JP3537143B2 - エレクトロニクス用感圧接着テープ - Google Patents
エレクトロニクス用感圧接着テープInfo
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Description
技術分野
発明の背景
発明の分野
本発明は、電気伝導性または静電帯電の除去を必要と
する応用分野、特に大規模なロボットのプリント回路基
板プラントおよびチッププラントで有用な、着脱可能な
帯電防止用微粒子感圧接着テープに関する。これらの接
着テープは、付着力は低いが、静電帯電の蓄積を防止す
る際だった能力を提供し、ウェーハを正確に薄切し、接
着剤がチップに移動することなく個々のチップを容易に
剥離することを可能にする。 技術に関する説明 帯電防止用接着剤組成物は、表面実装成分をプリント
回路基板上の各ポイントに、たとえば、はんだ付けによ
って、伝導性があるように取り付けるのに有用である。
帯電防止用接着剤は、選択された基材に被覆されて適切
に加工されると、帯電防止用感圧接着テープになる。こ
のテープは、電子機器業界の様々な用途に有用である。 半導体製造業界に非常に重要な帯電防止用テープの一
用途は、個々のチップをダイアモンド鋸でウェーハの厚
さの60〜80％に薄切するダイ薄切工程により新たに製造
されたウェーハの接着、およびチップが欠陥品であるか
どうかを決定するための試験過程を介した連続接着であ
る。つぎに、良好なチップをウェーハからきれいに切り
取り、テープ裏材からはずすことが必要である。 すでに利用できる帯電防止用テープに伴う問題は、帯
電防止特性が十分に強くないこと、すなわち、チップを
剥離するときに余りにも多くの電荷が存在すると、損傷
を引き起こすか、接着力が強くない加工中、チップを保
持できるほど強くないかのいずれかであることである。 もう１つの問題は、テープへのウェーハの接着力は、
接着剤残留物を残さずに、切断されたチップをウェーハ
から完全に分離し、併せて手作業または機械的手段によ
って接着テープから剥離することが可能なほど低くなけ
ればらないが、切断工程中、ウェーハを適所に保持でき
るほど強くなければならないことである。ウェーハが移
動すれば、薄切はきれいでななくなり、やはりチップに
損傷をきたす。 最後に、通常は、テープからチップが「はじける」ま
で、テープの一部を曲げるかまたはチップを保持してい
る面と反対側のテープの面に圧力を加えることによって
チップをテープからはずす。有用であるためには、テー
プ裏材はこの過程中に裂けないぐらい柔軟でなければな
らず、裏材と接着剤との間の接着力は、接着剤とチップ
との間の接着力より強くなければならない。これらの特
性のうちどちらかが不十分であれば、接着剤の一部かテ
ープの一部がチップ上に残存し、これによって、上述の
事物が是正される間、製造ラインが減速または停止する
か、あるいはチップを電子装置に適切に貼り付けること
ができない。 帯電防止用接着テープ組成物を作成するための方法
は、数多く知られている。一般的な一方法は、伝導部分
を従来の接着製剤に加える方法である。帯電防止種は、
電気伝導性金属や炭素粒子など、伝導性材料として導入
することが可能である。この種の組成物は、欧州027669
1A、欧州0518722A、米国特許第4,606,962号、欧州04229
19A、米国特許第3,104,985号、米国特許第4,749,612
号、米国特許第4,548,862号を含め、従来技術参考文献
に開示されている。 イオン物質を加えて静電帯電の発生を減少させる方法
も周知である。この種の適当な材料としては、日本国特
許JP 61,272,279号および日本国特許JP 63,012,681号に
開示されているイオン伝導種などがある。 米国特許第4,098,945号は伝導組成物を開示してお
り、この組成物はポリマー結合剤系、この系に分散され
た多数の不溶性球形ドメイン、およびこの組成物を介し
て伝導経路を提供する結合剤中に分散された少なくとも
１種の電気伝導性フィラーを含む。球形ドメインは、好
ましくは接着微小球であり、これを使用すると、伝導フ
ィラーの使用量が減少する。 さらに別種の帯電防止テープ材料は、金属箔テープ裏
材を使用して提供される。この１例は、米国特許第3,49
7,383号に記載されており、接着剤表面から金属接触点
が突出した型押し箔テープを提供する。 現在、すぐれた性能に必要な特性を全てそなえたテー
プはなく、接着力が低いテープは、接着力を低減させる
ためにフィラーが使用されており、これによって伝導特
性が変化する傾向があるため、その帯電防止特性はあま
り有効ではなく、また、すぐれた帯電特性を備えたテー
プは、所望のものより接着力が高いと考えられる。 意外なことに、本発明は、ウェーハを適所に保持し、
しかも、要望に応じて、切断された各チップに易着脱性
を与える、着脱可能な接着テープを提供する。さらに、
本発明のテープは、ひときわすぐれた帯電防止特性を与
え、したがって、チップをテープからはずすとき、現在
入手できるあらゆる製品より顕著に低い帯電を示す。 本発明の材料の独特な特性は、各微粒子の表面に高分
子電解質錯体を有するポリマー微粒子を使用することに
よって得られる。 ポリエチレンオキシド（PEO）の錯体およびリチウム
塩類は、固体体状の高分子電解質として有望な材料であ
ることが判明している。Gilmourらは、Electrochemical
Society,89−94,（1989）の中で、高エネルギーリチウ
ム電池の開発に、これらの材料を使用することを考え
た。リチウム塩類は、WO 8,303,322、米国特許第4,471,
037号およびフランス第2,568,574で開示されているもの
と同様、PEOと共に最もよく高分子電解質に使用されて
いる。米国特許第5,162,174号に記載の通り、アルカリ
土類金属塩など、他の金属塩類も電解質特性を増強す
る。高分子電解質の応用分野は、エネルギー貯蔵電池が
主眼であったものが、エレクトロクロミックディスプレ
ーなど、他の分野で使用することや、伝導性成形品の生
産に成形樹脂を加えることへと拡大した。 本発明の接着剤は、適当な基材に被覆してテープ形式
に加工すると、静電帯電の消散に極めて有効であり、か
つ加工中、チップをテープに保持するのに十分なレベル
ではあるが、剥離を妨げるほど高くはないレベルの接着
力を有する帯電防止テープを提供する。この帯電防止テ
ープは、裏材と接着剤との間の優秀な接着力も示し、テ
ープからはがす間に接着剤がチップに移動するのを減少
させる。 粒状接着剤は先行技術上周知であって、様々な基材に
被覆されており、低レベルの接着力、すなわち着脱性を
必要とする応用分野で主として使用されている。このよ
うは球体、および移動可能特性を具有するエアゾール接
着剤系におけるその使用は、米国特許第3,691,140（Sil
ver）に開示されている。上述の微粒子は、乳化剤の存
在下、アルキルアクリレートモノマーと、イオンコモノ
マー、たとえばメタクリル酸ナトリウムとの水性懸濁重
合によって調製される。微粒子の凝結および凝集を防止
するには、水溶性の、実質的に油不溶性イオンコポリマ
ーが非常に重要である。しかし、先行技術で開示されて
いる粒状接着剤はすべて、Post−ItTMブランドのメモ用
紙や他の脱着可能品などの応用分野での移動可能な接着
剤として有用であった。しかし、この種の接着剤を用い
た感圧テープは、剥離しやすいため、帯電防止テープと
して使用するのに適当であると考えられていなかった。 さらに、このような接着剤は水分散性であり、そのた
め、ロボットプリント回路基板製造のウェーハダイシン
グ操作における水洗工程に耐えられなかった。 しかし、電子工学工程中ずっと接着しているのに十分
な接着力を有し、それにもかかわらず低摩擦帯電特性を
保持している表面伝導ポリマー粒子接着剤を提供するこ
とが可能なことがわった。 意外なことに、本発明の接着剤およびテープは、膨張
したりひびがはいったりすることなく水洗に耐えること
ができると同時に、移動可能性および低摩擦帯電特性を
保持することができる。 発明の開示 発明の概要 本発明は、テープの少なくとも１つの主要表面上に、
本質的に粘着性の、伝導性、溶剤不溶性、溶剤分散性、
ポリマーエラストマー微粒子から形成される非摩擦帯電
性微小球接着剤を担持する柔軟なポリマーフィルム支持
体を含む、着脱可能な耐水性帯電防止感圧接着テープを
提供する。このテープは、高湿および水に対する抵抗性
と共に裏材の低接着力および柔軟性を必要とする、半導
体製造に特に有用である。 有用な、着脱可能な微小球感圧接着テープは、イオン
伝導性高分子電解質、好ましくはポリエチレンオキシド
の鎖から成る表面を有するアクリレート粒子または改質
アクリレート粒子を含む。微粒子は、要望に応じて、中
実または中空であってもよい。 さらに、詳細には、本発明は、対向する表面を有する
柔軟な基材を含み、少なくとも１つの表面は、その上に
高分子電解質系ポリマー、およびアルカリ金属の塩類お
よびアルカリ土類金属の塩類から成る群から選択される
少なくとも１種のイオン塩から形成されるイオン伝導材
料を担持する表面を有する微粒子から成る着脱可能なア
ジリジン架橋微粒子接着剤を担持し、前記微粒子の平均
直径は少なくとも１μｍであり、前記接着剤のスチール
に対する接着力は0.5ニュートン/100mm（N/100mm）〜10
N/100mmである、ウェーハダイシングテープとして使用
するのに適当な耐水性帯電防止感圧接着テープを提供す
る。 本発明のテープに有用な好ましい感圧接着剤は、以下
のものを含む諸モノマー100部を含む本質的に接着性
の、溶剤不溶性、溶剤分散性、ポリマーエラストマー微
粒子を含む。 ａ）アルキル（メタ）アクリレートエステル類およびビ
ニルエステル類から選択された少なくとも１種のモノマ
ー70〜99部 および ｂ）少なくとも１種の極性モノマー15重量部まで ｃ）高分子電解質0.1〜10部 ｄ）アルカリ金属の塩類およびアルカリ土類金属の塩類
から成る群から選択された少なくとも１種のイオン塩0.
