JP2938913B2 - アルミニウム蒸着フイルム及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、巻回あるいは積層されることによってコン
デンサなどに使用されるアルミニウム蒸着フィルム及び
その製造方法に関する。

背景技術 アルミニウム蒸着フィルムはコンデンサにおける電極
と誘電体の複合体などとして広く使用されている。しか
し、アルミニウムは化学的に安定性が悪いため、通常の
アルミニウム蒸着膜は耐湿性に乏しい。即ち、アルミニ
ウム蒸着膜は、高温高湿環境下での腐蝕に対する耐久性
が低いために、コンデンサの電極としての機能を失いや
すい。そのためかかるアルミニウム蒸着フイルムを用い
たコンデンサは、使用環境に応じて、専ら外装の強化で
該欠点を克服せんとしているが、充分でない場合が多
い。

なお、ポリプロピレンフィルム、紙などに亜鉛を蒸着
する場合など、そのままでは蒸着膜が形成されない場合
や、あるいは蒸着膜形成が遅く工業的な生産性がない場
合に、例えば特開昭58−16415に示されるように、先に
銅、銀などの亜鉛蒸着膜形成の核になる金属を予備蒸着
する（いわゆる核付け）ことによって蒸着膜の形成を補
助する技術は公知であるが、その目的、作用、効果とも
に本願発明とは全く異なるものである。実際、亜鉛を蒸
着する際に核付けを行なっても本発明の目的とする蒸着
膜の高温高湿の環境下に於ける耐蝕性を向上する効果は
ない。

発明の開示 本発明の目的は、上記の様なアルミニウム蒸着フィル
ムの欠点を解消し、コンデンサとした場合、たとえ簡易
な外装であっても十分な耐湿性の確保を可能とし、ある
いは従来と同様の外装を施せば、飛躍的に耐湿信頼性の
向上するアルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法を
提供することにある。

すなわち本発明は主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性
樹脂からなるプラスチックフィルムの少なくとも片面に
アルミニウム薄膜を真空蒸着法によって形成したアルミ
ニウム蒸着フィルムにおいて、該蒸着膜表面の、（Ｉ）
式によって求められる表面積係数Ｃが1.00×10^-4以下で
あることを特徴とするアルミニウム蒸着フィルムに関す
る。

Ｃ＝（Lb−La）/La・・・・・・（Ｉ） （ここでLaおよびLbは、二光束型走査電子顕微鏡によ
って求められる粗さ曲線から求められるもので、Laは該
粗さ曲線の規準線に対する投影長、Lbは該粗さ曲線の延
長を表わす。） また本発明は主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂
からなるプラスチックフィルム上にアルミニウム薄膜を
真空蒸着法によって形成したアルミニウム蒸着フィルム
において、アルミニウム薄膜中にベースフィルム面に対
して［1,1,0］配向したアルミニウム結晶が含まれてい
ることを特徴とするアルミニウム蒸着フィルムに関す
る。

また本発明は主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂
からなるプラスチックフィルム上にアルミニウムを真空
蒸着してアルミニウム蒸着フィルムを製造する方法に於
いて、まずプラスチックフィルムに金、銀、銅、ニッケ
ルの中から選ばれる少なくとも１種の金属を0.1mg/m²以
上50mg/m²以下の蒸着量で蒸着し、次いで該蒸着膜上に
アルミニウムを蒸着することを特徴とするアルミニウム
蒸着フィルムの製造方法に関する。

さらにまた本発明は主鎖中に芳香族環を有する熱可塑
性樹脂からなるプラスチックフィルム上にアルミニウム
を真空蒸着しアルミニウム蒸着フィルムを製造する方法
に於いて、一つの真空槽内にプラズマ処理室とアルミニ
ウム蒸着室を持ち、それぞれが独立して真空度を制御で
きる構造の装置によって、まず該プラスチックフィルム
の蒸着される側の表面に真空度1.0×10^-1〜1.0×10^-3to
rrの不活性ガス環境下で処理強度5W分／m²以上300W分／
m²以下の強度でプラズマ処理を施し、引き続き該処理面
に真空度1.0×10^-3torr以下の雰囲気下でアルミニウム
を蒸着することを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム
の製造方法に関するものである。

