性ポリマーによっても達成される。
【００１３】
上記他の目的は、（ａ）下記式（２）：
【００１４】
【化１１】
【００１５】
ただし、Ｒ １ 、Ｒ ２ 及びＲ ３ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤(photoacid generator；なお、本明細書中では、単に「ＰＡＧ」とも称する)とを含むことを特徴とするレジスト組成物によって達成される。
【００１６】
上記他の目的はまた、（ａ）下記式（４）：
【００１７】
【化１２】
【００１８】
ただし、式中、Ｒ ４ 、Ｒ ５ 及びＲ ６ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす、
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤とを含むことを特徴とするレジスト組成物によっても達成される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００２０】
本発明の一態様による感光性ポリマーは、上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む。
【００２１】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、下記式（２）：
【００２２】
【化１３】
【００２３】
の構造を有することが好ましい。上記式（２）において、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3は、水素原子またはアルキル基を表わす。この際、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3は、同一であってもあるいは異なるものであってもよい。また、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3がアルキル基を表わす際の、アルキル基としては、特に制限されるものではなく、製造される感光性ポリマーの所望の特性によって適宜選択される。例えば、炭素数１〜６の脂肪族の直鎖、分枝状または環状アルキル基を表わす。このようなアルキル基の特に好ましい例としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピルなどが挙げられる。さらに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ上記式（２）で示される構造を有する感光性ポリマーを構成する各繰り返し単位の数を表わし、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、好ましくは０．２〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たすことを必須要件とする。本発明の上記態様による感光性ポリマーにおいて、上記各繰り返し単位は、ブロック状であってもランダム状であってもよい。
【００２４】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含むまたは（２）の構造を有するものであり、その分子量などは特に制限されないが、好ましくは重量平均分子量が１，０００〜１００，０００である。
【００２５】
また、本発明の態様による感光性ポリマーの製造は、公知の方法を単独でまたは組み合わせて使用することによって、達成され、また、その末端もその製造方法から導き出される。
【００２６】
本発明の他の態様による感光性ポリマーは、上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む。
【００２７】
本発明の上記他の態様による感光性ポリマーは下記式（４）：
【００２８】
【化１４】
【００２９】
の構造を有することが好ましい。ただし上記式（４）において、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、水素原子またはアルキル基でありを表わす。この際、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、同一であってもあるいは異なるものであってもよい。また、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6がアルキル基を表わす際の、アルキル基としては、特に制限されるものではなく、製造される感光性ポリマーの所望の特性によって適宜選択される。例えば、炭素数１〜６の脂肪族の直鎖、分枝状または環状アルキル基を表わす。このようなアルキル基の特に好ましい例としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピルなどが挙げられる。さらに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ上記式（４）で示される構造を有する感光性ポリマーを構成する各繰り返し単位の数を表わし、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、好ましくは０．２〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たすことを必須要件とする。本発明の上記態様による感光性ポリマーにおいて、上記各繰り返し単位は、ブロック状であってもランダム状であってもよい。
【００３０】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含むまたは（４）の構造を有するものであり、その分子量などは特に制限されないが、好ましくは重量平均分子量が１，０００〜１００，０００である。
【００３１】
また、本発明の態様による感光性ポリマーの製造は、公知の方法を単独でまたは組み合わせて使用することによって、達成され、また、その末端もその製造方法から導き出される。
【００３２】
このように、本発明による感光性ポリマーは、乾式エッチングに対する耐性を強化することができるフェニル環及びレジスト膜との接着特性を改善させ、親水性を付与できるラクトン基が共存している物質を含むため、例えばレジスト組成物に使用される場合には、得られたレジスト組成物は、乾式エッチングに対する十分な耐性及び優れた接着特性を併せ持つ。
