JPH11514798A - 一体化薄膜インダクターおよびその製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 誘電層および導電層の各々をそれそれプリントするために、同じ誘電プリントスクリーンおよび同じ導プリントスクリーンを使用し、導電層と誘電層とを上下に交互に配置されるようプリントすることにより、モノリシックな厚膜インダクタを製造する。ｎ個の層の各々をプリントするために、コイルプリントスクリーンおよび誘電スクリーンの各々を、ｎ個の異なる位置に割出しする。こうして得られたインダクタは、所望の数のコイル巻線部を形成するように、上下に重ねられ、互いに電気的に接続された複数の螺旋コイルセグメントを含む。

Description

【発明の詳細な説明】 一体化薄膜インダクターおよびその製法 １．発明の背景 本発明は、一体化薄膜インダクターおよびその製法に関する。 多くの従来技術が、印刷一体化薄膜インダクターのために使用されてきた。こ れらの方法の多くは、コイル及び誘電体層（通常、フェライト）の交互層を印刷 することを含む。各コイルは、区分であり、コイル区分は、フェライト層を通し て内部結合され、連続したヘリカルコイルインダクターを作る。 これらの一体化薄膜インダクターを作製する殆どの従来法は、各層で別々の印 刷スクリーンがあり、印刷され、インダクターを形成する。 従って、本発明の第１の目的は、改良された一体化薄膜インダクターおよびそ の製法を提供することである。 本発明の更なる目的は、最小の印刷スクリーン或いはパターンで印刷でき、多 種の積層が印刷されると、数回の繰り返しで作製できる一体化薄膜インダクター を提供することである。 また、本発明の更なる目的は、大量にインダクターを製造するに必要な装置が 小さくても製造できる一体化薄膜インダクターおよびその製法を提供することで ある。 また、本発明の更なる目的は、コイルの長さと幅が、底部から頂部まで一定で ある一体化薄膜インダクターを提供することである。 更に、本発明の目的は、従来のよりも小さい部分で製造できる改良された一体 化薄膜インダクターを提供することである。 更に、本発明の目的は、自動製造に容易に適応できる一体化薄膜インダクター を提供することである。 また、本発明の更なる目的は、インダクターが経済的に製造でき、使用耐性が あり、操作が効率よい、改良された一体化薄膜インダクターおよびその製法を提 供することである。 発明の概要 上記の目的は、２以上の積層組立体を、基体上に互いにそして垂直に積層した ものを有する基体を有する積層電気部品で達成される。各積層組立体は、交互に 積層されたｎ個の導電層とｎ個の誘電体層を有する。ｎ個の導電層の各々は、導 電性コイル区分である。導電性コイル区分は、互いに、異なり、そして、ヘリカ ル状に形成される。誘電体層は、各々、ｎ個の導電層の１つの上に重なり、その 下のコイル区分の一部に露出する結合開口部を有する。ｎ個の導電層の各々の中 の、すべての導電コイル区分は、誘電体層内の結合開口部を通して、互いに結合 され、ヘリカル導電サブコイルを形成する。すべての２以上の積層組立体は、同 一構成であり、互いに結合され、低部端と上部端を有するヘリカルコイルを形成 し、そして、２以上のヘリカル巻部が、その間にあるものである。 ２以上の積層された組立体は、最底部層と最頂部層の間に位置され、各々は、 電気回路で、各ヘリカルコイルの上部端と低部端を結合する端子を有するもので ある。 好適な具体例では、ｎは、２とされ、２つの積層組立体と２つのコイル区分が 、各積層組立体にある。然し乍ら、特定な適用例の必要性に依存して、ｎは、３ 以上にできる。 本発明の製法は、基体上に置かれた第１インデックス位置の第１導電層を、コ イル印刷スクリーンで印刷することによる。第１導電層は、側面対側面に配置さ れたｎ個のコイル区分を有し、ｎ個のコイル区分は、各々、互いに異なり、ヘリ カルコイルの異なる区分を成す。 次に、第１誘電体層が、第１導電層上に、誘電体スクリーンで印刷される。第 １誘電体層は、複数の結合開口部を有し、その各々は、位置決められており、そ の下のｎ個のコイル区分の１つの部分に合っている。 次に、コイル印刷スクリーンおよび誘電体印刷スクリーンは、第１インデック ス位置からｎインデックス位置の全部まで一度にインデックスされる。