JPH01158714A - コンデンサ用蒸着フイルム - Google Patents

コンデンサ用蒸着フイルム

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JPH01158714A
JPH01158714A JP62316513A JP31651387A JPH01158714A JP H01158714 A JPH01158714 A JP H01158714A JP 62316513 A JP62316513 A JP 62316513A JP 31651387 A JP31651387 A JP 31651387A JP H01158714 A JPH01158714 A JP H01158714A
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film
zinc
thin film
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capacitor
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JP62316513A
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Inventor
Hisanori Ishikawa
石川 尚紀
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Mitsubishi Shindoh Co Ltd
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Mitsubishi Shindoh Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/32Wound capacitors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、金属化プラスチックフィルムコンデンサの材
料となる金属蒸着フィルムに係わる。
「従来の技術」 上記金属化プラスチックフィルムコンデンサは、例えば
、第4図のように誘電体フィルム1の片面に、非蒸着部
IAおよび金属薄膜2を形成した金属蒸着フィルム3を
、第5図のように非蒸着部lAを違えて2枚重ね合わせ
て巻回し、第6図のように、この素子4の両端面に亜鉛
(またはハング)5を熔射してリード線6を接続したう
え、外装7を施してなるものであり、金属薄膜2が非常
に薄い(0,035〜0.1μm)ため、フィルム1の
弱点部で電圧破壊が生じたとしても、短絡電流によって
破壊部周辺の薄膜2が蒸発して絶縁が回復する、いわゆ
る自己回復性という優れた特徴を有している。
ところで、前記金属薄膜2としては、一般にアルミニウ
ムまたは亜鉛が用いられるか、アルミ薄膜では、■コロ
ナ放電によりコロ−ジョンか発生して電極か消失し、コ
ンデンサ容量が漸次減少する。■素子4の両端に熔射し
た電極5との接合電気抵抗が大きく、ジュール熱が発生
するため耐電流性が低い、という欠点を有している。
一方、亜鉛薄膜では、上記欠点に比して良好な特性か得
られるにもかかわらず、耐湿性に劣り、水分と反応して
多孔質のZ n(OH)2を生して侵食が進み、コンデ
ンサ特性か劣化する欠点かあった。
そこで従来、亜鉛を用いる場合には、■蒸着フィルム3
の素子4にワンクスや絶縁油を含浸する、■外装7とし
て防水性に優れた材質を使用する、■亜鉛薄膜の厚さを
増す、等の手段により耐湿性の向上が図られている。
「発明か解決しようとする問題点」 しかし、上述した手段はいずれもコスト増を招くうえ、
ワックスや絶縁油の含浸には数十時間程度もの長時間を
要して生産性が悪く、さらに亜鉛薄膜を厚くするとコン
デンサの自己回復性能が低下するといった欠点が避けら
れなかった。
また、上記各手段はコンデンサとして成形された後の薄
膜保護を目的としたもので、それ以前の、蒸着フィルム
として出荷されてからコンデンサが成形される過程にお
ける水分との接触を防ぐことはできず、品質低下の原因
となっていた。
[問題点を解決するための手段」 本発明は上記問題を一挙解決するためになされたもので
、誘電体フィルムの表面に、少なくともその表層が亜鉛
または亜鉛合金からなる金属薄膜を形成し、さらにこの
金属薄膜上にS i、S i酸化物、あるいはそれらの
混合物からなる保護皮膜を形成したことを特徴とする。
「作 用」 この蒸着フィルムでは、耐湿性に富む前記保護皮膜によ
り雰囲気中の水分を金属薄膜から遮断し、コンデンサ成
形状態およびフィルム状態のいずれの場合においても、
効果的に金属薄膜の腐食を防ぎ得る。また、Si、Si
酸化物、あるいはこれらの混合物の保護皮膜は、金属薄
膜を誘電体フィルムに蒸着する工程で同時に形成できる
ため、製造コストが安い。
「実施例」 第1図は、本発明に係わるコンデンサ用蒸着フィルムの
一例を示す断面拡大図である。
図中符号10は誘電体フィルムであり、その上には亜鉛
薄膜11.保護皮膜12が積層して形成されている。
前記誘電体フィルムIOは、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリスチレン、ポリプロピレン、ボリカーボ不−1
・、ポリ4フツ化エチレン、ポリエチレン等からなるも
ので、厚さはそれぞれの誘電率によって異なるが数μm
〜数10μm程度とされている。
前記亜鉛薄膜11は、真空蒸着法等により蒸着されたも
ので、良好な自己回復性が得られるように厚さは従来品
よりも薄く、0.02〜0.03μm程度とされている
また保護皮膜12は、SiOに換算して0,3〜20m
g/m2程度の蒸着量とされており、0.3mg/m”
未満だと均質な膜が得られず保護機能が低下し、20m
g/m2より厚いと蒸着によりフィルムが熱変形しやす
くなる。
上記コンデンサ用蒸着フィルムは、例えば第2図に示す