【００３３】
本発明の一態様によるレジスト組成物は、（ａ）上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマーと（ｂ）ＰＡＧ(photoacid generator)とを含む。この際、感光性ポリマーは、上記式（２）の構造を有することが好ましい。
【００３４】
本発明の他の態様によるレジスト組成物は、（ａ）上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマーと（ｂ）ＰＡＧとを含む。この際、感光性ポリマーは、上記式（４）の構造を有することが好ましい。
【００３５】
本発明によるレジスト組成物に含まれる感光性ポリマーの重量平均分子量は１，０００〜１００，０００であることが好ましい。
【００３６】
前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準として１〜１５質量％の量で含まれることが好ましい。
【００３７】
本発明において使用されるＰＡＧは、特に制限されるものではなく、公知のＰＡＧが使用できるが、トリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、スルホネートまたはこれらの混合物よりなることが望ましい。特に望ましくは、前記ＰＡＧは、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムアンチモネート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムアンチモネート、メトキシジフェニルヨードニウムトリフレート、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムトリフレート、２，６−ジニトロベンジルスルホネート、ピロガロールトリス（アルキルスルホネート）、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドトリフレート、ノルボルネン−ジカルボキシイミド−トリフレート、トリフェニルスルホニウムノナフレート、ジフェニルヨードニウムノナフレート、メトキシジフェニルヨードニウムノナフレート、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムノナフレート、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドノナフレート、ノルボルネン−ジカルボキシイミド−ノナフレート、トリフェニルスルホニウムパーフルオロオクタンスルホネート（ＰＦＯＳ）、ジフェニルヨードニウムＰＦＯＳ、メトキシジフェニルヨードニウムＰＦＯＳ、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムトリフレート、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドＰＦＯＳ、ノルボルネン−ジカルボキシイミドＰＦＯＳまたはこれらの混合物よりなる。
【００３８】
本発明によるレジスト組成物は有機塩基をさらに含むことができる。この際、前記有機塩基は前記感光性ポリマーの質量を基準として０．０１〜２．０質量％の量で含まれることが望ましい。また、前記有機塩基は、特に制限されないが、第３級アミンよりなる化合物を単独でまたは２種以上混合してなることが望ましい。特に望ましくは、前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリイソオクチルアミン、トリイソデシルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンまたはこれらの混合物からなる。
【００３９】
本発明による感光性ポリマーは、フェニル環とラクトン基とが共存している物質を含んでいる。したがって、このような感光性ポリマーよりなるレジスト組成物は、乾式エッチングに対する十分な耐性を提供できるだけではなく接着特性にすぐれる。
【００４０】
【実施例】
次に、本発明を、実施例を参照しながらさらに詳細に説明する。
【００４１】
実施例１：ＤＨＰＡＬＡ（２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトニルアクリレート）の合成
本実施例では、ＤＨＰＡＬＡを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００４２】
【化１５】
【００４３】
２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトン１５０．１３ｇ（１モル）とトリエチルアミン（ＴＥＡ）１５０ｇ（１．５モル）を乾燥された塩化メチレン（ＭＣ）５００ｇに溶かした後、この混合溶液に、滴下ロートを利用して約１５７ｇのアクリロイルクロライド（１．５モル）をゆっくり添加した。この時、熱が生じるので氷浴を利用して冷却した。添加が終わった後、得られた溶液をゆっくり常温に上げて１０時間強く撹拌した。その後生成された塩をろ過して残った余液をエーテルで抽出した。低圧下で溶媒のエーテルを完全に除去し、ガスクロマトグラフィを利用して確認した後でカラムクロマトグラフィを利用して生成物を分離した（収率８０％）。
【００４４】
実施例２：ＤＨＰＡＬＭＡ（２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトニルメタクリレート）の合成
【００４５】
【化１６】
【００４６】
アクリロイルクロライドの代わりにメタクリロイルクロライドを使用する以外は、実施例１と同様の方法で所望の生成物を回収した（収率７５％）。なお、本実施例におけるＤＨＰＡＬＭＡの合成を、上記反応式に示す。
【００４７】
実施例３：ＤＨＦＡ（３，６−ジヒドロキシフラボニルアクリレート）の合成本実施例では、ＤＨＦＡを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００４８】
【化１７】
【００４９】
