JP3538232B2 - ガス供給装置 - Google Patents
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Description
に被充填タンクへのガス充填後、ガス供給管路と燃料タ
ンクとの接続部分のガスを回収するよう構成したガス供
給装置に関する。
ス(CNG)等を別のタンクに供給するガス供給装置と
しては、実開平4−64699号公報にみられるような
装置がある。当該公報の装置は、圧縮されたガスを急速
充填する方式が採用されており、圧縮機により所定圧以
上に昇圧されたガスをガス供給タンクに一旦貯めてお
き、そしてガス供給タンクに貯められたガスを自動車の
燃料タンク(被充填タンク)に注入して燃料タンク内が
所定圧に達するまで充填されるようになっている。
計により計測されており、燃料タンクに充填された総流
量を知ることができ、圧力計により燃料タンクに充填さ
れた圧力を検出できる。又、装置本体から引き出された
ホースの先端には、燃料タンクの接続部(例えばクイッ
クカプラ等よりなる)に接続される接続部材(例えばク
イックカプラ等よりなる)が設けられており、この接続
部材はガス供給前に自動車の燃料タンク側の接続部に接
続され、ガス充填完了後に燃料タンク側の接続部から外
される。
いると接続部材を燃料タンクの接続部から外すことがで
きないため、ガス充填完了後に接続部材を燃料タンクか
ら外す際は、作業者が手動式の三方弁を切り換えて上記
接続部材及び接続部内のガスを大気中に放出させてい
た。
ガス供給装置では、接続部材を燃料タンクの接続部から
外すため、ガス充填完了後に三方弁を切り換えて接続部
材及び接続部内を大気圧に減圧させているが、接続部材
及び接続部内のガスを大気中に放出する場合、ガスが無
駄になるばかりか大気を汚染する心配がある。
内のガスが大気中に放出されると、ガス供給ステーショ
ンの周囲でガス臭いといった苦情が寄せられることもあ
る。
供給装置を提供することを目的とする。
圧縮されたガスを貯蔵するガス供給タンクと、一端が該
ガス供給タンクに接続され、他端が被充填タンクの接続
部に接続される接続部材を有するガス供給管路と、前記
ガス供給タンクと前記接続部材との連通・遮断を行うガ
ス供給開閉弁と、前記ガス供給管路の前記ガス供給開閉
弁と前記接続部材との間に残留するガスを回収する回収
タンクと、一端が前記ガス供給管路の前記ガス供給開閉
弁と前記接続部材との間に接続され、他端が前記回収タ
ンクに接続された回収管路と、前記ガス供給開閉弁と前
記接続部材との間の前記ガス供給管路と、前記回収タン
クとの連通・遮断を行う脱圧開閉弁と、前記ガス供給管
路内の圧力を検出する圧力伝送器と、前記圧力伝送器に
より検出された圧力から圧力異常であるか否かを判断
し、圧力異常であると判断した場合には、前記ガス供給
開閉弁を閉弁させると共に、前記脱圧開閉弁を開弁させ
る異常検出手段と、よりなることを特徴とする。
が、前記圧力伝送器により検出された圧力が所定圧力以
上である場合に圧力異常と判断することを特徴とする。
された圧力から圧力異常であるか否かを判断し、圧力異
常であると判断した場合には、ガス供給開閉弁を閉弁さ
せると共に、脱圧開閉弁を開弁させてガス供給管路内の
ガスを自動的に回収するため、装置の安全状態を保持す
ることができると共に、大気汚染やガス臭を防止するこ
とができる。
圧力伝送器により検出された圧力が所定圧力以上である
場合に圧力異常と判断するため、ガス供給管路内のガス
を正確に検出して自動的に回収することが可能になり、
装置の安全状態を保持することができると共に、大気汚
染やガス臭を防止することができる。
第1実施例を示す。
2の燃料タンク(被充填タンク)3に都市ガスを所定圧
力に圧縮した圧縮天然ガス(CNG)を供給するガス供
給ステーションなどに設置されている。
圧力に圧縮し加圧されたガスを生成する圧力発生ユニッ
ト4と、圧力発生ユニット4により圧縮されたガスを燃
料タンク3に供給するためのディスペンサユニット5
と、よりなる。
に分岐される前の中圧管路10に接続された分岐管路1
1に、ガスを圧縮する多段式のコンプレッサ12が配設
されている。コンプレッサ12は、例えばガスを圧縮す
るためのシリンダが複数(3個または4個)設けられ、
前段のシリンダで圧縮されたガスを次段のシリンダでさ
