JP3438872B2 - 光導波路ファイバ線引き装置および方法 - Google Patents

光導波路ファイバ線引き装置および方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は直径変化を軽減しかつフ
ァイバ・バウ（fiber bow)を軽減した光導波路プリフォ
ームから光導波路ファイバを線引きするための方法およ
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光導波路プリフォームから光導波路ファ
イバを線引きするための方法および装置は公知である。
その装置は通常、プリフォームを軟化させるための熱源
と、ファイバ直径測定装置と、ファイバに保護コーティ
ングを施すためのユニットと、ファイバ巻取りユニット
よりなるものである。
【０００３】光導波路ファイバの寸法変化が光学的特性
に大きな影響を及ぼすことが以前から知られている。例
えば、ファイバ直径に３％の相対変化があるとそのファ
イバの最初の１キロメートル長に0.8dBまでの減衰を与
えることになることが示されている。Montierth, "Opti
cal Fiber Drawing Techniques", Optical Spectra,第4
2−48頁、43、1978年、10月を参照されたい。電気通信
関係のマーケットで従来の銅線のツイストペアに対抗し
うるファイバを作成するためには、±１％のまたはそれ
より良好な３σ範囲までファイバ直径の変化を減少させ
る必要があるとすでに1978年ころに言われていた。同上
４３頁参照。
【０００４】ファイバ線引き技術における他の問題点は
ファイバ強度の改善であった。例えば、熱源または炉に
ガス流を導入することによって線引き装置の清潔度が改
善された。このガス流は周囲の空気の上昇気流が、ファ
イバが炉から外に出る炉の底から炉に入るのを阻止す
る。このような上昇気流はプリフォームの軟化された部
分の近傍に粒子を運び込みうる。その粒子が軟化したプ
リフォームまたはファイバに付着し、ファイバに脆弱な
部分を生じ、その部分が所要の限界以下で破断してしま
うおそれがある。上記ガス流は炉または加熱されたプリ
フォームから放出される材料を流し去る作用もする。例
えば、米国特許第４１２６４３６号を参照されたい。
【０００５】しかし、このようにガスを導入すると、フ
ァイバが線引きされるプリフォームの先端部にガスが到
達したときに均一に加熱されていなければ、そのプリフ
ォームの先端部の近傍においてガスが迅速に不均一な加
熱をうけることによって乱流が生じ、ファイバに直径の
変化を生じさせることになる。この不均一加熱の問題に
対する１つの解決策として、ガスがプリフォームの先端
部に到達したときにガスを均一に加熱させる細い円筒状
のチャンネルをプリフォームに隣接して設けることが行
なわれている。例えば、上記米国特許第４１２６４３６
号を参照されたい。また、炉内にヘリウムのようなガス
が存在すれば、ファイバが線引きされるプリフォームの
先端部における温度を安定させうることが示されてい
る。このようにプリフォームの先端部における温度が安
定化されることによって、ファイバの直径変化が軽減さ
れることが示されている。例えば、米国特許第４１５４
５９２号を参照されたい。
【０００６】ファイバのクラッド層の粘度が線引きされ
たファイバにおける偏差応力を実質的に防止するのに十
分に高い温度になる前に線引きされたファイバが示差冷
却されると、ファイバに曲げを生じさせることになりう
ることを見いだした。この曲げ、ファイバ「バウ」（fi
ber "bow" ）はファイバが他のファイバにスプライス
（splice）されるときに困難を生じ、高損失スプライス
となり、光ファイバをベースとした通信システムの全体
としての性能に悪影響を及ぼすことになる。ファイバの
１つのリボン・アレイが対向したアレイにスプライスし
なければならないリボン・ファイバの用途においては、
このバウの効果が重畳されることになる。
【０００７】本発明者はファイバが線引き用炉から外に
出るときにそのファイバのまわりを循環する室内空気が
ファイバを示差冷却することも認めた。これが高い周期
でかつランダムな直径変動を生ずる。典型的には、この
変化はファイバ直径に対する仕様で許容されるものより
