JP3488612B2 - センス増幅回路 - Google Patents

センス増幅回路

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    • G11C7/065Differential amplifiers of latching type

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ダイナミック型
半導体記憶装置(DRAM)のデータ線センスアンプ等
として有用な微小電位差を検知増幅するセンス増幅回路
に関する。
【0002】
【従来の技術】2つの電極や信号線間の微小な電位差を
検知して、その電位の上下関係に応じた信号を出力する
センス増幅回路は、様々な半導体装置に用いられる基本
的な回路の1つである。図22は、DRAM等において
用いられるビット線センス増幅回路の一例である。入力
兼出力ノードQ,/Qに対し、NMOSトランジスタQ
N1とPMOSトランジスタQP1とからなるインバー
タ構成のCMOSトランジスタ回路と、NMOSトラン
ジスタQN2とPMOSトランジスタQP2とからなる
インバータ構成のCMOSトランジスタ回路を逆並列に
接続して、ラッチ型(フリップフロップ型)のセンス増
幅回路を構成している。NMOSトランジスタQN1,
QN2の共通ソースは活性化用NMOSトランジスタQ
N3を介して接地端子VSSに接続され、PMOSトラン
ジスタQP1,QP2の共通ソースは活性化用PMOS
トランジスタQP3を介して電源端子VCCに接続されて
いる。
【0003】この回路の動作波形を図23に示す。初期
状態において、ノードSN及びSPはVCC/2に保た
れ、入力ノードQおよび/Qの間に微小な電位差が生じ
ているとする。この状態から、一方の活性化信号ENが
“H”に、他方の活性化信号EPが“L”になると、N
MOSトランジスタQN1,QN2からなるフリップフ
ロップ及びPMOSトランジスタQP1,QP2からな
るフリップフロップが活性化される。これにより、入力
ノードQと/Qの間の電位差が増幅されて、一方がVS
S、他方がVCCになる。
【0004】このラッチ型のセンス増幅回路は、入力ノ
ードQおよび/Qの電位差を感知して、その電位の高い
側がVCC、低い側がVSSになるまで増幅するため、メモ
リセルの電荷によるビット線の電位変化を読み出すとと
もに増幅して再書き込みするDRAMのほとんどにおい
て採用されている。この型のセンス増幅回路は、入力信
号の初期電位差が大きいほど、出力がVCCcおよびVSS
に決着するまでの時間が短くなる。
【0005】高速バスシステムに用いられるセンス増幅
回路としては、Mark A. Horowitz等が米国特許第5,355,
391 号で開示した、図24に示すものが知られている。
このセンス増幅回路は、微小電位を感知する第1段増幅
器と大振幅の出力を出す第2段増幅器を組み合わせ、入
力電位を高速に感知して増幅する。MOSトランジスタ
M1,M2,M3,…, M9およびトランスファゲート
T1,T2の部分が第1段増幅器であり、これが入力端
子Q,/Qの電位差を感知する。NMOSトランジスタ
M1,M2は電流源である。入力端子Q,/Qの電位は
CMOSトランスファゲートT1,T2を介して差動N
MOSトランジスタ対M3,M4に入力される。PMO
SトランジスタM8,M9は負荷を構成している。
【0006】第1段増幅器の二つの出力ノードの電位差
は、MOSトランジスタM10,M11,…, M15で
構成される第2段のラッチ型増幅器によって増幅され
る。この第2段の増幅器の構成は図22で説明したもの
と同様である。
【0007】図25は図24のセンス増幅回路の動作波
形を示している。待機状態においては、Clk=
“L”, bCLk=“H”に固定されている。この状態
において、入力端子Qおよび/Qの電位が第1段の増幅
器のNMOSトランジスタM3およびM4のゲート電極
に伝えられているが、これらのドレインは、NMOSト
ランジスタM5,M6がオフであるためフローティング
であり、共通ソースもNMOSトランジスタM1がオフ
であるためフローティングである。また、PMOSトラ
ンジスタM8,M9がオフ、且つNMOSトランジスタ
M16がオフであり、出力端子Out,/Outは、活
性な第2段増幅器により、一方がVSS、他方がVCCの状
態に固定されている。
【0008】Clk=“H”、bCLk=“L”へと状
態が変化すると、NMOSトランジスタM1,M5,M
6がオン、PMOSトランジスタM8,M9がオンにな
り、第1段増幅器が活性化される。同時にNMOSトラ
ンジスタM16がオンになり、出力端子Out,/Ou
tの電位をVCC/2にイコライズしようとする。このと
き、PMOSトランジスタM8およびM9の駆動能力を
充分大きく設計することによって、出力ノードOut,
/Outには、ほぼVCC/2の近くで第1段増幅器の入
力電位差を反映した微小電位差が残る。
【0009】その後、再びClk=“L”,bCLk=
“H”へとクロックが変化すると、NMOSトランジス
タM5およびM6が遮断され、第2段の増幅器が再度活
性化して、出力ノードOut,/Outに生じていた電
位差をVCCおよびVSSまで増幅する。
【0010】第2段の増幅器の動作原理は図22で説明
したものと同様であるので、第1段の増幅器の利得が1
よりも大きければ、すなわち入力電位差にくらべて第1
段の増幅器の出力電位差が大きければ、図24の増幅回
路は図22の増幅回路にくらべて高速に出力を確定する
ことができる。
【0011】この増幅回路は、待機状態では第1段増幅
器が非活性であり、トランジスタM3,M4のドレイン
が出力ノードOut,/Outから切り離されているた
め、出力ノードOut,/Outにノイズが乗りにくい
という特徴を有する。また、CLk=“H”になると、
第1段増幅器が活性化されてNMOSトランジスタM3
およびM4のソースおよびドレインの電位が変動する
が、このときトランスファゲートT1、T2はオフであ