らに高い圧力に加圧するようになっており、中圧管路1
0から供給されたガスを段階的に圧縮する。
た高圧管路13には、コンプレッサ12により生成され
たガスの逆流を防止する逆止弁14が配設されている。
この高圧管路13から分岐した分岐管路15の端部に
は、高圧ガス蓄圧器(ガス供給タンク)16が接続され
ている。尚、高圧ガス蓄圧器16は、一般に文献等では
蓄ガス器とも呼ばれている。
レッサ12により圧縮された高圧ガス、本実施例では2
50kgf/cm2 に圧縮されたガスが蓄圧される。又、上記
高圧管路13には電磁弁よりなる開閉弁17と、圧力伝
送器18と、が配設されている。
3を流れるガスの圧力を検出する圧力センサが設けられ
ており、ガスの圧力に応じた検出信号を制御回路19に
送信する。又、制御回路19からの指令により開閉弁1
7は、コンプレッサ12により圧縮されたガスが高圧ガ
ス蓄圧器16へ供給される際に閉弁されてガスがディス
ペンサユニット5へ流出することを防止し、高圧ガス蓄
圧器16内のガスが燃料タンク3に充填されるときは開
弁される。
圧力(本実施例では、250kgf/cm 2 )に達すると、開
閉弁17が閉弁されて、圧力発生ユニット4は充填作業
可能な待機状態となる。
にガス充填完了後に回収されたガスを一時的に貯蔵する
ための回収タンク20と、回収タンク20内の圧力が所
定圧力に達したときオンに切り換わりその検出信号を出
力する圧力スイッチ21と、を有する。
ラ42内に残留するガス量に対して十分に大きい容量を
有している。そのため、燃料タンク3へのガス充填完了
後、着脱カプラ42内のガスは一瞬にして回収タンク2
0に回収され、着脱カプラ42内が略大気圧に減圧され
る。
してオフからオンに切り換わり、その検出信号を後述す
る制御回路35に出力する。
ニット5との間は、ガス供給管路28を介して接続され
ている。そして、ディスペンサユニット5内に延在する
ガス供給管路28には、電磁弁よりなりガス供給管路2
8を開閉するガス供給開閉弁29と、圧力発生ユニット
4から供給されたガスの1次圧力を検出する1次圧力伝
送器30と、ガス供給管路28を流れるガス流量を計測
する流量計31と、下流側へ給送されるガス圧力を所定
圧力に制御する圧力制御弁32と、圧力制御弁32より
吐出された2次圧力を検出する2次圧力伝送器33と、
所定以上の力で引っ張られたとき分離する緊急離脱カプ
ラ34と、が配設されている。
の指令により充填圧力を制御して燃料タンク3へ供給さ
れるガス供給量(流量は圧力×時間により求まる)を制
御するとともに、充填開始時及び充填終了時には充填圧
力が徐々に変化(増圧、減圧)するように圧力を制御し
て各機器が急激な圧力変化により破損することを防止す
る。又、ガス供給開閉弁29は圧力発生ユニット4の元
弁として機能するもので制御回路35からの指令により
開弁または閉弁する。
とは、それぞれの取り付け位置で検出した圧力に応じた
検出信号を制御回路35に送信する。又、流量計31
は、比較的高圧のガスの流量を正確に計測するよう構成
されており、その流量計測信号(流量パルス)を制御回
路35に送信する。
耐えうる高圧ガス供給チューブ37の一端が接続され、
高圧ガス供給チューブ37の他端には可撓性を有する供
給ホース39が接続されている。
な着脱カプラ40が設けられている。着脱カプラ40
は、ガス充填前に燃料タンク3側の着脱カプラ42に接
続され、燃料タンク3へのガス充填完了後に着脱カプラ
42から離間される。又、着脱カプラ40には、ガス充
填完了後に着脱カプラ40及び着脱カプラ42内に残留
するガスを抜くためのガス抜き用操作スイッチ40aが
設けられている。
接続され、他端がガス供給管路の先端部分である着脱カ
プラ40及び供給ホース39,高圧ガス供給チューブ3
7内の残留ガスを逃がすようにガス供給管路28の先端
28a近傍に接続されている。
着脱カプラ40の離脱操作を可能にするため、着脱カプ
ラ40及び供給ホース39,高圧ガス供給チューブ37
内の残留ガスを回収タンク20に回収するとき開弁され
る脱圧開閉弁(弁手段)38と、回収された回収タンク
20のガスが逆流することを防止する逆止弁47とが配
設されている。
クチュエータにより駆動される構成であり、ガス充填後
に上記着脱カプラ40の操作スイッチ40aがオンに操
作されると、開弁されてガス供給管路28の先端28a
