JP3006191B2 - コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
コンデンサ用金属化フィルムの製造方法Info
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- JP3006191B2 JP3006191B2 JP3210672A JP21067291A JP3006191B2 JP 3006191 B2 JP3006191 B2 JP 3006191B2 JP 3210672 A JP3210672 A JP 3210672A JP 21067291 A JP21067291 A JP 21067291A JP 3006191 B2 JP3006191 B2 JP 3006191B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はコンデンサ用金属化フィ
ルムの製造方法に関する。
ルムの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、エレクトロニクス技術の進歩は著
しく、電子機器，電気機器などは多機能化，小形化が進
んでいる。これらの機器を構成する電子部品，電気部品
にも多機能化，小形化が要望されておりフィルムコンデ
ンサも例外ではない。
しく、電子機器，電気機器などは多機能化，小形化が進
んでいる。これらの機器を構成する電子部品，電気部品
にも多機能化，小形化が要望されておりフィルムコンデ
ンサも例外ではない。
【０００３】以下に従来のコンデンサ用金属化フィルム
の製造方法について説明する。従来の耐湿性に優れたコ
ンデンサ用金属化フィルムの製造方法は、オーバーコー
ティング法，耐候性金属蒸着法，酸素ドープ蒸着法とい
った方法がある。オーバーコーティング法は、蒸着後蒸
着膜表面に樹脂薄膜をオーバーコーティングし水分を遮
断する方法である。耐候性金属蒸着法は、Ｎｉ，Ｃｒな
どの耐候性に優れた金属を蒸着する方法である。酸素ド
ープ蒸着法は、蒸着時に酸素ガスをドープし蒸着金属と
反応させ耐湿効果がある酸化被膜を形成する方法であ
る。以上が耐湿性に優れたコンデンサ用金属化フィルム
の一般的な製造方法である。
の製造方法について説明する。従来の耐湿性に優れたコ
ンデンサ用金属化フィルムの製造方法は、オーバーコー
ティング法，耐候性金属蒸着法，酸素ドープ蒸着法とい
った方法がある。オーバーコーティング法は、蒸着後蒸
着膜表面に樹脂薄膜をオーバーコーティングし水分を遮
断する方法である。耐候性金属蒸着法は、Ｎｉ，Ｃｒな
どの耐候性に優れた金属を蒸着する方法である。酸素ド
ープ蒸着法は、蒸着時に酸素ガスをドープし蒸着金属と
反応させ耐湿効果がある酸化被膜を形成する方法であ
る。以上が耐湿性に優れたコンデンサ用金属化フィルム
の一般的な製造方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の手法でコンデンサ用金属化フィルムを製造する
と、以下に述べるような問題がある。オーバーコーティ
ング法は、コーティング樹脂薄膜が誘電体となるため、
膜厚のばらつき及びピンホールがコンデンサの特性に影
響を及ぼす。したがって高精度のコーティング精度が必
要となり量産性に課題がある。耐候性金属蒸着法は、耐
候性には優れているが、金属化フィルムコンデンサ特有
のショート欠陥部の電極金属飛散による自己回復機能が
劣るといった問題がある。酸素ドープ蒸着法は、酸素ド
ープ量と真空度により蒸着金属膜の酸化度合いが決定さ
れるが、均一かつ一定量の酸化膜を連続で得ようとする
場合、酸素ドープ量と真空度の制御が困難である。ま
た、表面及び基盤界面のみの酸化膜の形成が困難である
といった問題を有していた。
従来の手法でコンデンサ用金属化フィルムを製造する
と、以下に述べるような問題がある。オーバーコーティ
ング法は、コーティング樹脂薄膜が誘電体となるため、
膜厚のばらつき及びピンホールがコンデンサの特性に影
響を及ぼす。したがって高精度のコーティング精度が必
要となり量産性に課題がある。耐候性金属蒸着法は、耐
候性には優れているが、金属化フィルムコンデンサ特有
のショート欠陥部の電極金属飛散による自己回復機能が
劣るといった問題がある。酸素ドープ蒸着法は、酸素ド
ープ量と真空度により蒸着金属膜の酸化度合いが決定さ
れるが、均一かつ一定量の酸化膜を連続で得ようとする
場合、酸素ドープ量と真空度の制御が困難である。ま
た、表面及び基盤界面のみの酸化膜の形成が困難である
