JP3357950B2 - 一体化薄膜インダクターおよびその製法 - Google Patents

一体化薄膜インダクターおよびその製法

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Description

【発明の詳細な説明】 1.発明の背景 本発明は、モノリシック薄膜コイル及びその製造方法
に関する。
モノリシックプリント薄膜プリントコイルは、多くの
従来技術を用いて製造されている。これらの方法の多く
は、コイル及び誘電層（通常、フェライト）の交互層を
印刷することを含んでいる。各コイルは、セグメント化
されており、コイルセグメントは、フェライト層を介し
て内部結合され、連続したヘリカルコイルが形成され
る。
これらのモノリシック薄膜コイルを製造する殆どの従
来方法は、各層で別々に印刷される印刷スクリーンがあ
り、コイルが形成されるようになっている。
従って、本発明の第１の目的は、改良されたモノリシ
ック薄膜コイル及びその製造方法を提供することにあ
る。
本発明の更なる目的は、最小の印刷スクリーン或いは
パターンで印刷でき、多種の積層が印刷されると、数回
の繰り返しで製造できるモノリシック薄膜コイルを提供
することにある。
また、本発明の更なる目的は、より少ない装置で、大
量にコイルを製造することができるモノリシック薄膜コ
イル及びその製造方法を提供することにある。
また、本発明の更なる目的は、コイルの長さと幅が、
底部から頂部まで一定であるモノリシック薄膜コイルを
提供することにある。
更に、本発明の目的は、従来のものよりも小さい部材
で製造できる改良されたモノリシック薄膜コイルを提供
することにある。
更に、本発明の目的は、自動製造に容易に適応可能な
モノリシック薄膜コイルを提供することにある。
また、本発明の更なる目的は、安価に製造でき、使用
耐性があり、効率よく操作できる、改良されたモノリシ
ック薄膜コイル及びその製造方法を提供することにあ
る。
発明の概要 上記の目的は、基板に底部コイルセグメントの底部終
端列をプリントし、第１のインデックスマークに位置
し、複数のビア開口部を有する誘電スクリーンにより、
前記底部終端列に誘電層をプリントし、第１の前記イン
デックスマークに位置したビアフィルスクリーンによ
り、前記誘電層の前記ビア開口部を充填するビアフィル
をプリントし、第１の前記インデックスマークに位置す
るコイルセグメントスクリーンにより、前記ビアフィル
上に、１つ以上の連続するｎコイルセグメント行を備
え、かつ、各行が前記ｎコイルセグメント行とは異なる
パターンのコイルセグメントを含んでいるコイルセグメ
ント列をプリントし、前記誘電スクリーン、ビアフィル
スクリーン及びコイルセグメントスクリーンを、ｎ個の
同じインデックスマークに位置合わせし、前記コイルセ
グメントスクリーン、誘電スクリーン、ビアフィルスク
リーンが、ｎ個の前記インデックスマークのそれぞれに
位置する時、前記コイルセグメント列、誘電層及びビア
フィルを、隣接するコイルセグメントにそれぞれ設け、
前記誘電スクリーン、ビアフィルスクリーン及びコイル
セグメントスクリーンを、第１の前記インデックスマー
クへ戻し、前記コイルセグメントスクリーン、誘電スク
リーン及びビアフィルスクリーンの前記位置合わせを、
第１の前記インデックスマークからｎインデックスマー
クまで繰り返し、前記コイルセグメントスクリーン、誘
電スクリーン及びビアフィルスクリーンが、第１の前記
インデックスマークから前記ｎ個のインデックスマーク
のそれぞれに位置する時に、前記コイルセグメント列、
誘電層及びビアフィルを形成し、それにより、各コイル
が誘電層により分離され、前記誘電層の前記ビア開口部
に充填されたビアフィルによって導通接続された複数の
コイルセグメントを有する複数のコイルを形成し、前記
誘電スクリーンを用いて、複数の前記コイルに、頂部誘
電層をプリントし、前記ビアフィルスクリーンを用い
て、前記頂部誘電層に、頂部ビアフィルをプリントし、
前記頂部ビアフィルに、コイルセグメント列をプリント
するようにした、積層電気素子を形成する方法により達
成される。