３，６−ジヒドロキシフラボン２５４ｇ（１モル）とトリエチルアミン（ＴＥＡ）１５０ｇ（１．５モル）とを乾燥した塩化メチレン（ＭＣ）１０００ｇに溶かした後、この混合溶液に、滴下ロートを利用して約１５７ｇのアクリロイルクロライド（１．５モル）をゆっくり添加した。この時、熱が生じるので氷浴を利用して冷却した。添加が終わった後、得られた溶液をゆっくり常温に上げて１０時間強く撹拌した。その後生成された塩をろ過して残った余液をエーテルを利用して抽出した。低圧下で溶媒のエーテルを完全に除去し、ガスクロマトグラフィを利用して確認した後でカラムクロマトグラフィを利用して生成物を分離した（収率５２％）。
【００５０】
実施例４：ＤＨＦＭＡ（３，６−ジヒドロキシフラボニルメタクリレート）の合成
【００５１】
【化１８】
【００５２】
アクリロイルクロライドの代わりにメタクリロイルクロライドを使用する以外は、実施例３と同様の方法で所望の生成物を回収した（収率５０％）。なお、本実施例におけるＤＨＦＭＡの合成を、上記反応式に示す。
【００５３】
実施例５：コポリマーの合成
本実施例では、コポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００５４】
【化１９】
【００５５】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例１において合成したＤＨＰＡＬＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、この溶液に、ＡＩＢＮ（アゾビスイソブチロニトリル(azobisisobutyronitrile)）１．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００５６】
重合が終わった後、重合生成物をｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後でそれを再びＴＨＦ（テトラヒドロフラン）に溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を再度形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をＭＣに溶かした後、この溶液に少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤にて沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率７０％）。
【００５７】
実施例６：コポリマーの合成
【００５８】
【化２０】
【００５９】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例２において合成したＤＨＰＡＬＭＡを使用する以外は、実施例５と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率６５％）。なお、本実施例におけるコポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００６０】
実施例７：コポリマーの合成
本実施例では、コポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００６１】
【化２１】
【００６２】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例３において合成したＤＨＦＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、ＡＩＢＮ １．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００６３】
重合が終わった後、重合生成物をｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後でそれを再びＴＨＦに溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をＭＣに溶かして少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤にて沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率６３％）。
【００６４】
実施例８：コポリマーの合成
【００６５】
【化２２】
【００６６】
ＤＨＦＡの代わりに実施例４にて合成したＤＨＦＭＡを使用する以外は、実施例７と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率６１％）。なお、本実施例におけるコポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００６７】
実施例９：ターポリマーの合成
本実施例では、ターポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００６８】
【化２３】
【００６９】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例１にて合成したＤＨＰＡＬＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、ＡＩＢＮ１．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００７０】
重合が終わった後、重合生成物を過量のｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後、それを再びＴＨＦに溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をメタノールに溶かして少量のアンモニア水溶液を添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、反応結果物を脱イオン水に落として沈殿を形成した後で再びろ過した。このような過程を３回反復した後、生成された固体をＭＣに溶かして少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤において沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率７０％）。
【００７１】
実施例１０：ターポリマーの合成
【００７２】
【化２４】