ｎインデ ス位置の各々では、付加的な導電層及び付加的な誘電体層が、コイル印刷スクリ ーンで印刷され、そして、結局、ｎ個の導電層とｎ個の誘電体層の全部が印刷さ れる。 ｎインデックス位置の各々は、各付加的な導電層でのｎ個のコイル区分の異な る１つが、第１導電層上のｎ個のコイル区分の選択された１つの上に位置決めら れる。 選択された１つのコイル区分の上に位置決められた全てのコイル区分は、互い に結合され、各誘電体層での結合開口部を通して、選択されたコイル区分と結合 され、第１のヘリカルサブコイルを形成する。 第１のヘリカルサブコイルの形成の後に、コイル印刷スクリーン及び誘電体印 刷スクリーンが、その第１インデックス位置に引き戻される。第１ヘリカルサブ コイル形成の工程を、１回以上繰り返すと、１以上のヘリカルサブコイルが形成 され、それは、第１ヘリカルサブコイルにより、互いに電気結合にあり、第１ヘ リカルサブコイルの上にある。 本発明の製法の１つの具体例は、誘電体層での十分に大きな結合開口部を利用 して、種々のコイル区分が互いに、誘電体の結合開口部を通して接触できるよう にされる。本発明の他の例では、各々の結合開口部での充填印刷部を通しての電 導を利用して、各誘電体層の上及び下のコイルの間の電気結合を行う。 図面の簡単な説明 図１は、本発明にによって製造されたモノリシック厚膜インダクタの分解斜視 図である。 図２は、種々のラミネート層の各々を示す図１のインダクタの分解斜視図であ る。 図３Ａは、図１および２のインダクタをプリントするために使用される底部キ ャップスクリーンの平面図である。 図３Ｂは、図１のインダクタの底部層をプリントするために使用される底部終 端スクリーンの平面図であル。 図３Ｃは、図１のインダクタ内の種々の誘電層をプリントするために使用され る誘電スクリーンの平面図である。 図３Ｄは、図１のインダクタを製造するのに使用されるビアフィル（貫通充填 部）スクリーンの平面図である。 図３Ｅは、図１のインダクタを製造するのに使用されるコイルセグメントスク リーンの平面図である。 図３Ｆは、図３Ｃの誘電スクリーンの第２インデックス位置を示す平面図であ る。 図３Ｇは、図３Ｄのビアフィルスクリーンの第２インデックス位置を示す平面 図である。 図３Ｈは、第２インデックス位置における図３Ａのコイルセグメントスクリー ンを示す平面図である。 図３Ｉは、図１のインダクタを製造するのに使用される頂部終端スクリーンの 平面図である。 図３Ｇは、図１のインダクタを製造するのに使用される頂部キャップスクリー ンの平面図である。 図４Ａは、変更された形態のインダクタを製造するのに使用される底部キャッ プスクリーンの平面図である。 図４Ｂは、図４Ａの底部キャップスクリーンに対する第２インデックス位置に 示された底部終端スクリーンの平面図である。 図４Ｃは、底部キャップスクリーン１２２に対する第３インデックス位置に示 された誘電スクリーンの平面図である。 図４Ｄは、底部キャップスクリーン１２２に対する第３インデックス位置に示 されたビアフィルスクリーンの平面図である。 図４Ｅは、第１インデックス位置に示されたコイルインダクタスクリーンの平 面図である。 図４Ｆおよび４Ｇは、第１インデックス位置に割り出された誘電スクリーンお よびビアフィルスクリーンをそれぞれ示す。 図４Ｈ、４Ｉおよび４Ｊは、第２インデックス位置に割り出された、導電体コ イルスクリーン、誘電プリントスクリーンおよびビアフィルスクリーンを示す。 図４Ｋ、４Ｌおよび４Ｍは、第３インデックス位置に割り出された、導電体コ イルスクリーン、誘電プリントスクリーンおよびビアフィルスクリーンを示す。 図５Ａは、図４Ａ〜４Ｍのスクリーンと共に使用するための頂部終端プリント スクリーンを示す。 図５Ｂは、図４Ａ〜４Ｍのスクリーンと共に使用するための別の終端プリント スクリーンを示す。 図６は、図４Ｃの誘電スクリーンの代わりに使用できる別の形態の誘電スクリ ーンを示す。 好ましい実施例の詳細な説明 図１〜３を参照すると、モノリシックインダクタ１０は両端に終端キャップ１ ２、１４が取り付けられている。ラミネートアセンブリ１６は底部終端層１８を 含む。底部終端層１８の上には第１中間層２０と、第２中間層２２とがプリント されている。