本発明にかかるアルミニウム蒸着フィルムは、コンデ
ンサとしたとき簡易な外装であっても十分な耐湿性を有
し、また従来と同様の外装を施せば飛躍的に耐湿信頼性
の向上したコンデンサとなる。

図面の簡単な説明 第１図は、本発明のアルミニウム蒸着フィルムを製造
するためのひとつの方法を示す概念図である。ここで
は、一つの真空槽内にプラズマ処理室とアルミニウム蒸
着室を有している。

発明を実施するための最良の形態 本発明において、プラスチックフィルムは主鎖中に芳
香族環を有する熱可塑性樹脂からなることが重要であ
る。特にポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレ
ンスルフィドケトン、ポリエーテルエーテルケトンから
選ばれた少なくとも１種の樹脂を成分とするフィルムの
場合が、フイルムの製膜性や得られるコンデンサの耐熱
性の点で好ましい。更に好ましくは、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート及びポリフェニ
レンスルフィドを成分とする二軸延伸フイルムである。

なお、上記の如き樹脂以外に、本発明の目的を害さな
い範囲で、更に他の樹脂が共重合されていても、また混
合されていてもよい。他の樹脂の共重合割合は好ましく
は20モル％以下、より好ましくは10モル％以下である。
また、他の樹脂の混合割合は好ましくは30重量％以下、
より好ましくは20重量％以下である。更に、本発明の目
的を害さない範囲で無機又は有機の添加物等が配合され
ていることは差し支えない。

本発明の金属化フィルムは該プラスチックフィルムの
少なくとも一方の面にアルミニウム薄膜を真空蒸着法に
よって形成したものである。但し、蒸着物全てがアルミ
ニウムである必要はなく、蒸着膜の付着力、耐湿性、コ
ンデンサ特性等を向上する目的で他の金属、非金属が同
時に、あるいは逐次に蒸着されていることは差し支えな
い。また、同様の目的等で予め該プラスチックフィルム
上に異種の物質を塗布等の手段により形成させておき、
その後蒸着してもよい。また、該アルミニウム薄膜上あ
るいは非金属化面にさらに他のフィルム、樹脂、ワック
ス等が積層、塗布されることも差し支えない。

該アルミニウム薄膜の膜厚は特に限定しないが、200
Å〜1000Åの範囲である時に本発明の効果が大きい。こ
の膜厚は金属化フィルムの表面抵抗にして概ね0.5Ω〜
５Ωの範囲である。

本発明のアルミニウム蒸着フィルムは蒸着膜表面の、
（Ｉ）式によって求められる表面積係数Ｃが1.00×10^-4
以下であることが必要である。

Ｃ＝（Lb−La）/La・・・・・・（Ｉ） ここでLaおよびLbは、二光束型走査電子顕微鏡によっ
て求められる粗さ曲線から求められるもので、Laは該粗
さ曲線の規準線に対する投影長、Lbは該粗さ曲線の延長
を表わす。

すなわちLaおびLb（粗さ曲線の延長）は次式（II）に
よって求められるものである。

ここで、ｘおよびｙはそれぞれ二光束型走査電子顕微
鏡によって求められる粗さ曲線の測定走査方向軸および
それに直交する高さ方向軸上の座標を表わす。Δｘおよ
びy_iは得られた粗さ曲線のｘ軸を測定走査方向にそって
Δｘ間隔で区分していった時の各座標を順にx₀、x₁、
x₂、x₃、・・・・・・、x_n-1、x_nとした時に、それぞれ
対応する高さ座標をy₀、y₁、y₂、y₃、・・・・・・、y
_n-1、y_nとしたものである。さらに、本発明ではΔｘ＝
0.05μｍとし、ｎ≧10とする。二光束型走査電子顕微鏡
による粗さ曲線の測定条件の詳細は、特性の評価法の項
で述べる。