といった問題を有していた。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、蒸着膜の表面及びフィルム界面に耐湿性に優れた酸
化被膜の形成が容易なコンデンサ用金属化フィルムの製
造方法を提供することを目的とする。
で、蒸着膜の表面及びフィルム界面に耐湿性に優れた酸
化被膜の形成が容易なコンデンサ用金属化フィルムの製
造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のコンデンサ用金属化フィルムの製造方法
は、誘電体フィルムの両面または片面に電極となるＡｌ
を２００Å〜６００Åの厚みに蒸着し、その後導電率が
１０μS／cm以下の純度の水にて金属化フィルムを濡ら
し、３００ｓ以内に乾燥し、Ａｌ電極に酸化被膜を３０
Å〜６０Åの厚みに形成する工程を有するものである。
に、本発明のコンデンサ用金属化フィルムの製造方法
は、誘電体フィルムの両面または片面に電極となるＡｌ
を２００Å〜６００Åの厚みに蒸着し、その後導電率が
１０μS／cm以下の純度の水にて金属化フィルムを濡ら
し、３００ｓ以内に乾燥し、Ａｌ電極に酸化被膜を３０
Å〜６０Åの厚みに形成する工程を有するものである。
【０００７】
【作用】この製造方法により本発明のコンデンサ用金属
化フィルムの製造方法は、Ａｌ電極形成後酸化層の厚み
が１０Å〜２０Åであったものが、水処理及び乾燥によ
りＡｌ電極の表面及びフィルムとの界面に３０Å〜６０
Åの厚みの酸化被膜が均一かつ迅速に形成される。この
とき処理水の導電率が１０μS／cmをこえる純度である
と処理水中に含まれるＣｌなどの不純物が乾燥後Ａｌ電
極表面に残留し、コンデンサの耐湿評価においてＡｌ電
極の腐食の原因となる。また、水に濡れてから乾燥する
までの時間が３００ｓをこえるとＡｌ電極のＡｌが腐食
され消失してしまうといった不都合が生じる。酸化被膜
厚が３０Åより薄いと防湿効果が少なく６０Åより厚い
とＡｌ電極の表面抵抗が高くなり、コンデンサの誘電損
失が大きくなるといった問題がある。この形成された酸
化被膜によりＡｌ電極の腐食進行が抑制され、耐湿性に
優れたコンデンサ用金属化フィルムを得ることができ
る。
化フィルムの製造方法は、Ａｌ電極形成後酸化層の厚み
が１０Å〜２０Åであったものが、水処理及び乾燥によ
りＡｌ電極の表面及びフィルムとの界面に３０Å〜６０
Åの厚みの酸化被膜が均一かつ迅速に形成される。この
とき処理水の導電率が１０μS／cmをこえる純度である
と処理水中に含まれるＣｌなどの不純物が乾燥後Ａｌ電
極表面に残留し、コンデンサの耐湿評価においてＡｌ電
極の腐食の原因となる。また、水に濡れてから乾燥する
までの時間が３００ｓをこえるとＡｌ電極のＡｌが腐食
され消失してしまうといった不都合が生じる。酸化被膜
厚が３０Åより薄いと防湿効果が少なく６０Åより厚い
とＡｌ電極の表面抵抗が高くなり、コンデンサの誘電損
失が大きくなるといった問題がある。この形成された酸
化被膜によりＡｌ電極の腐食進行が抑制され、耐湿性に
優れたコンデンサ用金属化フィルムを得ることができ
る。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例のコンデンサ用金属化
フィルムの製造方法について、図面を参照しながら説明
する。
フィルムの製造方法について、図面を参照しながら説明
する。
【０００９】図１において、１１はＡｌ蒸着後のフィル
ム原反、１２は純水の入った水処理槽、１３は乾燥ブロ
ワー、１４は処理済みのフィルム原反である。まずＡｌ
蒸着後の原反１１より蒸着フィルムが巻出され、水処理
槽１２の中を通り、乾燥ブロワー１３で濡れたフィルム
を乾燥し、処理済みのフィルム原反１４が得られる工程
になっている。このとき処理水の導電率は２μS／cmの
純度で、水処理槽１２に入ってから乾燥ブロワー１３を
出るまでの所要時間は１２０ｓであり約４０Å厚の酸化
被膜が得られた。
ム原反、１２は純水の入った水処理槽、１３は乾燥ブロ
ワー、１４は処理済みのフィルム原反である。まずＡｌ
蒸着後の原反１１より蒸着フィルムが巻出され、水処理
槽１２の中を通り、乾燥ブロワー１３で濡れたフィルム
を乾燥し、処理済みのフィルム原反１４が得られる工程
になっている。このとき処理水の導電率は２μS／cmの
純度で、水処理槽１２に入ってから乾燥ブロワー１３を
出るまでの所要時間は１２０ｓであり約４０Å厚の酸化
被膜が得られた。
【００１０】この工程により得られたコンデンサ用金属
化フィルムを用いてコンデンサを試作し耐湿寿命試験を
