JP2870937B2 - 金属蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
金属蒸着フィルムの製造方法Info
- Publication number
- JP2870937B2 JP2870937B2 JP4494090A JP4494090A JP2870937B2 JP 2870937 B2 JP2870937 B2 JP 2870937B2 JP 4494090 A JP4494090 A JP 4494090A JP 4494090 A JP4494090 A JP 4494090A JP 2870937 B2 JP2870937 B2 JP 2870937B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- discharge treatment
- film
- gas
- deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、包装用金属蒸着フィルムの製造方法に関す
るものであり、さらに詳しくはプラスチックフィルム上
に、高い密着力で金属蒸着層を有し、かつ高いガス遮断
性を示す金属蒸着フィルムの製造方法に関するものであ
る。
るものであり、さらに詳しくはプラスチックフィルム上
に、高い密着力で金属蒸着層を有し、かつ高いガス遮断
性を示す金属蒸着フィルムの製造方法に関するものであ
る。
［従来の技術］ 従来、プラスチックフィルム、特にポリオレフィン系
フィルム上にアルミニウム等の金属を蒸着したフィルム
は、優れたガス遮断性と可視光線に対する高い反射率を
有するため、包装材料に広く利用されている。
フィルム上にアルミニウム等の金属を蒸着したフィルム
は、優れたガス遮断性と可視光線に対する高い反射率を
有するため、包装材料に広く利用されている。
しかし、これらの金属蒸着フィルムにおいては、金属
からなる蒸着層とポリオレフィン系フィルムからなる基
材との密着強度が低いため、剥離を起こし易いという欠
点があった。
からなる蒸着層とポリオレフィン系フィルムからなる基
材との密着強度が低いため、剥離を起こし易いという欠
点があった。
この欠点を解決する手段として、例えば（１）特公昭
57-30854号公報に記載のポリオレフィン系フィルムの表
面に窒素（N2）と二酸化炭素（CO2）の混合ガス雰囲気
中で、コロナ処理を行った後、真空中で蒸着を行う方
法、（２）特開昭62-228461号公報記載の基材フィルム
上に金属酸化物の層を設け、その上に金属の蒸着層を積
層させる方法等が既に提案されており、特に上記（２）
の方法には更に、金属酸化物と当該金属酸化物の金属を
それぞれ真空蒸着する方法、又は蒸着の前半に酸素を導
入して反応性蒸着を行ない、金属酸化物を形成し、その
上に酸素を導入せずにそのまま金属を蒸発させる後半の
蒸着によって、金属酸化物と金属とを積層させる方法等
がある。
57-30854号公報に記載のポリオレフィン系フィルムの表
面に窒素（N2）と二酸化炭素（CO2）の混合ガス雰囲気
中で、コロナ処理を行った後、真空中で蒸着を行う方
法、（２）特開昭62-228461号公報記載の基材フィルム
上に金属酸化物の層を設け、その上に金属の蒸着層を積
層させる方法等が既に提案されており、特に上記（２）
の方法には更に、金属酸化物と当該金属酸化物の金属を
それぞれ真空蒸着する方法、又は蒸着の前半に酸素を導
入して反応性蒸着を行ない、金属酸化物を形成し、その
上に酸素を導入せずにそのまま金属を蒸発させる後半の
蒸着によって、金属酸化物と金属とを積層させる方法等
がある。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記（１）のコロナ処理を用いる方法
では、常圧でコロナ処理を行った後、真空中で蒸着を行
う為、コロナ処理と蒸着とを別工程で行なう必要があ
り、作業性が低下し、またコストも高くなるという問題
が生じる。
では、常圧でコロナ処理を行った後、真空中で蒸着を行
う為、コロナ処理と蒸着とを別工程で行なう必要があ
り、作業性が低下し、またコストも高くなるという問題
が生じる。
また、上記（２）の方法における、金属酸化物と金属
をそれぞれ真空蒸着する方法には、蒸着源が２つ以上必
要であること、金属を蒸発させるのに最も一般的な方法
である抵抗加熱式の真空蒸着では蒸着出来ない金属酸化
物が多いこと等の問題点がある。更に、蒸着の前半に反
応性蒸着により金属酸化物を形成し、後半にその上に金