図１に示されたインダクタ内には中間層２０、２２が２回繰り返さ れているが、この繰り返しの回数は特定のインダクタに必要とされる所望するイ ンダクタンスに従って変えてもよい。中間層２０、２２は同じ回数繰り返しても よいし、これら層の一方のほうを他方の中間層よりも１回だけ多く繰り返しても よい。 最上部中間層２０、２２の頂部の上には頂部終端層２４がプリントされ、この 終端層２４は誘電材料から形成された頂部カバー２６によって被覆されている。 好ましい誘電材料はフェライトであるが、本発明から逸脱することなく、他のタ イプの誘電材料を使用することもできる。 底部終端層１８は底部フェライト層２８を含み、この底部フェライト層２８は 所望の厚さとなるように上下にフェライトの層を多数プリントすることによって 形成されている。底部フェライト層２８の上には終端端部３２および第２端部３ ４を有する底部終端導線３０がプリントされており、終端端部３２は図１から判 るようにアセンブリ１６の一端で露出している。 第１中間層２０は誘電中間フェライト層３８を含み、この中間フェライト層は 底部終端導線３０の第２端部３４上に一致する接続開口部、すなわちビア（貫通 ）開口部３９を有する。 接続開口部３９内にはビアフィル３６がプリントされており、中間フェライト 層３８の頂部の上には第１コイルセグメント４０がプリントされており、このコ イルセグメント４０はビアフィル３６上に一致し、これと電気的に接触する第１ 端部４２と、第２端部４４とを有する。ビアフィル３６は連続的な螺旋導線を形 成するように、底部終端導線３０の第２端部３４と第１コイルセグメント４０の 第１端部４２とを電気的に接続している。 第２中間層２２は第２フェライト層４８と、この上にプリントされ、第１端部 ５２および第２端部５４を有する第２コイルセグメント５０とを含む。第２フェ ライト層４８内の第２ビア開口部４９はビアフィル４６によって満たされている 。このビアフィル４６は螺旋コイル導線を連続させるように第１コイルセグメン ト４０の第２端部４４と第２コイルセグメント５０の第１端部５２とを電気的に 接続している。 図１から判るように、第１中間層２０と第２中間層２２とは相互の間を電気的 に接続し、かつ下方のコイル導線との間を電気的に接続するように更に１回繰り 返されている。 中間層２０、２２の最上部の層の上（この場合、中間層２２の上）には、頂部 終端層２４がプリントされており、この終端層２４は中間フィライト層３４と同 じ頂部フィライト層５８を含む。この頂部フィライト層５８の上には頂部終端導 線６０がプリントされており、この終端導線はビアフィル３６と電気的に接触す る第１端部４２と、底部中間層１８の終端端部３２とは反対のラミネート状アセ ンブリ１６の端部で露出している終端端部６２を有する。従って、アセンブリ１ ６にキャップ１２、１４を載せると、キャップ１４は底部終端端部３２に接触し 、キャップ１２は頂部終端端部６４に接触する。よって導線１０は連続的な螺旋 コイル導線となり、このコイル導線は底部終端端部３２から始まり、螺旋通路を 通って上方に延び、上部終端端部６４で終端する。 フィライト層３８と５８は互いに同一であり、フィライト層４８はすべて互い に同一である。 最上部の中間層が中間層２０である場合、頂部終端導線６０は若干異なる形状 （図示せず）を有し、フィライト層５８はフィライト４８と同じ構造を有する。 中間コイルセグメント４０、５０の各々は螺旋コイルのほぼ完全な３６０度の１ 回転分を形成する。 図３Ａ〜３Ｊは、インダクタ１０を形成するための層をプリントするのに使用 される種々のプリントスクリーンを示す。底部フィライト層２８をプリントする のに底部キャップスクリーン６８（図３Ａ）が使用され、インデックスマーク６ ５、６６に対する底部キャップスクリーン６８の位置がインデックス矢印６７で 示されている。図３Ａでは矢印６７がインデックスマーク６５に一致する第１イ ンデックス位置にある底部プリントスクリーン６８が示されている。 インダクタ１０をプリントするのに使用される別のプリントスクリーンとして 、底部終端スクリーン７０（図３Ｂ）、誘電スクリーン７２（図３Ｃ）、ビアフ ィルスクリーン７４（図３Ｄ）、コイルセグメントスクリーン７６（図３Ｅ）、 上部終端スクリーン７８（図３１）および頂部キャップスクリーン８０（図３Ｊ ）がある。 