るため、入力端子Qおよび/Qにノイズが逆流すること
もない。したがって複数の増幅器が同一の入力端子ノー
ドに接続されたような構成、例えば複数の半導体チップ
を結ぶバスラインに用いるのに好適である。
【0012】ただしこのセンス増幅回路の動作には、上
で説明したように制御クロック信号ClkおよびbCl
kの状態が2回遷移することが必要である。またこのセ
ンス増幅回路では消費電力が大きいという問題がある。
Clk=“H”、bCLk=“L”の期間に、VCCから
VSSへの貫通電流が流れるからである。
【0013】これに対して、トランジスタM2のゲート
バイアスVBIASを調節することによって電流の総量
を制限することは可能である。しかし、トランジスタM
2が流す電流が少なすぎると、第1段の増幅器の利得が
得られず、第2段のラッチ型増幅器の初期電位が小さく
なってしまい、高速化できない。
【0014】一方、Clk=“H”、bCLk=“L”
の期間を短くすることによって、貫通電流が流れる時間
を短くすることが可能である。すなわち、入力信号を1
回参照して出力電位を確定するまでに要する消費電力
が、電流を流す時間を短くなるだけ小さくなる。しか
し、この時間を短くするためには、クロック信号Clk
およびbCLkのパルス幅を短くする必要がある。代表
的な値として、1nsec以下のパルス幅とすれば、貫
通電流が流れる時間を1nsecとできる。上記のセン
ス増幅回路において出力電位が確定するまでに要する時
間は、代表的には1nsec程度である。したがって、
1nsecを超えるパルス幅では、消費電力を無駄に多
くしていることになる。
【0015】ところが一般には、実際の半導体回路の内
部において短いパルスを精度良く出力する回路を構成す
ることは、特にパルスによって駆動される信号線が大き
な寄生容量および寄生抵抗を持つ場合には困難である。
例えば、1kΩの抵抗と1pFの寄生容量を持つ信号線
では、伝達遅延時間が1nsecであるため、1nse
c以下の時間幅をもったパルスを正確に伝達できない。
したがって、回路を正常に制御するためには1nsec
よりも長いパルスを発生しなければならず、消費電力が
不必要に多くなるという問題がある。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、図24
に示された従来のセンス増幅回路構成においては、制御
信号が2回遷移する必要があるために、制御信号線の寄
生容量および寄生抵抗が大きいと高速化できない、一定
期間電源VCCからVSSに貫通電流が流れるために消費電
力が大きい、といった問題がある。
【0017】この発明はこのような問題を解決し、小さ
い消費電力で高速に出力を確定することができ、かつ制
御信号を簡略化できるセンス増幅回路を提供することを
目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】この発明に係るセンス増
幅回路は、二つの入力端子と、この二つの入力端子の電
位差を検知して差動出力を出す第1の増幅器と、クロッ
ク信号により制御されて前記第1の増幅器を活性化させ
る第1の活性化回路と、前記第1の増幅器の差動出力が
それぞれ直結される二つの入力兼出力ノードを有し、前
記第1の増幅器の差動出力を拡大して保持するラッチ型
の第2の増幅器と、この第2の増幅器の前記二つの入力
兼出力ノードからそれぞれ取り出される二つの出力端子
と、前記クロック信号により制御されて前記第2の増幅
器を前記第1の増幅器と同期して活性化する第2の活性
化回路とを備え、前記第1の増幅器は、ソースが共通に
第1の活性化ノードに接続され、ドレインがそれぞれ前
記二つの入力兼出力ノードに接続された第1導電チャネ
ルのドライバMOSトランジスタ対と、第2導電チャネ
ルの負荷MOSトランジスタ対とから構成され、前記第
2の増幅器は、ソースが共通に第2の活性化ノードに、
ドレインが前記二つの入力兼出力ノードに、ゲートが互
いに交差して前記二つの入力兼出力ノードに接続された
第1導電チャネルのMOSトランジスタ対と、ソースが
共通に電源端子に、ドレインが前記二つの入力兼出力ノ
ードに、ゲートが互いに交差して前記二つの入力兼出力
ノードにそれぞれ接続された第2導電チャネルのMOS
トランジスタ対とから構成され、且つ前記第2の増幅器
における第2導電チャネルのMOSトランジスタ対が前
記第1の増幅器の負荷MOSトランジスタ対として用い
られており、前記第1の活性化回路は、前記第1の活性
化ノードと基準電位との間に接続されてゲートが前記ク
ロックにより制御され、前記第1の増幅器の前記第1の
活性化ノードを基準電位に接続する第1導電チャネルの
活性化用MOSトランジスタにより構成される回路であ
り、前記第2の活性化回路は、前記第2の活性化ノード
と基準電位との間に接続されてゲートが前記クロックに
より制御され、前記第1の活性化回路がオンすることに
よって基準電位に接続される前記第1の活性化ノードを
介して前記第2の増幅器の前記第2の活性化ノードを前
記基準電位に接続する第1導電チャネルの活性化用MO
Sトランジスタにより構成される回路であることを特徴
としている。
【0019】この発明において好ましくは、前記クロッ
ク信号により制御されて前記二つの入力兼出力ノードを
前記第1及び第2の増幅器の活性化に先だって所定電位
に設定するためのプリチャージ回路を有するものと
る。
【0020】この発明においてはまた、確実なセンス動
作を行うためには例えば、第2の活性化回路は、第1の
活性化回路に遅れてオンするように第1の活性化回路に
縦属接続される。あるいは、第2の活性化回路に、第1
の活性化回路に遅れてオンするように遅延要素が付加さ
れる。
【0021】更にこの発明において、出力確定後の消費
電力削減のために好ましくは、第2の増幅器の二つの入
力兼出力ノードから第1の増幅器を通って基準電位に流
れる電流の経路上に、二つの入力兼出力ノードの確定し
た電位により制御されてその経路を遮断するスイッチ素
子を備える。
【0022】この発明によるセンス増幅回路では、差動