05〜3.0部 および ｅ）アジリジン架橋剤0.01〜2.0部。 好ましい微粒子は、高分子電解質系ポリマーとしてポ
リエチレンオキシドを使用して表面高分子電解質錯体を
形成する。 本願明細書で使用する用語は、以下の意味を持つ。 1. 用語「高分子電解質」は、受容体原子と関連がある
電子供与原子を含むポリマー種を意味する。 2. 用語「高分子電解質系ポリマー」は、微粒子の形成
中に高分子電解質を形成することができるポリマーを意
味する。 3. 用語「高分子電解質機能単位」は、電子供与種を含
む基を意味する。 4. 用語「微粒子」は、直径１〜250μｍの粒子を意味
する。 5. 用語「摩擦帯電」は、分離可能な表面間の摩擦に関
連した、静電帯電発生を意味する。 6. 用語「小滴」は、重合完了前の液状の微粒子を意味
する。 7. 用語「空洞」は、乾燥前の未だ懸濁液媒体または分
散媒体中にあるとき、したがって、使用した媒体は何で
も含んでいるときの、小滴または微粒子の壁内の空間を
意味する。 8. 用語「空隙」は、重合微粒子の壁内の完全に空の空
間を意味する。 9. 用語「中空」は、空洞または空隙を少なくとも１個
含むことを意味する。 10. 用語「中実」は、空隙または空洞がないことを意
味する。 11. 用語「アルキル（メタ）アクリレート」は、アル
キルアクリレートまたはアルキルメタクリレートを意味
する。 12. 用語「改質表面」は、下塗、被覆または表面の最
初の特性を変化させるような化学処理や放射線処理など
の処理を施した表面を意味する。 13. 用語「ウェーハ」は、多くの集積回路からなる大
きなディスクを意味する。 14. 用語「チップ」は、個々の集積回路を意味する。 本願明細書で使用する部、パーセント、および部分
は、特別に他の記載がなければ、すべて重量による。 発明の詳細な説明 本発明のテープは、電流の輸送や静電帯電の防止が重
要である様々な用途に使用するのに適する。しかし、本
発明のテープは、プリント回路基板業界において、一般
に「ウェーハダイシング」と呼ばれる用途に特に有用で
ある。このプロセスは、ウェーハを表面に置き、次にウ
ェーハを個々の集積回路、すなわち「チップ」に薄切す
る。これらのチップは、電子部品に個別に有用である。
このチップは、手で、あるいはロボットアームで移動さ
せたときに弛んだり床に落下しない十分な力で基材に保
持されなければならない。しかし、基材に対する接着力
は、所望の時にはずすことができ、且つより低い表面で
接着力増強が全く起こらないほど低くなければならな
い。一般に、基材を曲げてチップを基材から「はじけさ
せる」ことによってはずすので、そのためには、接着テ
ープはチップが接着テープから容易にはじけることがで
きるほど柔軟でなければならない。 摩擦帯電に対する感受性が著しく少ない粒状接着剤組
成物を調製することが可能である。接着テープの形の場
合、上述の組成物はウェーハダイシング操作、ならびに
取り外しの容易さおよびテープ裏材に対する接着剤の完
全性と共に鋭敏な電子部品の保護が不可欠な他の類似し
た応用分野で、極めて有用である。 有効な微粒子接着剤のスチールに対する接着強さは、
0.5N/100mmから10N/100mmであり、好ましくは1N/100mm
から5N/100mmである。 有用は微粒子は、アルキルアクリレートモノマーまた
はメタクリルアクリレートモノマー、特に、アルキル基
の炭素原子が４〜14個である非第三級アルキルアルコー
ル類の一官能価不飽和アクリレートエステルまたは一官
能価不飽和メタクリレートエステルを含む。このような
アクリレートは、親油性、かつ水乳化性であり、水溶解
性は限定されており、さらに、ホモポリマーとしてのガ
ラス転移温度は一般に約−20℃未満である。このクラス
のモノマーとしては、たとえば、イソオクチルアクリレ
ート、４−メチル−２−ペンチルアクリレート、２−メ
チルブチルアクリレート、イソアミルアクリレート、se
c−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、２
−エチルヘキシルアクリレート、イソデシルメタクリレ
ート、イソノニルアクリレート、イソデシルアクリレー
トなどの、単独または混合物の状態のものが含まれる。 好ましいアクリレートとしては、イソオクチルアクリ
レート、イソノニルアクリレート、イソアミルアクリレ
ート、イソデシルアクリレート、２−エチルヘキシルア
クリレート、ｎ−ブチルアクリレート、sec−ブチルア
クリレート、およびそれらの混合物がある。結果として
得られるポリマーのガラス転移温度が約−20℃未満であ
れば、ホモポリマーとしてのガラス転移温度が約−20℃
より高いアクリレートモノマーまたはメタクリレートモ
ノマー、または他のビニルモノマー、たとえば、tert−
ブチルアクリレート、酢酸ビニルなどを、１種以上のア
クリレートモノマーまたはメタクリレートモノマーと一
緒にに使用することが可能である。 有用なビニルエステルモノマーは、ガラス転移温度が
約10℃未満のホモポリマーを形成するものである。この
ようなエステル類は、１〜14個の炭素原子を含み、ビニ
ル２−エチルヘキサノエート、ビニルカプロエート、ビ
ニルラウレート、ビニルペラルゴネート、ビニルヘキサ
ノエート、ビニルプロピオネート、ビニルデカノエー
ト、ビニルオクタノエートなどがある。 有用な極性モノマーとしては、Ｎ−ビニル−２−ピロ
リドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アクリロニトリ
ル、ビニルアクリレート、ジアリルフタレートなどの中
等度極性モノマー、ならびにアクリル酸、メタクリル
酸、イタコン酸、ヒドロキシアルキルアクリレート類、
シアノアルキルアクリレート類、アクリルアミド類、置
換アクリルアミド類などの強極性モノマーがある。複数
の極性モノマーを使用するとき、類似した極性または異
なった極性を有する諸モノマー、たとえば、中等度極性
モノマー１種と強極性モノマー１種、または１群のモノ
マー２種を含んでもよい。 伝導性微粒子およびそれらから作られる感圧接着剤
は、少なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエ
ステルまたはビニルエステルを少なくとも70重量部と、
相応じて、１種以上の極性モノマーを最高20重量部含
む。 本発明で使用するのに適した高分子電解質系ポリマー
としては、ポリエチレンオキシド、ポリフェニレンオキ
シド、硫化ポリフェニレン、硫化ポリエチレン、ポリエ
チレンイミン、ポリプロピレンオキシド、ポリブチレン
オキシド、硫化ポリブチレン、ポリブチレンイミンなど
がある。ポリエチレンオキシドが好ましい。本発明の微
粒子中の高分子電解質系ポリマーの有用量は、モノマー
重量100部を基準にして、0.1部から10部、好ましくは１
部から５部の範囲である。 ポリマー微粒子の伝導特性は、この微粒子を含む接着
剤組成物にイオン塩類を加えることによってさらに増強
される。イオン塩類は、非晶質ポリマードメインに存在
する電子供与基と会合すると考えられる。接着剤は、少
なくとも１種のアルカリ金属の塩またはアルカリ土類金
属の塩を、高分子電解質基本単位１モル当たり0.01モル
から10モル、あるいはモノマー100部当たり0.05部から
3.0部含む。 この目的で使用される塩類としては、NaI、NaSCN、Ba
CF3SO3、NaBr、NaClO4、LiCl、LiNO3、LiCF3SO3、LiS
O4、LiN（SO2CF3）２、LiOHおよびKOHを含め、アルカリ
金属の塩類、およびアルカリ土類金属の塩類があるが、
これらに限定されるものではない。本発明にはリチウム
塩類、特に硝酸リチウムが好ましい。 必要な耐水性を示すために、この組成物はアジリジン
架橋剤も含む。有用なアジリジン類としては、共にiPrO
H中10％溶液として「XAMA」という商品名で、すなわ
ち、XAMA−２およびKAMA−７という商品名でB.F.Goodri
ch,Specialty Chemicalsから入手できるペンタエリトリ
トール−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオ
ネート）、およびトリメチロールプロパン−トリス−
（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオネート）、Zeneca
Resinsから「CX−100」として入手できるトリメチロー
ルプロパン−トリス−（β−（Ｎ−メチルアジリジニ
ル）プロオネート）、および上述の１種以上の混合物が
ある。意外なことに、このようなアジリジン類を使用す
ると、必要とする接着力と着脱性の均衡を維持しなが
ら、必要な耐水性が得られる。アジリジン類は、モノマ
ー100部当たり0.01部から２部の量で存在する。 さらに、たとえば、ブタンジオールジアクリレートや
ヘキサンジオールジアクリレートなど、多官能価（メ
タ）アクリレートなどの架橋剤や、ジビニルベンゼンな
ど、他の多官能価架橋剤を含んでもよい。架橋剤を使用
する場合、重合可能組成物総計の１％までのレベル、好
ましくは0.5％までのレベルで架橋剤を加える。 本発明のテープは、類似した化学成分の連続層と劇的
に異なる摩擦帯電特性を示す。たとえば、アクリレート
系懸濁液接着剤をフィルム基材に被覆すると、二次元の
表面を有する連続フィルムを生じる。貼付時および二次
元の表面からはずす際に、この接着テープは接着剤の表
面および接着テープが接着される二次元の表面に電荷種
を発生させる。残留帯電は、最高数千ボルトの強さであ
る。しかし、本発明の接着テープ試料は、類似した条件
下で二次元の表面からはすず際に、帯電をほぼ全く生じ
なかった。 理論に縛られずに、接着剤の改善された特性は、その
粒子の性質の２面に起因すると考えられる。第一に、粒
子は接着剤層と二次元平面との全面接触を妨げる。接着
面積が減少すると、テープを二次元平面からはずすとき
の分離面積が減少し、したがって、電荷種が発生する傾
向が低下する。第二に、各微粒子上で利用できる伝導種
の表層がある。この表層は、帯電の伝導を促進する材料
によって供給される。球形のホストポリマーを供給する
と、電子供与重合体鎖の有効性が上昇する。 また、相対的非晶質ドメイン数を増加させるように、
鎖の長さをより適切な制御を行うことが可能である。こ