また、上記した目的は、基板と、前記基板上に、少な
くとも１つのコイルセグメント列が設けられた複数のコ
イルアセンブリとを備え、前記コイルアセンブリのそれ
ぞれは、a.底部コイルセグメント、ｎ個の異なる形状で
ある複数の中間コイルセグメント、及び、互いに積層さ
れた頂部コイルセグメントと、b.前記底部コイルセグメ
ントと前記頂部コイルセグメントとの間に設けられた複
数の誘電層と、c.前記コイルセグメントにより連続する
螺旋コイルを形成するために、前記誘電層を介して、前
記コイルセグメントを接続する複数のビアフィルとを備
え、各前記コイルアセンブリ内の複数の前記中間コイル
セグメントは、垂直に積層され、かつ、他の中間セグメ
ントが積層された底部の中間コイルセグメントを含み、
前記コイルアセンブリの前記コイルセグメント列内の前
記底部の中間コイルセグメントを、前記ｎ個の形状の第
１の形状からｎ番目の形状まで、平行に連続して、か
つ、少なくとも部分的に繰り返して設け、前記コイルア
センブリ内の前記中間コイルセグメントを、前記平行に
設けたのと同様に、前記底部の中間コイルセグメントか
ら上方へ、互いに垂直に繰り返して積層するようにし
た、複数の電気素子に切断可能なアセンブリにより達成
される。
図面の簡単な説明 図１は、本発明により製造されたモノリシック厚膜コ
イルの分解斜視図である。
図２は、種々のラミネート層の各々を示す図１のコイ
ルの分解斜視図である。
図3Aは、図１及び図２のコイルをプリントするために
使用される底部プリントスクリーンの平面図である。
図3Bは、図１のコイルの底部層をプリントするために
使用される底部終端スクリーンの平面図である。
図3Cは、図１のコイル内の種々の誘電層をプリントす
るために使用される誘電スクリーンの平面図である。
図3Dは、図１のコイルを製造するのに使用されるビア
フィル（貫通充填部）スクリーンの平面図である。
図3Eは、図１のコイルを製造するのに使用されるコイ
ルセグメントスクリーンの平面図である。
図3Fは、図3Cの誘電スクリーンの第２インデックス位
置を示す平面図である。
図3Gは、図3Dのビアフィルスクリーンの第２インデッ
クス位置を示す平面図である。
図3Hは、第２インデックス位置における図3Aのコイル
セグメントスクリーンを示す平面図である。
図3Iは、図１のコイルを製造するのに使用される頂部
終端スクリーンの平面図である。
図3Gは、図１のコイルを製造するのに使用される頂部
プリントスクリーンの平面図である。
図4Aは、変更された形態のコイルを製造するのに使用
される底部プリントスクリーンの平面図である。
図4Bは、図4Aの底部プリントスクリーンに対する第２
インデックス位置に示された底部終端スクリーンの平面
図である。
図4Cは、底部プリントスクリーンに対する第３インデ
ックス位置に示された誘電スクリーンの平面図である。
図4Dは、底部プリントスクリーンに対する第３インデ
ックス位置に示されたビアフィルスクリーンの平面図で
ある。
図4Eは、第１インデックス位置に示されたコイルスク
リーンの平面図である。
図4F及び4Gは、第１インデックス位置に位置合わせさ
れた誘電スクリーン及びビアフィルスクリーンをそれぞ
れ示す。
図4H、4I及び4Jは、第２インデックス位置に位置合わ
せされた、導電体コイルスクリーン、誘電プリントスク
リーン及びビアフィルスクリーンを示す。
図4K、4L及び4Mは、第３インデックス位置に位置合わ
せされた、導電体コイルスクリーン、誘電プリントスク
リーン及びビアフィルスクリーンを示す。
図5Aは、図4A〜4Mのスクリーンと共に使用するための
頂部終端プリントスクリーンを示す。
図5Bは、図4A〜4Mのスクリーンと共に使用するための
別の終端プリントスクリーンを示す。
図６は、図4Cの誘電スクリーンの代わりに使用できる
別の形態の誘電スクリーンを示す。
好ましい実施例の詳細な説明 図１〜図３を参照すると、モノリシックコイル（10）
の両端には、キャップ（12）（14）が取り付けられてい
る。積層アセンブリ（16）は、底部層（18）を備えてい
る。底部層（18）の上には、第１中間層（20）と第２中
間層（22）とがプリントされている。図１では、中間層