型の第1の増幅器の出力をラッチ型の第2の増幅器の入
力兼出力ノードに直結して、これらをクロック制御によ
りほぼ同時に活性化して、微小電位差の検出を行う。従
って、入力端子の微小信号検出から出力確定までにクロ
ックの2回の遷移を必要とする従来方式に比べて、高速
のセンス動作が可能となる。しかも、制御用のクロック
には従来方式のような相補クロックは必要ではなく、制
御信号の簡略化が図られる。
【0023】またこの発明のセンス増幅回路において、
第1の増幅器と第2の増幅器とで負荷を共有させること
により、回路構成は一層簡単なものとなる。第1の増幅
器と第2の増幅器はほぼ同時に活性化されるが、これら
の活性化タイミングに僅かの差を付けることも好まし
い。例えば、第2の増幅器側の第2の活性化回路に遅延
要素を付加して、第2の活性化回路がオンするタイミン
グを第1の増幅器側の第1の活性化回路に対して僅かに
遅らせることにより、用いられるMOSトランジスタの
しきい値のバラツキ等に起因する誤動作を防止して、入
力端子の微小電位差を確実に反映した出力を得ることが
可能になる。
【0024】更に、第2の増幅器の二つの入力兼出力ノ
ードと第1の増幅器の基準電位端子の間の電流経路に、
入力兼出力ノードの確定した電位によって制御されて電
流経路を自動的に遮断するスイッチ素子を設けることに
より、出力が確定した後に第1の増幅器を介して流れる
無駄な電流をなくすことができる。これにより、低消費
電力化が図られる。この電流遮断制御は、クロック制御
により電流遮断を行う従来方式と異なり、自動的に行わ
れるため難しい制御は必要がなく、また高速性能を損な
うこともない。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図1はこの発明の第1の実施例の
センス増幅回路である。このセンス増幅回路は、二つの
入力端子Q,/Qにそれぞれゲートが接続されたドライ
バNMOSトランジスタ対Mn1,Mn2を主体とする
第1の増幅器1を有する。第1の増幅器1のNMOSト
ランジスタ対Mn1,Mn2は、共通ソース(第1の活
性化ノード)Bが第1の活性化用NMOSトランジスタ
Mn3を介して基準電位である接地端子VSS(第1の電
源端子)に接続され、各ドレインがそれぞれ負荷として
動作するPMOSトランジスタMp4,Mp5を介して
電源端子VCC(第2の電源端子)に接続されて、差動回
路を構成している。図3は、この第1の増幅器1の部分
を実線で示している。
【0026】第1の増幅器1の差動出力は、第2の増幅
器2の入力兼出力ノードN1,N2に直結される。第2
の増幅器2は、VSS側のNMOSトランジスタ対Mn
4,Mn5と、VCC側のPMOSトランジスタ対Mp
4,Mp5により構成されたラッチ回路(フリップフロ
ップ回路)である。NMOSトランジスタ対Mn4,M
n5のソースは共通ソース(第2の活性化ノード)A
に、ドレインはそれぞれ入力兼出力ノードN1,N2
に、ゲートは互いに交差させて入力兼出力ノードN2,
N1にそれぞれ接続されている。PMOSトランジスタ
対Mp4,Mp5のソースは共通にVCCに、ドレインは
それぞれ入力兼出力ノードN1,N2に、ゲートは互い
に交差させて入力兼出力ノードN2,N1にそれぞれ接
続されている。
【0027】この第2の増幅器2は、等価的に、NMO
SトランジスタMn4とPMOSトランジスタMp4の
部分を第1のCMOSインバータ2a、NMOSトラン
ジスタMn5とPMOSトランジスタMp5の部分を第
2のCMOSインバータ2bと見ることができるから、
二つのCMOSインバータ2a,2bの入出力を互いに
交差接続して構成されているということができる。
【0028】第2の活性化ノードであるNMOSトラン
ジスタMn4,Mn5の共通ソースAは第2の活性化用
NMOSトランジスタMn6を介して接地端子VSSに接
続されている。このラッチ型の第2の増幅器2の入力兼
出力ノードN1,N2がそれぞれ、出力端子/Out,
Outになる。図4は、この第2の増幅器2の部分を実
線で示している。
【0029】第2の増幅器2のNMOSトランジスタM
n4,Mn5の部分(NMOSフリップフロップ部)か
ら見て負荷となるPMOSトランジスタMp4,Mp5
の部分(PMOSフリップフロップ部)は、第1の増幅
器1の負荷として共用されていることになる。
【0030】入力兼出力ノードN1,N2は、PMOS
トランジスタMp1,Mp2を介して電源端子VCCに接
続され、また入力兼出力ノードN1,N2間を短絡する
PMOSトランジスタMp3が設けられている。これら
のPMOSトランジスタMp1〜Mp3の部分は、待機
状態で入力兼出力ノードN1,N2、従って出力端子/
Out,OutをVCCに保持するためのプリチャージ回
路3を構成している。
【0031】第1の増幅器1の活性化用NMOSトラン
ジスタMn3及び第2の増幅器2の活性化用NMOSト
ランジスタMn6のゲートは、クロック信号Clkによ
り同時に駆動される。プリチャージ回路3を構成するP
MOSトランジスタMp1〜Mp3のゲートも同様にク
ロック信号Clkにより駆動される。
【0032】この実施例のセンス増幅回路の一つの特徴
は、第1の増幅器1と第2の増幅器2とが回路的に切り
離されておらず、直結されていることである。もう一つ
の特徴は、第1の増幅器1と第2の増幅器2をほぼ同時
に動作させることである。
【0033】具体的にこの実施例の増幅回路の動作を図
2の動作波形を参照しながら説明する。待機状態におい
て、Clk=“L”であり、このとき二つの活性化用N
MOSトランジスタMn3,Mn6は共にオフである。
従って第1の増幅器1および第2の増幅器2共に非活性
である。またこのとき、プリチャージ回路3が活性であ
り、出力端子/Out,Outは、プリチャージ用PM
OSトランジスタMp1,Mp2によりVCCに充電さ
れ、同時に短絡用PMOSトランジスタMp3により短
絡されて、VCCに固定されている。
【0034】Clk=“H”になると、第1の増幅器1