れによって、より効率の良い電流伝導を可能にする伝導
部位のより大きいネットワークが得られる。 本発明の感圧接着剤の電気的特性は、幾らか抵抗性の
物質から著しく伝導性の物質まで様々である。 微粒子接着剤および微粒子を含む乳剤は、様々な乳化
方法で調製することが可能であり、その方法は、中空微
粒子か中実微粒子のいずれが望ましいかによって異な
る。中空微粒子の水性懸濁液は、「２工程」乳化工程で
調製することが可能であり、その第１工程では、油層モ
ノマー中極性モノマー（類）水溶液の油中水乳剤、すな
わち、親水性疎水性比（HLB）の値が低い乳化を使用
し、高分子電解質系ポリマーを用いて、少なくとも１種
のアクリレートエステルモノマーまたはビニルエステル
モノマーを形成する。適当な乳化剤は、HLB値が約７未
満、好ましくは２〜７の範囲のものである。このような
乳化剤の例としては、ソルビタンモノオレエート、ソル
ビタントリオレエート、およびAtlas Chemical Industr
ies,Incから入手可能なBriJTM93などのエトキシル化オ
レイルアルコールがある。 このように、この第一工程で、油層モノマー（類）、高
分子電解質系ポリマー、乳化剤、ラジカル開始剤、およ
び架橋モノマーまたはモノマー類を結合させ、極性モノ
マー（類）の全部または一部の水溶液を攪拌し、油層混
合物に注いで油中水乳剤を形成する。この高分子電解質
系ポリマーは、油層または水層のいずれかに加えてもよ
い。増粘剤、たとえばメチルセルロースを油中水乳剤の
水性層に含めることも可能である。第二の工程で、第一
工程の油中水乳剤を、HLB値が６より大きい乳化剤を含
む水性層に分散させることによって、水中油中水乳剤を
形成する。水性層は、工程１で加えなかった極性モノマ
ー（類）を任意の比率で含んでもよい。このような乳化
剤の例としては、エトキシル化ソルビタンモノオレエー
ト、エトキシル化ラウリルアルコール、硫酸アルキル類
などがある。両工程で、乳化剤を使用するとき、その濃
度は、本願明細書でミセルの形成、すなわち、乳化剤分
子の超顕微鏡的凝集に必要な乳化剤の最小濃度と定義さ
れている、臨界ミセル濃度より高くなければならない。
臨界ミセル濃度は各々の乳化剤で僅かに異なり、使用可
能な濃度は1.0×10-4〜3.0モル／リットルの範囲であ
る。水中油中水乳剤、すなわち、多重乳剤の調製に関す
るさらなる詳細は、様々な参考文献、たとえば、Surfac
tant Systems:Their Chemistry,Pharmacy,＆ Biology,
（D.Attwood and A.T.Florence,Chapman ＆ Hall Limit
ed,New York,New York,1983）に記載されている。 この方法の最終処理工程では、熱または放射線を適用
してモノマー類の重合を開始する。有用な開始剤は、通
常、アクリレートエステルモノマーまたはビニルエステ
ルモノマーのラジカル重合に適しており、かつ油溶性で
水に対する溶解度が非常に低いものである。しかし、極
性モノマーがＮ−ビニルピロリドンの場合、ベンゾイル
ペルオキシドを開始剤として使用することが推奨され
る。 このような開始剤の例としては、アゾ化合物、ヒドロ
ペルオキシド類、ペルオキシド類などと、ベンゾフェノ
ン、ベンゾインエチルエーテル、2,2ジメトキシ−２−
フェニルアセトフェノンなどの光開始剤がある。 水溶性重合開始剤を使用すると多量のラテックスが形
成される。粒子サイズが極めて小さいラテックス粒子に
よって、望ましくないラテックスがかなり形成される。
開始剤は一般に重合可能組成物総重量の0.01重量％から
10重量％まで、好ましくは５重量％までの範囲の量で使
用される。 中空伝導性微粒子の水性懸濁液は、乳化中および重合
中、実質的に安定である油中水乳剤を小滴内部に作るこ
とができる少なくとも１種の乳化が存在する条件下、少
なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエステル
モノマーまたはビニルエステルモノマーと、少なくとも
１種の極性モノマーおよび高分子電解質系ポリマーの水
性懸濁重合を含む「一工程」乳化方法で調製することが
可能である。２工程乳化方法の場合と同様、乳化剤は、
その臨界ミセル濃度より高い濃度で使用する。一般に、
高HLB乳化剤を必要とする。すなわちHLB値が少なくとも
25の乳化剤を使用すると、重合中ずっと安定した空洞含
有小滴を生じ、この一工程方法に使用するのに適してい
る。このような乳化剤の例としては、たとえばRohm and
Hassから入手可能なTritonTMW/30などのアルキルアリ
ールエーテル硫酸ナトリウムなどの硫酸アルキルアリー
ルエーテル類、硫酸アルキルアリールポリ（エチレンオ
キシド）類、好ましくはエチレンオキシ反復単位を約４
個まで有するもの、などの硫酸アルキルアリールポリエ
ーテル類、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アン
モニウム、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ヘキサ
デシル硫酸ナトリウムなどの硫酸アルキル、ラウリルエ
ーテル硫酸アンモニウムなどの硫酸アルキルエーテル
類、硫酸アルキルポリ（エチレンオキシド）、好ましく
は、エチレンオキシ反復単位を約４個まで有するもの、
などの硫酸アルキルポリエーテル類などがある。硫酸ア
ルキル、硫酸アルキルエーテル、硫酸アルキルアリール
エーテルおよびそれらの混合物は、最小量の界面活性剤
で微粒子当たり最大空隙体積を提供するため、好まし
い。非イオン乳化剤、たとえば、Alcolac,Inc.から市販
されているSiponicTMY−500−70（エトキシル化オレイ
ルアルコール）やPluronicTM P103（BASF Corporation
から市販されているポリプロピレンオキシドとポリエチ
レンオキシドのブロックコポリマー）を、単独または陰
イオン乳化剤と一緒に使用することができる。ポリマー
安定剤は存在してもよいが、必要ではない。 本発明の接着テープに有用な中実微粒子は、懸濁重合
安定剤の存在下で、少なくとも１種のアルキル（メタ）
アクリートエステルモノマーまたはビニルエステルモノ
マー、少なくとも１種の極性モノマーおよび１種の高分
子電解質系ポリマーの水性懸濁重合を含む類似した一工
程方法で作ることが可能である。形成された小滴は空洞
含有小滴である必要がないため、高HLB乳化剤を使用す
る必要はない。このような有用な低HLB乳化剤の例とし
ては、Herculesから入手可能なStandapolTMAなどのラル
リル硫酸アンモニウムや、ポリビニルアルコール、ポリ
アクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリルアミド、
ポリビニルピロリドン、ポリビニルメチルエーテルな
ど、他の立体ポリマー安定剤や電気立体ポリマー安定剤
などがある。 微小球の調製は、高分子電解質系ポリマーの全部また
は一部、および極性モノマーの添加を、油層の重合開始
込まで差し控えることによって一部変更することが可能
であるが、しかし、100％ポリマー変換前に成分を重合
混合物に加えなければならない。 接着剤組成物の作成に関する、米国特許第3,691,140
号、第4,166,152号、第4,636,432号、第4,656,218号、
および第5,045,569号に開示されている懸濁重合によっ
て、分離した伝導性ポリマー微粒子を調製することも可
能である。 この伝導性微粒子は通常粘着性、エラストマー、不溶
性であるが、有機溶媒中で膨張可能であり、小さく、一
般に直径が少なくとも１μｍ、好ましくは１〜約250μ
ｍの範囲であり、さらに好ましくは１〜50μｍの範囲で
ある。伝導性微粒子は、中実であってもよく、空隙を１
個、または空隙を複数個含んでもよい。 重合後、室温条件で凝集または凝結に対して安定な微
粒子の水性懸濁液が得られる。この懸濁液は、非揮発性
固形物が10〜50重量％であってもよい。この懸濁液は、
長時間放置しておくと２層に分離し、１層は水性層で実
質的にポリマーを含まず、他層は伝導性微粒子の水性懸
濁液である。高HLB乳化剤を使用するとき、小滴は１個
以上の空洞を有し、これを乾燥すると空隙になる。両層
とも小さいラテックス粒子を若干含んでいることがあ
る。微粒子に富む層を傾瀉すると、非揮発性固形分が約
40〜50％の水性懸濁液が得られ、これを水と共に振盪す
ると、容易に再分散する。 要望に応じて、重合直後に伝導性微粒子の水性懸濁液
を使用して、低摩擦帯電特性を有する本質的に粘性の感
圧接着剤コーティング、すなわち「帯電防止」接着剤を
得ることができる。 ウェーハダイシング操作に特に有用な本発明のテープ
は、本発明の組成物を含む微粒子を柔軟な基材に被覆す
ることによって作成することができ、これは接着剤の離
層や裏材の裂けを引き起こさずにチップを「はじく」く
ことができるほど柔軟である。適当な基材としては、
（ポリ）塩化ビニリジエン、ポリエステル類、ポリエチ
レンテレフタレート、硫化ポリフェニレン、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ポリエーテルイミド、ポリエーテ
ルスルホンなどのポリマーフィルムなどがある。 被覆は、ナイフ塗布、マイヤー棒（Meyer bar）塗
布、ローレットロール塗布、および押出ダイの使用な
ど、コーティング接着剤に関する技術上周知の他の従来
の手段で実行することが可能である。 プライマーまたは結合剤を使用しても良いが、必要で
はない。好ましい実施態様は、接着剤と接着剤を接着す
る電子部品との間の接着力を超える裏材と接着剤との間
の接着力を確実にするための結合剤を含む。有用なプラ
イマーとしては、諸フェノール樹脂、諸アクリル樹脂、
諸ゴム状成分、諸ブロックコポリマーおよびそれらの混
合物などがある。 高温特性を必要とする場合、有用なプライマーは、少
なくとも１種のフェノール樹脂および少なくとも１種の
ゴム状成分を含む。有用なゴム状成分としては、ブチル
ゴムなどの天然ゴムや、アクリロニトリルブタジエン、
アクリロニトリルブタジエン−スチレンコポリマー類、
スチレン−ブタジエン−スチレン、スチレン−エチレン
ブチレン−スチレン、ポリクロロプレン、ポリブタジエ