（20）（22）が２回繰り返されているが、この繰り返し
の回数は特定のコイルに必要とされる所望のインダクタ
ンスに基づいて変えてもよい。中間層（20）（22）は同
じ回数繰り返してもよいし、中間層の一方を他方よりも
１回だけ多く繰り返してもよい。
上側にある中間層（20）（22）のさらに上側には、頂
部層（24）がプリントされ、頂部層（24）は、誘電材料
で形成された頂部カバー（26）によって被覆されてい
る。好ましい誘電材料はフェライトであるが、本発明か
ら逸脱することなく、他の種類の誘電材料を用いてもよ
い。
底部層（18）は、所望の厚さとなるように上下にフェ
ライト層を多数プリントすることによって形成された底
部フェライト層（28）を備えている。底部フェライト層
（28）には、底部終端部（32）及び第２端部（34）を有
する底部コイルセグメント（30）がプリントされてお
り、図１から分かるように、底部終端部（32）は、積層
アセンブリ（16）の一端で露出している。
第１中間層（20）は、誘電中間フェライト層である第
１フェライト層（38）を備え、第１フェライト層（38）
は、底部コイルセグメント（30）の第２端部（34）上に
一致する接続開口部、すなわち第１ビア（貫通）開口部
（39）を有している。
第１ビア開口部（39）内には、ビアフィル（36）がプ
リントされており、誘電中間フェライト層である第１フ
ェライト層（38）上には、第１コイルセグメント（40）
がプリントされている。第１コイルセグメント（40）
は、ビアフィル（36）上に一致し、かつ、電気的に接触
する第１端部（42）と、第２端部（44）とを有してい
る。ビアフィル（36）は、連続的な螺旋コイルを形成す
るように、底部コイルセグメント（30）の第２端部（3
4）と第１コイルセグメント（40）の第１端部（42）と
を電気接続している。
第２中間層（22）は、第２フェライト層（48）と、そ
の上にプリントされ、第１端部（52）及び第２端部（5
4）を有する第２コイルセグメント（50）とを備えてい
る。第２フェライト層（48）内の第２ビア開口部（49）
は、ビアフィル（46）により充填されている。このビア
フィル（46）は、螺旋コイルコイルセグメントを連続さ
せるように、第１コイルセグメント（40）の第２端部
（44）と第２コイルセグメント（50）の第１端部（52）
とを電気接続している。
図２から分かるように、第１中間層（20）と第２中間
層（22）とは、相互に電気接続されるように、また、下
方のコイルセグメントとの間が電気接続されるように、
２回繰り返されている。
中間層（20）（22）の最上部の層（この場合、中間層
（22））の上側には、頂部層（24）がプリントされてお
り、この頂部層（24）は、第１フェライト層（38）と同
じ頂部フェライト層（58）を備えている。頂部フェライ
ト層（58）上には、頂部コイルセグメント（60）がプリ
ントされている。頂部コイルセグメント（60）は、ビア
フィル（36）と電気接触する第１端部（62）と、底部層
（18）の底部終端部（32）とは反対側の積層アセンブリ
（16）の端部で露出する頂部終端部（64）を有してい
る。
従って、積層アセンブリ（16）にキャップ（12）（1
4）を取り付けると、キャップ（14）は底部終端部（3
2）に接触し、キャップ（12）は頂部終端部（64）に接
触する。よって、モノリシックコイル（10）は、連続的
な螺旋コイルとなる。このコイルは、底部終端部（32）
から始まり、螺旋通路を通って上方へ延び、頂部終端部
（64）で終端している。
フェライト層（38）（58）は互いに同一であり、フェ
ライト層（48）はすべて互いに同一である。
最上部が第１中間層（20）である場合、頂部コイルセ
グメント（60）は若干異なる形状（図示せず）となり、
フェライト層（58）は、フェライト層（48）と同じ構造
となる。各中間コイルセグメント（40）（50）は、螺旋
コイルのほぼ完全な360度の１回転分を形成する。
図3A〜図3Jは、モノリシックコイル（10）を形成する
ための層をプリントするのに使用される種々のプリント
スクリーンを示している。底部プリントスクリーン（6