ような装置で製造される。図において符号20は幅広で
長い帯状の誘電体フィルム10を巻回保持したアンコイ
ラ、21は蒸着ドラム、22はフィルムを巻き取るリコ
イラであり、さらに前記蒸着ドラム21に向けて、核付
は用蒸着器23、マスキング用オイル吹付器24、亜鉛
蒸着器25、保護皮膜蒸着器26がアンコイラ20側か
ら順に配置され、以上全てが真空容器(図示路)内に収
容されている。
この装置で蒸着フィルムを製造するには、まず、アンコ
イラ20から蒸着ドラム21を経てリコイラ22へとフ
ィルム10を走行させつつ、前記核付は用蒸着器230
こより錫、銀、銅等の金属を蒸着する。こうして蒸着し
た金属は、後の亜鉛蒸着のための核となり亜鉛薄膜11
の形成を促進する。
次いで、オイル吹付器24によりフィルムlO上に幅方
向等間隔に狭い帯状にオイルを吹き付けるとともに、亜
鉛蒸着器25により亜鉛薄膜11をフィルム10に蒸着
する。これにより、前記オイル付着部分には亜鉛薄膜1
1が付着せず、帯状の非蒸着部分が形成される。そして
さらに、保護皮膜蒸着器26により保護皮膜12を亜鉛
薄膜11上に蒸着し、これをリコイラ22で巻き取り製
品とする。
こうして製造された蒸着フィルムは、第3図に示すよう
に一定間隔毎に非蒸着部10Aが形成されており、使用
時には図中矢印に沿って裁断し、これらを2枚重ねて巻
回し、後は従来通りコンデンサ製造に供される。
上記のコンデンサ用蒸着フィルムにおいては、亜鉛薄膜
11上に形成された保護皮膜12により、雰囲気中の水
分を亜鉛薄膜11から遮断するので、コンデンサを成形
するに至る過程での取り扱いが容易で、亜鉛薄膜11の
腐食による品質低下を防ぐことができるとともに、耐湿
性が向上した分、亜鉛薄膜11を薄く形成することがで
き、従来構成では実現困難であった良好な自己回復性を
得ることができる。
また、Si、Si酸化物、あるいはこれらの混合物の保
護皮膜12は、前述のように亜鉛薄膜11をフィルム1
0に蒸着する工程で同時形成できるので、その高い耐湿
性向上効果にもかかわらず、生産性が高く、製造コスト
は安いという利点が得られる。
なお、上記実施例では、蒸着法として抵抗加熱法を用い
て亜鉛薄膜11および保護皮膜12を形成していたが、
その代わりに、スパッタリング法、電子ビーム法等で蒸
着形成することも可能である。
また本発明の蒸着フィルムは、いかなる平面形状であっ
てもよいし、蒸着フィルムを巻回する巻回型コンデンサ
用とする代わりに、長方形に裁断して積層し、積層型コ
ンデンサに用いてもよい。
さらに、保護皮膜12中の酸素原子濃度を厚さ方向に漸
次変化させることにより、亜鉛薄膜11と保護皮膜12
との接合強度を増したり、保護皮膜12上に必要に応じ
て他の物質の薄膜を形成したり、さらにフィルム10の
裏面に保護皮膜12と同じ水分浸透防止用薄膜を形成し
てもよい。
「実験例」 次に、本発明の実験例を挙げて効果を実証する。
(実験例1) 厚さ5μmのポリエステルフィルムに、通常の巻取式真
空蒸着機(第2図)で真空度IX 1O−3Torrに
おいて、非蒸着部分を残して約0.04μmの厚さに亜
鉛を蒸着した後、その上にSiOを約4mg/m2蒸着
した。
次に、こうして得られた金属化フィルムを巻回し、温度
70°C1相対湿度80%の恒温恒温槽内に24時間放
置した。
(実験例2) 実験例1七同じ条件で亜鉛蒸着を行ない、さらにSiお
よび5102の混合物をSiOに換算して約4mg/m
2蒸着し、こうして得られた金属化フィルムに対して、
実験例1と同様の処理をした。
(比較例) 実験例1と同じ条件で亜鉛蒸着を行ない、そのまま実験
例1と同様の処理をした。
上記各実験の結果、実験例1では亜鉛薄膜に全く変化が
見られず、実験例2では亜鉛薄膜に蝕孔がまばらに見ら
れたのみに対し、比較例では、亜鉛薄膜の全面が白色透
明(Z n(OH)2)に変化していた。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明のコンデンサ用蒸着フィル
ムにおいては、金属薄膜上に形成された保護皮膜により
、雰囲気中の水分を金属薄膜から遮断するので、コンデ
ンサを成形するに至る過程での取り扱いが容易で、金属
薄膜中の亜鉛の腐食−8= による品質低下を防ぐことができるとともに、耐湿性が
向上した分、金属薄膜を薄くすることができ、従来構成
では実現困難であった良好な自己回復性を得ることがで
きる。
また、Si、Si酸化物、あるいはこれらの混合物の保
護皮膜は、金属薄膜を誘電体フィルムに蒸着する工程で
同時に形成可能であるため、蒸着フィルムの生産性を低
下させることがなく、コストが格段に安く済む等の利点
も得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係わるコンデンサ用蒸着フィルムの一
実施例を示す断面図、第2図は同フィルムの製造方法を
示す概略図、第3図は同フィルムの製品形状の一例を示
す平面図である。 一方、第4図および第5図は従来のコンデンサ用金属蒸
着フィルムの断面図、第6図は一般的な金属化プラスチ
ックフィルムコンデンサの外装ヲ一部破断した状態を示
す斜視図である。 10・・・誘電体フィルム、 11・・・亜鉛薄膜(金属薄膜)、 12・・・保護皮膜。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 誘電体フィルムの表面に、少なくともその表層が亜鉛ま
    たは亜鉛合金からなる金属薄膜を形成し、さらにこの金
    属薄膜上にSi,Si酸化物,あるいはそれらの混合物
    からなる保護皮膜を形成したことを特徴とするコンデン
    サ用蒸着フィルム。
JP62316513A 1987-12-15 1987-12-15 コンデンサ用蒸着フイルム Granted JPH01158714A (ja)

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