と回収タンク20とを連通する。又、脱圧開閉弁38
は、ガス充填直前に閉弁してガス供給管路28の先端2
8aと回収タンク20との間を遮断する。
閉弁しており、燃料タンク3へのガス充填終了後に開弁
されて着脱カプラ40及び供給ホース39,高圧ガス供
給チューブ37内の残留ガスを回収タンク20に給送し
て着脱カプラ40,42内の圧力を減圧する。
プラ40が燃料タンク3側の着脱カプラ42に接続され
たまま自動車2が発車した場合に連結を解除するととも
に、緊急離脱カプラ34内部に設けられた逆止弁(図示
せず)が閉弁してガス漏れを防止する。
とは、それぞれ内部に逆止弁(図示せず)が設けられて
おり、互いに連結されていないときは逆止弁が閉弁し、
着脱カプラ40と着脱カプラ42とが連結されると各逆
止弁が開弁位置に変位して相互に連通状態となる。
たガスの流量及び供給圧力を表示する。
れるとともに、スタート釦51,表示器52,アラーム
装置53,充填表示ランプ54,ガス放出ランプ55が
接続されている。
ラムに基づいて流量計31から出力された流量パルスを
積算して流量を算出するとともに、ガス供給開閉弁2
9,1次圧力伝送器30,流量計31,圧力制御弁3
2,2次圧力伝送器33の動作制御を実行する。又、制
御回路35と上記制御回路19とは、相互に各制御信号
を受け渡しを行っており、互いに協働して各機器の制御
を行う。
タンク3に接続された管路44には、上流側より上記デ
ィスペンサユニット5の着脱カプラ40が結合される着
脱カプラ42と、ガスを充填する際手動操作により開弁
される手動開閉弁45と、燃料タンク3に充填されたガ
スが逆流することを防止する逆止弁46とが配設されて
いる。
るガス充填作業について説明する。
する際、作業者は、先ず、ディスペンサユニット5の着
脱カプラ40を自動車2の着脱カプラ42に結合させ
る。そして、自動車2の手動開閉弁45を開弁させる。
このとき脱圧開閉弁38は閉弁している。
作されると、制御回路19は開閉弁17を開弁させると
ともに、制御回路35はガス供給開閉弁29を開弁させ
る。これにより、高圧ガス蓄圧器16に蓄圧された高圧
ガスは、ガス供給管路28,高圧ガス供給ホース37,
着脱カプラ40,42,管路44を介して燃料タンク3
に充填される。
された圧力制御弁32の弁開度がやや絞られており、高
圧ガス蓄圧器16からのガスにより各機器が受ける圧力
を緩和して各機器を高圧ガスから保護する。そして、所
定時間(例えば5秒程度)が経過すると圧力制御弁32
の弁開度を徐々に開いてガス充填流量を増加させる。
た時点で、制御回路19は開閉弁17を閉弁させるとと
もに、制御回路35はガス供給開閉弁29を閉弁させ
る。ガス供給管路28を通過したガス充填量は、流量計
31により計測され、ガス充填量に応じた流量パルスが
制御回路35に出力される。
送器33により検出された供給圧力と、流量計31から
の流量パルス数に基づいて、燃料タンク3に充填された
ガス充填量を算出して表示器43に表示する。
作業者は着脱カプラ40の操作スイッチ40aをオンに
操作する。よって、脱圧開閉弁38は、開弁されてガス
供給管路28の先端28aと回収タンク20とを連通す
る。このように、脱圧開閉弁38が開弁すると、着脱カ
プラ40,42及び供給ホース39に残留したガスは、
回収管路41に流出し、回収管路41を通過して回収タ
ンク20に回収される。
ラ40及び供給ホース39,高圧ガス供給チューブ37
内の残留ガスを回収タンク20に回収して着脱カプラ4
0,42内の圧力を減圧し、着脱カプラ40の離脱操作
を可能にする。
弁45を閉弁させた後、ディスペンサユニット5の着脱
カプラ40を自動車2の着脱カプラ42から分離させ
る。これで、一連のガス充填作業が完了する。
制御回路35が実行する処理につき説明する。
フローチャートである。作業者は、ガス供給管路28の
先端に設けられた着脱カプラ40を燃料タンク3の着脱
カプラ42に接続し、その後手動式の開閉弁45を開弁
操作する。そして、作業者は、スタート釦51をオンに
操作する。
(以下「ステップ」を省略する)で2次圧力伝送器33
からの圧力値を読み取り、着脱カプラ40が着脱カプラ
42に接続されていることを確認する。即ち、着脱カプ
ラ40,42が正常に接続され、手動式開閉弁45が開
弁しているときは、燃料タンク3の残留圧が検出される