8）（図3A）は、底部フェライト層（28）をプリントす
るのに用いられ、インデックスマーク（65）（66）に対
する底部プリントスクリーン（68）の位置がインデック
ス矢印（67）で示されている。
図3Aでは、インデックスマーク（65）と整列したイン
デックス矢印（67）を有する第１インデックス位置にあ
る底部プリントスクリーン（68）が示されている。
モノリシックコイル（10）をプリントするのに使用さ
れる他のプリントスクリーンとしては、底部終端スクリ
ーン（70）（図3B）、誘電スクリーン（72）（図3C）、
ビアフィルスクリーン（74）（図3D）、コイルセグメン
トスクリーン（76）（図3E）、頂部終端スクリーン（7
8）（図3I）及び頂部プリントスクリーン（80）（図3
J）がある。
図3Bには、第１底部終端列（88）及び第２底部終端列
（90）が示されており、各底部終端列（88）（90）は、
複数の底部コイルセグメント（92）（92'）及び（94）
（94'）を備えている。底部終端列（88）（90）は、図3
Bに示されたパターンで３回繰り返されているが、この
繰り返し回数を所望の回数に変えてもよい。
第１底部終端列（88）は、形状が同一であり、互いに
対称的な鏡像の対となるように配置された、複数の第１
底部コイルセグメント（92）（92'）を備えている。
第２底部終端列（90）は、互いに同一であり、かつ互
いに対称的な対となるように配置された、第２底部コイ
ルセグメント（94）（94'）を含んでいる。
図3Cを参照すると、誘電スクリーン（72）は、内部に
複数のビア開口部（39）（49）を有する誘電層（73）を
プリントするのに用いられる。誘電スクリーン（72）が
図3Bのプリントされた底部コイルセグメント上に設けら
れ、インデックス矢印（67）がインデックスマーク（6
5）と整列し、第１インデックス位置に設けられると、
各ビア開口部（39）（49）は、底部コイルセグメント
（92）（92'）または（94）（94'）の端部の１つと一致
する。
誘電スクリーン（72）が第１インデックス位置（図3
C）に位置すると、第１ビア開口部（39）の左列は、図3
Bの第１底部終端列（88）内の第１底部コイルセグメン
ト（92）（92'）の端部と一致する。
図3Dに示されたビアフィルスクリーン（74）は、複数
のビアフィル（36）（46）を含み、ビアフィル（36）
（46）は、誘電層（73）上の第１インデックス位置でプ
リントされると、誘電層（73）のビア開口部（39）（4
9）にそれぞれ一致し、これら開口部に充填される。
図3Eのコイルセグメントスクリーン（76）は、交互に
配置された第１コイルセグメント列（100）と第２コイ
ルセグメント列（102）とを備えている。第１コイルセ
グメント列（100）は、図２の第１コイルセグメント（4
0）と同じ形状の複数のコイルセグメントを含み、第２
コイルセグメント列（102）は、図２における第２コイ
ルセグメント（50）と同じ形状の複数のコイルセグメン
トを含んでいる。
コイルセグメントスクリーン（76）を、誘電層（73）
に重なるようにその第１インデックス位置に合わせる
と、第１コイルセグメント（40）の第１端部（42）の各
々は、第１ビア開口部（39）及びビアフィル（36）の１
つと整合する。第１インデックス位置では、第２コイル
セグメント列（102）内の第２コイルセグメント（50）
の第１端部（52）も、第２ビア開口部（49）及びビアフ
ィル（46）のうちの１つと整合する。
図3Fは、コイルセグメント列（100）（102）上にプリ
ントするための第２位置に位置合わせされた誘電スクリ
ーン（72）を示している。この第２インデックス位置で
は第１ビア開口部（39）の左列が、第２コイルセグメン
ト列（102）内の第２コイルセグメントの第２端部（5
4）の上に一致し、図3Eに示すように、第２ビア開口部
（49）の第２列は、左側から第１コイルセグメント列
（100）内の第１コイルセグメント（40）の第２端部（4
4）上に一致する。
図3Gは、図3Fでプリントされた誘電層（73'）のビア
開口部（39）（49）上にビアフィル（36）（46）が一致