【００７３】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例２にて合成したＤＨＰＡＬＭＡを使用する以外は、実施例９と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７５％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００７４】
実施例１１：ターポリマーの合成
【００７５】
【化２５】
【００７６】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例３にて合成したＤＨＦＡ０．０３モルを使用する以外は、実施例９と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７０％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００７７】
実施例１２：ターポリマーの合成
【００７８】
【化２６】
【００７９】
ＤＨＦＡの代わりに実施例４にて合成したＤＨＦＭＡを使用する以外は、実施例１１と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７５％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００８０】
実施例１３：レジスト組成物の製造
実施例５〜１２にて合成したポリマー（１．０ｇ）をそれぞれＰＧＭＥＡ(propylene glycol monomethyl ether acetate)溶剤に入れて完全に溶かした後、この溶液にＰＡＧであるトリフェニルスルホニウムトリフレートを添加して完全に溶かした。その後、０．２μｍメンブレンフィルタを利用して濾してレジスト組成物を得た。得られたレジスト組成物を６インチのウェーハ上に２５００ｒｐｍでコーティングして約０．３μｍの厚さのレジスト膜を形成した。
【００８１】
その後、前記レジスト膜が形成されたウェーハを１１０℃の温度にて９０秒間ソフトベーキングし、ＫｒＦエキシマーレーザー（ＮＡ＝０．６）を利用して露光した後、１００℃の温度にて９０秒間ＰＥＢ(post-exposure bake)を行った。
【００８２】
その後、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）溶液を使用して約６０秒間現像してレジストパターンを形成した。その結果、１８０ｎｍラインアンドスペースパターン（１：１）が得られることを確認した。
【００８３】
以上、本発明を望ましい実施例を挙げて詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されずに、本発明の技術的思想の範囲内で当分野でおいて通常の知識を持った者によりさまざまな変形が可能である。
【００８４】
【発明の効果】
本発明による感光性ポリマーは乾式エッチングに対する耐性を強化できるフェニル環及びレジスト膜との接着特性を改善させ、親水性を付与できるラクトン基が共存している物質を含んでいる。したがって、そのような感光性ポリマーよりなるレジスト組成物は乾式エッチングに対する十分な耐性を提供できるのみならず接着特性にすぐれる。したがって、本発明によるレジスト組成物をフォトリソグラフィ工程に適用する時に非常に優秀なリソグラフィ性能を示すことにより、今後次世代半導体素子を製造するに当たり非常に有用に用いられる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性ポリマー及びレジスト組成物、特に化学増幅型レジスト組成物に係り、特にフェニル環及びラクトン基が共存する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程が複雑になって半導体素子の集積度が増加するにつれて、微細なパターン形成が要求される。さらに、半導体素子の容量が１Ｇｂ級以上の素子において、デザインルールが０．２μｍ以下の微細なパターンサイズが要求される。しかしながら、ＫｒＦエキシマーレーザー（２４８ｎｍ）を利用した既存のレジスト材料を使用してこのような微細なパターンを形成するのには限界がある。したがって、より一層短波長領域の光波長を使用するエネルギー露光源であるＡｒＦエキシマーレーザー（１９３ｎｍ）を利用したリソグラフィ技術が登場した。
【０００３】
しかしながら、ＡｒＦエキシマーレーザーを利用したリソグラフィに使われるレジスト材料は既存のレジスト材料に比べて商用化するには多くの問題点がある。最も代表的な問題点は縦横比（アスペクト比）の増大によりパターンの崩れ現象が現れることである。したがって、レジスト膜を薄くせねばならない。しかしながら、レジスト膜の乾式エッチングに対する耐性には限界があり、実際のパターンを形成するに当たり多くの難関がある。
【０００４】
これにより、乾式エッチングに対する耐性を強化するためにフェニル基またはアダマンチル基を導入したポリマーが提案された。しかしながら、これらのポリマーは親水性が悪くて接着特性に劣り、その結果リフティングを引き起こすなどレジスト膜を利用する工程において多くの問題点を誘発することがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前記従来の問題点を解決しようとするものであり、レジストの原料として使われた時に優秀なリソグラフィ特性を提供できる構造を有する感光性ポリマーを提供することである。
【０００６】
本発明の他の目的は、乾式エッチングに対する耐性を強化し、接着特性を改善できるレジスト組成物を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、下記式（２）：
【０００８】
【化９】
ただし、Ｒ １ 、Ｒ ２ 及びＲ ３ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす
の構造を有することを特徴とする感光性ポリマーによって達成される。
【００１０】
前記目的はまた、下記式（４）：
【００１１】
【化１０】
ただし、式中、Ｒ ４ 、Ｒ ５ 及びＲ ６ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす、
で示される構造を有することを特徴とする感光性ポリマーによっても達成される。
【００１３】
上記他の目的は、（ａ）下記式（２）：
【００１４】
【化１１】