ン、ポリイソプレン、スチレン−イソプレン−スチレ
ン、およびそれらの混合物を含む合成化合物があるが、
これに限定されるものではない。好ましいプライマー
は、アクリロニトリル−ブタジエンやポリクロロプレン
など、２種以上のゴム状化合物の混合物を含む。 有用なフェノール樹脂としては、Union CarbideからU
CAR BKR−2620、およびUCAR CK−1635の商品名で市販さ
れているフェノールホルムアルデヒド樹脂、ノボラック
樹脂などと、それらの混合物があるが、これに限定され
るものではない。好ましいポリマーは、ゴム状化合物10
0部当たりフェノール樹脂40〜120部、好ましくは40〜10
0部を含む。 プライマーを使用するとき、プライマーは増粘剤、酸
化防止剤、着色料、粘性調節剤などの添加物や、他の定
型的な添加物をさらに含んでもよく、技術上周知の量で
使用することが可能である。 テープは、ロールの形で商品化してもよく、ストリッ
プやラベルなど、売り物として切片に分割することも可
能である。さらに、接着剤を、２種の基材の間に供給す
ることも可能であり、たとえば、接着剤を紙基材に被覆
して、これをラベルとして使用することができ、個別に
使用するために、低接着力裏糊や他の容易に剥離するこ
とが可能な表面に提供することが可能である。 接着剤の接着力特性は、粘着付与樹脂または可塑剤ま
たはその両者を加えることによって変えることが可能で
ある。本願明細書で使用するのに好ましい粘着付与剤と
しては、Hercules Inc.などの会社からForalTM65、Fora
lTM85、およびForalTM105などの商品名で市販されてい
る水素化ロジンエステルなどがある。他の有用な粘着付
与剤としては、ｔ−ブチルスチレンを主成分とするもの
などがある。有用な可塑剤としてはジオクチルフタレー
ト、２−エチルヘキシルホスフェート、トリクレジルホ
スフェートなどがある。 顔料、補助的伝導性フィラーを含むフィラー、安定
剤、または様々な高分子添加物など、他の様々な成分を
本発明のテープに含めることも本発明の範囲内である。 本発明の上述の態様および他の態様を以下の実施例で
例証するが、これは範囲を限定する目的のものではな
い。 試験方法 帯電防止コーティングの抵抗率測定 抵抗率は、材料が電子を伝導する固有の力の尺度であ
る。抵抗率は、材料試料の寸法と無関係の特性である。 本発明のコーティングの表面抵抗率を、ケイスレー
（Keithley）616デジタル電位計（Keithley 6105抵抗率
アダプター）を500ボルト電源に接続し、電位計に取り
付けることによって測定した。ASTM D−257に従って標
準手順を使用して、個々の試料を測定した。 剥離接着強さ 剥離接着強さは、特定の角度および剥離速度で測定し
たときに、被覆された柔軟なシート材料を試験パネルか
ら剥離するのに必要な力である。実施例では、この力を
被覆シートセンチメートル（cm）幅当たりのグラムで表
す。次の手順に従って実施する。 幅1.27cmの被覆シートストリップを、少なくとも12.7
線cmのきれいなガラス製試験プレートの水平表面にしっ
かり接触させて貼付する。2kgの硬質ゴムローラーを使
用してこのストリップを貼付する。被覆ストリップの自
由端を、それ自身にほぼ接触するように二つの折りたた
むと、剥離の角度が180゜になる。自由端を接着力テス
タースケールに接着する。１分当たり2.3mの一定速度で
プレートをスケールから遠ざけることができる引張試験
機械の顎部にスチール製テストプレートを締め付ける。
テープがスチール表面から剥離したときのスケールの示
度をグラムで記録する。試験中に確認された数値の範囲
の平均としてデータを記録する。 ウェーハダイシングテープ実行 有用なウェーハダイシンテープは、個々の集積回路チ
ップを主ウェーハから分離する一連の加工工程に耐え
る。工程には、ウェーハ取り付け、鋸引き、洗浄、乾燥
およびダイ抜き取りが含まれる。 ウェーハ取り付け この工程は、集積回路ウェーハを接着テープに接着す
る工程と、テープを円形支持枠に接着する工程と、余分
なテープを支持枠の外周から切り取る工程を組み合わせ
る。 ウェーハ鋸引き ウェーハ鋸引きユニットには、個々のチップまたはダ
イを明確にするために線に沿ってウェーハに刻み目を入
れるコンピュータ制御ダイアモンド鋸が含まれる。ウォ
ータージェット洗浄によって、接着剤が水の攻撃に耐
え、かつウェーハ上にしっかり固定されていることを必
要とする切断操作中に、冷却と洗浄を行うことができ
る。 ウェーハ洗浄 ウェーハ鋸引きユニットからウェーハ洗浄部署に移し
た後、高性能ジェット水洗でウェーハおよびその関連支
持構造を洗浄する。これは、残留鋸屑を除去することに
よって清浄にする。その後、洗浄したアセンブリを乾燥
させてからダイ実装を行う。 ダイ抜き取り コンピュータ制御装置は、ウェーハ内に形成された選
択されたチップの後ろに力を振り向ける。この力は、ウ
ェーハのチップまたはダイの周囲に亀裂を生じさせ、ウ
ェーハからきれいに抜き取ってウェーハダイシングテー
プで剥離することができるほど十分にウェーハの本体か
らチップを剥離する。 材料表 硝酸リチウムは、蒸留水中20％溶液として供給される。 耐蝕剤ベンゾトリアゾールは、50/50 iPrOH/水中10％溶
液として供給される。 XAMA−７−iPrOH中10％溶液として供給されるペンタエ
リトリトール−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プ
ロピオネート）架橋剤 XAMA−２−iPrOH中10％溶液として供給されるトリメチ
ロールプロパン−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）
プロピオネート）架橋剤。 両架橋剤は共にB.F.Goodrich,Specialty Chemicals,P
erformance Resins and Emulsions Devisionから入手で
きる。CX−100−Zeneca Resisから入手できる、iPrOH中
10％溶液として供給されるトリメチロールプロパン−ト
リス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオネート）。 フィルム基材表 Ross ＆ RobertsのBlue PVCフィルム 3M CompanyのScotchcalTMフィルム（可塑化PVC） American Mirrexの透明PVC（Clear PVC）フィルム 二軸延伸ポリプロピレン（Biaxially Oriented Polypro
pylene（BOPP））フィルム BKR−2620 UCARと呼ばれる、Union Carbideのフェノー
ル樹脂 BKR−2620−フェノール−ホルムアルデヒド樹脂。 サンチバＡ酸化防止剤（SantivarA−Antioxidant）ジ−
第三級アミルヒドロキノン Piccolyte S115−ポリテルペン樹脂（粘着付与剤） ジレックス−亜鉛（Zirex−Zinc）樹脂（粘着付与剤） CK−1635 UCARと呼ばれる、Union Carbideのフェノール
樹脂（CK−1635）−フェノール−ホルムアルデヒド樹
脂。 本発明を実施するための最良の形態 実施例 微粒子の調製 実施例１ アクリル酸（5.4g）、ポリエチレンオキシドアクリレ
ート（PEO 750）（13.5g）、PEODMA（0.15g）および70
％ベンゾイルペルオキシド（0.99g）をイソオクチルア
クリレート（223.2g）に溶解した。この溶液を界面活性
剤水溶液に溶解した。界面活性剤溶液は、ガラス内張容
器内の脱イオン水（360g）に溶解した、Herculesから入
手できるStandapolTMA、（8.4g）を含んでいた。５に設
定したOmniミキサーを使用して、高剪断混合により、水
溶液中イソオクチルアクリレート溶液の乳剤を調製し
た。油性小滴の平均粒子サイズが約３μｍになるまで混
合を続けた。光学顕微鏡を使用してサイズを測定した。 結果として生じた水中油乳液を、じゃま板４枚、櫂形
攪拌器、および加熱マントルなどの適当な熱源を装備し
た１リットルガラス樹脂反応器に入れた。400rpmの速度
で連続的に攪拌しながら、反応器および内容物を60℃に
加熱した。 この時点で、反応器を窒素でガス抜きした。酸素不在
下で、反応を続行した。温度および攪拌速度を維持しな
がら、これを22時間続けた。結果として生じた水性懸濁
液は、直径約５μｍの不溶性粒子を含んでいた。 この粒状接着剤100部に、イオン伝導性を高めるため
にリチウム塩類の組合せを加え、pH調整のために水酸化
アンモニウムを、腐食阻止のためにベンゾトリアゾール
を、コーティングの耐水性を改善するために架橋剤を加
えた。各補助成分は、接着剤組成物にゆっくり入れて攪
拌し、被覆直前に完全に混合した。架橋剤を加えてから
１時間以内にコーティング組成物を使用すると最適コー
ティング成績が得られた。 試料４および５は、良好な耐水性を示した。好ましい組
成物のpHは2.5〜7.0であり、最も好ましい組成物のpHは
3.0〜7.0である。８以上の高pHでは、耐水性は劣ってい
た（試料６および７）。 プライマー溶液の調製 上述の樹脂、粘着付与剤および酸化防止剤を、メチル
エチルケトン、イソプロパノールおよびトルエンを含む
混合溶媒に溶解すると、フィルム支持体用プライマーコ
ーティングが得られる。プライマー溶液調製用に、攪拌
器を備えた従来の攪乳器、または類似した装置を使用す
ることが可能である。この溶液の透明度を検査し、必要
に応じて濾過する。 産業上の利用可能性 フィルム下塗 コーティングに先立って、プライマー組成物１部を、
2:1 トルエン:MEKの混合溶媒２部で希釈した。＃４マ
イヤー棒（Meyer bar）を使用して、PVCフィルムとScot
chcalTMフィルムの両者にプライマーを被覆した。プラ
イマー溶媒を77℃で約３分間蒸発させると、接着剤被覆
に適した、乾燥した下塗フィルムを生じる。乾燥したプ
ライマー層は厚さ約7.9×10-6mm〜1.2×10-5mmであっ
た。このプライマーを両フィルムに直接被覆した。 （プライマー塗布の代替手段は、約10線/mmのローレッ
トロールを装備したグラビアロールコーターを使用し、
75℃で乾燥する）。 接着剤コーティング 下塗した裏材に接着剤を塗布するための２法により、