と第2の増幅器2はほぼ同時に活性化される。入力端子
Q,/Qの間に微小な電位差があると、これが第1の増
幅器1により増幅され、更にその出力が第2の増幅器2
により増幅される。即ち、VCCにプリチャージされてい
た出力端子Out,/Outは、第1の増幅器1の差動
NMOSトランジスタ対Mn1,Mn2の導通度の差に
より異なる速度で電位低下する。その電位差がある程度
大きくなると、第2の増幅器2の正帰還動作により、出
力端子Out,/Outは、一方がVCC,他方がVSSに
なるまで増幅される。
【0035】この実施例によると、第1の増幅器1とこ
れに直結された第2の増幅器2が、クロック信号Clk
の一回の遷移で同時に動作して出力が確定されるため、
高速動作が可能である。しかも、二つの増幅器1,2
は、PMOSトランジスタMp4,Mp5を負荷として
共用しており、回路構成は図24に比べて簡単である。
またクロック信号としても、図24のように相補クロッ
クを必要としない。
【0036】この実施例の増幅回路では、出力が確定し
た後も、図5に示すように、第1の増幅器1を介して電
源端子VCCから接地端子VSSに電流が流れる。この電流
を小さくするには、例えば第1の増幅器1を構成するN
MOSトランジスタMn1〜Mn3のゲート幅を小さく
することが好ましい。この出力確定後の消費電流を無く
すことができる実施例については後述する。
【0037】この実施例のセンス増幅回路において、動
作マージンを大きくするためには、第1の増幅器1を構
成する差動NMOSトランジスタ対Mn1,Mn2のし
きい値が揃っていることが好ましい。同様の理由で、第
2の増幅器2を構成するNMOSトランジスタ対Mn
4,Mn5とPMOSトランジスタ対Mp4,Mp5の
しきい値が揃っていることが好ましい。従って好ましい
実施態様として、これらのトランジスタのチャネル長を
他のトランジスタに比べて大きくすることが挙げられ
る。一般にプロセス的なばらつきによるショートチャネ
ル効果などによるしきい値のばらつきは、チャネル長が
長いほど生じにくいからである。
【0038】さらに、好ましい実施態様として、NMO
Sトランジスタ対Mn1,Mn2のしきい値を意図的に
低く制御することが挙げられる。例えば、チャネルイオ
ン注入等により、これらのNMOSトランジスタ対Mn
1,Mn2のしきい値を下げる。入力端子Q,/Qの電
位がNMOSトランジスタMn1,Mn2のしきい値以
下ではMn1,Mn2は電流を流すことができず、従っ
て第1の増幅器1は動作しないから、これらの駆動トラ
ンジスタMn1,Mn2のしきい値を下げることによ
り、入力電位の許容範囲を広げることができる。
【0039】図6は、この発明の第2の実施例のセンス
増幅回路である。図1と対応する部分には図1と同一符
号を付して詳細な説明は省略する。この実施例では、第
2の増幅器2の第2の活性化用NMOSトランジスタM
n6のソースが接地端子VSSではなく、第1の増幅器1
の共通ソース端子B、即ち第1の活性化用NMOSトラ
ンジスタMn3のドレインに接続されている。言い換え
れば、二つの活性化回路が縦属接続されて、第1の活性
化用NMOSトランジスタMn3がオンして共通ソース
Bが接地された後、第2の活性化用NMOSトランジス
タMn6が、共通ソースAを共通ソースBを介して接地
するようになっている。
【0040】図1の実施例では第1の増幅器1とラッチ
型の第2の増幅器2が同時に動作を開始する。一般には
第1の増幅器1の動作は非常に高速で、これにより拡大
された信号がラッチ型の第2の増幅器2によって更に増
幅される、というのが先の実施例の動作原理である。し
かしこのとき、第2の増幅器2の差動NMOSトランジ
スタ対Mn4,Mn5の間にしきい値のばらつきがある
等の理由で、第2の増幅器2が入力端子Q,/Qの電位
差を反映しない逆データをラッチするという誤動作をす
る可能性がある。
【0041】図6の実施例のセンス増幅回路では、クロ
ック信号Clk=“H”になったとき、第1の増幅器1
の活性化用NMOSトランジスタMn3がオンして、共
通ソースBが電位低下することにより、第2の増幅器2
の活性化用NMOSトランジスタMn6がオンする。即
ち、第1の増幅器1の活性化が先行し、少し遅れて第2
の増幅器2が活性化される。この結果、誤動作のない確
実な信号増幅が可能になる。
【0042】図7は、この発明の第3の実施例のセンス
増幅回路である。この実施例では、図6の実施例と同様
の目的で、第2の増幅器2の活性化用NMOSトランジ
スタMn6のゲート端子に遅延要素4が挿入されてい
る。即ち、クロック信号Clkが、第1の増幅器1の活
性化用NMOSトランジスタMn3よりも僅かに遅れ
て、活性化用NMOSトランジスタMn6に伝達される
ようにしている。それ以外は、図1の実施例と同様であ
る。
【0043】この実施例によっても、第2の増幅器2の
活性化タイミングが第1の増幅器1のそれに比べて遅れ
る。従って、図6の実施例の回路と同様に、誤動作のな
い確実な信号増幅が可能となる。
【0044】図7の実施例に用いられる遅延要素4とし
ては、図8(a)示すインバータチェーンや、同図
(b)に示す抵抗素子、同図(c)に示すようにNMO
SトランジスタのゲートをVCCに固定し、ソースからド
レインへの伝達時間を利用するもの、同図(d)に示す
ようにPMOSトランジスタのゲートをVSSに固定した
もの、さらに同図(e)に示すようにNMOSトランジ
スタとPMOSトランジスタを組み合わせたものなどが
考えられる。
【0045】図9は、この発明の第4の実施例のセンス
増幅回路である。この実施例では、図1の実施例の第1
の増幅器1を構成する差動NMOSトランジスタ対Mn
1,Mn2の部分にPMOSトランジスタ対Mp6,M
p7を用いている。その他、図1の実施例と同様であ
る。
【0046】この実施例の場合、第1の増幅器1はリニ
アな増幅動作はしないが、この第1の増幅器1は入力端
子Q,/Qの微小電位差により瞬間的に入力兼出力ノー
ドN1,N2の電流引き込みに差が生じればよく、その