本発明のアルミニウム蒸着フィルムの別の形態は、該
アルミニウム薄膜中にベースフィルム面に対して［1,1,
0］配向したアルミニウム結晶が含まれていることが必
要である。ここでアルミニウム結晶の配向はＸ線回折法
によって測定されるものであり、その測定方法の詳細は
特性の評価法の項で述べる。ここでベースフィルム面に
対して［1,1,0］配向したアルミニウム結晶とはアルミ
ニウム結晶の［1,1,0］面をベースフィルム表面に対し
て平行にして成長した結晶のことを言う。Ｘ線回折法に
よって得られた回折パターンは、ベースフィルム、添加
物等による回折成分が差し引かれアルミニウム結晶回折
ピークのみを抽出する。この時［2,2,0］ピーク（格子
面間1.431Å）の高さが［1,1,1］ピーク（格子面間2.33
8Å）高さに対して３％以上（好ましくは10％以上）で
ある時［1,1,0］配向した成分を含むものと判定する。

本発明においては、前述の表面積係数Ｃ、又は上記の
如きアルミニウム結晶の配向特性のいずれかが満足され
れば、目的が達成される。もちろん、両特性が同時に満
足されている場合でもよい。

尚、これらの表面積係数Ｃの値や、アルミニウム結晶
の配向特性はコンデンサとなった後でも変わらず、コン
デンサを解体してアルミニウム蒸着フィルムを取り出し
て試料を作成し評価することができる。

次に本発明のアルミニウム蒸着フィルムの製造方法を
説明するが、これらの方法に限定されるものでないこと
はもちろんである。

まず一つの製造方法は主鎖中に芳香族環を有する熱可
塑性樹脂からなるプラスチックフィルムに金、銀、銅、
ニッケルの中から選ばれる少なくとも１種の金属を0.1m
g/m²以上50mg/m²以下の蒸着量で蒸着し、次いで該蒸着
膜上にアルミニウムを蒸着するものである。この方法は
ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテル
ケトンから選ばれた樹脂を主成分とするフィルムにおい
てその効果が顕著である。その中でも、ポリエチレンテ
レフタレート及びポリフェニレンスルフィドを主成分と
するフィルムにおいて極めて効果が大きい。

このプラスチックフィルムにアルミニウムを真空蒸着
するに先立ち、まず該プラスチックフィルムに金、銀、
銅、ニッケルの中から選ばれる少なくとも１種の金属
（以下、プライマーと言う）を蒸着量0.1mg/m²以上50mg
/m²以下の範囲で真空蒸着する。この蒸着量は２次イオ
ン質量分析（いわゆるSIMS）で測定することができる
が、下記のアルミニウム蒸着を行なった後、アルミニウ
ム蒸着膜表面より深さ方向の分析を行なった時（分析の
条件については「特性の評価法」の項で述べる）、プラ
イマー元素のピーク強度が10¹カウント以上10⁵カウント
以下である範囲に相当する。プライマーとしては、これ
らの金属のうち銅が蒸着のし易さの点で好ましい。さら
にプライマーの蒸着を行なう雰囲気は5.0×10^-4torr以
下であることが好ましい。この際、蒸着の方法は特に問
わない。すなわち工業的に生産する場合は、るつぼ加熱
方式、フィード加熱方式などひろく行なわれている方法
が採用できるが、これらに限定されるものではない。

また、プラスチックフィルムの、少なくとも蒸着され
る側の表面がポリフェニレンスルフィドからなるフィル
ムである場合、プライマーを蒸着する面に、あらかじめ
コロナ処理、プラズマ処理等の放電処理を施しておくこ
ともフィルムと蒸着膜との密着性を向上させる点で好ま
しい。