ウェーハダイシングテープとして貼付するのに適した製
品が得られる。ScotchCalTMに接着剤を直接被覆し、す
なわち、＃12マイヤー棒を使用して下塗りした基面に接
着剤を直接塗布し、66℃で６分間乾燥させた。PVCをト
ランスファー法で被覆した、すなわち、ローレットロー
ル被覆を使用して、剥離ライナー上に厚さ１×10-4mmの
接着剤層を作成した。その後、下塗りしたフィルム表面
に接着剤層を移動させて、本発明の接着テープを作成し
た。 接着剤塗布の代替手段は、約3.5線/mmのローレットロ
ールを装備したグラビアロールコーターを使用する。
する応用分野、特に大規模なロボットのプリント回路基
板プラントおよびチッププラントで有用な、着脱可能な
帯電防止用微粒子感圧接着テープに関する。これらの接
着テープは、付着力は低いが、静電帯電の蓄積を防止す
る際だった能力を提供し、ウェーハを正確に薄切し、接
着剤がチップに移動することなく個々のチップを容易に
剥離することを可能にする。 技術に関する説明 帯電防止用接着剤組成物は、表面実装成分をプリント
回路基板上の各ポイントに、たとえば、はんだ付けによ
って、伝導性があるように取り付けるのに有用である。
帯電防止用接着剤は、選択された基材に被覆されて適切
に加工されると、帯電防止用感圧接着テープになる。こ
のテープは、電子機器業界の様々な用途に有用である。 半導体製造業界に非常に重要な帯電防止用テープの一
用途は、個々のチップをダイアモンド鋸でウェーハの厚
さの60〜80％に薄切するダイ薄切工程により新たに製造
されたウェーハの接着、およびチップが欠陥品であるか
どうかを決定するための試験過程を介した連続接着であ
る。つぎに、良好なチップをウェーハからきれいに切り
取り、テープ裏材からはずすことが必要である。 すでに利用できる帯電防止用テープに伴う問題は、帯
電防止特性が十分に強くないこと、すなわち、チップを
剥離するときに余りにも多くの電荷が存在すると、損傷
を引き起こすか、接着力が強くない加工中、チップを保
持できるほど強くないかのいずれかであることである。 もう１つの問題は、テープへのウェーハの接着力は、
接着剤残留物を残さずに、切断されたチップをウェーハ
から完全に分離し、併せて手作業または機械的手段によ
って接着テープから剥離することが可能なほど低くなけ
ればらないが、切断工程中、ウェーハを適所に保持でき
るほど強くなければならないことである。ウェーハが移
動すれば、薄切はきれいでななくなり、やはりチップに
損傷をきたす。 最後に、通常は、テープからチップが「はじける」ま
で、テープの一部を曲げるかまたはチップを保持してい
る面と反対側のテープの面に圧力を加えることによって
チップをテープからはずす。有用であるためには、テー
プ裏材はこの過程中に裂けないぐらい柔軟でなければな
らず、裏材と接着剤との間の接着力は、接着剤とチップ
との間の接着力より強くなければならない。これらの特
性のうちどちらかが不十分であれば、接着剤の一部かテ
ープの一部がチップ上に残存し、これによって、上述の
事物が是正される間、製造ラインが減速または停止する
か、あるいはチップを電子装置に適切に貼り付けること
ができない。 帯電防止用接着テープ組成物を作成するための方法
は、数多く知られている。一般的な一方法は、伝導部分
を従来の接着製剤に加える方法である。帯電防止種は、
電気伝導性金属や炭素粒子など、伝導性材料として導入
することが可能である。この種の組成物は、欧州027669
1A、欧州0518722A、米国特許第4,606,962号、欧州04229
19A、米国特許第3,104,985号、米国特許第4,749,612
号、米国特許第4,548,862号を含め、従来技術参考文献
に開示されている。 イオン物質を加えて静電帯電の発生を減少させる方法
も周知である。この種の適当な材料としては、日本国特
許JP 61,272,279号および日本国特許JP 63,012,681号に
開示されているイオン伝導種などがある。 米国特許第4,098,945号は伝導組成物を開示してお
り、この組成物はポリマー結合剤系、この系に分散され
た多数の不溶性球形ドメイン、およびこの組成物を介し
て伝導経路を提供する結合剤中に分散された少なくとも
１種の電気伝導性フィラーを含む。球形ドメインは、好
ましくは接着微小球であり、これを使用すると、伝導フ
ィラーの使用量が減少する。 さらに別種の帯電防止テープ材料は、金属箔テープ裏
材を使用して提供される。この１例は、米国特許第3,49
7,383号に記載されており、接着剤表面から金属接触点
が突出した型押し箔テープを提供する。 現在、すぐれた性能に必要な特性を全てそなえたテー
プはなく、接着力が低いテープは、接着力を低減させる
ためにフィラーが使用されており、これによって伝導特
性が変化する傾向があるため、その帯電防止特性はあま
り有効ではなく、また、すぐれた帯電特性を備えたテー
プは、所望のものより接着力が高いと考えられる。 意外なことに、本発明は、ウェーハを適所に保持し、
しかも、要望に応じて、切断された各チップに易着脱性
を与える、着脱可能な接着テープを提供する。さらに、
本発明のテープは、ひときわすぐれた帯電防止特性を与
え、したがって、チップをテープからはずすとき、現在
入手できるあらゆる製品より顕著に低い帯電を示す。 本発明の材料の独特な特性は、各微粒子の表面に高分
子電解質錯体を有するポリマー微粒子を使用することに
よって得られる。 ポリエチレンオキシド（PEO）の錯体およびリチウム
塩類は、固体体状の高分子電解質として有望な材料であ
ることが判明している。Gilmourらは、Electrochemical
Society,89−94,（1989）の中で、高エネルギーリチウ
ム電池の開発に、これらの材料を使用することを考え
た。リチウム塩類は、WO 8,303,322、米国特許第4,471,
037号およびフランス第2,568,574で開示されているもの
と同様、PEOと共に最もよく高分子電解質に使用されて
いる。米国特許第5,162,174号に記載の通り、アルカリ
土類金属塩など、他の金属塩類も電解質特性を増強す
る。高分子電解質の応用分野は、エネルギー貯蔵電池が
主眼であったものが、エレクトロクロミックディスプレ
ーなど、他の分野で使用することや、伝導性成形品の生
産に成形樹脂を加えることへと拡大した。 本発明の接着剤は、適当な基材に被覆してテープ形式
に加工すると、静電帯電の消散に極めて有効であり、か
つ加工中、チップをテープに保持するのに十分なレベル
ではあるが、剥離を妨げるほど高くはないレベルの接着
力を有する帯電防止テープを提供する。この帯電防止テ
ープは、裏材と接着剤との間の優秀な接着力も示し、テ
ープからはがす間に接着剤がチップに移動するのを減少
させる。 粒状接着剤は先行技術上周知であって、様々な基材に
被覆されており、低レベルの接着力、すなわち着脱性を
必要とする応用分野で主として使用されている。このよ
うは球体、および移動可能特性を具有するエアゾール接
着剤系におけるその使用は、米国特許第3,691,140（Sil
ver）に開示されている。上述の微粒子は、乳化剤の存
在下、アルキルアクリレートモノマーと、イオンコモノ
マー、たとえばメタクリル酸ナトリウムとの水性懸濁重
合によって調製される。微粒子の凝結および凝集を防止
するには、水溶性の、実質的に油不溶性イオンコポリマ
ーが非常に重要である。しかし、先行技術で開示されて
いる粒状接着剤はすべて、Post−ItTMブランドのメモ用
紙や他の脱着可能品などの応用分野での移動可能な接着
剤として有用であった。しかし、この種の接着剤を用い
た感圧テープは、剥離しやすいため、帯電防止テープと
して使用するのに適当であると考えられていなかった。 さらに、このような接着剤は水分散性であり、そのた
め、ロボットプリント回路基板製造のウェーハダイシン
グ操作における水洗工程に耐えられなかった。 しかし、電子工学工程中ずっと接着しているのに十分
な接着力を有し、それにもかかわらず低摩擦帯電特性を
保持している表面伝導ポリマー粒子接着剤を提供するこ
とが可能なことがわった。 意外なことに、本発明の接着剤およびテープは、膨張
したりひびがはいったりすることなく水洗に耐えること
ができると同時に、移動可能性および低摩擦帯電特性を
保持することができる。 発明の開示 発明の概要 本発明は、テープの少なくとも１つの主要表面上に、
本質的に粘着性の、伝導性、溶剤不溶性、溶剤分散性、
ポリマーエラストマー微粒子から形成される非摩擦帯電
性微小球接着剤を担持する柔軟なポリマーフィルム支持
体を含む、着脱可能な耐水性帯電防止感圧接着テープを
提供する。このテープは、高湿および水に対する抵抗性
と共に裏材の低接着力および柔軟性を必要とする、半導
体製造に特に有用である。 有用な、着脱可能な微小球感圧接着テープは、イオン
伝導性高分子電解質、好ましくはポリエチレンオキシド
の鎖から成る表面を有するアクリレート粒子または改質
アクリレート粒子を含む。微粒子は、要望に応じて、中
実または中空であってもよい。 さらに、詳細には、本発明は、対向する表面を有する
柔軟な基材を含み、少なくとも１つの表面は、その上に
高分子電解質系ポリマー、およびアルカリ金属の塩類お
よびアルカリ土類金属の塩類から成る群から選択される
少なくとも１種のイオン塩から形成されるイオン伝導材
料を担持する表面を有する微粒子から成る着脱可能なア
ジリジン架橋微粒子接着剤を担持し、前記微粒子の平均
直径は少なくとも１μｍであり、前記接着剤のスチール
に対する接着力は0.5ニュートン/100mm（N/100mm）〜10
N/100mmである、ウェーハダイシングテープとして使用
するのに適当な耐水性帯電防止感圧接着テープを提供す
る。 本発明のテープに有用な好ましい感圧接着剤は、以下
のものを含む諸モノマー100部を含む本質的に接着性
の、溶剤不溶性、溶剤分散性、ポリマーエラストマー微
粒子を含む。 ａ）アルキル（メタ）アクリレートエステル類およびビ
ニルエステル類から選択された少なくとも１種のモノマ
ー70〜99部 および ｂ）少なくとも１種の極性モノマー15重量部まで ｃ）高分子電解質0.1〜10部 ｄ）アルカリ金属の塩類およびアルカリ土類金属の塩類
から成る群から選択された少なくとも１種のイオン塩0.
