JP3307067B2 - 蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ - Google Patents
蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサInfo
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Description
を用いてなるコンデンサに関するものである。
く、かつ温度特性、周波数特性に優れていることから、
コンデンサとして一般的に使用されている。特に電極と
して金属蒸着層を有する蒸着フィルムはセルフヒーリン
グ性(自己回復性)を有することから好ましく利用され
ている。
れていることからAlが好ましく選択されているが、交
流、高電圧下にて用いられるコンデンサでは使用中にコ
ンデンサ内部で発生するコロナ放電によってAl蒸着層
が酸化され、絶縁物化して容量低下をもたらす現象、い
わゆるΔCの増大が起きる(実際は−ΔCの増加)。こ
のコロナ放電によるΔC増大を防ぐため、蒸着金属とし
てZnが用いられるが、Znには前記腐食の問題があ
る。
−15737あるいはUSP4477858が提案され
ている。
7は真空蒸着機内でZnを蒸着した後すぐに表面汚染さ
れていないZn蒸着層表面にオイル層を蒸着によって形
成し、Zn金属表面への水の付着を防ぎ、Zn蒸着層の
腐食を防ぐものである。しかしながら本方法を用いても
コンデンサを高温化で使用するとZn蒸着層が水酸化さ
れ、tanδの上昇、あるいはセルフヒーリング性の悪
化をまねき、コンデンサの熱暴走による破壊を引きおこ
す。特にソフトコア巻きで、ワックスやピッチのみの簡
易外装のコンデンサではコンデンサ中に水分が入りやす
くこの問題を引きおこしやすい。
(腐食性)を改良するためAlをZnと同時に蒸着し、
かつAlの含有量をフィルム界面より蒸着金属表面へか
け図2のごとく連続的に減少させることによって、耐湿
性とΔC改良を提案している。しかし該方法では耐湿性
の向上は認められるが、Zn蒸着膜に比べコロナ放電に
よるΔCの増加が大きい。
Cの増大を防ぎ、かつ腐食によるtanδの上昇、およ
びセルフヒーリング性悪化による熱暴走を防ぐ、高温高
湿下でも安定した特性を有する蒸着フィルムおよびそれ
を用いたコンデンサを提供するものである。
ム上にAlとZnからなる蒸着フィルムにおいて、高分
子フィルムと蒸着層の界面、該界面と蒸着層表面の中
間、および該蒸着層表面におけるAlとZnの重量%を
各々a1 、b1 、a2 、b2 、a3 、b3 (但しa1 、
a2 、a3 は各位置でのAlの重量%、b1 、b2 、b
3 は各位置でのZnの重量%でai +bi =100%、
i=1、2、3である)とすると、a2 <a3 <a1 に
なるようAl含有量が連続的に変化し、かつ蒸着層中の
全Alの重量%が10%以下であることを特徴とする蒸
着フィルムである。
合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもので、
中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルムが耐熱
性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からより
好ましい。好ましい合成高分子樹脂としてはポリオレフ
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
イト、ポリスチレンが機械的特性、電気特性の点からよ
り好ましい。
式、誘導加熱方式、間接加熱方式、電子ビーム方式、あ
るいはスパッタリング方式などの蒸着方式によって真空
蒸着することによって形成される。
加熱方式、あるいは間接加熱方式がより好ましい。
とZnの合金層、およびあるいはAlとZnの混合層)
中のAlとZnの各々重量%を高分子フィルムと蒸着層
の界面ではa1 、b1 、該界面と蒸着層表面の中間では
a2 、b2 、該蒸着層表面ではa3 、b3 (但しai +
bi =100%、i=1、2、3)とすると、蒸着層中
の全Al含有量と全Zn含有量の全重量に対する全Al
含有量の重量%が10%以下で、蒸着層中の各位置にお