属を積層させる方法では金属酸化物層の形成時に蒸発部
分にガスを導入するため、蒸着速度が低下するのに加え
て蒸着層の金属光沢が低下するという問題があり、更に
酸素と金属との反応に伴って酸素分圧が低下するため、
酸素分圧の制御が困難である等の問題も生じている。
をそれぞれ真空蒸着する方法には、蒸着源が２つ以上必
要であること、金属を蒸発させるのに最も一般的な方法
である抵抗加熱式の真空蒸着では蒸着出来ない金属酸化
物が多いこと等の問題点がある。更に、蒸着の前半に反
応性蒸着により金属酸化物を形成し、後半にその上に金
属を積層させる方法では金属酸化物層の形成時に蒸発部
分にガスを導入するため、蒸着速度が低下するのに加え
て蒸着層の金属光沢が低下するという問題があり、更に
酸素と金属との反応に伴って酸素分圧が低下するため、
酸素分圧の制御が困難である等の問題も生じている。
加えて、上記（２）の方法では満足のいく十分な密着
強度が得られず、金属蒸着層が褐変するという問題点も
残されている。
強度が得られず、金属蒸着層が褐変するという問題点も
残されている。
本発明は上記課題を解決することを目的としてなされ
たものである。従って本発明の目的は、プラスチックフ
ィルムと金属蒸着層との間の密着強度が高く、かつ前処
理としての放電処理と金属蒸着をインラインで行なうこ
とによるコストの低減を可能とする金属蒸着フィルムの
製造方法を提供することにある。
たものである。従って本発明の目的は、プラスチックフ
ィルムと金属蒸着層との間の密着強度が高く、かつ前処
理としての放電処理と金属蒸着をインラインで行なうこ
とによるコストの低減を可能とする金属蒸着フィルムの
製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明者等は前記課題に鑑みて鋭意研究の結果、本発
明の上記目的は、プラスチックフィルムの表面をN2とCO
2の割合が体積比で98:2〜70:30である混合ガスを用い、
ガス圧力５×10-3〜５×10-2Torrの下で放電処理した
後、金属を蒸着することを特徴とする金属蒸着フィルム
の製造方法により達成されることを見出した。
明の上記目的は、プラスチックフィルムの表面をN2とCO
2の割合が体積比で98:2〜70:30である混合ガスを用い、
ガス圧力５×10-3〜５×10-2Torrの下で放電処理した
後、金属を蒸着することを特徴とする金属蒸着フィルム
の製造方法により達成されることを見出した。
以下に本発明を図面に基づいて更に具体的に説明す
る。
る。
第１図は本発明の方法を実施するための装置の１例を
示す概略図であるが、第１図によれば、真空槽１の内部
を２×10-5Torrの真空度まで排気した後、プラスチック
フィルム２を巻出ロール３から連続的に放電処理ユニッ
ト４に供給して放電処理を行なった後に、クーリングロ
ール６上に導き、蒸発源７からの蒸発金属流８によりベ
ースフィルム上に金属蒸着を行ない、しかる後に巻取ロ
ール９で巻き取り、本発明の金属蒸着フィルムを製造す
る。
示す概略図であるが、第１図によれば、真空槽１の内部
を２×10-5Torrの真空度まで排気した後、プラスチック
フィルム２を巻出ロール３から連続的に放電処理ユニッ
ト４に供給して放電処理を行なった後に、クーリングロ
ール６上に導き、蒸発源７からの蒸発金属流８によりベ
ースフィルム上に金属蒸着を行ない、しかる後に巻取ロ
ール９で巻き取り、本発明の金属蒸着フィルムを製造す
る。
本発明においては、プラスチックフィルムを金属蒸着
する前にその表面を放電処理ユニット４で放電処理する
が、本発明に用いられる放電処理ユニットの一例を第２
図に示す。第２図によれば、放電処理ユニット４は、金
属製の外壁10と電極（５−１および５−２）およびガス
導入口11とから成り、外壁の側面にはプラスチックフィ
ルムを通過させるスリット13が設けられている。ガス導
入口は、ガス導入バルブ12を経て、真空槽外のガスボン
ベ（図示せず）に接続されており、ガスボンベのガスの
種類を変えることにより、放電に用いるガスの種類を変
えることが出来る。
する前にその表面を放電処理ユニット４で放電処理する
が、本発明に用いられる放電処理ユニットの一例を第２
図に示す。第２図によれば、放電処理ユニット４は、金
属製の外壁10と電極（５−１および５−２）およびガス
導入口11とから成り、外壁の側面にはプラスチックフィ
ルムを通過させるスリット13が設けられている。ガス導
入口は、ガス導入バルブ12を経て、真空槽外のガスボン
ベ（図示せず）に接続されており、ガスボンベのガスの