05〜3.0部 および ｅ）アジリジン架橋剤0.01〜2.0部。 好ましい微粒子は、高分子電解質系ポリマーとしてポ
リエチレンオキシドを使用して表面高分子電解質錯体を
形成する。 本願明細書で使用する用語は、以下の意味を持つ。 1. 用語「高分子電解質」は、受容体原子と関連がある
電子供与原子を含むポリマー種を意味する。 2. 用語「高分子電解質系ポリマー」は、微粒子の形成
中に高分子電解質を形成することができるポリマーを意
味する。 3. 用語「高分子電解質機能単位」は、電子供与種を含
む基を意味する。 4. 用語「微粒子」は、直径１〜250μｍの粒子を意味
する。 5. 用語「摩擦帯電」は、分離可能な表面間の摩擦に関
連した、静電帯電発生を意味する。 6. 用語「小滴」は、重合完了前の液状の微粒子を意味
する。 7. 用語「空洞」は、乾燥前の未だ懸濁液媒体または分
散媒体中にあるとき、したがって、使用した媒体は何で
も含んでいるときの、小滴または微粒子の壁内の空間を
意味する。 8. 用語「空隙」は、重合微粒子の壁内の完全に空の空
間を意味する。 9. 用語「中空」は、空洞または空隙を少なくとも１個
含むことを意味する。 10. 用語「中実」は、空隙または空洞がないことを意
味する。 11. 用語「アルキル（メタ）アクリレート」は、アル
キルアクリレートまたはアルキルメタクリレートを意味
する。 12. 用語「改質表面」は、下塗、被覆または表面の最
初の特性を変化させるような化学処理や放射線処理など
の処理を施した表面を意味する。 13. 用語「ウェーハ」は、多くの集積回路からなる大
きなディスクを意味する。 14. 用語「チップ」は、個々の集積回路を意味する。 本願明細書で使用する部、パーセント、および部分
は、特別に他の記載がなければ、すべて重量による。 発明の詳細な説明 本発明のテープは、電流の輸送や静電帯電の防止が重
要である様々な用途に使用するのに適する。しかし、本
発明のテープは、プリント回路基板業界において、一般
に「ウェーハダイシング」と呼ばれる用途に特に有用で
ある。このプロセスは、ウェーハを表面に置き、次にウ
ェーハを個々の集積回路、すなわち「チップ」に薄切す
る。これらのチップは、電子部品に個別に有用である。
このチップは、手で、あるいはロボットアームで移動さ
せたときに弛んだり床に落下しない十分な力で基材に保
持されなければならない。しかし、基材に対する接着力
は、所望の時にはずすことができ、且つより低い表面で
接着力増強が全く起こらないほど低くなければならな
い。一般に、基材を曲げてチップを基材から「はじけさ
せる」ことによってはずすので、そのためには、接着テ
ープはチップが接着テープから容易にはじけることがで
きるほど柔軟でなければならない。 摩擦帯電に対する感受性が著しく少ない粒状接着剤組
成物を調製することが可能である。接着テープの形の場
合、上述の組成物はウェーハダイシング操作、ならびに
取り外しの容易さおよびテープ裏材に対する接着剤の完
全性と共に鋭敏な電子部品の保護が不可欠な他の類似し
た応用分野で、極めて有用である。 有効な微粒子接着剤のスチールに対する接着強さは、
0.5N/100mmから10N/100mmであり、好ましくは1N/100mm
から5N/100mmである。 有用は微粒子は、アルキルアクリレートモノマーまた
はメタクリルアクリレートモノマー、特に、アルキル基
の炭素原子が４〜14個である非第三級アルキルアルコー
ル類の一官能価不飽和アクリレートエステルまたは一官
能価不飽和メタクリレートエステルを含む。このような
アクリレートは、親油性、かつ水乳化性であり、水溶解
性は限定されており、さらに、ホモポリマーとしてのガ
ラス転移温度は一般に約−20℃未満である。このクラス
のモノマーとしては、たとえば、イソオクチルアクリレ
ート、４−メチル−２−ペンチルアクリレート、２−メ
チルブチルアクリレート、イソアミルアクリレート、se
c−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、２
−エチルヘキシルアクリレート、イソデシルメタクリレ
ート、イソノニルアクリレート、イソデシルアクリレー
トなどの、単独または混合物の状態のものが含まれる。 好ましいアクリレートとしては、イソオクチルアクリ
レート、イソノニルアクリレート、イソアミルアクリレ
ート、イソデシルアクリレート、２−エチルヘキシルア
クリレート、ｎ−ブチルアクリレート、sec−ブチルア
クリレート、およびそれらの混合物がある。結果として
得られるポリマーのガラス転移温度が約−20℃未満であ
れば、ホモポリマーとしてのガラス転移温度が約−20℃
より高いアクリレートモノマーまたはメタクリレートモ
ノマー、または他のビニルモノマー、たとえば、tert−
ブチルアクリレート、酢酸ビニルなどを、１種以上のア
クリレートモノマーまたはメタクリレートモノマーと一
緒にに使用することが可能である。 有用なビニルエステルモノマーは、ガラス転移温度が
約10℃未満のホモポリマーを形成するものである。この
ようなエステル類は、１〜14個の炭素原子を含み、ビニ
ル２−エチルヘキサノエート、ビニルカプロエート、ビ
ニルラウレート、ビニルペラルゴネート、ビニルヘキサ
ノエート、ビニルプロピオネート、ビニルデカノエー
ト、ビニルオクタノエートなどがある。 有用な極性モノマーとしては、Ｎ−ビニル−２−ピロ
リドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アクリロニトリ
ル、ビニルアクリレート、ジアリルフタレートなどの中
等度極性モノマー、ならびにアクリル酸、メタクリル
酸、イタコン酸、ヒドロキシアルキルアクリレート類、
シアノアルキルアクリレート類、アクリルアミド類、置
換アクリルアミド類などの強極性モノマーがある。複数
の極性モノマーを使用するとき、類似した極性または異
なった極性を有する諸モノマー、たとえば、中等度極性
モノマー１種と強極性モノマー１種、または１群のモノ
マー２種を含んでもよい。 伝導性微粒子およびそれらから作られる感圧接着剤
は、少なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエ
ステルまたはビニルエステルを少なくとも70重量部と、
相応じて、１種以上の極性モノマーを最高20重量部含
む。 本発明で使用するのに適した高分子電解質系ポリマー
としては、ポリエチレンオキシド、ポリフェニレンオキ
シド、硫化ポリフェニレン、硫化ポリエチレン、ポリエ
チレンイミン、ポリプロピレンオキシド、ポリブチレン
オキシド、硫化ポリブチレン、ポリブチレンイミンなど
がある。ポリエチレンオキシドが好ましい。本発明の微
粒子中の高分子電解質系ポリマーの有用量は、モノマー
重量100部を基準にして、0.1部から10部、好ましくは１
部から５部の範囲である。 ポリマー微粒子の伝導特性は、この微粒子を含む接着
剤組成物にイオン塩類を加えることによってさらに増強
される。イオン塩類は、非晶質ポリマードメインに存在
する電子供与基と会合すると考えられる。接着剤は、少
なくとも１種のアルカリ金属の塩またはアルカリ土類金
属の塩を、高分子電解質基本単位１モル当たり0.01モル
から10モル、あるいはモノマー100部当たり0.05部から
3.0部含む。 この目的で使用される塩類としては、NaI、NaSCN、Ba
CF3SO3、NaBr、NaClO4、LiCl、LiNO3、LiCF3SO3、LiS
O4、LiN（SO2CF3）２、LiOHおよびKOHを含め、アルカリ
金属の塩類、およびアルカリ土類金属の塩類があるが、
これらに限定されるものではない。本発明にはリチウム
塩類、特に硝酸リチウムが好ましい。 必要な耐水性を示すために、この組成物はアジリジン
架橋剤も含む。有用なアジリジン類としては、共にiPrO
H中10％溶液として「XAMA」という商品名で、すなわ
ち、XAMA−２およびKAMA−７という商品名でB.F.Goodri
ch,Specialty Chemicalsから入手できるペンタエリトリ
トール−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオ
ネート）、およびトリメチロールプロパン−トリス−
（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオネート）、Zeneca
Resinsから「CX−100」として入手できるトリメチロー
ルプロパン−トリス−（β−（Ｎ−メチルアジリジニ
ル）プロオネート）、および上述の１種以上の混合物が
ある。意外なことに、このようなアジリジン類を使用す
ると、必要とする接着力と着脱性の均衡を維持しなが
ら、必要な耐水性が得られる。アジリジン類は、モノマ
ー100部当たり0.01部から２部の量で存在する。 さらに、たとえば、ブタンジオールジアクリレートや
ヘキサンジオールジアクリレートなど、多官能価（メ
タ）アクリレートなどの架橋剤や、ジビニルベンゼンな
ど、他の多官能価架橋剤を含んでもよい。架橋剤を使用
する場合、重合可能組成物総計の１％までのレベル、好
ましくは0.5％までのレベルで架橋剤を加える。 本発明のテープは、類似した化学成分の連続層と劇的
に異なる摩擦帯電特性を示す。たとえば、アクリレート
系懸濁液接着剤をフィルム基材に被覆すると、二次元の
表面を有する連続フィルムを生じる。貼付時および二次
元の表面からはずす際に、この接着テープは接着剤の表
面および接着テープが接着される二次元の表面に電荷種
を発生させる。残留帯電は、最高数千ボルトの強さであ
る。しかし、本発明の接着テープ試料は、類似した条件
下で二次元の表面からはすず際に、帯電をほぼ全く生じ
なかった。 理論に縛られずに、接着剤の改善された特性は、その
粒子の性質の２面に起因すると考えられる。第一に、粒
子は接着剤層と二次元平面との全面接触を妨げる。接着
面積が減少すると、テープを二次元平面からはずすとき
の分離面積が減少し、したがって、電荷種が発生する傾
向が低下する。第二に、各微粒子上で利用できる伝導種
の表層がある。この表層は、帯電の伝導を促進する材料
によって供給される。球形のホストポリマーを供給する
と、電子供与重合体鎖の有効性が上昇する。 また、相対的非晶質ドメイン数を増加させるように、
鎖の長さをより適切な制御を行うことが可能である。こ
れによって、より効率の良い電流伝導を可能にする伝導
部位のより大きいネットワークが得られる。 本発明の感圧接着剤の電気的特性は、幾らか抵抗性の
物質から著しく伝導性の物質まで様々である。 微粒子接着剤および微粒子を含む乳剤は、様々な乳化
方法で調製することが可能であり、その方法は、中空微
粒子か中実微粒子のいずれが望ましいかによって異な
る。中空微粒子の水性懸濁液は、「２工程」乳化工程で
調製することが可能であり、その第１工程では、油層モ
ノマー中極性モノマー（類）水溶液の油中水乳剤、すな
わち、親水性疎水性比（HLB）の値が低い乳化を使用
し、高分子電解質系ポリマーを用いて、少なくとも１種
のアクリレートエステルモノマーまたはビニルエステル
モノマーを形成する。適当な乳化剤は、HLB値が約７未
満、好ましくは２〜７の範囲のものである。このような
乳化剤の例としては、ソルビタンモノオレエート、ソル
ビタントリオレエート、およびAtlas Chemical Industr
ies,Incから入手可能なBriJTM93などのエトキシル化オ
レイルアルコールがある。 このように、この第一工程で、油層モノマー（類）、高
分子電解質系ポリマー、乳化剤、ラジカル開始剤、およ
び架橋モノマーまたはモノマー類を結合させ、極性モノ
マー（類）の全部または一部の水溶液を攪拌し、油層混
合物に注いで油中水乳剤を形成する。この高分子電解質
系ポリマーは、油層または水層のいずれかに加えてもよ
い。増粘剤、たとえばメチルセルロースを油中水乳剤の
水性層に含めることも可能である。第二の工程で、第一
工程の油中水乳剤を、HLB値が６より大きい乳化剤を含
む水性層に分散させることによって、水中油中水乳剤を
形成する。水性層は、工程１で加えなかった極性モノマ
ー（類）を任意の比率で含んでもよい。このような乳化