いてAlの含有量がa2 <a3 <a1 となるよう連続し
て分布していることが本発明の目的を達成するために必
要である。つまりAlとZnの蒸着層中において図1の
ごとくAlが連続的に分布していることが必要である。
lが分布しているのに対し、図1のごとく分布させるこ
とによって耐湿性、ΔCの改善を図ることができた。特
に全Al含有量が5.0%以下で、a1 ≦60重量%、
0<a2 ≦2.0重量%、0.5≦a3 ≦10重量%の
範囲内でAlが分布する時が目的とする特性の改良効が
大きく、優れている。
を設けることによってさらに耐湿性を向上させることが
できる。
溶解性が低い有機物で、中でも親油性の低分子物、ある
いは油状のものが好ましい。例えばシリコーンオイル、
フッ素系オイル、ポリアルキルナフタレンオイル、ポリ
アルキルフタレートオイル、ポリフェニルエーテルオイ
ル、石油留分、鉱物油、マイクロクリスタリンワック
ス、ボリオレフィンワックス、パラフィンワックスなど
を挙げることができる。さらに反応性基を有する油がよ
り好ましい。なかでもジメチルポリシロキサンオイル、
メチルフェニルポリシロキサンオイルの他に反応性基と
してハイドロジエン基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポ
キシ基、カルボキシル基などを有する変成シリコーン、
フッ素化シリコーンオイル、パーフルオロオレフィンオ
イルなどが特に耐湿性向上効果が大きく、より好まし
い。
って決められるべきで特に限定されるものではないが、
当然のことながら少なすぎると耐湿効果がでず、多すぎ
ると表層がべたつき、接着性の低下をまねくので、実用
上好ましい範囲で実用的に決定することが好ましい。
し、かつ該酸化層に有機物を吸着させた蒸着フィルムで
は耐湿性の向上効果に特に著しいことと、コロナ開始電
圧の向上が認められ、結果としてΔCの著しい改良効果
が認められ、最も優れた特性を有する。
に限定されないが、例えば同一蒸着機内でAl、次いで
Zn、最後に再度Alを各々Al蒸気とZn蒸気が少量
重なるようにして、連続的に蒸着することによって作成
する方法が最も一般的であるが、まずAlを、次いです
ぐにZnを蒸着することによって、Al蒸気とZn蒸気
が少量重なるように蒸着し、その時のAl、Znの蒸気
量、および冷却ドラムの温度、フィルムの走行速度を制
御することによって、高分子フィルム表面に付着したA
lとZnの混合金属の冷却速度を制御することによって
目的の組成分布をもったAlとZnの蒸着層を形成する
こともできる。
空蒸着機内にAlとZnの2つの蒸発源をもつのみでよ
く、かつ最も重要な蒸発源の制御が2つでよく、工業生
産上より優れている。
機1内においてまず高分子フィルムを巻出しロール2よ
り巻き出し、次いでその表面にオイルマージン形成装置
3を用いてマージンを形成し、次いでAl蒸発源5でA
lを蒸着するとともに連続してZn蒸発源6よりZnを
蒸着する。さらに必要に応じ、低温プラズマなどを用い
た酸化装置7によりAlとZn蒸着層表層を酸化し、引
継いでオイルを入れた加熱容器からなるオイル蒸発装置
8を用いて該酸化層表面にオイルを蒸着し、最後に巻取
りロール9に巻きとることによって本発明の蒸着フィル
ムが製造される。なお該酸化層表面に蒸着されたオイル
は時間とともに該酸化層に吸着される。
のAl分布にするためにAl蒸発源5とZn蒸発源6の
間の間隔および冷却ドラム4との距離、および各蒸発源
の温度、冷却ドラム4の温度、さらに高分子フィルムの
走行速度を適切に制御することである。
量、組成分布を観察するには、まず一定量のAlとZ
nの蒸着層を塩酸を用いて溶解したのち、プラズマ発光
分光法(ICP)にてAlとZnの各々の含有量を定量
する。さらに高分子蒸着フィルムをオージェ電子分光
装置にかけ、AlとZnの蒸着層表面より該蒸着層をス
パッターエッチングしながらAlとZnの原子組成を測
定していく。このようにして得られた原子組成データを
ICPで得られたAlとZnの含有量で規格化すると図
1のAlとZnの組成分布図ができ、a1 、b1 、
a2 、b2 、a3 、b3 、および全Alの重量%が決定
できる。
分子フィルムに由来するC(炭素原子)のオージェピー
クが飽和する値の1/2の点とする。また該界面と蒸着
層表面の中間とは該界面と該蒸着層表面の間の1/2の