次いでアルミニウムをプライマーの上に重ねて蒸着す
る。アルミニウム蒸着膜の膜厚は200Å〜1000Åの範囲
である時に本発明の効果が大きい。さらにアルミニウム
の蒸着を行なう雰囲気は5.0×10^-4torr以下であること
が好ましい。アルミニウムの蒸着方法も特に問わず工業
的に生産する場合は、、るつぼ加熱方式、フィード加熱
方式などひろく行なわれている方法が採用できるが、こ
れらに限定されるものではない。

プライマーの蒸着とアルミニウムの蒸着は同一の真空
槽内に２種の蒸発源を並べるなどして連続的に行なって
も良いし、あらかじめプライマーを蒸着したフィルムを
作製し、次いで通常の方法でアルミニウムを蒸着するな
どの方法で逐次に２段階で行なっても良いが、生産性の
点から、連続的に行うことが好ましい。

本発明の、いま一つの製造方法は一つの真空槽内にプ
ラズマ処理室とアルミニウム蒸着室を持ち、それぞれが
独立して真空度を制御できる構造の装置によって、まず
該プラスティックフィルムの蒸着される側の表面に真空
度1.0×10^-1〜1.0×10^-3torrの不活性ガス環境下で処理
強度5W分／m²以上300W分／m²以下の強度でプラズマ処理
を施し、引き続き該処理面に真空度1.0×10^-3torr以下
の雰囲気下でアルミニウムを蒸着するものである。この
方法は特にプラスティックフィルムの少なくとも蒸着さ
れる側の表面が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレートなどのポリエステルからなるプラス
ティックフィルムである時に効果が大きい。

本発明のこの方法に於いてプラズマ処理は真空度1.0
×10^-1〜1.0×10^-3torrの不活性ガス環境下で行なわれ
る。真空度が1.0×10^-1torr以上であると処理効果が充
分でなくなる。一方、1.0×10^-3torr以下では放電が不
均一になり、また充分な処理が行なわれない。このよう
な環境下で処理を斑なく行なわせる為には、放電電極を
磁界作用によって実質的な放電電子行路長を長くしたも
の（いわゆるマグネトロン）を用いるのが好ましい。こ
こで不活性ガスとは周期律表第VIII族から選ばれる元素
を体積比で好ましくは99％以上含むガスのことであり、
酸素、一酸化炭素、二酸化炭素等の含酸素ガスの含有率
は体積比で0.1％以下であることが好ましい。不活性ガ
スの種類としては取り扱い性などの点からアルゴンが好
ましい。

該プラズマ処理の強度は5W分／m²以上300W分／m²以下
の範囲で行なう。5W分／m²以下では効果が不十分であ
り、300W分／m²以上ではフィルムの損傷が大きい。

本発明を達成するには上記の減圧下でのプラズマ処理
に引き続き、大気圧に戻すことなく連続してアルミニウ
ム蒸着を施すことが必要である。このためには一つの真
空槽内にプラズマ処理室とアルミニウム蒸着室を持ち、
それぞれが独立して真空度を制御できる構造の装置が必
要である。そのような装置としては、例えば、通常の巻
取室と蒸着室の２室に分かれている連続巻取式真空蒸着
機の巻取室を、独立して真空度を制御できる構造にして
適当な部位にプラズマ処理器を設けてプラズマ処理室と
するか、巻出部と蒸着室の間に、独立して真空度を制御
できる第３室を設け、これをプラズマ処理室としたもの
等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。ま
たいずれにせよ、プラズマ処理は不活性ガス環境下で行
う必要があるのでプラズマ処理室となる室には任意のガ
スを充填できる構造であることが必要である。

アルミニウム蒸着は真空度1.0×10^-3torr以下の雰囲
気下で行なう。真空度がこの値より大きいと蒸着膜は極
めて脆弱なものとなり充分な耐蝕性が得られない。蒸着
を行なう真空度のより好ましい範囲は2.0×10^-4torr以
下である。また、アルミニウム蒸着膜の膜厚は200〜100
0Åの範囲にある時に本発明の効果が顕著である。