ただし、Ｒ １ 、Ｒ ２ 及びＲ ３ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤(photoacid generator；なお、本明細書中では、単に「ＰＡＧ」とも称する)とを含むことを特徴とするレジスト組成物によって達成される。
【００１６】
上記他の目的はまた、（ａ）下記式（４）：
【００１７】
【化１２】
ただし、式中、Ｒ ４ 、Ｒ ５ 及びＲ ６ は、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表わし、ならびに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たす、
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤とを含むことを特徴とするレジスト組成物によっても達成される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００２０】
本発明の一態様による感光性ポリマーは、上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む。
【００２１】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、下記式（２）：
【００２２】
【化１３】
の構造を有することが好ましい。上記式（２）において、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3は、水素原子またはアルキル基を表わす。この際、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3は、同一であってもあるいは異なるものであってもよい。また、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3がアルキル基を表わす際の、アルキル基としては、特に制限されるものではなく、製造される感光性ポリマーの所望の特性によって適宜選択される。例えば、炭素数１〜６の脂肪族の直鎖、分枝状または環状アルキル基を表わす。このようなアルキル基の特に好ましい例としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピルなどが挙げられる。さらに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ上記式（２）で示される構造を有する感光性ポリマーを構成する各繰り返し単位の数を表わし、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、好ましくは０．２〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たすことを必須要件とする。本発明の上記態様による感光性ポリマーにおいて、上記各繰り返し単位は、ブロック状であってもランダム状であってもよい。
【００２４】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含むまたは（２）の構造を有するものであり、その分子量などは特に制限されないが、好ましくは重量平均分子量が１，０００〜１００，０００である。
【００２５】
また、本発明の態様による感光性ポリマーの製造は、公知の方法を単独でまたは組み合わせて使用することによって、達成され、また、その末端もその製造方法から導き出される。
【００２６】
本発明の他の態様による感光性ポリマーは、上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む。
【００２７】
本発明の上記他の態様による感光性ポリマーは下記式（４）：
【００２８】
【化１４】
の構造を有することが好ましい。ただし上記式（４）において、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、水素原子またはアルキル基でありを表わす。この際、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、同一であってもあるいは異なるものであってもよい。また、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6がアルキル基を表わす際の、アルキル基としては、特に制限されるものではなく、製造される感光性ポリマーの所望の特性によって適宜選択される。例えば、炭素数１〜６の脂肪族の直鎖、分枝状または環状アルキル基を表わす。このようなアルキル基の特に好ましい例としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピルなどが挙げられる。さらに、ｌ、ｍ及びｎは、それぞれ上記式（４）で示される構造を有する感光性ポリマーを構成する各繰り返し単位の数を表わし、それぞれ、ｌ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．１〜０．５、好ましくは０．２〜０．５、ｍ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０〜０．５、及びｎ／（ｌ＋ｍ＋ｎ）＝０．４〜０．７の関係を満たすことを必須要件とする。本発明の上記態様による感光性ポリマーにおいて、上記各繰り返し単位は、ブロック状であってもランダム状であってもよい。
【００３０】
本発明の上記態様による感光性ポリマーは、上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含むまたは（４）の構造を有するものであり、その分子量などは特に制限されないが、好ましくは重量平均分子量が１，０００〜１００，０００である。
【００３１】
また、本発明の態様による感光性ポリマーの製造は、公知の方法を単独でまたは組み合わせて使用することによって、達成され、また、その末端もその製造方法から導き出される。
【００３２】
このように、本発明による感光性ポリマーは、乾式エッチングに対する耐性を強化することができるフェニル環及びレジスト膜との接着特性を改善させ、親水性を付与できるラクトン基が共存している物質を含むため、例えばレジスト組成物に使用される場合には、得られたレジスト組成物は、乾式エッチングに対する十分な耐性及び優れた接着特性を併せ持つ。
【００３３】