するように、第２インデックス位置に位置合わせされた
ビアフィルスクリーン（74）を示している。
図3Hを参照すると、コイルセグメントスクリーン（7
6）は、第１コイルセグメント列（100）が図3Eの第２コ
イルセグメント列（102）上に一致するように、第２イ
ンデックス位置に位置合わせされている。この位置で
は、図3Hの第１コイルセグメント（40）は、図3Eの第２
コイルセグメント列（102）内の第２コイルセグメント
（50）の上に一致する。
スクリーン（72）（74）（76）は、第２インデックス
位置にプリントされた後、第１インデックス位置へ戻さ
れ、所望のコイル巻線が得られるまで、所望の回数だけ
プリント処理が繰り返される。
次に、頂部終端スクリーン（78）は、頂部層（24）を
プリントするのに使用される。第１コイルセグメント列
（104）及び第２コイルセグメント列（106）には、コイ
ルセグメントが配置される。第１コイルセグメント列
（104）は、第２コイルセグメント（50）上に一致する
ようになっている頂部コイルセグメント（60）を含んで
いる。第２コイルセグメント列（106）は、第１コイル
セグメント（40）上に一致するようになっている第２の
形態の終端コイルセグメント（108）を含んでいる。
頂部終端スクリーン（78）は、第１インデックス位置
に位置合わせされ、最も左側の第２コイルセグメント列
（106）は、図3E内の最も左側の第１コイルセグメント
列（100）と一致し、左側の第１コイルセグメント列（1
04）から２番目の列は、コイルセグメントパターンの最
も左側の第２コイルセグメント列（102）と一致するこ
とに留意すべきである。
頂部終端スクリーン（78）により頂部終端部（64）を
プリントした後に、頂部プリントスクリーン（80）を用
いて、アセンブリ全体の上に頂部カバー（26）をプリン
トする。別個のスクリーン（図示せず）により、頂部プ
リントスクリーン（80）に複数の行カットマーク（11
2）及び複数の列カットマーク（114）がプリントされ
る。これらのマークは、アセンブリから種々のモノリシ
ックコイル（10）をカットするための切断工具を整合す
るのに用いられる。
図3A〜3Jのスクリーンは、モノリシックコイル（10）
をプリントするために、２つの工程で使用される。すな
わち、スクリーン（72）（74）（76）は、必要な数のコ
イル巻線を形成するのに、所望の回数だけ工程を繰り返
すよう、元の第１インデックス位置へ戻す前に、２回位
置合わせするだけでよい。
しかしながら、異なる形状のコイルセグメントを用い
ることにより、所望の回数ｎの工程を使用することが可
能となる。
更に、ビア開口部（39）（49）をより大きくすること
もできる。このようにすることにより、ビアフィル（3
6）（46）を使用しないで済む。これにより、ビアフィ
ルスクリーン（74）が不要となる。ビア開口部（39）
（49）が十分大きければ、種々のコイルセグメントは、
ビアフィル（36）（46）を必要とすることなく、接続開
口部、すなわちビア開口部（39）（49）を介して互いに
接触できる。
図4A〜4M、5A〜5Bには、コイルを３工程で製造するた
めのプリントスクリーンのシステムが示されている。
図4Aは、好ましくはフェライトから形成される誘電キ
ャップ（124）をプリントするための底部プリントスク
リーン（122）を示している。インデックスマーク（12
6）は、基板に対してパターンを位置合わせするもので
あり、第１、第２及び第３インデックスマーク（128）
（130）（132）は、種々のプリントスクリーン（122）
によって使用される３つのインデックス位置を示してい
る。インデックス矢印（134）は、第２インデックスマ
ーク（130）と一致する第２インデックス位置におい
て、最初に底部プリントスクリーン（122）がプリント
される位置を示している。
図4Bは、第１底部終端行（138）、第２底部終端行（1
40）及び第３底部終端行（142）を有する底部終端スク
リーン（136）を示している。各終端行（138）（140）
（142）は、第１底部終端接続部（144）、第２底部終端