図３Ｂを参照すると、ここには第１列８８および第２列９０が示されており、 これら列の各々は複数の底部終端導線９２、９２’および９４、９４’を含む。 列８８、９０は図３Ｂに示されたパターンで３回繰り返されているが、この繰り 返し回数は所望するように変えてもよい。第１底部終端列８８は複数の底部終端 コイル５２および５２’を含む。これら終端コイルは形状が同一であるが、互い に対称的な鏡像の対となるように配置されている。 第２底部終端列９０は第２底部終端コイル９４および９４’を含み、これらコ イルは互いに同一であり、かつ互いに対称的な対となるように配置されている。 図３Ｃを参照すると、誘電スクリーン９２は内部に複数のビア開口部３９、４ ９を有する誘電層７３をプリントする。図３Ｂのプリントされた底部終端導線上 にスクリーン７２が配置され、矢印６７がインデックスマーク６５と一致する第 １インデックス位置にスクリーン７２が位置合わせされると、ビア開口部３９、 ４９の各々は終端導線９２、９２’または９４、９４’の端部の１つに一致する 。スクリーン７２が第１インデックス位置（図３Ｃ）に位置すると、ビア開口部 ３９の左列は図３Ｂの行８８内の第１終端導線９２、９２’の端部に一致する。 図３Ｄに示されたビアフィルスクリーン７４は複数のビア導線３６、４６を含 み、このビア導線は誘電層７３上の第１インデックス位置にプリントされると、 誘電層７３のビア開口部３９、４９にそれぞれ一致し、これら開口部を満たす。 図３Ｅのコイルセグメントスクリーン７６は交互に配置された第１コイルセグ メント列１００と第２コイルセグメント列１０２を含む。コイル１００は図２の 第１コイルセグメント４０と同じ形状の複数のコイルセグメントパターンを含み 、第２コイルセグメント列１０２は図２における第２列セグメント５０の形状 である複数のコイル導線を含む。誘電層７３に重なるようにコイルセグメントス クリーン７６をその第１インデックス位置に載せると、このスクリーンによりコ イルセグメント４０の第１端部４２の各々がビア開口部３９およびビアフィル３ ６の１つに整合される。この第１インデックス位置では第２コイルセグメントコ イル１０２内のコイルセグメント５０の第１コイル端部５２もビア開口部４９お よびビアフィル４６のうちの１つに一致する。 図３Ｆはコイルセグメントの行１００、１０２上にプリントするための第２位 置に割り出しされた誘電スクリーン７２を示す。この第２インデックス位置では ビア開口部３９の左列が行１０２内の第２コイルセグメントの端部５４の上に一 致し、ビア開口部４９の第２列は図３Ｅに示されるように左側から第２列１００ 内のコイルセグメント４０の第１端部４４上に一致する。図３Ｇは図３Ｆでプリ ントされた誘電層７３’のビア開口部３９、４９上にビアフィル３６、４６が一 致した状態の第２位置に割り出しされたビアフィルスクリーン７４を示す。図３ Ｈを参照すると、コイルセグメントスクリーン７６は第１コイルセグメント列１ ００が図３Ｅの第１コイルセグメント列１０２上に一致した状態で、その第２イ ンデックス位置に割り出されている。この位置では図３Ｈのコイルセグメント４ ０は図３Ｅの行１０２内のコイルセグメント５０の上に一致する。 スクリーン７２、７４、７６はそれらの第２インデックス位置にプリントされ た後、これらスクリーンは第１インデックス位置に折り返し移動され、所望する コイル巻線部が得られるまで、希望する回数だけプリントプロセスが繰り返され る。頂部終端スクリーン７８は頂部終端層２４をプロセスするのに使用される。 次に、頂部終端層２４をプリントするのに頂部終端スクリーン７８を使用する 。第１列１０４および第２列１０６内にプリンとスクリーン７８内の導線を配置 する。列１０４は第２コイルセグメント５０上に一致するようになっている頂部 終端導線６０を含む。列１０６は第１コイルセグメント４０上に一致するように なっている第２の形態の終端導線１０８を含む。最も左側の列１０６が図３Ｅ内 の最も左側の列１００と一致し、左側列１０４から２番目の列がコイルセグメン トパターンの最も左側の列１０２に一致するように、頂部終端スクリーン７８は その第１位置に割り出された状態に示されていることに留意すべきである。 頂部終端スクリーン７８により頂部終端部をプリントした後に、頂部キャップ スクリーン８０を使用してアセンブリ全体の上に誘電層２６をプリントする。