本発明の一態様によるレジスト組成物は、（ａ）上記式（１）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマーと（ｂ）ＰＡＧ(photoacid generator)とを含む。この際、感光性ポリマーは、上記式（２）の構造を有することが好ましい。
【００３４】
本発明の他の態様によるレジスト組成物は、（ａ）上記式（３）で表わされる基を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマーと（ｂ）ＰＡＧとを含む。この際、感光性ポリマーは、上記式（４）の構造を有することが好ましい。
【００３５】
本発明によるレジスト組成物に含まれる感光性ポリマーの重量平均分子量は１，０００〜１００，０００であることが好ましい。
【００３６】
前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準として１〜１５質量％の量で含まれることが好ましい。
【００３７】
本発明において使用されるＰＡＧは、特に制限されるものではなく、公知のＰＡＧが使用できるが、トリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、スルホネートまたはこれらの混合物よりなることが望ましい。特に望ましくは、前記ＰＡＧは、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムアンチモネート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムアンチモネート、メトキシジフェニルヨードニウムトリフレート、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムトリフレート、２，６−ジニトロベンジルスルホネート、ピロガロールトリス（アルキルスルホネート）、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドトリフレート、ノルボルネン−ジカルボキシイミド−トリフレート、トリフェニルスルホニウムノナフレート、ジフェニルヨードニウムノナフレート、メトキシジフェニルヨードニウムノナフレート、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムノナフレート、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドノナフレート、ノルボルネン−ジカルボキシイミド−ノナフレート、トリフェニルスルホニウムパーフルオロオクタンスルホネート（ＰＦＯＳ）、ジフェニルヨードニウムＰＦＯＳ、メトキシジフェニルヨードニウムＰＦＯＳ、ジ−ｔ−ブチルジフェニルヨードニウムトリフレート、Ｎ−ヒドロキシスクシンイミドＰＦＯＳ、ノルボルネン−ジカルボキシイミドＰＦＯＳまたはこれらの混合物よりなる。
【００３８】
本発明によるレジスト組成物は有機塩基をさらに含むことができる。この際、前記有機塩基は前記感光性ポリマーの質量を基準として０．０１〜２．０質量％の量で含まれることが望ましい。また、前記有機塩基は、特に制限されないが、第３級アミンよりなる化合物を単独でまたは２種以上混合してなることが望ましい。特に望ましくは、前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリイソオクチルアミン、トリイソデシルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンまたはこれらの混合物からなる。
【００３９】
本発明による感光性ポリマーは、フェニル環とラクトン基とが共存している物質を含んでいる。したがって、このような感光性ポリマーよりなるレジスト組成物は、乾式エッチングに対する十分な耐性を提供できるだけではなく接着特性にすぐれる。
【００４０】
【実施例】
次に、本発明を、実施例を参照しながらさらに詳細に説明する。
【００４１】
実施例１：ＤＨＰＡＬＡ（２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトニルアクリレート）の合成
本実施例では、ＤＨＰＡＬＡを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００４２】
【化１５】
２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトン１５０．１３ｇ（１モル）とトリエチルアミン（ＴＥＡ）１５０ｇ（１．５モル）を乾燥された塩化メチレン（ＭＣ）５００ｇに溶かした後、この混合溶液に、滴下ロートを利用して約１５７ｇのアクリロイルクロライド（１．５モル）をゆっくり添加した。この時、熱が生じるので氷浴を利用して冷却した。添加が終わった後、得られた溶液をゆっくり常温に上げて１０時間強く撹拌した。その後生成された塩をろ過して残った余液をエーテルで抽出した。低圧下で溶媒のエーテルを完全に除去し、ガスクロマトグラフィを利用して確認した後でカラムクロマトグラフィを利用して生成物を分離した（収率８０％）。
【００４４】
実施例２：ＤＨＰＡＬＭＡ（２，５−ジヒドロキシフェニルアセチック−γ−ラクトニルメタクリレート）の合成
【００４５】
【化１６】
アクリロイルクロライドの代わりにメタクリロイルクロライドを使用する以外は、実施例１と同様の方法で所望の生成物を回収した（収率７５％）。なお、本実施例におけるＤＨＰＡＬＭＡの合成を、上記反応式に示す。
【００４７】
実施例３：ＤＨＦＡ（３，６−ジヒドロキシフラボニルアクリレート）の合成本実施例では、ＤＨＦＡを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００４８】
【化１７】
３，６−ジヒドロキシフラボン２５４ｇ（１モル）とトリエチルアミン（ＴＥＡ）１５０ｇ（１．５モル）とを乾燥した塩化メチレン（ＭＣ）１０００ｇに溶かした後、この混合溶液に、滴下ロートを利用して約１５７ｇのアクリロイルクロライド（１．５モル）をゆっくり添加した。この時、熱が生じるので氷浴を利用して冷却した。添加が終わった後、得られた溶液をゆっくり常温に上げて１０時間強く撹拌した。その後生成された塩をろ過して残った余液をエーテルを利用して抽出した。低圧下で溶媒のエーテルを完全に除去し、ガスクロマトグラフィを利用して確認した後でカラムクロマトグラフィを利用して生成物を分離した（収率５２％）。