剤の例としては、エトキシル化ソルビタンモノオレエー
ト、エトキシル化ラウリルアルコール、硫酸アルキル類
などがある。両工程で、乳化剤を使用するとき、その濃
度は、本願明細書でミセルの形成、すなわち、乳化剤分
子の超顕微鏡的凝集に必要な乳化剤の最小濃度と定義さ
れている、臨界ミセル濃度より高くなければならない。
臨界ミセル濃度は各々の乳化剤で僅かに異なり、使用可
能な濃度は1.0×10-4〜3.0モル／リットルの範囲であ
る。水中油中水乳剤、すなわち、多重乳剤の調製に関す
るさらなる詳細は、様々な参考文献、たとえば、Surfac
tant Systems:Their Chemistry,Pharmacy,＆ Biology,
（D.Attwood and A.T.Florence,Chapman ＆ Hall Limit
ed,New York,New York,1983）に記載されている。 この方法の最終処理工程では、熱または放射線を適用
してモノマー類の重合を開始する。有用な開始剤は、通
常、アクリレートエステルモノマーまたはビニルエステ
ルモノマーのラジカル重合に適しており、かつ油溶性で
水に対する溶解度が非常に低いものである。しかし、極
性モノマーがＮ−ビニルピロリドンの場合、ベンゾイル
ペルオキシドを開始剤として使用することが推奨され
る。 このような開始剤の例としては、アゾ化合物、ヒドロ
ペルオキシド類、ペルオキシド類などと、ベンゾフェノ
ン、ベンゾインエチルエーテル、2,2ジメトキシ−２−
フェニルアセトフェノンなどの光開始剤がある。 水溶性重合開始剤を使用すると多量のラテックスが形
成される。粒子サイズが極めて小さいラテックス粒子に
よって、望ましくないラテックスがかなり形成される。
開始剤は一般に重合可能組成物総重量の0.01重量％から
10重量％まで、好ましくは５重量％までの範囲の量で使
用される。 中空伝導性微粒子の水性懸濁液は、乳化中および重合
中、実質的に安定である油中水乳剤を小滴内部に作るこ
とができる少なくとも１種の乳化が存在する条件下、少
なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエステル
モノマーまたはビニルエステルモノマーと、少なくとも
１種の極性モノマーおよび高分子電解質系ポリマーの水
性懸濁重合を含む「一工程」乳化方法で調製することが
可能である。２工程乳化方法の場合と同様、乳化剤は、
その臨界ミセル濃度より高い濃度で使用する。一般に、
高HLB乳化剤を必要とする。すなわちHLB値が少なくとも
25の乳化剤を使用すると、重合中ずっと安定した空洞含
有小滴を生じ、この一工程方法に使用するのに適してい
る。このような乳化剤の例としては、たとえばRohm and
Hassから入手可能なTritonTMW/30などのアルキルアリ
ールエーテル硫酸ナトリウムなどの硫酸アルキルアリー
ルエーテル類、硫酸アルキルアリールポリ（エチレンオ
キシド）類、好ましくはエチレンオキシ反復単位を約４
個まで有するもの、などの硫酸アルキルアリールポリエ
ーテル類、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アン
モニウム、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ヘキサ
デシル硫酸ナトリウムなどの硫酸アルキル、ラウリルエ
ーテル硫酸アンモニウムなどの硫酸アルキルエーテル
類、硫酸アルキルポリ（エチレンオキシド）、好ましく
は、エチレンオキシ反復単位を約４個まで有するもの、
などの硫酸アルキルポリエーテル類などがある。硫酸ア
ルキル、硫酸アルキルエーテル、硫酸アルキルアリール
エーテルおよびそれらの混合物は、最小量の界面活性剤
で微粒子当たり最大空隙体積を提供するため、好まし
い。非イオン乳化剤、たとえば、Alcolac,Inc.から市販
されているSiponicTMY−500−70（エトキシル化オレイ
ルアルコール）やPluronicTM P103（BASF Corporation
から市販されているポリプロピレンオキシドとポリエチ
レンオキシドのブロックコポリマー）を、単独または陰
イオン乳化剤と一緒に使用することができる。ポリマー
安定剤は存在してもよいが、必要ではない。 本発明の接着テープに有用な中実微粒子は、懸濁重合
安定剤の存在下で、少なくとも１種のアルキル（メタ）
アクリートエステルモノマーまたはビニルエステルモノ
マー、少なくとも１種の極性モノマーおよび１種の高分
子電解質系ポリマーの水性懸濁重合を含む類似した一工
程方法で作ることが可能である。形成された小滴は空洞
含有小滴である必要がないため、高HLB乳化剤を使用す
る必要はない。このような有用な低HLB乳化剤の例とし
ては、Herculesから入手可能なStandapolTMAなどのラル
リル硫酸アンモニウムや、ポリビニルアルコール、ポリ
アクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリルアミド、
ポリビニルピロリドン、ポリビニルメチルエーテルな
ど、他の立体ポリマー安定剤や電気立体ポリマー安定剤
などがある。 微小球の調製は、高分子電解質系ポリマーの全部また
は一部、および極性モノマーの添加を、油層の重合開始
込まで差し控えることによって一部変更することが可能
であるが、しかし、100％ポリマー変換前に成分を重合
混合物に加えなければならない。 接着剤組成物の作成に関する、米国特許第3,691,140
号、第4,166,152号、第4,636,432号、第4,656,218号、
および第5,045,569号に開示されている懸濁重合によっ
て、分離した伝導性ポリマー微粒子を調製することも可
能である。 この伝導性微粒子は通常粘着性、エラストマー、不溶
性であるが、有機溶媒中で膨張可能であり、小さく、一
般に直径が少なくとも１μｍ、好ましくは１〜約250μ
ｍの範囲であり、さらに好ましくは１〜50μｍの範囲で
ある。伝導性微粒子は、中実であってもよく、空隙を１
個、または空隙を複数個含んでもよい。 重合後、室温条件で凝集または凝結に対して安定な微
粒子の水性懸濁液が得られる。この懸濁液は、非揮発性
固形物が10〜50重量％であってもよい。この懸濁液は、
長時間放置しておくと２層に分離し、１層は水性層で実
質的にポリマーを含まず、他層は伝導性微粒子の水性懸
濁液である。高HLB乳化剤を使用するとき、小滴は１個
以上の空洞を有し、これを乾燥すると空隙になる。両層
とも小さいラテックス粒子を若干含んでいることがあ
る。微粒子に富む層を傾瀉すると、非揮発性固形分が約
40〜50％の水性懸濁液が得られ、これを水と共に振盪す
ると、容易に再分散する。 要望に応じて、重合直後に伝導性微粒子の水性懸濁液
を使用して、低摩擦帯電特性を有する本質的に粘性の感
圧接着剤コーティング、すなわち「帯電防止」接着剤を
得ることができる。 ウェーハダイシング操作に特に有用な本発明のテープ
は、本発明の組成物を含む微粒子を柔軟な基材に被覆す
ることによって作成することができ、これは接着剤の離
層や裏材の裂けを引き起こさずにチップを「はじく」く
ことができるほど柔軟である。適当な基材としては、
（ポリ）塩化ビニリジエン、ポリエステル類、ポリエチ
レンテレフタレート、硫化ポリフェニレン、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ポリエーテルイミド、ポリエーテ
ルスルホンなどのポリマーフィルムなどがある。 被覆は、ナイフ塗布、マイヤー棒（Meyer bar）塗
布、ローレットロール塗布、および押出ダイの使用な
ど、コーティング接着剤に関する技術上周知の他の従来
の手段で実行することが可能である。 プライマーまたは結合剤を使用しても良いが、必要で
はない。好ましい実施態様は、接着剤と接着剤を接着す
る電子部品との間の接着力を超える裏材と接着剤との間
の接着力を確実にするための結合剤を含む。有用なプラ
イマーとしては、諸フェノール樹脂、諸アクリル樹脂、
諸ゴム状成分、諸ブロックコポリマーおよびそれらの混
合物などがある。 高温特性を必要とする場合、有用なプライマーは、少
なくとも１種のフェノール樹脂および少なくとも１種の
ゴム状成分を含む。有用なゴム状成分としては、ブチル
ゴムなどの天然ゴムや、アクリロニトリルブタジエン、
アクリロニトリルブタジエン−スチレンコポリマー類、
スチレン−ブタジエン−スチレン、スチレン−エチレン
ブチレン−スチレン、ポリクロロプレン、ポリブタジエ
ン、ポリイソプレン、スチレン−イソプレン−スチレ
ン、およびそれらの混合物を含む合成化合物があるが、
これに限定されるものではない。好ましいプライマー
は、アクリロニトリル−ブタジエンやポリクロロプレン
など、２種以上のゴム状化合物の混合物を含む。 有用なフェノール樹脂としては、Union CarbideからU
CAR BKR−2620、およびUCAR CK−1635の商品名で市販さ
れているフェノールホルムアルデヒド樹脂、ノボラック
樹脂などと、それらの混合物があるが、これに限定され
るものではない。好ましいポリマーは、ゴム状化合物10
0部当たりフェノール樹脂40〜120部、好ましくは40〜10
0部を含む。 プライマーを使用するとき、プライマーは増粘剤、酸
化防止剤、着色料、粘性調節剤などの添加物や、他の定
型的な添加物をさらに含んでもよく、技術上周知の量で
使用することが可能である。 テープは、ロールの形で商品化してもよく、ストリッ
プやラベルなど、売り物として切片に分割することも可
能である。さらに、接着剤を、２種の基材の間に供給す
ることも可能であり、たとえば、接着剤を紙基材に被覆
して、これをラベルとして使用することができ、個別に
使用するために、低接着力裏糊や他の容易に剥離するこ
とが可能な表面に提供することが可能である。 接着剤の接着力特性は、粘着付与樹脂または可塑剤ま
たはその両者を加えることによって変えることが可能で
ある。本願明細書で使用するのに好ましい粘着付与剤と
しては、Hercules Inc.などの会社からForalTM65、Fora
lTM85、およびForalTM105などの商品名で市販されてい
る水素化ロジンエステルなどがある。他の有用な粘着付
与剤としては、ｔ−ブチルスチレンを主成分とするもの
などがある。有用な可塑剤としてはジオクチルフタレー
ト、２−エチルヘキシルホスフェート、トリクレジルホ
スフェートなどがある。 顔料、補助的伝導性フィラーを含むフィラー、安定
剤、または様々な高分子添加物など、他の様々な成分を
本発明のテープに含めることも本発明の範囲内である。 本発明の上述の態様および他の態様を以下の実施例で
例証するが、これは範囲を限定する目的のものではな
い。 試験方法 帯電防止コーティングの抵抗率測定 抵抗率は、材料が電子を伝導する固有の力の尺度であ
る。抵抗率は、材料試料の寸法と無関係の特性である。 本発明のコーティングの表面抵抗率を、ケイスレー
（Keithley）616デジタル電位計（Keithley 6105抵抗率
アダプター）を500ボルト電源に接続し、電位計に取り
付けることによって測定した。ASTM D−257に従って標
準手順を使用して、個々の試料を測定した。 剥離接着強さ 剥離接着強さは、特定の角度および剥離速度で測定し
たときに、被覆された柔軟なシート材料を試験パネルか
ら剥離するのに必要な力である。実施例では、この力を
被覆シートセンチメートル（cm）幅当たりのグラムで表
す。次の手順に従って実施する。 幅1.27cmの被覆シートストリップを、少なくとも12.7
線cmのきれいなガラス製試験プレートの水平表面にしっ
かり接触させて貼付する。2kgの硬質ゴムローラーを使
用してこのストリップを貼付する。被覆ストリップの自
由端を、それ自身にほぼ接触するように二つの折りたた
むと、剥離の角度が180゜になる。自由端を接着力テス
タースケールに接着する。１分当たり2.3mの一定速度で
プレートをスケールから遠ざけることができる引張試験
機械の顎部にスチール製テストプレートを締め付ける。
テープがスチール表面から剥離したときのスケールの示
度をグラムで記録する。試験中に確認された数値の範囲