別 個のスクリーン（図示せず）により頂部キャップスクリーン８０に複数の行カッ トマーク１１２および複数の列カットマーク１１４をプリントし、アセンブリか ら種々の個々の導線１０をカットするための切断工具を整合するのにこれらマー クを使用する。 図３Ａ〜３Ｊのプリントスクリーンは導線１０をプリントするための二工程プ ロセスで使用される。すなわちプリントスクリーン７２、７４、７６は必要な数 のコイル巻線部を形成するのに、所望する回数だけプロセスを繰り返すよう、元 の第１インデックス位置に折り返す前に２回だけ割り出しするだけでよい。 しかしながら、コイルセグメントに対し異なる形状を使用することにより、所 望する数ｎの工程を使用することが可能となる。 更に、ビア開口部３９、４９をより大きくすることができる。このようにする ことにより、ビアフィル３６、４６の使用を省略することが可能となる。これに よりビアフィルプリントスクリーン７４が不要となる。ビア開口部３９、４９が 十分大きければ、種々のコイルセグメントはビアフィル３６、４６を必要とする ことなく、接続開口部、すなわちビア開口部３９、４９を通して互いに接触でき る。 図４Ａ〜４Ｍ、５Ａ〜５Ｂを参照すると、これら図には３工程プロセスでイン ダクタを製造するためのプリントスクリーンのシステムが示されている。 図４Ａは、好ましくはフェライトから形成される誘電キャップ１２４をプリン トするための底部キャップスクリーン１２２を示す。位置合わせマーク１２６は 基板に対するパターンの位置合わせを配慮したものであり、第１、第２および第 ３インデックスマーク１２８、１３０、１３２は、種々のプリントスクリーンに よって使用される３つのインデックス位置を示す。インデックスマーク１３４は インデックスマーク１３０と一致する矢印１３４を備えた第２インデックス位置 で最初に底部キャップスクリーンがプリントされることを示す。 図４Ｂは第１底部終端行１３８、第２底部終端行１４０および第３底部終端行 １４２を有する底部終端スクリーン１３６を示す。これら行１３８、１４０、１ ４２の各々は、第１底部終端コネクタ１４４、第２底部終端コネクタ１４６およ び第３底部終端コネクタ１４８を含む。これら終端コネクタ１４４、１４６およ び１４８はそれぞれ互いに鏡像関係に対に配置されている。底部終端スクリーン １３６は矢印１３４がインデックスマーク１３０に一致する第２すなわち中間イ ンデックス位置に示されている。 図４Ｃは内部にビア開口部１５４を有する誘電層１５２をプリントするための 誘電スクリーン１５０を示す。この誘電スクリーン１５０は矢印１３４がインデ ックスマーク１２８に一致する第３インデックス位置に示されている。次に図４ Ｄにはビアフィルスクリーン１５６が示されており、このスクリーンは誘電層１ ５２内のビア開口部１５４上に一致したビアフィル１５８をプリントするための 第３インデックス位置に割り出されている。 図４Ｅではコイルセグメントスクリーン１６０は矢印１３４インデックスマー ク１３２に一致する第１位置に割り出された状態に示されている。コイルセグメ ントスクリーンは第１コイルセグメント行１６２、第２コイルセグメント行１６ ４および第３コイルセグメント行１６６を含み、これらセグメント行の各々は第 １コイルセグメント１６８、第２コイルセグメント１７０および第３コイルセグ メント１７２を含む。 図４Ｆおよび４Ｇは図４Ｅにてコイルセグメントスクリーン１６０によってプ リントされたコイル導線上にビアフィル導線１５８により満たされた第２誘電層 １５２’をプリントするための第１位置に割り出されたビアフィルスクリーン１ ５６および誘電プリントスクリーン１５０の使用を示す。 図４Ｈ、４Ｉおよび４Ｊは第２位置に割り出されたコイルセグメントスクリー ン１６０、誘電スクリーン１５０およびビアフィルスクリーン１５６を使用する ことによる別のコイルセグメントパターンのプリントを示す。このプリントによ って得られた誘電層は番号１５２”で示されている。 図４Ｋ、５Ｌおよび４Ｍは第３位置に割り出された種々のプリントスクリーン による第３コイルセグメントパターンをプリントするためのスクリーン１５０、 １５６および１６０の使用を示す。このプリントから得られた誘電層は番号１５ ２”で示されている。 