ような動作はPMOSトランジスタMp6,Mp7を用
いた場合にも可能である。即ち、PMOSトランジスタ
Mp6,Mp7のしきい値をVtpとして、例えば入力
端子/Qの電位がVCC−|Vtp|以下になれば、PM
OSトランジスタMp6が瞬間的にオンとなり、電流を
引き込む。PMOSトランジスタMp6のソースはノー
ドN1に接続されていて電位固定ではなく、PMOSト
ランジスタMp6には電流が流れるとこれを抑制する方
向に負帰還がかかるが、瞬間的な電流引き込みで入力兼
出力ノードN1,N2の間に一定の電位差が生じれば、
第2の増幅器2によりこれが拡大検出される。
【0047】MOSトランジスタのゲート電位の変化に
対する電流駆動能力の変化の割合は、一般によく知られ
ているようにしきい値付近で最大となる。従って、NM
OSトランジスタのしきい値をVtnとして、入力端子
Q,/QがVtn近傍で変化する場合には、先の実施例
のように第1の増幅器1にはNMOSトランジスタ対を
用いることが好ましいが、入力端子Q,/QがVCC−|
Vtp|の近傍で動作する場合には、この実施例のよう
にPMOSトランジスタ対Mp6,Mp7を用いること
が好ましい。
【0048】図10はこの発明の第5の実施例によるセ
ンス増幅回路である。この実施例では、第1の増幅器1
の差動トランジスタ対として、NMOSトランジスタ対
Mn1,Mn2と、PMOSトランジスタ対Mp6,M
p7を抱き合わせて用いている。第1の実施例で説明し
たように、NMOSトランジスタを用いた場合は入力電
位がしきい値Vtn以下のVSS近くの低い電位では動作
しない。逆にPMOSトランジスタを用いた場合は、入
力電位がVCC−|Vtp|より高いVCC近くでは動作し
ない。この実施例によると、入力電位の広い範囲で動作
するセンス増幅回路が得られる。
【0049】図11は、この発明の第6の実施例のセン
ス増幅回路である。ここまでの実施例のセンス増幅回路
は、図5に示したように、出力電位が確定した後に第1
の増幅器1を介して電流が流れる。この実施例では、こ
の様な出力確定後の無用な電流を自動的に遮断するよう
にしている。即ち、出力端子Out,/Outと第1の
増幅器1の基準電位端子である接地端子VSSの間の電流
経路、具体的にこの実施例の場合は、NMOSトランジ
スタMn1,Mn2のソースと活性化用NMOSトラン
ジスタMn3のドレインの間に、電流遮断用のスイッチ
素子としてのNMOSトランジスタMX1,MX2が挿入さ
れている。NMOSトランジスタMX1,MX2のゲートは
それぞれ、入力兼出力ノードN2,N1、即ち出力端子
Out,/Outに接続されている。それ以外は、図1
の実施例と同様である。
【0050】この実施例のセンス増幅回路で例えば、出
力端子Outが“H”(=VCC)、/Outが“L”
(=VSS)にラッチされたとする。このとき、NMOS
トランジスタMX2がオフになり、“H”の出力端子Ou
tからVSSへの電流パスは自動的に遮断される。逆の出
力状態では、NMOSトランジスタMX1がオフになり、
同様に“H”の出力端子/OutからVSSへの電流パス
は遮断される。従ってこの実施例によると、データ確定
後の無駄な電流がなくなり、効果的に消費電力削減が図
られる。しかも、電流遮断を行うために図24の従来方
式における様なクロック制御を必要としないという点で
も有利である。
【0051】なお待機状態においては、第1の実施例に
おいて説明したように、出力端子Out,/Outはい
ずれもVCCにプリチャージされているため、NMOSト
ランジスタMX1,MX2のゲート電位はVCCである。従っ
てラッチ型の第2の増幅器2によって出力が確定するま
で、より具体的には、出力端子の一方がNMOSトラン
ジスタMX1,MX2のしきい値以下になるまでは、NMO
SトランジスタMX1,MX2は導通している。これによ
り、増幅動作は第1の実施例と全く同様に行われる。
【0052】図11の実施例では、電流遮断用のNMO
SトランジスタMX1,MX2を、ドライバNMOSトラン
ジスタ対Mn1,Mn2のソース側に設けているが、こ
れをドライバNMOSトランジスタ対Mn1,Mn2の
ドレイン側に配置しても、同様の動作が可能である。
【0053】図12は、図11の実施例を変形した第7
の実施例のセンス増幅回路である。この実施例では、ラ
ッチ型の第2の増幅器2の入力兼出力ノードN1.N2
が、それぞれインバータI11,I21を介して出力端子O
ut,/Outに接続され、この出力端子Out,/O
utが更にインバータI12 ,I22を介して電流遮断用の
NMOSトランジスタMX1, MX2のゲートに接続されて
いる。インバータI11,I12,I21,I22は好ましく
は、CMOSインバータとする。
【0054】この実施例の動作波形を図13に示す。待
機状態においては、第2の増幅器2の入力兼出力ノード
N1,N2はVCCにプリチャージされるため、出力端子
Out,/Outはいずれも“L”に固定される。この
とき、NMOSトランジスタMX1,MX2は、ゲート端子
D1,D2の電位が共にそれぞれVCCであり、導通状態
にある。この実施例のセンス増幅回路がこれまでに説明
した実施例と同様に動作して、例えばノードN1の電位
が“L”、ノードN2の電位が“H”に増幅されると、
出力端子Out、/Outの電位はそれぞれ“H”と
“L”になる。したがって、ゲート端子D1,D2の電
位はそれぞれ“H”(=VCC)と“L”(=VSS)にな
り、NMOSトランジスタMX2が遮断される。
【0055】従って、図11の実施例と同様に、消費電
力を小さくすることができる。またこの実施例では、出
力端子Out、/Outと入力兼出力ノードN1,N2
の間にインバータを介在させたことにより回路の安定化
が図られている。即ちノードN1は待機状態においてV
CCにプリチャージされており、増幅動作後はVCCあるい
はVSSのどちらかになるが、第1の増幅器1の動作によ
り、電源VCCからトランジスタMp4,Mn1,Mx
1,Mn3を介して、あるいはMp5,Mn2,Mx
