JP3376911B2 - 半導体セラミックおよび半導体セラミック素子 - Google Patents
半導体セラミックおよび半導体セラミック素子Info
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Description
ク、特に、正の抵抗温度特性を有する半導体セラミック
および半導体セラミック素子に関する。
カラーテレビの消磁用の部品には、キュリー温度以上で
急激に高抵抗化する正の抵抗温度特性(以下、PTC特
性とする)を有する半導体素子が用いられており、この
半導体素子には、PTC特性がよいという理由から、チ
タン酸バリウムを主成分とする半導体セラミックを用い
ることが一般的であった。
のセラミックを半導体化させるためには、1300℃以
上の高温下で焼成する必要がある。このような高温の熱
処理を行うと、焼成炉に破損が生じやすく、焼成炉の維
持費が大きくなるとともに、省エネの点からも好ましく
ないため、より低温で焼成することのできるチタン酸バ
リウム系の半導体セラミックが望まれていた。
添加してセラミックの半導体化温度を下げるという技術
が「Semiconducting Barium Titanate Ceramics Prepar
ed by Boron-Conducting Liquid-Phase Sintering」(I
n-Chyuan Ho、Communications of the American Cerami
c Society Vol.77,No3,P829〜832、1994年)に開示
されている。この文献によれば、チタン酸バリウムに窒
化ホウ素を添加したセラミックは、その半導体化温度が
1100℃程度での半導体化が可能であると報告されて
いる。
半導体セラミックは、その半導体化温度が依然として1
000℃以上と高く、半導体化温度の低減効果は不十分
であった。
ウム系であって、かつ、その焼成温度を1000℃未満
に低減した半導体セラミックおよび半導体セラミック素
子を提供することにある。
目的に鑑みてなされたものである。第1の発明の半導体
セラミックは、チタン酸バリウム系の半導体焼結体中
に、少なくともホウ素酸化物を含有し、バリウム、スト
ロンチウム、カルシウム、イットリウム、希土類元素の
中から選ばれる少なくとも1種類からなる酸化物を含有
し、かつ鉛を含まない半導体セラミックであって、前記
ホウ素酸化物中のホウ素元素(Bとする)が原子比で、 0.005≦B/β≦0.50 1.0≦B/(α−β)≦4.0 (ただし、α:半導体セラミック中に含まれるバリウ
ム、ストロンチウム、カルシウム、イットリウム、希土
類元素の総量 β:半導体セラミック中に含まれるチタン、錫、ジルコ
ニウム、ニオブ、タングステン、アンチモンの総量) となるように添加されていることを特徴とする半導体セ
ラミック。
ン酸バリウム系の半導体セラミックが有しているPTC
特性が維持できるとともに、焼成温度を1000℃未満
に低減させることができる。
は、請求項1に記載の半導体セラミックと、前記半導体
セラミック上に形成された電極とを有してなることを特
徴とする。
のPTC特性を劣化させることなく、低い温度で焼成で
きる半導体セラミック素子とすることができる。
られるチタン酸バリウムは、BaTiO3からなるもの
のほか、そのBaまたはTiの一部を他の元素で置換し
ていてもよい。なお、チタン酸バリウム中のBaの一部
を置換する元素としては、Ca、Sr、Yまたは希土類
元素などがある。同様に、Tiサイトとは、チタン酸バ
リウム中のTiの一部をSnやZr等で置換したものも
含む。ただし、本発明の半導体セラミックに用いられる
チタン酸バリウムは鉛を含まない。
解しやすくするために説明を加えると、半導体セラミッ
ク中に含まれるBaサイトとなりうる全ての元素の総
量、すなわち、BaTiO3のBaサイトと、BaとT
iのモル比が非化学量論比のBaTiO3とするために
Baサイト過剰分として存在する酸化物との和である。
同じく、本発明におけるβは、半導体中に含まれるTi
サイトとなりうる全ての元素の総量、すなわち、BaT