小さい。しかし、これらの直径変動は「エアライン」
（airline）として知られたファイバの欠陥を隠蔽する
のに十分な大きさである。エアラインはファイバ中の穴
であり、ファイバ直径の小さな値の急激な変化によって
識別される。
【０００８】ファイバのクラッド層の粘度が線引きされ
たファイバにおける偏差応力を実質的に防止するのに十
分なだけ高くなる前におけるファイバの示差冷却によっ
てバウが生ずるものと本発明者は考える。ファイバの冷
却にともなって、クラッド層がコア領域に対して急速に
冷える。このクラッド層の急速冷却がファイバのクラッ
ド層内に大きい引張り応力を誘起する。粘度がクラッド
層における偏差応力を最小限に抑えるのに十分なだけ高
くなる前にクラッド層が示差冷却を受けると、ファイバ
の周囲に均一に分布されない引張り応力を生じ、これに
よってバウが誘起されることになる。
【０００９】線引き処理時に、ヘリウム（または炉内で
用いられる他のガス）の境界層がファイバ表面に隣接し
て生ずる。この境界層は、意図的にまたは誤って炉雰囲
気内に導入される付加的なガスのような他の力によって
破壊されないかぎり、ファイバと一緒に炉の出口を通っ
て進行するであろう。ヘリウムは非常に効率的な熱伝達
媒体であるから、この境界層はそれが完全なままである
限りファイバの周囲に実質的に対称的な温度を与えるこ
とができる。周囲の雰囲気における流れによる境界層の
破壊が、ファイバ・バウまたは直径変動を生ずることに
なりうる示差冷却に寄与するものと本発明者は考えてい
る。
【００１０】米国特許第４６７３４２７号はファイバ内
に熱的に誘起される応力を防止するために窒素、アルゴ
ンまたは酸素を用いることを開示している。これらの応
力はファイバの減衰を増大させるものであって、ファイ
バが約1800℃から約1200℃まで冷却された場合の大きな
温度勾配によって生ずる。ガスは炉内に導入され、そし
てほぼプリフォームの温度まで加熱される。ファイバが
加熱されたプリフォームから線引きされて付設チューブ
内に入れ込まれるにつれて、ガスが炉からチューブ内に
流入する。チューブの内側に積層流分布を生じさせるた
めの流量でチューブ内に付加的なガスが導入される。フ
ァイバは所望の影響を得るためには少なくとも 0.1秒の
あいだチューブ内に留っていなければならないから、チ
ューブの長さは線引き速度に依存する。上記米国特許の
第１欄第５４−６５行目を参照されたい。
【００１１】特願昭６２−２４６８３７号はファイバの
直径変化を軽減するために線引き用炉のファイバ取り出
し端部にチューブを使用することを開示している。線引
き用炉内に不活性ガスが導入される。ファイバが線引き
されて炉からチューブ内に入れ込まれるときに、この不
活性ガスはプリフォームの温度に近い温度に加熱され、
そして炉からチューブ内に流入する。また炉からの輻射
熱によってチューブが加熱されるのを防止するために炉
とチューブとの間にシャッターが設けられている。
【００１２】上記特願昭６２−２４６８３７号における
チューブには炉からチューブ内に流入する不活性ガスを
冷却するための媒体が設けられている。またこの特願昭
６２−２４６８３７号はチューブ内に付加的な不活性ガ
スを直接導入するための手段をも開示している。チュー
ブ内の不活性ガスは、チューブの底部から外に出る不活
性ガスと周囲の雰囲気との間の温度差が無視できるよう
に冷却される。これは周囲の空気が冷却チューブに、従
って炉に入るのを防止するように設計されている。炉内
に周囲空気を導入するとファイバが線引きされているプ
リフォームの先端部の近傍に乱流が生じ、その乱流内の
不均一な温度分布によるファイバの直径変化を生ずるこ
とになるであろうと記載されている。
【００１３】１９８９年６月２１日に公開されたヨーロ
ッパ特許出願公開第０３２１１８２号は線引きされたフ
ァイバに比較的小さい吸収損失を生ずるために制御され
た態様でそのファイバの温度を低下させるための方法を
開示している。そのヨーロッパ特許出願では、この制御
された温度低下を達成するために管状の回収チャンバが
用いられている。
【００１４】その管状回収チャンバは加熱されてもよ
く、あるいは高温のガスがそのチャンバ内に導入されて
もよい。第６欄第５０−５３行目を参照されたい。この
チャンバの出口における温度は約 200℃である。第７欄
第８−１１行目を参照されたい。上記ヨーロッパ特許出