次に本発明における特性の測定方法および評価方法に
ついて述べる。

（１）二光束型走査電子顕微鏡による粗さ曲線の測定 二光束二検出器型走査型電子顕微鏡および同電子顕微
鏡用断面測定装置を用い、水平方向に200点測定して断
面チャートを得る。測定条件を以下に示す。

装置 二光束二検出器型走査型電子顕微鏡：エリオニクス
（株）社製 ESM−3200 同電子顕微鏡用断面測定装置 ：エリオニクス
（株）社製 PSM−１ 測定条件 倍率 :150,000倍 ゲイン値 :15kV バイアス :6.0 スポットサイズ :5.50 （２）Ｘ線回折法によるアルミニウム薄膜中のアルミニ
ウム結晶の配向測定 金属化フィルム３枚を金属化面の向きを揃えて積層し
て測定試料とし、θ−２θ走査法を３回繰り返し、３回
多重広角Ｘ線回折測定を行なう。測定条件を以下に示
す。

（３）２次イオン質量分析（SIMS）によるプライマー蒸
着量の測定 以下に示す測定条件によってアルミニウム蒸着フィル
ムのアルミニウム表面から深さ方向に２次イオン質量分
析したとき、アルミニウム膜とフィルムの界面に現われ
るプライマー元素のピーク強度（２次イオンカウント
数）を測定する。ここで、アルミニウム膜とフィルムの
界面とはフィルムに特有の元素、例えば炭素の強度が立
ち上がる点から定常に達する点までの範囲とする。

（４）耐蝕性 アルミニウム蒸着フィルムを5cm×5cmの大きさに切っ
たサンプルとし、65℃に調温した蒸留水２リットルを張
った恒温水槽に浸す。サンプルの表面抵抗を追跡し、表
面抵抗が初期値の10倍に達する時間を測定し、下の規準
に従いＡ〜Ｅにランク分けをする。この時間が長いほど
耐蝕性が良い。

Ａ・・・・・・60分以上 Ｂ・・・・・・40分以上 60分未満 Ｃ・・・・・・20分以上 40分未満 Ｄ・・・・・・10分以上 20分未満 Ｅ・・・・・・10分未満 （５）コンデンサの耐湿性 コンデンサを60℃、95％RHの雰囲気下で1000時間エー
ジングして静電容量変化率を測定する。これをΔC/Cで
示し、耐湿性試験結果とした。ここで、Ｃはエージング
前の静電容量、ΔＣはエージング前後の静電容量変化量
である。この値の絶対値が大きいほど耐湿性が悪い。
尚、コンデンサの容量は自動キャパシタンスブリッジを
用いて測定する。

次に本発明の実施例を挙げてさらに詳細に説明する
が、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。

実施例A1 連続巻取式蒸着機（日本真空技術（株）製）の蒸着室
を２室に分け、前室（巻出側）で銅を、後室（巻取側）
でアルミニウムを蒸着できるようにした。この装置を用
いてポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）
製“ルミラー”、フィルム厚さ４μｍ）に前室で銅を0.
5mg/m²の割合で蒸着した。次いで、連続する後室でアル
ミニウムを表面抵抗が２Ωになるように蒸着し、アルミ
ニウム蒸着フィルムを得た。このフィルムをMF−A1とす
る。MF−A1の表面積係数ＣおよびＸ線回折法によるアル
ミニウム薄膜中のアルミニウム結晶の配向測定結果を表
１に示す。

MF−A1の長手方向にストライプ状に9mmのピッチで幅
1.0mmのマージン部（非蒸着部分）をYAGレーザーを用い
て形成し、各蒸着部（幅8.0mm）の中央と各マージン部
（幅1.0mm）の中央に刃を入れてスリットし、左もしく
は右に0.5mmのマージンを有する全幅4.5mmのテープ状に
して巻き取った。

得られたテープを左マージンおよび右マージンのもの
各１枚づつを重ね合わせて巻回し、静電容量約0.1μＦ
の巻回体を得て、この巻回体から芯材を抜いてそのまま
加熱プレス（120℃、30kg/cm²、５分）し、さらに、両
端面にメタリコンを溶射して外部電極とし、メタリコン
にリード線を溶接してコンデンサを作製した。このコン
デンサをＣ−A1とする。Ｃ−A1の耐湿性評価結果を表１
に示す。