の平均としてデータを記録する。 ウェーハダイシングテープ実行 有用なウェーハダイシンテープは、個々の集積回路チ
ップを主ウェーハから分離する一連の加工工程に耐え
る。工程には、ウェーハ取り付け、鋸引き、洗浄、乾燥
およびダイ抜き取りが含まれる。 ウェーハ取り付け この工程は、集積回路ウェーハを接着テープに接着す
る工程と、テープを円形支持枠に接着する工程と、余分
なテープを支持枠の外周から切り取る工程を組み合わせ
る。 ウェーハ鋸引き ウェーハ鋸引きユニットには、個々のチップまたはダ
イを明確にするために線に沿ってウェーハに刻み目を入
れるコンピュータ制御ダイアモンド鋸が含まれる。ウォ
ータージェット洗浄によって、接着剤が水の攻撃に耐
え、かつウェーハ上にしっかり固定されていることを必
要とする切断操作中に、冷却と洗浄を行うことができ
る。 ウェーハ洗浄 ウェーハ鋸引きユニットからウェーハ洗浄部署に移し
た後、高性能ジェット水洗でウェーハおよびその関連支
持構造を洗浄する。これは、残留鋸屑を除去することに
よって清浄にする。その後、洗浄したアセンブリを乾燥
させてからダイ実装を行う。 ダイ抜き取り コンピュータ制御装置は、ウェーハ内に形成された選
択されたチップの後ろに力を振り向ける。この力は、ウ
ェーハのチップまたはダイの周囲に亀裂を生じさせ、ウ
ェーハからきれいに抜き取ってウェーハダイシングテー
プで剥離することができるほど十分にウェーハの本体か
らチップを剥離する。 材料表 硝酸リチウムは、蒸留水中20％溶液として供給される。 耐蝕剤ベンゾトリアゾールは、50/50 iPrOH/水中10％溶
液として供給される。 XAMA−７−iPrOH中10％溶液として供給されるペンタエ
リトリトール−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プ
ロピオネート）架橋剤 XAMA−２−iPrOH中10％溶液として供給されるトリメチ
ロールプロパン−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）
プロピオネート）架橋剤。 両架橋剤は共にB.F.Goodrich,Specialty Chemicals,P
erformance Resins and Emulsions Devisionから入手で
きる。CX−100−Zeneca Resisから入手できる、iPrOH中
10％溶液として供給されるトリメチロールプロパン−ト
リス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオネート）。 フィルム基材表 Ross ＆ RobertsのBlue PVCフィルム 3M CompanyのScotchcalTMフィルム（可塑化PVC） American Mirrexの透明PVC（Clear PVC）フィルム 二軸延伸ポリプロピレン（Biaxially Oriented Polypro
pylene（BOPP））フィルム BKR−2620 UCARと呼ばれる、Union Carbideのフェノー
ル樹脂 BKR−2620−フェノール−ホルムアルデヒド樹脂。 サンチバＡ酸化防止剤（SantivarA−Antioxidant）ジ−
第三級アミルヒドロキノン Piccolyte S115−ポリテルペン樹脂（粘着付与剤） ジレックス−亜鉛（Zirex−Zinc）樹脂（粘着付与剤） CK−1635 UCARと呼ばれる、Union Carbideのフェノール
樹脂（CK−1635）−フェノール−ホルムアルデヒド樹
脂。 本発明を実施するための最良の形態 実施例 微粒子の調製 実施例１ アクリル酸（5.4g）、ポリエチレンオキシドアクリレ
ート（PEO 750）（13.5g）、PEODMA（0.15g）および70
％ベンゾイルペルオキシド（0.99g）をイソオクチルア
クリレート（223.2g）に溶解した。この溶液を界面活性
剤水溶液に溶解した。界面活性剤溶液は、ガラス内張容
器内の脱イオン水（360g）に溶解した、Herculesから入
手できるStandapolTMA、（8.4g）を含んでいた。５に設
定したOmniミキサーを使用して、高剪断混合により、水
溶液中イソオクチルアクリレート溶液の乳剤を調製し
た。油性小滴の平均粒子サイズが約３μｍになるまで混
合を続けた。光学顕微鏡を使用してサイズを測定した。 結果として生じた水中油乳液を、じゃま板４枚、櫂形
攪拌器、および加熱マントルなどの適当な熱源を装備し
た１リットルガラス樹脂反応器に入れた。400rpmの速度
で連続的に攪拌しながら、反応器および内容物を60℃に
加熱した。 この時点で、反応器を窒素でガス抜きした。酸素不在
下で、反応を続行した。温度および攪拌速度を維持しな
がら、これを22時間続けた。結果として生じた水性懸濁
液は、直径約５μｍの不溶性粒子を含んでいた。 この粒状接着剤100部に、イオン伝導性を高めるため
にリチウム塩類の組合せを加え、pH調整のために水酸化
アンモニウムを、腐食阻止のためにベンゾトリアゾール
を、コーティングの耐水性を改善するために架橋剤を加
えた。各補助成分は、接着剤組成物にゆっくり入れて攪
拌し、被覆直前に完全に混合した。架橋剤を加えてから
１時間以内にコーティング組成物を使用すると最適コー
ティング成績が得られた。 試料４および５は、良好な耐水性を示した。好ましい組
成物のpHは2.5〜7.0であり、最も好ましい組成物のpHは
3.0〜7.0である。８以上の高pHでは、耐水性は劣ってい
た（試料６および７）。 プライマー溶液の調製 上述の樹脂、粘着付与剤および酸化防止剤を、メチル
エチルケトン、イソプロパノールおよびトルエンを含む
混合溶媒に溶解すると、フィルム支持体用プライマーコ
ーティングが得られる。プライマー溶液調製用に、攪拌
器を備えた従来の攪乳器、または類似した装置を使用す
ることが可能である。この溶液の透明度を検査し、必要
に応じて濾過する。 産業上の利用可能性 フィルム下塗 コーティングに先立って、プライマー組成物１部を、
2:1 トルエン:MEKの混合溶媒２部で希釈した。＃４マ
イヤー棒（Meyer bar）を使用して、PVCフィルムとScot
chcalTMフィルムの両者にプライマーを被覆した。プラ
イマー溶媒を77℃で約３分間蒸発させると、接着剤被覆
に適した、乾燥した下塗フィルムを生じる。乾燥したプ
ライマー層は厚さ約7.9×10-6mm〜1.2×10-5mmであっ
た。このプライマーを両フィルムに直接被覆した。 （プライマー塗布の代替手段は、約10線/mmのローレッ
トロールを装備したグラビアロールコーターを使用し、
75℃で乾燥する）。 接着剤コーティング 下塗した裏材に接着剤を塗布するための２法により、
ウェーハダイシングテープとして貼付するのに適した製
品が得られる。ScotchCalTMに接着剤を直接被覆し、す
なわち、＃12マイヤー棒を使用して下塗りした基面に接
着剤を直接塗布し、66℃で６分間乾燥させた。PVCをト
ランスファー法で被覆した、すなわち、ローレットロー
ル被覆を使用して、剥離ライナー上に厚さ１×10-4mmの
接着剤層を作成した。その後、下塗りしたフィルム表面
に接着剤層を移動させて、本発明の接着テープを作成し
た。 接着剤塗布の代替手段は、約3.5線/mmのローレットロ
ールを装備したグラビアロールコーターを使用する。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ヨー，スティーブン・ディ
アメリカ合衆国78726−9000テキサス州
オースティン、リバー・プレイス・ブ
ールバード 6801番
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C09J 7/02
H01B 1/12
Claims (5)
- 【請求項１】対向する面を有する柔軟な基材から成るウ
ェーハダイシングテープとして使用するのに適した耐水
性、帯電防止感圧接着テープであって、少なくとも１つ
の表面はその上に、ポリエチレンオキシド、ポリフェニ
レンオキシド、硫化ポリフェニレン、硫化ポリエチレ
ン、ポリエチレンイミン、ポリプロピレンオキシド、ポ
リブチレンオキシド、硫化ポリブチレンおよびポリブチ
レンイミンから成る群から選択された高分子電解質系ポ
リマーと、アルカリ金属の塩類およびアルカリ土類金属
の塩類から成る群から選択された少なくとも１種のイオ
ン塩と、ペンタエリトリトール−トリス−（β−（Ｎ−
アジリジニル）プロピオネート）、トリメチロールプロ
パン−トリス−（β−（Ｎ−アジリジニル）プロピオネ
ート）、トリメチロールプロパン−トリス−（β−（Ｎ
−メチルアジリジニル）プロピオネート）およびそれら
の混合物から選択されたアジリジン架橋剤とで形成され
たイオン伝導性物質をその上に担持した表面を有する微
粒子を含み、該微粒子は、 ａ）少なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエ
ステルまたはビニルエステルを少なくとも70部と、 ｂ）相応じて、モノマー100部とするための、少なくと
も１種の極性モノマーを最高30部と、 を含むモノマーのポリマーを含む、 着脱可能な、アジリジン架橋微粒子接着剤を担持し、前
記微粒子の平均直径は少なくとも１μｍであり、そして
前記接着剤のpHは2.5〜7.0である、感圧接着テープ。 - 【請求項２】前記イオン伝導性物質は、高分子電解質系
ポリマーから形成された高分子電解質、0.1部から10部
の量で加えられた前記高分子電解質系ポリマー、および
高分子電解質基本単位１モル当たり0.01モルから10モル
の少なくとも１種のアルカリ金属塩またはアルカリ土類
金属塩を含み、前記イオン塩類は、LiCl、LiNO3、LiCF3
SO3、LiSO4、LiOH、KOH、NaSCN、NaI、BaSO3CF3、LiN
（SO2CF3）２、およびNH4OHから成る群から選択され
る、請求項１に記載の帯電防止感圧接着テープ。 - 【請求項３】前記モノマーは、 ａ）少なくとも１種のアルキル（メタ）アクリレートエ
ステルまたはビニルエステルを少なくとも85重量部と、 ｂ）相応じて、モノマー100部とするための、Ｎ−ビニ
ル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アク
リロニトリル、ビニルアクリレート、ジアリルフタレー
ト、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキ
シアルキルアクリレート類、シアノアルキルアクリレー
ト類、アクリルアミド類および置換アクリルアミド類か
ら成る群から選択される少なくとも１種の極性モノマー
を最高15重量部と、 を含み、 前記イオン伝導性物質は、0.1部から10部の高分子電解
質系ポリマー高分子電解質と、高分子電解質基本単位１
モル当たり0.01モルから10モルの少なくとも１種のアル
カリ金属塩またはアルカリ土類金属塩を含む、 請求項１に記載の帯電防止感圧接着テープ。 - 【請求項４】アルキル（メタ）アクリレートが、イソオ
クチル（メタ）アクリレート、２−エチレルヘキシル
（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレー
ト、イソアミル（メタ）アクリレート、イソデシル（メ
タ）アクリレート、およびブチル（メタ）アクリレート
から成る群から選択され、またはビニルエステルが、ビ
ニル−２−エチルヘキサノエート、ビニルカプロエー
ト、ビニルラウレート、ビニルペラルゴネート、ビニル
ヘキサノエート、ビニルプロピオネート、ビニルデカノ
エート、およびビニルオクタノエートから成る群から選
択される、請求項３に記載の帯電防止感圧接着テープ。 - 【請求項５】前記柔軟な基材が、（ポリ）塩化ビニリジ
エン、ポリエステル類、ポリエチレンテレフタレート、
硫化ポリフェニレン、ポリプロピレン、ポリエチレン、
ポリエーテルイミドおよびポリエーテルスルホンから成
る群から選択される請求項１に記載の帯電防止感圧接着
テープ。
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