ことになる。もし、着脱カプラ40,42が接続不良で
あるときは、着脱カプラ40から空気が導入されるため
大気圧が検出されることになり、その場合アラーム装置
53によりアラームを発するとともに表示器52に例え
ば「カプラ接続不良」といったメッセージを表示して装
置を停止状態にする。
ス供給開閉弁29,圧力制御弁32,脱圧開閉弁38が
閉弁し、回収管路41が遮断された状態に切り換えて初
期状態であることを確認し(S2)、開閉弁17を開弁
させる(S3)。これにより、高圧ガス蓄圧器16に蓄
圧されたガスがガス供給管路28に供給される。
された供給圧Pinと2次圧力伝送器33により検出され
た燃料タンク3への充填圧Pout との差(Pin−
Pout )が予め設定された規定値以上であるかどうかを
チェックする。つまり、Pin−Pou t が予め設定された
規定値以上である場合は燃料タンク3の圧力が低いので
充填可能と判断する。
が予め設定された規定値以上である場合には、S5に進
み、充填表示ランプ54を点灯させて充填可能であるこ
とを作業者に知らせる。続いて、ガス供給開閉弁29を
開弁させ(S6)、圧力制御弁32を開弁させる(S
7)。
め設定された規定値以下である場合には、燃料タンク3
の圧力がほぼ満タン状態の圧力であるので、充填不要と
判断してS5〜S12の処理を省略する。
制御して定圧力上昇制御を行う。そして、S9で2次圧
力伝送器33に検出された充填圧Pout が200kgf/cm
2 に達したかどうかをチェックする。もし、S9におい
て、充填圧Pout が200kgf/cm2 以下の場合は、S1
0に進み、Pin−Pout の差圧が予め設定された規定値
以上であるかどうかをチェックする。
3に検出された充填圧Pout が200kgf/cm2 に達した
場合、ガス充填完了となり、S11以降の処理を実行す
る。
規定値であるときは、S8に戻りS8〜S10の処理を
繰り返す。
規定値であるときは、あるいは充填圧Pout ≧200kg
f/cm2 になったときは、燃料タンク3の圧力が目標の2
00kgf/cm2 に達したものと判断してS11に進み、ガ
ス供給開閉弁29を閉弁させる。
せた後、S13で開閉弁17を閉弁させる。続いて、充
填表示ランプ54を消灯させて作業者に燃料タンク3へ
のガス充填が完了したことを知らせる(S14)。
消灯したことを確認して自動車2の開閉弁45を手動で
閉弁操作する。その後、作業者は、前述したように着脱
カプラ40の操作スイッチ40aをオンに操作する。よ
って、S15において、操作スイッチ40aがオンに操
作されると、S16に進み、脱圧開閉弁38を開弁させ
てガス供給管路28の先端28aと回収タンク20とを
連通させる。
ラ40,42内及び供給ホース39,高圧ガス供給チュ
ーブ37,ガス供給管路28の先端28a内に残留する
ガスを回収タンク20に回収させる。その結果、着脱カ
プラ40,42内がほぼ大気圧に減圧され、着脱カプラ
40,42の離脱操作が可能になる。
オンに操作して自動車2側の手動開閉弁45を閉弁させ
た後、ディスペンサユニット5の着脱カプラ40を自動
車2の着脱カプラ42から分離させる。これで、一連の
ガス充填作業が完了する。
を着脱カプラ42から離間させることができる。これと
ともに、ガス供給装置1は、着脱カプラ40,42内の
ガスを大気中に放出しないため、大気汚染の心配もな
い。
填作業を中断しなければならないような緊急自体(例え
ば地震等)が発生した場合でも脱圧開閉弁38を開弁さ
せることにより、着脱カプラ40,42の圧力を大気圧
に減圧して着脱カプラ40,42を外すことができる。
従って、ガス充填中の自動車2は、上記脱圧開閉弁38
の開弁により着脱カプラ40,42が容易に外された
後、ガス供給ステーションから緊急に退避することがで
きる。
3中、前述した図1と同一部分には同一符号を付してそ
の説明は省略する。
ット4は、ガス回収系路に上記回収タンク20、圧力ス
イッチ21以外に、回収タンク20と分岐管路11との
間を接続する接続管路62と、接続管路62に配設され
た回収タンク20のガスを圧縮する回収用コンプレッサ
63と、コンプレッサ63からのガスが分岐管路11に
供給されることを許容し分岐管路11からコンプレッサ
63へ逆流することを防止する逆止弁64と、を有す
る。