実施例A2 第１図に示すように、真空槽１において、巻出しロー
ル２を含む巻出部と蒸着室11、蒸着室11巻き取りロール
３を含む巻取部の間にそれぞれ隔壁5,6を持つ連続巻取
式蒸着機（日本真空技術（株）製）の巻出部と蒸着室11
の間にもう一つの同じ構造をした隔壁７を設け、その２
つの隔壁間に外部より任意のガスを導入することができ
るよう導入管12を設け、接地して対向電極としたクーリ
ングキャン４の軸と平行にキャン表面より10mmの距離を
おいて高圧印加電極（マグネトロン）８を設置して新た
にプラズマ処理室９を設けた。図において10は誘導加熱
炉である。

この装置を用いて二軸延伸ポリエチレンテレフタレー
トフィルム（東レ（株）製“ルミラー”、フィルム厚さ
４μｍ）のフィルム表面に真空度2.0×10^-3torrのアル
ゴン雰囲気下で処理強度60W分／m²の強度でプラズマ処
理を施し、連続して真空度8.0×10^-5torrの雰囲気下で
アルミニウムを表面抵抗が２Ωになるような厚さに蒸着
し、アルミニウム蒸着フィルムを得た。このときアルミ
ニウム膜の膜厚は約350Åであった。このフィルムをMF
−A2とする。MF−A2の表面積係数ＣおよびＸ線回折法に
よるアルミニウム薄膜中のアルミニウム結晶の配向測定
結果を表１に示す。

MF−A2を用いて実施例A1と全く同様の方法でコンデン
サを得た。このコンデンサをＣ−A2とする。Ｃ−A2のの
耐湿性評価結果を表１に示す。

実施例A3 フィルムを二軸延伸ポリフェニレンスルフィドフィル
ム（東レ（株）製“トレリナ”、フィルム厚さ４μｍ）
としたこと以外は実施例A1と全く同様の方法でアルミ蒸
着フィルムを作製した。このアルミニウム蒸着フィルム
をMF−A3とする。MF−A3の表面積係数ＣおよびＸ線回折
法によるアルミニウム薄膜中のアルミニウム結晶の配向
測定結果を表１に示す。

MF−A3を用いて実施例A1と全く同様の方法でコンデン
サを得た。ただし加熱プレス条件は180℃、15kg/cm²、
５分とした。このコンデンサをＣ−A3とする。Ｃ−A3の
の耐湿性評価結果を表１に示す。

実施例A4 フィルムを二軸延伸ポリフェニレンスルフィドフィル
ム（東レ（株）製“トレリナ”、フィルム厚さ４μｍ）
としたこと以外は実施例A2と全く同様の方法でアルミ蒸
着フィルムを作製した。このアルミニウム蒸着フィルム
をMF−A4とする。MF−A4の表面積係数ＣおよびＸ線回折
法によるアルミニウム薄膜中のアルミニウム結晶の配向
測定結果を表１に示す。

MF−A4を用いて実施例A32と全く同様の方法でコンデ
ンサを得た。ここでも加熱プレス条件は180℃、15kg/cm
²、５分とした。このコンデンサをＣ−A4とする。Ｃ−A
4のの耐湿性評価を表１に示す。

比較例A1 通常の方法、すなわち銅の蒸着やプラズマ処理をしな
かったこと以外は実施例A1と同様の方法でアルミニウム
蒸着フィルムを得た。このフィルムをMF−A5とする。MF
−A5の表面積係数ＣおよびＸ線回折法によるアルミニウ
ム薄膜中のアルミニウム結晶の配向測定結果を表１に示
す。