接続部（146）及び第３底部終端接続部（148）をそれぞ
れ備えている。終端接続部（144）（146）（148）は、
それぞれ互いに鏡像関係で対に配置されている。底部終
端スクリーン（136）は、インデックス矢印（134）が第
２インデックスマーク（130）に一致する第２すなわち
中間インデックス位置に示されている。
図4Cは、内部にビア開口部（154）を有する誘電層（1
52）をプリントするための誘電スクリーン（150）を示
している。誘電スクリーン（150）は、インデックス矢
印（134）が第１インデックスマーク（128）に一致する
第３インデックス位置に示されている。
次に、図4Dは、誘電層（152）内のビア開口部（154）
上に一致したビアフィル（158）をプリントするための
第３インデックス位置に位置合わせされたビアフィルス
クリーン（156）を示している。
図4Eは、インデックス矢印（134）が第３インデック
スマーク（132）に一致する第１位置に位置合わせされ
たコイルセグメントスクリーン（160）を示している。
コイルセグメントスクリーン（160）は、第１コイルセ
グメント行（162）、第２コイルセグメント行（164）及
び第３コイルセグメント行（166）を備え、各セグメン
ト行は、第１コイルセグメント（168）、第２コイルセ
グメント（170）及び第３コイルセグメント（172）を備
えている。
図4F及び図4Gは、図4Eにてコイルセグメントスクリー
ン（160）によってプリントされたコイルセグメント上
に、ビアフィル（158）が充填される第２誘電層（15
2'）をプリントするための第１位置に位置合わせされた
誘電プリントスクリーン（150）及びビアフィルスクリ
ーン（156）を示している。
図4H、図4I及び図4Jは、第２位置に位置合わせされた
コイルセグメントスクリーン（160）、誘電スクリーン
（150）及びビアフィルスクリーン（156）を用いること
により、別のコイルセグメントをプリントする場合を示
している。このプリントによる誘電層には、（152"）を
付してある。
図4K、図4L及び図4Mは、第３位置に位置合わせされた
種々のプリントスクリーンによる第３コイルセグメント
パターンをプリントするためのスクリーン（150）（15
6）（160）を示している。このプリントによる誘電層に
は、（152"）を付してある。
図4K、図4L及び図4Mによって示された第３プリントの
後に、スクリーンは図4E、図4F及び図4Gに示された第１
位置へ戻るように位置合わせされ、所望の数のコイル巻
線が得られるまで、工程は、所望の回数繰り返される。
図5Aは、最上部のプリントされたコイルセグメントパ
ターン上に一致するようになっている３つの頂部終端
（182）（184）（186）を有する頂部終端スクリーン（1
78）を示している。
次に、図5Aの頂部層上に頂部プリント（図示せず）を
プリントすることにより、３工程によるコイルを完成す
る。図5Bは、図5Aの頂部終端スクリーン（178）の代わ
りに使用可能な別の頂部終端スクリーン（180）を示し
ている。
図６は、図4Cの誘電スクリーン（150）の代わりに使
用可能な誘電スクリーン（174）の変形例を示してい
る。この誘電スクリーン（174）は、誘電スクリーン（1
50）の小さいビア開口部の代わりに、下方に位置するコ
イルセグメントを露出させる、より大きいビア開口部
（176）を備えている。
誘電スクリーン（174）を使用する利点は、ビア開口
部（176）内にビアフィルをプリントすることが不要な
ことである。この代わりに、誘電スクリーン（174）に
よってプリントされる誘電層の上下のコイルセグメント
は、互いに接触でき、ビア開口部（176）を介して、電
気的に連続する部分を形成できる。
本発明の方法では、層毎にプリンタ上のスクリーンを
変更する代わりに、プリンタ上の厚膜スクリーンまたは
パターンがプリントされた基板のいずれかを、新しい位
置に位置させることができるようになっている。従来の
方法は、層毎に別個のプリントパターンが必要であっ
た。
本発明の別の特徴としては、少ない台数のプリンタし
か必要ではないので、コイルを大量生産する際には、少