図４Ｋ、４Ｌおよび４Ｍによって示された第３プリントの後にスクリーンは図 ４Ｅ、４Ｆおよび４Ｇに示された第１位置へ戻るように割り出され、所望する数 のコイル巻線部が得られるまで、所望する回数繰り返される。 図５Ａは最上部のプリントされたコイルセグメントパターン上に一致するよう になっている３つの頂部終端形状１８２、１８４、１８６を有する頂部終端スク リーン１７８を示す。 次に、図５Ａの頂部終端層上に頂部キャップ（図示せず）をプリントすること により、３工程による導線を完成する。図５Ｂは図５Ａの頂部終端スクリーン１ ７８の代わりに使用できる別の頂部終端スクリーン１８０を示す。 図６を参照すると、ここには図４Ｃの誘電スクリーン１５０の代わりに使用す るための変形された形態の誘電スクリーン１７４が示されている。この誘電スク リーン１７４は誘電スクリーン１５０内に示された小さいビア開口部の代わりに 下方に位置するコイル導線部分を露出させる、より大きい接続開口部１７６を含 む。誘電スクリーン１７４を使用する利点として、開口部１７６内にビアフィル をプリントすることが不要であることが挙げられる。この代わりに、スクリーン １７４によってプリントされる誘電層の上下のコイルセグメントは互いに接触で き、開口部１７６を貫通する電気的な連続部分を形成できる。 本発明の方法は層毎にプリンタ上のスクリーンを変える変わりにプリンタ上の 厚膜スクリーンまたはパターンをプリントしている基板のいずれかを新しい位置 に折り返し移動できるようになっている。これまでの方法は層毎に別個のプリン タパターンが必要であった。 本発明の別の特徴としては、より少数の台数のプリンタしか必要でないので、 インダクタを大量生産するのに少ない数の機器しか必要でないことが挙げられる 。図１〜３に示された第１のオプション方法では、コイル内に任意の数の巻線部 を（繰り返しシーケンスで）製造するのに、３つのパターン（誘電パターン７２ 、ビアフィルスクリーン７４およびコイルセグメントスクリーン７６）しか必要 としない。したがって、必要な数のコイル巻線部を製造するのにわずか３つの別 個のプリンタしか必要でない。 図６に示されるように、大きな接続開口部を有する誘電パターンを使用する場 合、ビアフィルスクリーン、例えばビアフィルスクリーン７４またはビアフィル スクリーン１５６を使用しなくてもよい。 これにより、各繰り返しシーケンスはわずか２つのパターンに減少されるので 、プリンタの数を更に１台少なくできる。 プリンタ台数が少数であることにより、全プロセスの自動化がより簡単となっ ている。更にプリントを完了するごとに部品を乾燥しなければならないので、ド ライヤーを通過させる自動化もより簡単となる。上記２つの方法のいずれかによ り、乾燥炉の数を２台に少なくすることが可能である。従来の方法では自動化を するには、より多数のプリンタが必要であるだけでなく、より多数の乾燥機も必 要であった。 以上で図面および明細書において本発明の好ましい実施例について説明し、特 定の用語を用いたが、これら用語は包括的かつ説明上使用したに過ぎず、発明を 限定するために用いたものではない。次の請求の範囲に記載した発明の要旨また は範囲から逸脱することなく、状況が示唆したりまたは適当とするように、部品 の形状を変えたり比率を変えたりすることだけでなく、部品を均等物に置換する ことも可能である。

【手続補正書】 【提出日】１９９８年１２月１７日 【補正内容】 請求の範囲 １．積層電気部品を製造する方法であって、 コイルプリントスクリーン(76)とともに基板上の第１インデックス位置(65)に 第１導電層(100)(102)をプリントする段階であって、この第１導電層は、並んだ ｎコイルセグメント(40)(50)よりなり、各ｎコイルセグメントは、互いに異なる 螺旋状コイルよりなる段階と、 前記第１導電層に誘電スクリーン(72)により第１誘電層(73')をプリントする 段階であって、前記第１誘電層(73')は、複数の接続開口部(39)(49)を有し、各 孔は、上記に位置決めされ、その下のｎコイルセグメントの(39)一つの部分を露 出する段階と、 前記第１インデックス位置(65)から、ｎインデックス位置の全てに、一回で、 前記コイルプリントスクリーン(76)と前記誘電性プリントスクリーン(72)を割り 出しする段階と、 