MF−A5を用いて実施例A1と全く同様の方法でコンデン
サを得た。このコンデンサをＣ−A5とする。Ｃ−A5のの
耐湿性評価結果を表１に示す。

比較例A2 通常の方法、すなわち銅の蒸着やプラズマ処理をしな
かったこと以外は実施例A3と同様の方法でアルミニウム
蒸着フイルムを得た。このフィルムをMF−A6とする。MF
−A6の表面積係数ＣおよびＸ線回折法によるアルミニウ
ム薄膜中のアルミニウム結晶の配向測定結果を表１に示
す。

MF−A6を用いて実施例A3と全く同様の方法でコンデン
サを得た。このコンデンサをＣ−A6とする。Ｃ−A6のの
耐湿性評価結果を表１に示す。

実施例B1〜B9および比較例B1〜B6 実施例A1と同様の方法でベースフィルム、プライマ
ー、プライマー蒸着量を変えて種々のアルミニウム蒸着
フィルムを得た。これらのフィルムをMF−B1〜MF−B15
として、その製造条件と併せて耐蝕性試験結果を表２に
示す。

ここでMF−B5およびMF−B11のベースフィルムとして
用いたポリエチレンナフタレートフィルムは次の方法に
よって得た。

周知の方法によりエチレングリコールとナフタリン−
2,6−ジカルボン酸から極限粘度0.60のポリエチレン−
2,6−ナフタレートを重合し、平均粒径1.2μｍの炭酸カ
ルシウムを0.2重量％添加してポリエチレンナフタレー
ト樹脂組成物を得た。これをＴダイを備えた押出機によ
りシート状に押出し、キャスティングドラムで急冷し実
質的に非晶状態のフィルムを得、さらに3.5倍×3.5倍に
逐次二軸延伸し熱固定して厚さ４μｍの二軸延伸ポリエ
チレン−2,6−ナフタレートフィルムを得た。

また、MF−B6およびMF−B12のベースフィルムとして
用いたポリエーテルエーテルケトンフィルムは次の方法
によって得た。

ポリエーテルエーテルケトン（I.C.I社製,PEEK 380
G）をＴダイを備えた押出機によりシート状に押出し、
キャスティングドラムで急冷し実質的に非晶状態のフィ
ルムを得た。このフィルムを2.5倍×2.5倍に逐次二軸延
伸し熱固定して厚さ４μｍの二軸延伸ポリエーテルエー
テルケトンフィルムを得た。

実施例C1〜C10および比較例C1〜C10 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ
（株）製“ルミラー”、フィルム厚さ２μｍ）および二
軸延伸ポリフェニレンスルフィドフィルム（東レ（株）
製“トレリナ”、フィルム厚さ２μｍ）をベースフィル
ムとして実施例A2で用いた装置を用いて、プラズマ処理
雰囲気、プラズマ処理強度、アルミニウム蒸着雰囲気を
変えて種々のアルミニウム蒸着フィルムを得た。これら
のフィルムをMF−C1〜MF−C20として、その製造条件と
併せて耐蝕性試験結果を表３に示す。

産業上の利用可能性 本発明のアルミニウム蒸着フィルムは、上記の構成と
したことにより、従来のアルミニウム蒸着フィルムの欠
点であった高温高湿環境下でのアルミニウム蒸着膜の腐
蝕に対する耐久性が大幅に向上したものとなり、その結
果、これを用いたコンデンサは簡易な外装でも十分な耐
湿性が得られる、また従来同様の外装を施せば大幅に耐
湿性の向上したものとなるなど、産業上の利用効果は大
きい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平1−98367 (32)優先日 平１(1989)４月18日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (56)参考文献 特開 昭60−170229（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−203315（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−183449（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−115278（ＪＰ，Ａ) 特公 昭46−3745（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B32B 15/08 C23C 14/02 C23C 14/20 H01G 4/18