iO3のTiサイトとTiサイト過剰分として存在する
酸化物の和である。
をSnでそれぞれ置換し、Baサイト過剰分としてBa
CO3(焼成後BaOとなる)を添加した場合には、 B/β=B/(Ti+Sn) B/(α−β)=B/[{(Ba+Ca)+Ba}−
(Ti+Sn)] となる。
Tiサイトの両方に存在する酸化物については、各サイ
トの量を総和してB/β,B/(α−β)の各量を導き
出せばよい。
ムとしては、特にBaとTiの比を限定するものではな
い。すなわち、Tiリッチのチタン酸バリウムを用いて
もよいし、Baリッチのチタン酸バリウムを用いてもよ
い。
れるホウ素は、通常、BNもしくはB2O3として添加さ
れるが、水に溶けないという理由からBNとして添加さ
れることが好ましい。この場合、BはB2O3となって半
導体セラミック中に残り、Nは焼成中に空気中へ飛散す
る。
れるバリウムは、半導体セラミック中のバリウム量を調
整するためのものであり、例えば、BaCO3として添
加される。この場合、BaはBaOとして半導体セラミ
ック中に残り、CはCO2として焼成中に大気中へ飛散
する。
ミック素子の製造工程について説明する。まず、水熱合
成したBaTiO3(Ba/Ti=0.998)を用意
し、これにBaTiO3のBaの一部を置換するSm2O
3、および、ホウ素をBN、バリウムサイト過剰分とし
てバリウムをBaCO3として添加、混合して、以下の
組成のような混合物を得た。
Sm2O3+xBaCO3+yBN 次に、混合物を仮焼後、粉砕し、仮焼粉末を得た。次
に、仮焼粉末にバインダーを混合してバインダー混合物
とし、このバインダー混合物を水中で5時間ボールミル
粉砕した後、50メッシュの篩いで造粒し、造粒物を得
た。さらに、得られた造粒物をプレス成形して成形体と
した後、この成形体を大気中950℃で2時間焼成して
以下のような半導体セラミックを得た。
1/2yB2O3 そして、この半導体セラミックにNiスパッタ膜を塗布
して電極を形成し、半導体セラミック素子とした。
びB/(α−β)を変動させた半導体セラミック素子に
ついて、室温比抵抗を測定した。その結果を表1に示
す。なお、表中の※印は本発明の範囲外を示す比較例で
ある。また、B/βおよびB/(α−β)の値は、Ba
O量xと、B2O3量yを変動させることで調整した。
半導体セラミック素子は、全て950℃で焼成しても、
室温比抵抗が1000Ω・cm以下になり、セラミックが
半導体化されていることが確認できる。また、試料番号
21のように、バリウムサイト過剰分のBaOが含まれ
ていないものは、室温比抵抗が1000000Ω・cm
以上となり、セラミックが半導体化していない。
/(α−β)を限定した理由について説明する。B/β
を0.005≦B/β≦0.50に限定したのは、試料
番号1から試料番号5のように、B/βが0.005よ
り小さい場合には、室温比抵抗が1000Ω・cmを大
きく超えてしまい、セラミックが半導体化されておら
ず、好ましくないからである。一方、試料番号32から
試料番号36のように、B/βが0.50より大きい場
合にも、室温比抵抗が1000Ω・cmを超えてしまい、
セラミックが半導体化されておらず、好ましくないから
である。
−β)≦4.0に限定したのは、試料番号1,6,1
1,16,22,27,32のように、B/(α−β)
が1.0より小さい場合には、室温比抵抗が1000Ω
・cmを超えてしまい、セラミックが半導体化されておら
ず、好ましくないからである。一方、試料番号5,1
0,15,20,26,31,36のように、B/(α
−β)が4.0より大きい場合にも、室温比抵抗が10
00Ω・cmを超えてしまい、セラミックが半導体化され
ておらず、好ましくないからである。
有量xの添加量、およびバリウムサイト過剰分として含
有される酸化物と、バリウムサイトにおいてBaの一部
を置換しているSm2O3との種類および添加量を変化さ
せて、その室温比抵抗を測定した。その結果を表2に示
す。なお、焼成温度はすべて950℃である。
として添加されている元素を請求項1に示す範囲で変化