願は炉に隣接した上記チャンバ内に制御されない周囲空
気が入り込むのを防止するための線引き用炉と回収チャ
ンバとの間におけるシールを開示している。第６欄第１
８−２１行目を参照されたい。上記ヨーロッパ特許出願
は炉と回収チャンバとの間のシールの近傍において炉内
に付加的なガスを加えることを開示している。このガス
流はファイバに隣接して形成されているかもしれない境
界層を破壊する傾向があり、この破壊が直径変化または
ファイバ・バウを生ずることになりうるファイバの示差
冷却を生じさせる。また、上記ヨーロッパ特許出願は回
収チャンバの出口端部に周囲空気が入り込むのを防止す
るための装置を用いることについては開示していないし
暗示もしていない。
【００１５】上記ヨーロッパ特許出願は、ガラス構造に
おける破断された結合によって生ずる線引きにより誘起
された吸収損失を軽減することに関している。上記ヨー
ロッパ特許出願の回収チャンバは、ファイバが周囲の空
気に触れるまえに上記破断された結合を再生させ得る温
度分布にファイバを露呈させる。これがファイバのガラ
ス構造に上記破断された結合を「凍結」（freezing）さ
せるのを防止する。
【００１６】他にも種々のファイバ冷却装置が開示され
ている。これらの装置は保護コーティングを施す目的で
ファイバを冷却するために用いられる。米国特許第４２
０８２００号はファイバが通る細長いチャンバを具備し
た液体ファイバ冷却器を開示している。その細長いチャ
ンバは容器内の冷却液体の温度を下げるクーラント・ジ
ャケットによって包囲されている。
【００１７】米国特許第４４３７８７０号はファイバが
通りかつ冷たい乾燥したヘリウムが導入される細長いチ
ューブを具備したファイバ・クーラを開示している。米
国特許第４５１４２０５号はファイバが通る細長いチュ
ーブを具備したファイバ・クーラを開示している。上記
米国特許第４４３７８７０号と同様に、この米国特許第
４５１４２０５号はその細長いチューブ内に冷たい乾燥
したヘリウムを導入することを開示している。しかし、
米国特許第４５１４２０５号はさらに液化ガスの入った
チャンバを使用し、その液化ガス中にコイルを沈ませ、
上記冷たい乾燥したヘリウムを上記細長いチューブに流
入させる前にそのコイル中を通すことを開示している。
【００１８】上記米国特許第４２０８２００号、同第４
４３７８７０号、および同第４５１４２０５号はすべて
直径測定装置の後に配置されるファイバ冷却装置を開示
している。従って、これらの冷却装置はファイバの直径
変化を軽減するのには不適当である。米国特許第４５９
４０８８号は線引き用炉と線引きされたファイバをコー
ティングするための装置との間に配置された液体ファイ
バ・クーラを開示している。この米国特許第４５９４０
８８号の液体ファイバ・クーラはファイバがファイバ直
径測定装置を通過した後の位置に配置されるものである
が、この米国特許第４５９４０８８号は明示的に液体フ
ァイバ・クーラを炉とコーティング装置との間に配置し
ているにすぎないことが明らかである。この米国特許第
４５９４０８８号はファイバを冷却するための炉ガスを
使用することについては開示していないし暗示もしてい
ない。また、この米国特許第４５９４０８８号は保護用
コーティング材料を適用する前に８０℃以下の温度にフ
ァイバを冷却することに関するものである。
【００１９】
【本発明が解決しようとする課題】本発明の１つの目的
は、光導波路ファイバを線引き温度からファイバのクラ
ッド層の粘度がこのクラッド層における偏差応力を実質
的に防止するのに十分に高くなる温度まで実質的に対称
的な態様で冷却するために、光導波路ファイバに隣接し
て炉ガスの本質的に均一な境界層を維持するための方法
および装置を提供することである。
【００２０】本発明の他の目的は、光導波路ファイバの
クラッド層の粘度がこのクラッド層における偏差応力を
実質的に防止するほどに十分に高くなるまで、ファイバ
を制御されない周囲雰囲気に露呈されないように隔離す
ることによって、光導波路ファイバの実質的に対称的な
冷却を行うための方法および装置を提供することであ
る。
【００２１】本発明の他の目的は、線引きされた光導波
路ファイバにおける冷却によって誘起されるバウ（bo
w）を軽減することである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、線引き