ない数の機器しか必要としない。図１〜図３に示した第
１の実施例では、コイル内に任意の数の巻線を（繰り返
しシーケンスで）製造するのに、３つのパターン（誘電
スクリーン（72）、ビアフィルスクリーン（74）及びコ
イルセグメントスクリーン（76））しか必要としない。
したがって、必要な数のコイル巻線を製造するのに、わ
ずか３つの別個のプリンタしか必要ではない。
図６に示したような、大きなビア開口部を有する誘電
パターンを使用する場合には、ビアフィルスクリーン、
例えばビアフィルスクリーン（74）（156）を用いる必
要がない。
これにより、各繰り返しシーケンスは、わずか２つの
パターンに減少されるので、プリンタの数を更に１台少
なくできる。
プリンタ台数が少数であることにより、全工程の自動
化がより簡単となる。更にプリントを完了するごとに部
品を乾燥しなければならないので、ドライヤを通過させ
る自動化もより簡単となる。上記２つの方法のいずれか
により、ドライヤの数を２台に少なくすることが可能で
ある。従来の方法では自動化をするには、より多くのプ
リンタが必要であるだけでなく、より多くのドライヤも
必要であった。
図面及び明細書を用いて本発明の好ましい実施例につ
いて説明し、特定の用語を用いたが、これらの用語は包
括的かつ説明上使用したに過ぎず、発明を限定するため
に用いたものではない。次の請求の範囲に記載した発明
の要旨または範囲から逸脱することなく、状況が示唆し
たりまたは適当とするように、部品の形状を変えたり比
率を変えたりすることだけでなく、部品を均等物と置換
することもできる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クラーク，カイル アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601 ―6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリー ト 1122 (72)発明者 ズウィック，スコット ディー アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601 ―6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリー ト 1122 (72)発明者 アデルマン，ジェフリー ティー アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601 ―6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリー ト 1122 (72)発明者 ヴェイク，トーマス エル アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601 ―6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリー ト 1122 (56)参考文献 特開 平７−201624（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01F 41/00 - 41/10 H01F 17/00 - 17/08

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板（28）に底部コイルセグメント（92）
    （94）の底部終端列（88）（90）をプリントし、 第１のインデックスマーク（65）に位置し、複数のビア
    開口部（39）（49）を有する誘電スクリーン（72）によ
    り、前記底部終端列（88）（90）に誘電層（73）をプリ
    ントし、 第１の前記インデックスマーク（65）に位置したビアフ
    ィルスクリーン（74）により、前記誘電層（73）の前記
    ビア開口部（39）（49）を充填するビアフィル（36）
    （46）をプリントし、 第１の前記インデックスマーク（65）に位置するコイル
    セグメントスクリーン（76）により、前記ビアフィル
    （36）（46）上に、１つ以上の連続するｎコイルセグメ