るように回収用コンプレッサ63の圧縮動作により強制
的に排気されるため、回収タンク20の内部は大気圧以
下に減圧されて真空状態に保持されている。そのため、
燃料タンク3へのガス充填完了後、着脱カプラ40,4
2及び供給ホース39内に残留するガスは、一瞬にして
回収タンク20に回収され、着脱カプラ40,42及び
供給ホース39,高圧ガス供給チューブ37,ガス供給
管路28の先端28a内が大気圧に減圧される。
き図4を参照して説明する。
した図2のフローチャートと同じなので、その説明は省
略する。
に設けられた圧力スイッチ21がオンに切り換わって検
出信号が出力されているかどうかをチェックする。も
し、S17において、圧力スイッチ21がオンであると
きは、S18に進み、回収用コンプレッサ63を起動さ
せる。
たガスが回収用コンプレッサ63に吸引されて、分岐管
路11に圧送される。そして、回収タンク20からのガ
スは、中圧配管10からのガスとともにコンプレッサ1
2の吸気側に供給され、コンプレッサ12で圧縮された
後、高圧ガス蓄圧器16に蓄圧される。
に減圧されて真空状態となり、次のガス回収に備える。
又、S17において、圧力スイッチ21がオフであると
きは、S19に進み、回収用コンプレッサ63を停止さ
せる。そして、再びS17に戻り、S17,S18の処
理を実行する。
に達すると、回収タンク20内に回収されたガスがコン
プレッサ12の吸気側に供給されるため、常に回収タン
ク20は効率良く着脱カプラ40,42内のガスを回収
できる状態に保持されている。
ンプレッサ63の吸引・圧縮動作により大気圧以下に減
圧されて真空状態に保持されているため、着脱カプラ4
0,42及び供給ホース39内のガスは一瞬にして回収
タンク20に回収され、着脱カプラ40,42内が大気
圧に減圧される。
を着脱カプラ42から離間させることができる。これと
ともに、ガス供給装置1は、着脱カプラ40,42及び
供給ホース39内のガスを大気中に放出しないため、大
気汚染の心配もなく、回収したガスを再利用できるの
で、経済的である。
3実施例の構成は上記実施例と同様なため、その説明を
省略する。
により圧力が異常に上昇したことが1次圧力伝送器30
により検出された場合、例えば着脱カプラ40,42の
耐圧強度を越えてしまうことがあるため、図5に示す異
常検出の割り込み処理を実行する。
5内の圧力が異常に低下したことが1次圧力伝送器30
により検出された場合、例えばディスペンサユニット5
内でガス漏れが発生した可能性が高いため、図5に示す
異常検出の割り込み処理を実行する。
ンサユニット5内の圧力が所定圧以上(例えば250kg
f/cm2 以上)に上昇したとき、圧力異常であると判断し
てS23に進む。しかし、S21において、ディスペン
サユニット5内の圧力が所定圧以上に達しないときはS
22に進む。
圧力が所定圧以下(例えば200kgf/cm2 以下)に減少
したとき、圧力異常であると判断してS23に進む。
圧力が異常であるため、異常発生のアラームにより作業
者に報知するとともに、ガス供給開閉弁29を閉弁させ
る。そして、S24では、圧力制御弁32及び脱圧開閉
弁38を開弁させて、ディスペンサユニット5内のガス
を回収タンク20に回収する。これで、異常発生部分で
の高圧ガスが回収タンク20に回収され、異常発生部分
での高圧ガスが除去される。
が異常でないとき、あるいはS24でのガス回収が終了
すると、S25に進み、全ての電磁弁、即ち開閉弁1
7,ガス供給開閉弁29,圧力制御弁32,脱圧開閉弁
38を閉弁させる。これで、異常検出の割り込み処理を
終了する。
圧力が温度上昇等により異常に上昇したり、あるいはガ
ス漏れ等により圧力が異常に低下して場合、直ぐに全て
の電磁弁を閉弁させてしまうと、ディスペンサユニット
5内のガス供給管路28に高圧ガスが残ったしまい、異
常発生箇所が高圧にさらされてしまう。
ット5内の圧力が異常に上昇したり、あるいは圧力が異
常に低下して場合でも、ディスペンサユニット5内の高
圧ガスが、自動的に回収タンク20に回収されるため、
予期せぬ圧力上昇あるいは圧力低下が発生してもこれを
自動的に検出するとともに、圧力がディスペンサユニッ
ト5内から除去されて安全な状態に切り換えることがで
きる。
閉弁されるため、作業者は異常アラームによりディスペ
ンサユニット5内の圧力が異常になったことが報知され