点をさす。
溶し、この定溶液をICP発光分光分析法にてAlおよ
びZnを定量した。ICP発光分光分析装置はセイコー
電子工業(株)製SPS1200VR型を用いた。
装置にて、蒸着層の表面よりArイオンエッチングしな
がらAlおよびZnの定量分析を行なった。
ム/min 測定条件 加速電圧:3kV スリットNo.:5 試料電流:8×10−8 A 試料傾斜角度:72度 ビーム径:10μm
た。装置は総研電機(株)製AUTOMATIC SC
HERING BRIGE DAC−PSC−20W型
を用いた。
する。
a1 =36重量%、a2 =0.1重量%、a3 =2.0
重量%、全Alの含有量が2.4重量%になるようAl
とZn蒸着層を設けた蒸着フィルムを作成した(実施例
1)。比較例1としてAgを核付としたZn蒸着フィル
ム、および比較例2としてa1 =80重量%、a2 =6
重量%、a3 =5重量%、全Alの含有量10重量%の
蒸着フィルムを作成した。
mmのヘビーエッジ部を設け、2.5Ω/□とし、高抵
抗膜部(アクティブ部)は8Ω/□とした。
し、次いでリール幅50mm、マージン巾2.5mmと
なる細幅リールに切断した。
し、メタリコン、熱処理、電極端子溶接後、ワックス含
浸後ピッチで外装した5μFのコンデンサを作成した。
流をかけながら40℃、95%RHの恒温恒湿槽中に1
000時間放置後、シェーリングブリッジを用いて容量
を測定し、放置前後の容量変化を調べた。その結果を表
1示す。
く、また破壊したコンデンサもなかった。
a1 =55重量%、a2 =0.4重量%、a3 =5.0
重量%で分布し、かつ全Alの重量%が3.9%である
AlとZnの蒸着層をもうけた。なお該蒸着層をもうけ
る際、同一真空蒸着機内で該蒸着層表面を一次側投入電
力1kWの酸素プラズマで酸化処理し、次いで170℃
に加熱した容器よりメチルフェニルシロキサン(商品名
SH702)を該酸化処理面へ蒸着した(実施例2)。
ンフィルム上にCuを核付したZn蒸着層をもうけ、次
いで同一真空蒸着機内で比較例と同条件でメチルフェニ
ルシロキサンを該Zn蒸着層表面へ蒸着した。これらの
蒸着膜抵抗の仕様は実施例1と同じにした。
様に切断し、実施例1と同一の方法、同一仕様でコンデ
ンサを作り、かつ同一条件で性能試験を行った。その結
果を表2に示す。
布を本発明のようにした結果、腐食、およびコロナ放電
による容量変化が少なく、かつ熱暴走による破壊が生じ
ない特性の優れたコンデンサが得られた。
し、かつ該酸化層にオイルを吸着させた蒸着フィルムを
用いたコンデンサは、さらに容量変化の小さな、優れた
コンデンサ特性を示した。
AlとZnの組成量分布の一例を示した概略図である。
の一例を示した概略図である。
を示した概略図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 高分子フィルム上にAlとZnからなる
蒸着層を有する蒸着フィルムにおいて、高分子フィルム
と蒸着層の界面、該界面と蒸着層表面の中間、および該
蒸着層表面におけるAlとZnの重量%を各々a1 、b
1 、a2 、b2、a3 、b3 (但し、a1 、a2 、a3
は各位置でのAlの重量%、b1 、b2、b3 は各位置
でのZnの重量%でai +bi =100%、i=1、
2、3である)とすると、a2 <a3 <a1 になるよう
Alの含有量が連続的に変化し、かつ、蒸着層中の全A
lの重量%が10%以下であることを特徴とする蒸着フ
ィルム。 - 【請求項2】 a1 ≦60重量%、0<a2 ≦2.0重
量%、0.5≦a3 ≦10重量%で、かつ蒸着層中の全
Alの重量%が5%以下であることを特徴とする請求項
1に記載の蒸着フィルム。 - 【請求項3】 蒸着層上に有機物を有してなることを特
徴とする請求項1に記載の蒸着フィルム。 - 【請求項4】 蒸着層表層が酸化され、かつ該酸化層に
有機物が吸着してなることを特徴とする請求項1に記載
の蒸着フィルム。 - 【請求項5】 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の
蒸着フィルムを用いてなることを特徴とするコンデン
サ。
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