させても、室温比抵抗を低くすることが可能となってい
ることがわかる。また、試料番号45,46,47,5
1,52に示すように、チタンサイトに請求項1に示す
元素の酸化物を添加しても、B/β,B/(α−β)が
請求項1に示す範囲内であれば、室温比抵抗を低くする
ことが可能となっていることがわかる。
いた製品例について説明する。図1は本発明の半導体セ
ラミック素子を用いた製品例の一実施例を示す概略断面
図、図2は本発明の半導体セラミック素子を用いた製品
例の他の実施例を示す概略断面図、図3は本発明の半導
体セラミック素子を用いた製品例のさらに他の実施例を
示す概略断面図である。図1に示すように、本発明の半
導体セラミック素子1としては、半導体セラミック3
と、半導体セラミック3上に形成された電極5と、電極
5に接続されたリード端子7と、これらを外装する外装
樹脂11とからなる樹脂コーティングタイプが挙げられ
る。
ク3と、半導体セラミック3上に形成された電極5と、
電極5と電気的に接続しているバネ端子8と、これらを
収納するケース本体13およびケース本体の蓋13aと
からなるケース収納タイプのものがある。また、図3に
示すように、2層に積層された半導体セラミック3と、
半導体セラミック3上に形成された電極5と、積層され
たれた半導体セラミック3の間の電極5に電気的に接続
しているリード端子8と、積層された半導体セラミック
3の外側の電極5に電気的に接続しているバネ端子8
と、これらの構成を収納するケース本体13およびケー
ス本体の蓋13aとからなる2層積層型のものも本発明
の半導体セラミック素子として挙げられる。なお、電極
5は第1層がNi層、第2層がAg層からなる。なお、
上記の3タイプはあくまで実施例であり、これらに限定
されるものではない。
リウム系の半導体焼結体中に、少なくともホウ素酸化物
を含有し、かつ、バリウムとチタンが等モルであるチタ
ン酸バリウムのバリウムサイト過剰分として、バリウ
ム、ストロンチウム、カルシウム、イットリウム、希土
類元素の中から選ばれる少なくとも1種類からなる酸化
物を含有し、かつ鉛を含まない半導体セラミックであっ
て、ホウ素(Bとする)が原子比で、0.005≦B/
β≦0.50,1.0≦B/(α−β)≦4.0(ただ
し、α:半導体セラミック中に含まれるバリウム、スト
ロンチウム、カルシウム、イットリウム、希土類元素の
総量、β:半導体セラミック中に含まれるチタン、錫、
ジルコニウム、ニオブ、タングステン、アンチモンの総
量)となるように添加されているような組成にしている
ので、その焼成温度を1000℃以下としても、セラミ
ックの半導体化が可能となる。このように、チタン酸バ
リウムのバリウム側を過剰にし、かつホウ素を含有させ
ることによって、この半導体セラミックを得るために使
用する焼成炉の寿命を延ばし、メンテナンスにかける費
用と手間を省くことができるうえ、焼成温度低減による
省エネを実現できる。
施例を示す概略断面図。
実施例を示す概略断面図。
に他の実施例を示す概略断面図
Claims (2)
- 【請求項1】チタン酸バリウム系の半導体焼結体中に、
少なくともホウ素酸化物を含有し、バリウム、ストロン
チウム、カルシウム、イットリウム、希土類元素の中か
ら選ばれる少なくとも1種類からなる酸化物を含有し、
かつ鉛を含まない半導体セラミックであって、 前記ホウ素酸化物中のホウ素元素(Bとする)が原子比
で、 0.005≦B/β≦0.50 1.0≦B/(α−β)≦4.0 (ただし、α:半導体セラミック中に含まれるバリウ
ム、ストロンチウム、カルシウム、イットリウム、希土
類元素の総量 β:半導体セラミック中に含まれるチタン、錫、ジルコ
ニウム、ニオブ、タングステン、アンチモンの総量) となるように添加されていることを特徴とする半導体セ
ラミック。 - 【請求項2】 請求項1に記載の半導体セラミックと、
前記半導体セラミック上に形成された電極とを有してな
ることを特徴とする半導体セラミック素子。
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