2,Mn3を介して接地端子Vss に電流が流れる。従っ
て、増幅後にノードN1がVCCになる場合でも、ノード
N1は一旦VCCよりも少し電位が下がる。これに対し
て、ノードN1の電位を入力したインバータI11の出力
は、多少の入力電位の変化に対してもVSSの電位を保つ
ことができる。即ち、ノードN1の電位がVCCから少し
下がっても、それがインバータI11の回路しきい値以上
であれば、出力はVSSに固定されたままである。この結
果、増幅回路出力は、待機状態でVSS、増幅後にVCCあ
るいはVSSとなり、途中でこれ以外の不安定な電位状態
になりにくいという特徴をもつ。
【0056】図14は、この発明の第8の実施例のセン
ス増幅回路である。この実施例の回路は、図12の実施
例における第1の増幅器1の活性化用NMOSトランジ
スタMn3を二つに分けて、ドライバMOSトランジス
タ対Mn1,Mn2と電流遮断用のNMOSトランジス
タMX1,MX2の間にNMOSトランジスタM1A,M1Bと
して挿入配置している。即ち、接地端子VSSとノードN
1,N2の間に3個のMOSトランジスタが直列接続さ
れたことになる。それ以外は図12と同様である。NM
OSトランジスタM1A,M1Bがクロック信号Clkによ
り制御されることも、図12の活性化用NMOSトラン
ジスタMn3と同様である。
【0057】図12の実施例では、クロック信号Clk
が“L”から“H”になると、NMOSトランジスタM
X1,MX2のソースおよびドレインの寄生容量、あるいは
ゲートとチャネル領域で形成される容量素子に蓄えられ
ている電荷が活性化用MOSトランジスタMn3を介し
て接地端子VSSに流れ出し、更にMOSトランジスタM
n1,Mn2を介して入出力ノードN1,N2の電位が
変化する。
【0058】これに対してこの実施例では、クロック信
号Clkが遷移する前に、MOSトランジスタMX1,M
X2の寄生容量に蓄えられた電荷は接地端子VSSに流れて
いる。従って、これらの寄生容量の電荷を流すに要する
時間だけ、図12の実施例に比べて高速に動作すること
ができる。
【0059】図15は、この発明の第9の実施例のセン
ス増幅回路である。この実施例では、図14の実施例に
おけるNMOSトランジスタM1AとMX1の機能を一つの
NMOSトランジスタMXAにまとめ、NMOSトランジ
スタM1BとMX2の機能を一つのNMOSトランジスタM
XAにまとめている。即ち、ドライバMOSトランジスタ
対Mn1,Mn2のソースと接地端子VSSの間に設けら
れたNMOSトランジスタMXA,MXBは、第1の増幅器
1の活性化用としてと同時に、電流遮断用として用いら
れる。そのために、出力端子Out,/Outのデータ
x,yの論理和をとるORゲートG1と、このORゲー
トG1の出力とクロック信号/Clkが入るNORゲー
トG2が設けられ、このNORゲートG2の出力により
NMOSトランジスタMXA,MXBのゲートが制御される
ようになっている。
【0060】図16は、この実施例の動作波形を示して
いる。クロック信号/Clk=“H”の待機状態では、
出力端子Out,/Outともに“L”であり、NOR
ゲートG2の出力が“L”、従ってNMOSトランジス
タMXA,MXBは、ゲート端子Dが“L”であってオフに
保たれる。クロック信号/Clkが“L”に変化する
と、NORゲートG2の出力によりゲート端子Dが
“H”になり、MOSトランジスタMXA,MXBがオン、
従って第1の増幅器1は活性化される。
【0061】その後、出力が確定すると、出力端子Ou
t,/Outの一方が“H”となるから、ORゲートG
1の出力が“H”、NORゲートG2の出力が再度
“L”となり、従ってNMOSトランジスタMXA,MXB
は共にオフとなる。これにより、データ確定後の第1の
増幅器1を流れる電流が遮断される。
【0062】従ってこの実施例によれば、第1の増幅器
1の電流経路に挿入されるトランジスタ数を必要最小限
として、回路活性化のと機能とデータ確定後の電流遮断
の機能を実現することができる。
【0063】図17は、図12の実施例を変形した第1
0の実施例のセンス増幅回路である。この実施例では、
図12における第2の増幅器2の活性化用NMOSトラ
ンジスタMn6を二つに分ける形で、NMOSトランジ
スタMn4,Mn5の共通ソースと、NMOSトランジ
スタMn1,Mn2のソースとの間にNMOSトランジ
スタMY1,MY2を挿入している。これらのNMOSトラ
ンジスタMY1,MY2のゲートはそれぞれ、出力端子Ou
t,/Outの電位をインバータI12,I22により反転
した電位で制御される。
【0064】この実施例でのNMOSトランジスタMY
1,MY2は、第2の増幅器2の活性化用であるが、第2
の実施例と同様に、第2の増幅器2の動作開始タイミン
グを第1の増幅器1よりも確実に遅らせる働きをする。
即ち、第1の増幅器1が動作を開始してMOSトランジ
スタMn1,Mn2のソースが“L”となり、さらにM
OSトランジスタMY1, MY2の寄生容量に蓄えられた電
荷が接地端子VSSに流れることにより初めてノードAが
“L”となり、ラッチ型の第2の増幅器2が動作する。
【0065】またこの実施例の場合、MOSトランジス
タMY1、MY2およびMX1,MX2はそれぞれ待機状態にお
いてゲート電位が“H”に固定されている。したがっ
て、差動NMOSトランジスタ対Mn1,Mn2のソー
スは、NMOSトランジスタMY1とMY2によって短絡さ
れて、同電位に保たれる。これは動作マージンの向上に
寄与する。例えば、図12の実施例においては、第1の
増幅器1の2つの電流経路には、それぞれ3つのMOS
トランジスタが直列に入る。したがってこれらのトラン
ジスタのしきい値がばらつく等の理由で電流駆動能力に
差があると、増幅器の動作マージンが少なくなってしま
う。これに対してこの実施例においては、MOSトラン
ジスタMn1,Mn2のソースが待機状態には短絡され
ているため、このソースを基準として、第1の増幅器1
の二つの電流経路に挿入されるトランジスタは、それぞ