用炉内で加熱されたプリフォームから光導波路ファイバ
を線引きし、この場合、その炉の頂部にガスを導入し
て、ファイバに隣接して境界層を形成し、この境界層が
ファイバと一緒に炉中を通ってチューブに入る。このチ
ューブはファイバを周囲の雰囲気から隔離し、ファイバ
のクラッド層の粘度がファイバの周囲における偏差応力
を最小限に抑えるのに十分なだけ高くなるまで、炉内で
形成された境界層が実質的に均一な状態にとどまるよう
にする。
【００２３】
【実施例】図１は典型的なファイバ線引き装置を示して
いる。光導波路プリフォーム１がそれの一端部を光導波
路ファイバ２がトラクタ７によってプリフォーム１から
線引きされる温度に加熱手段３によって加熱される。プ
リフォーム１は線引き工程時にプリフォーム１を加熱手
段３内に進入させる作用もする支持手段（図示せず）に
よって支持されている。
【００２４】ファイバ２は直径測定装置４を通過する。
この直径測定装置４からのフィードバックが、プリフォ
ーム１からファイバ２をトラクタ７が線引きする速度を
制御する制御システム（図示せず）によって用いられ
る。コーティング装置５はファイバ２に保護コーティン
グを施す。硬化装置６はコーティング装置５によって施
されたコーティングを硬化する。直径測定装置４とトラ
クタ７との間に一連の対のコーティング装置５および硬
化装置６を直列に用いることによって多数のコーティン
グ層が適用されうる。例えば、米国特許第４５３１９５
９号を参照されたい。
【００２５】図２は本発明の断面図である。プリフォー
ム１０は可動支持体（図示せず）のための公知の手段に
固着されている。プリフォーム１０は炉１２内で加熱さ
れる。炉１２は公知の線引き用誘導加熱炉を表わしてい
る。例えば、Montierth, "Optical Fiber Drawing Tech
niques", Optical Spectra, pages 42-48, 47, Octobe
r, 1978を参照されたい。ジルコニアのようなサセプタ
材料で作成されたマッフル２０が高周波コイル（図示せ
ず）によって加熱されかつ絶縁物（図示せず）によって
包囲されている。破線２２はマッフル２０に発生される
最高温度のゾーンの概略位置を表わしている。
【００２６】上方マッフル延長部２１は気密シール、す
なわちガス気密シールを形成するためにマッフル２０に
連結されている。上方マッフル延長部２１の頂部は図示
されていない構体によって周囲の大気に対してシールさ
れている。この構体はガスが上方マッフル延長部２１の
頂部に供給されうるガス取入れ口（図示せず）を具備し
ている。
【００２７】延長された下方マッフル延長部３０はチュ
ーブ３１と流れアイソレータ３２を具備している。延長
部３０はさらに好ましくはシリカで作成された高温内側
ライニング（図示せず）を具備している。延長部３０は
気密シール、すなわちガス気密シールを形成するために
石英リング３３を用いてマッフル２０に装着されてい
る。マッフル２０と延長部３０の間には実質的に妨害さ
れない流れが存在する。この実質的に妨害されない流れ
は、ファイバとそれに隣接したガスがマッフル２０から
延長部３０に入るときに、マッフル２０の内側に形成さ
れた流れパターンを妨害されない状態に維持できるよう
にする。
【００２８】通常用いられる公知のコーティング装置、
硬化装置、およびトラクタは図２に示されていない。線
引き工程時に、プリフォーム１０の先端部が破線２１の
近傍において線引き温度まで加熱される。ファイバ１１
がプリフォーム１０の加熱された先端部から線引きされ
る。
【００２９】上方マッフル延長部２１の頂部に導入され
たガスはヘリウムまたはアルゴンのような不活性ガスよ
りなるのが通常である。上方マッフル延長部２１の頂部
は上述のようにシールされているので、ガスはマッフル
２０中を下方に流れてプリフォーム１０を通過しそして
破線２１で示された最高温度の点を通る。ガスはマッフ
ル２０中を通るときに線引き温度またはそれに近い温度
に加熱される。
【００３０】加熱されたガスはマッフル２０中を下方に
かつファイバ１１と一緒に流れる。ガスの境界層がファ
イバの表面近傍に形成され、そして炉内をファイバ１１
と一緒に移行する。延長部３０はマッフル２０とその延