ｎ導電層とｎ誘電層の全てがプリントされる迄、前記ｎインデックス位置(65) (66) のそれぞれに、前記コイルプリントスクリーン(76)と前記誘電プリントスク リーン(72)で、追加の導電層(100)(102)と追加の誘電層(73')をプリントする段 階と、 前記ｎインデックス位置のそれぞれを選択して、前記追加導電層のそれぞれの ｎコイルセグメントの一つが、前記第１導電層のｎコイルセグメントの選択され た一つの上に、位置決めする段階と、 選択された前記コイルセグメント上に位置決めされた前記コイルセグメントの それぞれを、互いに、かつ選択された前記コイルセグメントに、前記誘電層のそ れぞれの前記接続開口部(39)(49)を介して、結合し、第１螺旋状サブコイル(73' ) を形成する段階と、 前記コイルプリントスクリーンと前記誘電プリントスクリーンを前記第１イン デックス位置に戻す段階と、 前記第１螺旋状サブコイルを形成する段階を、一回以上繰り返して、前記第１ 螺旋状サブコイルの上に電気的に接続する、一個以上の追加の螺旋状サブコイル を形成する段階とを含む方法。 ２．基板(8)と、この基板上に、垂直方向に、互いに積層された２層以上の積層 材(20)(22)とを備え、各積層材が、交互に積層されたｎ導電層(40)(50)とｎ誘電 層(38)(48)よりなり、前記ｎ誘電層のそれぞれが、導電性コイルセグメント(40) (50) を備え、前記ｎ導電層の前記コイルセグメントが、互いに異なる、螺旋状の セグメントを備え、前記誘電層(38)(48)のそれぞれが、前記ｎ導電層のひとつに 重なり、かつ接続開口部(39)(49)を備え、その下の前記コイルセグメントの部分 に露出し、各前記ｎ導電層内の前記導電性コイルセグメントのすべてが、前記ｎ 誘電層の前記接続開口部を介して、ともに接続され、導電性螺旋状サブコイルを 形成し、２層以上の前記積層材が、同一の構造よりなり、２層以上の前記積層材 も前記サブコイルのすべてが、ともに接続されて、螺旋状コイルを形成し、この 螺旋状コイルが、上端(54)と下端(42)とその間の２個以上の折り返し部(40)(50) を有している積層電気部品。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ， ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，Ｆ Ｉ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ， ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，Ｍ Ｘ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ， ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 クラーク，カイル アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601― 6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリート 1122 (72)発明者 ズウィック，スコット ディー アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601― 6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリート 1122 (72)発明者 アデルマン，ジェフリー ティー アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601― 6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリート 1122 (72)発明者 ヴェイク，トーマス エル アメリカ合衆国 ネブラスカ州 68601― 6222 コロンバス ピーオーボックス 609 トゥエンティーサードストリート 1122