    ント行を備え、かつ、各行が前記ｎコイルセグメント行
    とは異なるパターンのコイルセグメントを含んでいるコ
    イルセグメント列（100）（102）をプリントし、 前記誘電スクリーン（72）、ビアフィルスクリーン（7
    4）及びコイルセグメントスクリーン（76）を、ｎ個の
    同じインデックスマーク（65）（66）（128）（130）
    （132）に位置合わせし、 前記コイルセグメントスクリーン（76）、誘電スクリー
    ン（72）、ビアフィルスクリーン（74）が、ｎ個の前記
    インデックスマークのそれぞれに位置する時、前記コイ
    ルセグメント列（100）（102）、誘電層（73）及びビア
    フィル（36）（46）を、隣接するコイルセグメントにそ
    れぞれ設け、 前記誘電スクリーン（72）、ビアフィルスクリーン（7
    4）及びコイルセグメントスクリーン（76）を、第１の
    前記インデックスマーク（65）へ戻し、 前記コイルセグメントスクリーン（76）、誘電スクリー
    ン（72）及びビアフィルスクリーン（74）の前記位置合
    わせを、第１の前記インデックスマーク（65）からｎ番
    目のインデックスマークまで繰り返し、 前記コイルセグメントスクリーン（76）、誘電スクリー
    ン（72）及びビアフィルスクリーン（74）が、第１の前
    記インデックスマーク（65）から前記ｎ番目のインデッ
    クスマークのそれぞれに位置する時に、前記コイルセグ
    メント列（100）（102）、誘電層（73）及びビアフィル
    （36）（46）を形成し、それにより、各コイルが誘電層
    により分離され、前記誘電層の前記ビア開口部に充填さ
    れたビアフィルによって導通接続された複数のコイルセ
    グメントを有する複数のコイルを形成し、 前記誘電スクリーン（72）を用いて、複数の前記コイル
    に、頂部誘電層（58）をプリントし、 前記ビアフィルスクリーン（74）を用いて、前記頂部誘
    電層（58）に、頂部ビアフィル（36）をプリントし、 前記頂部ビアフィル（36）に、コイルセグメント列（10
    4）（106）をプリントするようにした、積層電気素子
    （10）を形成する方法。
  2. 【請求項２】基板（28）と、 前記基板（28）上に、少なくとも１つのコイルセグメン
    ト列（100）（102）が設けられた複数のコイルアセンブ
    リとを備え、 各前記コイルアセンブリは、 a.底部コイルセグメント（30）、ｎ個の異なる形状であ
    る複数の中間コイルセグメント（40）（50）、及び、互
    いに積層された頂部コイルセグメント（60）と、 b.前記底部コイルセグメント（30）と前記頂部コイルセ
    グメント（60）との間に設けられた複数の誘電層（38）
    （48）と、 c.前記コイルセグメント（30）（40）（50）（60）によ
    り連続する螺旋コイルを形成するために、前記誘電層
    （38）（48）を介して、前記コイルセグメント（30）
    （40）（50）（60）を接続する複数のビアフィル（36）
    （46）とを備え、 各前記コイルアセンブリ内の複数の前記中間コイルセグ
    メント（40）（50）は、垂直に積層され、かつ、他の中
    間コイルセグメントが積層された底部の中間コイルセグ
    メントを含み、 前記コイルアセンブリの前記コイルセグメント列（10
    0）（102）内の前記底部の中間コイルセグメントを、前
    記ｎ個の形状の第１の形状からｎ番目の形状まで、平行
    に連続して、かつ、少なくとも部分的に繰り返して設
    け、 前記コイルアセンブリ内の前記中間コイルセグメント
    （40）（50）を、前記平行に設けたのと同様に、前記底
    部の中間コイルセグメントから上方へ、互いに垂直に繰
    り返して積層するようにした、複数の電気素子に切断可
    能なアセンブリ。
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