長部３０との間に実質的に妨害されない流れを生ずるよ
うにマッフル２０に連結されているので、ファイバ１１
がマッフル２０から延長部３０に移動するにつれて、境
界層がマッフル２０から延長部３０に流入する。境界層
は延長部３０中をながれるにつれて実質的に対称的な態
様で徐々に冷やされ、それによって実質的に対称的な態
様でファイバ１１を冷却する。ファイバ１１は、このフ
ァイバのクラッド層の粘度がファイバのクラッド層にお
ける偏差応力を実質的に防止するのに十分なだけ高くな
るようにするために、1000−1300℃の範囲内の温度に加
熱されさえすればよいと考える。
【００３１】実質的に対称的な態様での冷却は、ファイ
バの粘度が実質的に同じ割合で変化するようにファイバ
の周面のまわりで等しい割合でファイバを冷却すること
を必要とする。ファイバの周面上の１つの点における粘
度がファイバの周面上の他の１つの点における粘度の変
化率とは異なる割合で変化すると、ファイバ・バウを生
ずる偏差応力が誘起されるであろうと考える。ファイバ
の実質的に対称的な冷却はファイバに誘起される偏差応
力を最小限の抑え、これによって偏差応力に起因するバ
ウを最小限に抑えるものと考える。
【００３２】流れアイソレータ３２は例えばシャッタま
たは調節可能な絞りを具備しうる。ファイバ１１に近接
するまで流れアイソレータ３２を閉じることによって、
周囲の大気が延長部３０の底部に入るのを実質的に防止
することができる。これは、ファイバのクラッド層の粘
度がファイバのクラッド層における偏差応力を実質的に
防止するのに十分なだけ高くなる前に周囲の大気による
ファイバ１１の示差冷却を防止するのを助ける。ファイ
バが流れアイソレータ３２を通って周囲の大気に出る
と、ファイバに隣接したガスの境界層がファイバと一緒
に流れアイソレータ３２を通って外に出る。周囲の大気
中の流れがファイバの表面に隣接したガスの境界層を破
壊するであろう。
【００３３】１つの実施例では、線引き速度は毎秒約９
メートルである。ファイバ中のテンションは図面には示
されていないテンション制御装置によって約９０グラム
の一定値に制御される。これにより約2,100−2,300℃の
範囲内の線引き温度を生ずる。炉内に導入されるガスは
約 3.1SLPM（１分当たりの標準リットル）の流量のヘリ
ウムよりなる。
【００３４】延長部は長さ約２０インチ（50.8cm）、内
径約 2.75インチ（7.0cm）のアルミニウムチューブであ
る。このチューブはスロットをカットされており、線引
き工程時に線引き作業員がファイバを見ることができる
ようにするために、そのスロットにはガラスの片がシー
ルされている。チューブの出口における絞りを通じてフ
ァイバが最初に引張れた後で、この絞りは直径約 0.5イ
ンチ（1.25cm）の開口を形成するように閉じられる。
【００３５】このようにして得られたファイバは 125μ
ｍの公称直径を有し、標準偏差は１μｍである。本発明
を使用すれば、ファイバ・バウの測定値は公称的に10,0
00ｍｍの曲率半径である。延長部３０を用いない場合に
は、上述した好ましい実施例と同様の条件のもとで走行
されるファイバは約3,800ｍｍの曲率半径の測定された
バウを呈示する。基準化されたバウ測定値はない。上述
の値はファイバの１０ｍｍのオーバーハング長のオフセ
ットを測定することによって得られる。
【００３６】ファイバのクラッド層の粘度がファイバの
クラッド層における偏差応力を実質的に防止するのに十
分なだけ高くなるようにするための1,000−1,300℃の範
囲内の温度へのファイバの実質的に対称的な冷却を生じ
させるために、延長部３０の長さは、線引き速度の上昇
にともなって増大する。延長部３０の直径は炉１２の幾
何学的値（直径、長さあるいは容積）の変化に適応する
ようにあるいはプリフォーム１０の外形の変化に適応す
るように修正され得る。
【００３７】本発明の初期の形態が図３に示されてい
る。延長部４０は長さが２６インチ（66.0cm）で内径が
0.875インチ（2.2cm ）のガラスチューブであり、下方
マッフル延長部４３内に挿入される。下方マッフル延長
部４３はマッフル４４に装着されている。マッフル４４
と下方マッフル延長部４３が線引き用炉４５を形成して
いる。プリフォーム（図示せず）が炉４５内で加熱さ
れ、そしてファイバ（図示せず）がプリフォームから線