ると、直ちにガス充填作業を中断して点検作業に移行
し、短時間でガス充填作業を復旧させることができる。
圧縮天然ガス(CNG)を供給する場合を一例として挙
げたが、これに限らず、例えばブタン、プロパン等のガ
スを供給するのにも適用できるのは勿論である。
収管路41と着脱カプラ40,42とが連通されるが、
これに限らず、例えば回収管路41とガス供給管路28
とに夫々個別の電磁弁を設けるようにしても良い。
ク3に圧縮されたガスを充填する場合を一例として挙げ
たが、これに限らず、他の容器等に圧縮されたガスを供
給する装置にも適用でき、あるいは単に圧縮されたガス
を他の場所に給送するための管路途中に設置する構成の
装置にも適用できるのは勿論である。
分岐される前の中圧管路10からの都市ガスを圧縮する
構成としたが、これに限らず、例えば中圧管路10から
分岐された家庭の管路からガスを取り出すようにしても
良い。
けてガスを回収する構成としたが、これに限らず、中圧
管路10又はコンプレッサ12の1次側に設けたスナッ
パタンクに回収する構成としても良い。
ば、圧力伝送器により検出された圧力から圧力異常であ
るか否かを判断し、圧力異常であると判断した場合に
は、ガス供給開閉弁を閉弁させると共に、脱圧開閉弁を
開弁させてガス供給管路内のガスを自動的に回収するた
め、装置の安全状態を保持することができると共に、大
気汚染やガス臭を防止することができる。
異常に上昇したり、あるいは圧力が異常に低下して場合
でも、ディスペンサユニット内の高圧ガスが、自動的に
回収タンクに回収されるため、予期せぬ圧力上昇あるい
は圧力低下が発生してもこれを自動的に検出するととも
に、圧力がディスペンサユニット内から除去されて安全
な状態に切り換えることができる。
手段が、圧力伝送器により検出された圧力が所定圧力以
上である場合に圧力異常と判断するため、ガス供給管路
内のガスを正確に検出して自動的に回収することが可能
になり、装置の安全状態を保持することができると共
に、大気汚染やガス臭を防止することができる。
構成図である。
チャートである。
構成図である。
チャートである。
チャートである。
Claims (2)
- 【請求項1】 圧縮されたガスを貯蔵するガス供給タン
クと、 一端が該ガス供給タンクに接続され、他端が被充填タン
クの接続部に接続される接続部材を有するガス供給管路
と、前記ガス供給タンクと前記接続部材との連通・遮断を行
うガス供給開閉弁と、 前記ガス供給管路の前記ガス供給開閉弁と前記接続部材
との間に残留するガスを回収する回収タンクと、 一端が前記ガス供給管路の前記ガス供給開閉弁と前記接
続部材との間に接続され、他端が前記回収タンクに接続
された回収管路と、前記ガス供給開閉弁と前記接続部材との間の前記ガス供
給管路と、前記回収タンクとの連通・遮断を行う脱圧開
閉弁と、 前記ガス供給管路内の圧力を検出する圧力伝送器と、 前記圧力伝送器により検出された圧力から圧力異常であ
るか否かを判断し、圧力異常であると判断した場合に
は、前記ガス供給開閉弁を閉弁させると共に、前記脱圧
開閉弁を開弁させる異常検出手段と、 よりなることを特徴とするガス供給装置。 - 【請求項2】 前記異常検出手段は、前記圧力伝送器に
より検出された圧力が所定圧力以上である場合に圧力異
常と判断することを特徴とする請求項1記載のガス供給
装置。
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JP20399594A JP3538232B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | ガス供給装置 |
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JP20399594A JP3538232B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | ガス供給装置 |
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JPH0868495A JPH0868495A (ja) | 1996-03-12 |
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