行ったところ図２のような結果が得られた。２１は本実
施例により水処理したフィルムを用いたコンデンサ、２
２は従来の水処理無しのフィルムを用いたコンデンサで
ある。水処理無しのものの２０００ｈ経過後、静電容量
低下の大きいコンデンサを分析するとＡｌ電極が腐食し
消失していた。水処理したものについてはこの現象は見
られなかった。
化フィルムを用いてコンデンサを試作し耐湿寿命試験を
行ったところ図２のような結果が得られた。２１は本実
施例により水処理したフィルムを用いたコンデンサ、２
２は従来の水処理無しのフィルムを用いたコンデンサで
ある。水処理無しのものの２０００ｈ経過後、静電容量
低下の大きいコンデンサを分析するとＡｌ電極が腐食し
消失していた。水処理したものについてはこの現象は見
られなかった。
【００１１】
【発明の効果】以上の実施例の説明により明らかなよう
に本発明のコンデンサ用金属化フィルムの製造方法によ
れば、蒸着後フィルムを水処理することによりＡｌ電極
膜に均一な酸化被膜が形成され、耐湿性に優れたコンデ
ンサ用金属化フィルムの製造が実現できる。
に本発明のコンデンサ用金属化フィルムの製造方法によ
れば、蒸着後フィルムを水処理することによりＡｌ電極
膜に均一な酸化被膜が形成され、耐湿性に優れたコンデ
ンサ用金属化フィルムの製造が実現できる。
【図１】本発明の一実施例のコンデンサ用金属化フィル
ムの製造方法の工程概念を示す斜視図
ムの製造方法の工程概念を示す斜視図
【図２】本発明の一実施例及び従来のコンデンサ用金属
化フィルムの製造方法によるコンデンサの耐湿寿命試験
結果を示すグラフ
化フィルムの製造方法によるコンデンサの耐湿寿命試験
結果を示すグラフ
１１ Ａｌ蒸着後のフィルム原反 １２ 水処理槽 １３ 乾燥ブロワー １４ 処理済みのフィルム原反
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青戸 峰康 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−250306（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01G 4/24
Claims (3)
- 【請求項１】誘電体フィルムの両面または片面にＡｌ電
極を２００Å〜６００Åの厚みに蒸着した後、このフィ
ルムを水で濡らし、その後乾燥させ、このＡｌ電極に酸
化被膜を３０Å〜６０Åの厚さに設けるコンデンサ用金
属化フィルムの製造方法。 - 【請求項２】水の導電率が１０μS／cm以下の純度であ
る請求項１記載のコンデンサ用金属化フィルムの製造方
法。 - 【請求項３】水で濡らしてから乾燥するまでの時間が３
００ｓ以内である請求項１または２記載のコンデンサ用
金属化フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210672A JP3006191B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3210672A JP3006191B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555083A JPH0555083A (ja) | 1993-03-05 |
| JP3006191B2 true JP3006191B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=16593203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3210672A Expired - Fee Related JP3006191B2 (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006191B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2802884B2 (ja) * | 1993-12-29 | 1998-09-24 | 岡谷電機産業株式会社 | 金属化フィルムコンデンサの製造方法 |
-
1991
- 1991-08-22 JP JP3210672A patent/JP3006191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555083A (ja) | 1993-03-05 |
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