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂か
   らなるプラスチックフィルムの少なくとも片面にアルミ
   ニウム薄膜を真空蒸着法によって形成したアルミニウム
   蒸着フィルムにおいて、該蒸着膜表面の、（Ｉ）式によ
   って求められる表面積係数Ｃが1.00×10^-4以下であるこ
   とを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム。 Ｃ＝（Lb−La）/La・・・・・・（Ｉ） （ここでLaおよびLbは、二光束型走査電子顕微鏡によっ
   て求められる粗さ曲線から求められるもので、Laは該粗
   さ曲線の規準線に対する投影長、Lbは該粗さ曲線の延長
   を表わす。）
2. 【請求項２】主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂か
   らなるプラスチックフィルムの少なくとも片面にアルミ
   ニウム薄膜を真空蒸着法によって形成したアルミニウム
   蒸着フィルムにおいて、アルミニウム薄膜中にベースフ
   ィルム面に対して［1,1,0］配向したアルミニウム結晶
   が含まれていることを特徴とするアルミニウム蒸着フィ
   ルム。
3. 【請求項３】主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂か
   らなるプラスチックフィルムの少なくとも片面にアルミ
   ニウム薄膜を真空蒸着法によって形成したアルミニウム
   蒸着フィルムにおいて、該蒸着膜表面の、（Ｉ）式によ
   って求められる表面積係数Ｃが1.00×10^-4以下であり、
   かつアルミニウム薄膜中にベースフィルム面に対して
   ［1,1,0］配向したアルミニウム結晶が含まれているこ
   とを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム。 Ｃ＝（Lb−La）/La・・・・・・（Ｉ） （ここでLaおよびLbは、二光束型走査電子顕微鏡によっ
   て求められる粗さ曲線から求められるもので、Laは該粗
   さ曲線の規準線に対する投影長、Lbは該粗さ曲線の延長
   を表わす。）
4. 【請求項４】プラスチックフィルムが、ポリエチレンテ
   レフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニ
   レンスルフィド、ポリフェニレンスルフィドケトン、ポ
   リエーテルエーテルケトンから選ばれる少なくとも一つ
   の樹脂からなるものである請求項１〜３のいずれかに記
   載のアルミニウム蒸着フィルム。
5. 【請求項５】プラスチックフィルムが二軸延伸フィルム
   である請求項１〜３のいずれかに記載のアルミニウム蒸
   着フィルム。
6. 【請求項６】主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂か
   らなるプラスチックフィルム上にアルミニウムを真空蒸
   着してアルミニウム蒸着フィルムを製造する方法に於い
   て、まずプラスチックフィルムに金、銀、銅、ニッケル
   から選ばれる少なくとも１種の金属を0.1mg/m²以上50mg
   /m²以下の蒸着量で蒸着し、次いで、該蒸着膜上にアル
   ミニウムを蒸着することを特徴とするアルミニウム蒸着
   フィルムの製造方法。
7. 【請求項７】主鎖中に芳香族環を有する熱可塑性樹脂か
   らなるプラスチックフィルム上にアルミニウムを真空蒸
   着しアルミニウム蒸着フィルムを製造する方法に於い
   て、一つの真空槽内にプラズマ処理室とアルミニウム蒸
   着室を持ち、それぞれが独立して真空度を制御できる構
   造の装置によって、まず該プラスチックフィルムの蒸着
   される側の表面に真空度1.0×10^-1〜1.0×10^-3torrの不
   活性ガス環境下で処理強度5W分／m²以上300W分／m²以下
   の強度でプラズマ処理を施し、引き続き該処理面に真空
   度1.0×10^-3torr以下の雰囲気下でアルミニウムを蒸着
   することを特徴とするアルミニウム蒸着フィルムの製造
   方法。
8. 【請求項８】プラスチックフィルムが、ポリエチレンテ
   レフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニ
   レンスルフィド、ポリフェニレンスルフィドケトン、ポ
   リエーテルエーテルケトンから選ばれる少なくとも一つ
   の樹脂からなる請求項６又は７に記載のアルミニウム蒸
   着フィルムの製造方法。
9. 【請求項９】プラスチックフィルムが二軸延伸フィルム
   である請求項６又は７記載のアルミニウム蒸着フィルム
   の製造方法。