れMp4とMn1、Mp5とMn2の2つずつを考慮す
ればよい。つまり、しきい値のばらつきが動作マージン
に反映するトランジスタ数が少なくなり、プロセスのば
らつきによる性能の劣化を抑えることができる。
【0066】ここまでの実施例は、第2の増幅器2の入
力兼出力ノードN1,N2を待機状態でVCCにプリチャ
ージしたが、VSSにプリチャージすることもできる。図
18は、VSSプリチャージを行うようにしたこの発明の
第11の実施例のセンス増幅回路を、図1に対応させて
示している。この実施例では、図1のPMOSトランジ
スタMp1,Mp2,Mp3を用いたプリチャージ回路
3に代わって、NMOSトランジスタMn11,Mn1
2,Mn13を用いたプリチャージ回路13が接地端子
VSS側に設けられている。ソースが共通にVSSに接続さ
れたNMOSトランジスタMn11,Mn12がクロッ
ク信号/Clkにより制御されて、ノードN1,N2を
VSSにプリチャージする。NMOSトランジスタMn1
3は短絡用である。
【0067】また、図1のドライバNMOSトランジス
タ対Mn1,Mn2による第1の増幅器1に対応して、
ドライバPMOSトランジスタ対Mp11,Mp12を
用いた第1の増幅器11がVCC側に構成されている。第
1の増幅器11の活性化回路もPMOSトランジスタM
p13により構成される。第2の増幅器12の基本構成
は図1の第2の増幅器2と同様であるが、活性化回路は
PMOSトランジスタ対Mp4,Mp5の共通ソースと
電源端子VCCの間に設けられたPMOSトランジスタM
p14により構成されている。
【0068】図19は、この実施例の回路の動作波形で
ある。クロック信号/Clk=“H”の待機状態で、出
力端子Out,/OutはVSSにプリチャージされる。
クロック信号/Clkが“L”になって、第1の増幅器
11と第2の増幅器12が同時に活性化される。入力端
子Q,/Qの電位差により第1の増幅器11のトランジ
スタ対Mp11,Mp12の導通度に差が生じると、入
出力ノードN1,N2の一方が電位上昇し、その差が第
2の増幅器13により拡大されて、出力端子Out,/
Outは一方がVSS、他方がVCCになる。
【0069】この実施例によって、基本的に図1の実施
例と同様のセンス動作が可能である。但しこの実施例
は、入力端子Q,/QがVCCを基準として、ここからの
電位低下の差を検知するいう用途に特に適している。
【0070】図1の実施例に対して、図6以下に、二つ
の増幅器の活性化タイミングに差を与えたり、電流遮断
用MOSトランジスタを挿入するといった変形例を挙げ
たが、図18の実施例に対しても同様の変形が可能であ
る。
【0071】図20は、それらの変形例の代表として、
図17に対応させた第12の実施例のセンス増幅回路を
示している。図17と同じ符号MX1,MX2,MY1,MY2
を用いているが、これらはPMOSトランジスタとな
る。
【0072】詳細な動作説明は省略するが、この実施例
の場合も待機状態でノードN1,N2はVSSにプリチャ
ージされ、第1及び第2の増幅器11及び12が動作す
ると、入力端子Q,/Qの電位関係によって出力端子O
ut,/Outの一方が“L”から“H”に変化する。
【0073】なお図20では、入力兼出力ノードN1,
N2から2段のインバータを介して出力端子Out,/
Outを取り出しているが、図17の実施例と同様に1
段のインバータによる反転出力を出力端子Out,/O
utに取り出すようにしてもよい。
【0074】図21は、この発明によるセンス増幅回路
の好ましい適用例である、DRAMへの適用例を示す。
DRAMは図示のように、多数のビット線対BL,/B
Lとワード線WLの交差部にダイナミック型メモりセル
を配置してなるメモりセルアレイ21を有する。各ビッ
ト線対BL,/BLにはビット線センスアンプ22が設
けられ、ビット線センスアンプ22に読み出されたデー
タはカラム選択線CSLにより選択されてデータ線23
に取り出される。データ線23には更にデータ線センス
アンプ24が設けられ、このデータ線センスアンプ24
の出力がデータ出力回路25を介して取り出される。こ
の発明によるセンス増幅回路は、好ましくはこの様なD
RAMのデータ線センスアンプ24として用いられる。
【0075】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によるセンス
増幅回路では、差動型の第1の増幅器の出力をラッチ型
の第2の増幅器の入力兼出力ノードに直結して、これら
をクロック制御によりほぼ同時に活性化して微小電位差
の検出を行うようにしており、クロック信号の1回の遷
移で高速のセンス動作を行うことが可能になる。制御用
のクロック信号には相補クロックは必要ではなく、制御
信号の簡略化が図られる。
【0076】またこの発明のセンス増幅回路において、
第1の増幅器と第2の増幅器とで負荷を共有させること
により、回路構成は一層簡単なものとなる。更にこの発
明において、第1の増幅器と第2の増幅器の活性化タイ
ミングに僅かの差を付けることにより、用いられるMO
Sトランジスタのしきい値のバラツキ等に起因する誤動
作を防止して、入力端子の微小電位差を確実に反映した
出力を得ることが可能になる。
【0077】更に、第2の増幅器の入力兼出力ノードと
第1の増幅器の基準電位端子の間の電流経路に、確定し
た出力電位によって制御されて電流経路を自動的に遮断
するスイッチ素子を設けることにより、出力が確定した
後に第1の増幅器を介して流れる無駄な電流をなくすこ
とができる。これにより、効果的にセンス増幅回路の低
消費電力化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1の実施例によるセンス増幅回
路を示す。
【図2】 同実施例のセンス増幅回路の動作波形を示
す。
【図3】 同実施例のセンス増幅回路の第1の増幅器部
分を強調して示す。
【図4】 同実施例のセンス増幅回路の第2の増幅器部
分を強調して示す。
【図5】 同実施例のセンス増幅回路において出力確定