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．積層電気部品を製造する方法であって、 コイルプリントスクリーンとともに基板上の第１インデックス位置に第１導電層 をプリントする段階であって、この第１導電層は、並んだｎコイルセグメントよ りなり、各ｎコイルセグメントは、互いに異なる螺旋状コイルよりなる段階と、 前記第１導電層に誘電スクリーンに第１誘電層をプリントする段階であって、前 記第１誘電層は、複数の接続開口部を有し、各孔は、上記に位置決めされ、その 下のｎコイルセグメントの一つの部分を露出する段階と、 前記第１インデックス位置から、ｎインデックス位置の全てに、一回で、前記コ イルプリントスクリーンを割り出しする段階と、 ｎ導電層とｎ誘電層の全てがプリントされる迄、前記ｎインデックス位置のそれ ぞれに、前記コイルプリントスクリーンと前記誘電プリントスクリーンで、追加 の導電層と追加の誘電層をプリントする段階と、 前記ｎインデックス位置のそれぞれを選択して、前記追加導電層のそれぞれのｎ コイルセグメントの一つが、前記第１導電層のｎコイルセグメントの選択された 一つの上に、位置決めする段階と、 選択された前記コイルセグメント上に位置決めされた前記コイルセグメントのそ れぞれを、互いに、かつ選択された前記コイルセグメントに、前記導電層のそれ ぞれの前記接続開口部を介して、結合し、第１螺旋状サブコイルを形成する段階 と、 前記コイルプリントスクリーンと前記誘電プリントスクリーンを前記第１インデ ックス位置に戻す段階と、 前記第１螺旋状サブコイルを形成する段階を、一回以上繰り返して、前記第１螺 旋状サブコイルの上に電気的に接続する、一個以上の追加の螺旋状サブコイルを 形成する段階とを含む方法。 ２．ｎ＝２である請求項１記載の方法。 ３．ｎ＞２である請求項２記載の方法。 ４．前記第１導電層の前記プリントの前に、前記基板に底部終端パターンをプリ ントする段階を更に含み、前記底部終端パターンがｎ終端を含み、前記コイルセ グメントパターンの前記第１導電層の前記プリントの後に、前記ｎ終端ののそれ ぞれが、位置決めされ、前記コイルセグメントの一つに電気的に接続されてる請 求項１記載の方法。 ５．前記コイルセグメントパターンの前記第１導電層の前記プリントの前に、前 記終端パターンの前記誘電パターンをプリントする段階であって、前記第１導電 層がプリントされる際に、前記誘電パターンが、前記ｎ接続開口部の一つを介し て、前記終端のそれぞれを、前記ｎコイルセグメントの一つに電気的な接続をす るように配置されている請求項４記載の方法。 ６．前記ｎ誘電層のそれぞれをプリントした後であって、前記ｎ誘電層に、前記 ｎ誘電層の次のものをプリントする前に、前記接続開口部のそれぞれに、導電材 料を満たすことにより、プリントする段階を更に含む請求項１記載の方法。 ７．基板と、この基板上に、垂直方向に、互いに積層された２層以上の積層材と を備え、各積層材が、交互に積層されたｎ導電層とｎ誘電層よりなり、前記ｎ誘 電層のそれぞれが、導電性コイルセグメントを備え、前記ｎ導電層の前記コイル セグメントが、互いに異なる、螺旋状のセグメントを備え、前記誘電層のそれぞ れが、前記ｎ導電層のひとつに重なり、かつ接続開口部を備え、その下の前記コ イルセグメントの部分に露出し、各前記ｎ導電層内の前記導電性コイルセグメン トのすべてが、前記ｎ誘電層の前記接続開口部を介して、ともに接続され、導電 性螺旋状サブコイルを形成し、２層以上の前記積層材が、同一の構造よりなり、 ２層以上の前記積層材も前記サブコイルのすべてが、ともに接続されて、螺旋状 コイルを形成し、この螺旋状コイルが、上端と下端とその間の２個以上の折り返 し部を有している積層電気部品。 ８．ｎ＝２である請求項7に記載の積層電気部品。 ９．ｎ＞２である請求項7に記載の積層電気部品。 10．２個以上の積層部材の下の、前記基板上に導電性底部終端部を更に備え、こ の終端部が、前記螺旋状コイルの前記下端に電気的に接続されている請求項７に 記載の積層電気部品。 11．２層以上の積層部材の上部に導電性上部終端部を更に備え、この終端部が、 前記螺旋状コイルの上端と電気的に接続されている請求項10に記載の積層電気部 品。 12．前記誘電層のそれぞれの前記接続開口部が、前記コイルセグメントの隣接す る対を、前記接続開口部を介して、互いに電気的に接続するのに十分な大きさで ある請求項７に記載の積層電気部品。 13．前記接続開口部のそれぞれが、中間孔を有し、これらの中間孔のそれぞれに は、導電性中間充填材が設けれられている請求項７に記載の積層電気部品。