【００５０】
実施例４：ＤＨＦＭＡ（３，６−ジヒドロキシフラボニルメタクリレート）の合成
【００５１】
【化１８】
アクリロイルクロライドの代わりにメタクリロイルクロライドを使用する以外は、実施例３と同様の方法で所望の生成物を回収した（収率５０％）。なお、本実施例におけるＤＨＦＭＡの合成を、上記反応式に示す。
【００５３】
実施例５：コポリマーの合成
本実施例では、コポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００５４】
【化１９】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例１において合成したＤＨＰＡＬＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、この溶液に、ＡＩＢＮ（アゾビスイソブチロニトリル(azobisisobutyronitrile)）１．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００５６】
重合が終わった後、重合生成物をｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後でそれを再びＴＨＦ（テトラヒドロフラン）に溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を再度形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をＭＣに溶かした後、この溶液に少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤にて沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率７０％）。
【００５７】
実施例６：コポリマーの合成
【００５８】
【化２０】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例２において合成したＤＨＰＡＬＭＡを使用する以外は、実施例５と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率６５％）。なお、本実施例におけるコポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００６０】
実施例７：コポリマーの合成
本実施例では、コポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００６１】
【化２１】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例３において合成したＤＨＦＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、ＡＩＢＮ １．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００６３】
重合が終わった後、重合生成物をｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後でそれを再びＴＨＦに溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をＭＣに溶かして少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤にて沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率６３％）。
【００６４】
実施例８：コポリマーの合成
【００６５】
【化２２】
ＤＨＦＡの代わりに実施例４にて合成したＤＨＦＭＡを使用する以外は、実施例７と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率６１％）。なお、本実施例におけるコポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００６７】
実施例９：ターポリマーの合成
本実施例では、ターポリマーを、下記反応式に従って、下記方法により合成した。
【００６８】
【化２３】
アセトキシスチレン１．３４ｇ（０．０７モル）と実施例１にて合成したＤＨＰＡＬＡ０．０３モルを乾燥されたトルエン３０ｇに溶かした後、ＡＩＢＮ１．６４ｇを添加してＮ2で４時間パージした。その後、この液体を液体窒素を利用して凍らせた後で真空ポンプを利用して真空状態とした後で再び溶かした。このような過程を３回反復して反応物内の空気を完全に除去した。その後、反応物を６０℃にて２４時間重合させた。
【００７０】
重合が終わった後、重合生成物を過量のｎ−ヘキサンにゆっくり落としつつ沈殿を形成した。その後、ろ過して固体を濾した後、それを再びＴＨＦに溶かし、ｎ−ヘキサンを利用して沈殿を形成した。このような過程を３回反復した後、得られた沈殿をメタノールに溶かして少量のアンモニア水溶液を添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、反応結果物を脱イオン水に落として沈殿を形成した後で再びろ過した。このような過程を３回反復した後、生成された固体をＭＣに溶かして少量の酸及びメチルビニルエーテルを添加して２４時間反応させた。反応が終わった後、得られた反応液をｎ−ヘキサン：イソプロピルアルコール＝３：１の溶剤において沈殿を形成して所望の生成物を得た（収率７０％）。
【００７１】
実施例１０：ターポリマーの合成
【００７２】
【化２４】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例２にて合成したＤＨＰＡＬＭＡを使用する以外は、実施例９と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７５％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００７４】
実施例１１：ターポリマーの合成
【００７５】
【化２５】
ＤＨＰＡＬＡの代わりに実施例３にて合成したＤＨＦＡ０．０３モルを使用する以外は、実施例９と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７０％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００７７】