引きされる。
【００３８】ノズル・アセンブリ４１はガス取入れ管４
２を具備しており、これが延長部４０の出口端部内への
付加的なガスの導入を許容する。ノズル・アセンブリ４
１が図４にさらに詳細に示されている。上方ノズル５０
は下方マッフル延長部（図示せず）に挿入される。取入
れ口５１はガス取入れ管（図示せず）からノズル領域内
へのガスの導入を許容する。ファイバ（図示せず）は、
アセンブリ４１を通過して下方ノズル５２を経て外に出
る。この実施例は延長部を設けないで作成されたファイ
バと比較してファイバ・バウの点である程度の改良を見
たが、延長部４０の出口端部に付加的なガスを導入する
ことが、その延長部４０の直径が小さいことと相俟っ
て、ファイバの近傍におけるガスの境界層の崩壊を生ず
る。この崩壊はより大きいバウを生ずることになるファ
イバの示差冷却を生じさせる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 典型的なファイバ線引き装置の概略図であ
る。
【図２】 本発明によるファイバ線引き装置の断面図で
ある。
【図３】 本発明の他の実施例によるファイバ線引き装
置の断面図である。
【図４】 ノズル・アセンブリの詳細図である。
【符号の説明】
１０ プリフォーム １１ ファイバ １２ 炉 ２０ マッフル ２１ 上方マッフル延長部 ３０ 下方マッフル延長部 ３１ チューブ ３２ 流れアイソレータ ３３ 石英リング ４０ 延長部 ４１ ノズル・アセンブリ ４２ ガス取入れ管 ４３ 下方マッフル延長部 ４４ マッフル ４５ 線引き用炉 ５０ 上方ノズル ５１ 取入れ口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヘンリ アンソニ スパイサ アメリカ合衆国ノースカロライナ州 28480、ライツヴィル、リーズ カット 211 (56)参考文献 特開 平１−275443（ＪＰ，Ａ) 特許3160422（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/00 - 37/16

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光導波路プリフォーム（１０）から減じ
    られたバウを有する光導波路ファイバ（１１）を線引き
    するための装置であって、 ａ． 前記プリフォームの一端部を線引き温度に加熱す
    るための内径を有するマッフル（２０）を含む炉（１
    ２）と、 ｂ． 前記ファイバを線引きする手段と、 ｃ． 前記プリフォームと前記マッフルとの間に相対移
    動を与えるように前記炉内に前記プリフォームを支持す
    る手段と、 ｄ． 前記プリフォームの加熱された端部から前記ファ
    イバを線引きする際に前記ファイバが円周方向において
    均等に冷却されるように前記ファイバを実質的に対称的
    な態様で冷却して、前記ファイバのクラッド層の粘度が
    前記ファイバのクラッド層における偏差応力の発生を実
    質的に防止するためには十分に高い温度にまで前記ファ
    イバを冷却して、前記ファイバの示差冷却により発生す
    るファイバ・バウを低減する冷却手段と、を有する光導
    波路ファイバ線引き装置。
  2. 【請求項２】 前記炉の外部の周囲の雰囲気に対して気
    密シールを形成し且つ前記マッフルの上部に設けられる
    とともに前記炉の頂部領域に不活性ガスを導入可能とす
    る導入口を有するガス気密シールを更に有することを特
    徴とする請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 前記周囲の雰囲気に対してガス気密シー
    ルを形成するのに十分な方法で前記マッフルの下部に接
    続される下方マッフル延長部（３０）であって、前記マ
    ッフル及び前記下方マッフル延長部を通過する線引きさ
    れた前記ファイバに隣接する前記ガスの境界層の流れを
    妨害せず、実質的に対称的な態様で冷却する下方マッフ
    ル延長部（３０）を更に有することを特徴とする請求項
    １又は２記載の装置。
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