後に電流が流れる様子を示す。
【図6】 この発明の第2の実施例によるセンス増幅回
路を示す。
【図7】 この発明の第3の実施例によるセンス増幅回
路を示す。
【図8】 同実施例のセンス増幅回路に用いられる遅延
要素の例を示す。
【図9】 この発明の第4の実施例によるセンス増幅回
路を示す。
【図10】 この発明の第5の実施例によるセンス増幅
回路を示す。
【図11】 この発明の第6の実施例によるセンス増幅
回路を示す。
【図12】 この発明の第7の実施例によるセンス増幅
回路を示す。
【図13】 同実施例のセンス増幅回路の動作波形を示
す。
【図14】 この発明の第8の実施例によるセンス増幅
回路を示す。
【図15】 この発明の第9の実施例によるセンス増幅
回路を示す。
【図16】 同実施例のセンス増幅回路の動作波形を示
す。
【図17】 この発明の第10の実施例によるセンス増
幅回路を示す。
【図18】 この発明の第11の実施例によるセンス増
幅回路を示す。
【図19】 同実施例のセンス増幅回路の動作波形を示
す。
【図20】 この発明の第12の実施例によるセンス増
幅回路を示す。
【図21】 この発明に係るセンス増幅回路の好ましい
応用例を示す。
【図22】 従来のセンス増幅回路の一例を示す。
【図23】 同センス増幅回路の動作波形を示す。
【図24】 従来のセンス増幅回路の他の例を示す。
【図25】 同センス増幅回路の動作波形を示す。
【符号の説明】
1…第1の増幅器 2…第2の増幅器 3…プリチャージ回路 Mn1、Mn2…ドライバNMOSトランジスタ対 Mn3…第1の活性化用NMOSトランジスタ 2a、2b…CMOSインバータ Mn6…第2の活性化用NMOSトランジスタ Mp1、Mp2…プリチャージ用PMOSトランジス
タ、 Mp3…短絡用PMOSトランジスタ 4…遅延要素 MX1、MX2…電流遮断用NMOSトランジスタ

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二つの入力端子と、 この二つの入力端子の電位差を検知して差動出力を出す
    第1の増幅器と、 クロック信号により制御されて前記第1の増幅器を活性
    化させる第1の活性化回路と、 前記第1の増幅器の差動出力がそれぞれ直結される二つ
    の入力兼出力ノードを有し、前記第1の増幅器の差動出
    力を拡大して保持するラッチ型の第2の増幅器と、 この第2の増幅器の前記二つの入力兼出力ノードからそ
    れぞれ取り出される二つの出力端子と、 前記クロック信号により制御されて前記第2の増幅器を
    前記第1の増幅器と同期して活性化する第2の活性化回
    路とを備え 前記第1の増幅器は、ソースが共通に第1の活性化ノー
    ドに接続され、ドレインがそれぞれ前記二つの入力兼出
    力ノードに接続された第1導電チャネルのドライバMO
    Sトランジスタ対と、第2導電チャネルの負荷MOSト
    ランジスタ対とから構成され、 前記第2の増幅器は、ソースが共通に第2の活性化ノー
    ドに、ドレインが前記二つの入力兼出力ノードに、ゲー
    トが互いに交差して前記二つの入力兼出力ノードに接続
    された第1導電チャネルのMOSトランジスタ対と、ソ
    ースが共通に電源端子に、ドレインが前記二つの入力兼
    出力ノードに、ゲートが互いに交差して前記二つの入力
    兼出力ノードにそれぞれ接続された第2導電チャネルの
    MOSトランジスタ対とから構成され、且つ前記第2の
    増幅器における第2導電チャネルのMOSトランジスタ
    対が前記第1の増幅器の負荷MOSトランジスタ対とし
    て用いられており、 前記第1の活性化回路は、前記第1の活性化ノードと基
    準電位との間に接続されてゲートが前記クロックにより
    制御され、前記第1の増幅器の前記第1の活性化ノード
    を基準電位に接続する第1導電チャネルの活性化用MO
    Sトランジスタにより構成される回路であり、 前記第2の活性化回路は、前記第2の活性化ノードと基
    準電位との間に接続 されてゲートが前記クロックにより
    制御され、前記第1の活性化回路がオンすることによっ
    て基準電位に接続される前記第1の活性化ノードを介し
    て前記第2の増幅器の前記第2の活性化ノードを前記基
    準電位に接続する第1導電チャネルの活性化用MOSト
    ランジスタにより構成される回路である ことを特徴とす
    るセンス増幅回路。
  2. 【請求項2】 前記クロック信号により制御されて前記
    二つの入力兼出力ノードを前記第1及び第2の増幅器の
    活性化に先だって所定電位に設定するためのプリチャー
    ジ回路を有することを特徴とする請求項1記載のセンス
    増幅回路。
  3. 【請求項3】 前記プリチャージ回路は、第2の電源端
    子と前記二つの入力兼出力ノードの間にそれぞれ設けら
    れてゲートが共通に前記クロックにより制御される第2
    導電チャネルの二つのプリチャージ用MOSトランジス
    タと、前記二つの入力兼出力ノード間を短絡するように
    設けられてゲートが前記クロックにより制御される第2
    導電チャネルの短絡用MOSトランジスタとから構成さ
    れていることを特徴とする請求項2記載のセンス増幅回
    路。
  4. 【請求項4】 前記第2の活性化回路に、前記第1の活
    性化回路に遅れてオンするように遅延要素が付加されて
    いることを特徴とする請求項1記載のセンス増幅回路。
  5. 【請求項5】 前記二つの入力兼出力ノードから前記第
    1の増幅器を通って基準電位に流れる電流の経路上に、
    前記二つの入力兼出力ノードの確定した電位により制御
    されてその経路を遮断するスイッチ素子を備えたことを
    特徴とする請求項1記載のセンス増幅回路。
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