実施例１２：ターポリマーの合成
【００７８】
【化２６】
ＤＨＦＡの代わりに実施例４にて合成したＤＨＦＭＡを使用する以外は、実施例１１と同様の方法で所望の生成物を合成した（収率７５％）。なお、本実施例におけるターポリマーの合成を、上記反応式に示す。
【００８０】
実施例１３：レジスト組成物の製造
実施例５〜１２にて合成したポリマー（１．０ｇ）をそれぞれＰＧＭＥＡ(propylene glycol monomethyl ether acetate)溶剤に入れて完全に溶かした後、この溶液にＰＡＧであるトリフェニルスルホニウムトリフレートを添加して完全に溶かした。その後、０．２μｍメンブレンフィルタを利用して濾してレジスト組成物を得た。得られたレジスト組成物を６インチのウェーハ上に２５００ｒｐｍでコーティングして約０．３μｍの厚さのレジスト膜を形成した。
【００８１】
その後、前記レジスト膜が形成されたウェーハを１１０℃の温度にて９０秒間ソフトベーキングし、ＫｒＦエキシマーレーザー（ＮＡ＝０．６）を利用して露光した後、１００℃の温度にて９０秒間ＰＥＢ(post-exposure bake)を行った。
【００８２】
その後、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）溶液を使用して約６０秒間現像してレジストパターンを形成した。その結果、１８０ｎｍラインアンドスペースパターン（１：１）が得られることを確認した。
【００８３】
以上、本発明を望ましい実施例を挙げて詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されずに、本発明の技術的思想の範囲内で当分野でおいて通常の知識を持った者によりさまざまな変形が可能である。
【００８４】
【発明の効果】
本発明による感光性ポリマーは乾式エッチングに対する耐性を強化できるフェニル環及びレジスト膜との接着特性を改善させ、親水性を付与できるラクトン基が共存している物質を含んでいる。したがって、そのような感光性ポリマーよりなるレジスト組成物は乾式エッチングに対する十分な耐性を提供できるのみならず接着特性にすぐれる。したがって、本発明によるレジスト組成物をフォトリソグラフィ工程に適用する時に非常に優秀なリソグラフィ性能を示すことにより、今後次世代半導体素子を製造するに当たり非常に有用に用いられる。
Claims (18)
- 下記式（２）：
の構造を有することを特徴とする感光性ポリマー。 - 下記式（４）：
で示される構造を有することを特徴とする感光性ポリマー。 - （ａ）下記式（２）：
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤(ＰＡＧ：photoacid generator)とを含むことを特徴とするレジスト組成物。 - 前記感光性ポリマーの重量平均分子量は１，０００〜１００，０００であることを特徴とする請求項３に記載のレジスト組成物。
- 前記光酸発生剤は前記感光性ポリマーの質量を基準として１〜１５質量％の量で含まれることを特徴とする請求項３または４に記載のレジスト組成物。
- 前記光酸発生剤はトリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、スルホネートまたはこれらの混合物よりなることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載のレジスト組成物。
- 有機塩基をさらに含むことを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基は前記感光性ポリマーの質量を基準として０．０１〜２．０質量％の量で含まれることを特徴とする請求項７に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基は第３級アミン化合物を単独でまたは２種以上混合してなることを特徴とする請求項７または８に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリイソオクチルアミン、トリイソデシルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンまたはこれらの混合物からなることを特徴とする請求項９に記載のレジスト組成物。
- （ａ）下記式（４）：
の構造を有する感光性ポリマーと、
（ｂ）光酸発生剤（ＰＡＧ）とを含むことを特徴とするレジスト組成物。 - 前記感光性ポリマーの重量平均分子量は１，０００〜１００，０００であることを特徴とする請求項１１に記載のレジスト組成物。
- 前記光酸発生剤は前記感光性ポリマーの質量を基準として１〜１５質量％の量で含まれることを特徴とする請求項１１または１２に記載のレジスト組成物。
- 前記光酸発生剤はトリアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、スルホネートまたはこれらの混合物よりなることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載のレジスト組成物。
- 有機塩基をさらに含むことを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか１項に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基は前記感光性ポリマーの質量を基準として０．０１〜２．０質量％の量で含まれることを特徴とする請求項１５に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基は第３級アミン化合物を単独でまたは２種以上混合してなることを特徴とする請求項１５または１６に記載のレジスト組成物。
- 前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリイソオクチルアミン、トリイソデシルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンまたはこれらの混合物からなることを特徴とする請求項１７に記載のレジスト組成物。
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