種類を変えることにより、放電に用いるガスの種類を変
えることが出来る。
外壁10は接地されており、上下２本の電極（５−１お
よび５−２）にはAC電圧がかかるようになっているが、
電圧をいずれか一方の電極のみに印加することにより、
プラスチックフィルムの片面だけに放電処理を施すこと
も可能である。
よび５−２）にはAC電圧がかかるようになっているが、
電圧をいずれか一方の電極のみに印加することにより、
プラスチックフィルムの片面だけに放電処理を施すこと
も可能である。
本発明においては、放電処理時のガス圧は５×10-3To
rr〜５×10-2Torrの範囲が望ましい。ガス圧が５×10-3
Torrより低いと放電によるプラズマ状態が維持できず、
逆に５×10-2Torrより高いと蒸着部分へのガスの流出が
激しくなり、蒸着層の光沢などに悪影響を及ぼすばかり
でなく、EB加熱式の蒸発源を用いる場合にEBによる放電
も激しくなり、蒸着が出来なくなる。
rr〜５×10-2Torrの範囲が望ましい。ガス圧が５×10-3
Torrより低いと放電によるプラズマ状態が維持できず、
逆に５×10-2Torrより高いと蒸着部分へのガスの流出が
激しくなり、蒸着層の光沢などに悪影響を及ぼすばかり
でなく、EB加熱式の蒸発源を用いる場合にEBによる放電
も激しくなり、蒸着が出来なくなる。
本発明において放電処理に用いるガスの種類は窒素
（N2）と二酸化炭素（CO2）との混合ガスで混合割合は
体積比でN2：CO2＝98:2〜70:30、好ましくは95:5〜90:1
0の範囲内にあることが望ましい。混合比がこの範囲か
ら外れると、蒸着層とプラスチックフィルムとの十分に
密着力が得られない。
（N2）と二酸化炭素（CO2）との混合ガスで混合割合は
体積比でN2：CO2＝98:2〜70:30、好ましくは95:5〜90:1
0の範囲内にあることが望ましい。混合比がこの範囲か
ら外れると、蒸着層とプラスチックフィルムとの十分に
密着力が得られない。
放電処理の条件は、ガスの組成に応じても適宜選択す
ることができるがプラスチックフィルムの単位面積（１
m2）当り、単位時間（１分）に20W以上が必要であり、
これより低い場合は十分な密着力が得られない。
ることができるがプラスチックフィルムの単位面積（１
m2）当り、単位時間（１分）に20W以上が必要であり、
これより低い場合は十分な密着力が得られない。
本発明においては放電処理ユニット４でプラスチック
フィルムに放電処理を行った後、金属蒸着を行う。プラ
スチックフィルム上に金属膜を設ける手段としては、真
空蒸着やスパッタリング、イオンプレーティング等の方
法があるが、包装材料としての生産性等の点から真空蒸
着が最適である。また蒸着源として抵抗加熱蒸着源、高
周波加熱蒸着源、電子ビーム蒸着源等がいずれも用いら
れ、また蒸着時の真空槽の真空度としては、例えば2.0
×10-5〜2.0×10-4Torrで行なわれる。
フィルムに放電処理を行った後、金属蒸着を行う。プラ
スチックフィルム上に金属膜を設ける手段としては、真
空蒸着やスパッタリング、イオンプレーティング等の方
法があるが、包装材料としての生産性等の点から真空蒸
着が最適である。また蒸着源として抵抗加熱蒸着源、高
周波加熱蒸着源、電子ビーム蒸着源等がいずれも用いら
れ、また蒸着時の真空槽の真空度としては、例えば2.0
×10-5〜2.0×10-4Torrで行なわれる。
金属蒸着膜の厚さとしては400×800Åが好ましく、40
0Å未満ではガス遮断性、金属光沢が不十分となる場合
があり、また800Åをこえるとラインスピードが遅くな
り、ベースフィルムが熱損傷を受ける等生産性が低下す
る場合があり好ましくない。
0Å未満ではガス遮断性、金属光沢が不十分となる場合
があり、また800Åをこえるとラインスピードが遅くな
り、ベースフィルムが熱損傷を受ける等生産性が低下す
る場合があり好ましくない。
本発明の方法が適用されるプラスチックフィルムとし
ては特にポリオレフィン系ベースフィルムが好ましく、
更にポリエチレン（PE）又はポリプロピレン（PP）等の
表面に極性基を有しないために従来は金属との間の密着
強度が低いとされていたものに好ましく適用される。
ては特にポリオレフィン系ベースフィルムが好ましく、
更にポリエチレン（PE）又はポリプロピレン（PP）等の
表面に極性基を有しないために従来は金属との間の密着
強度が低いとされていたものに好ましく適用される。
上記プラスチックフィルムに蒸着せしめる金属として
は特にアルミニウムが好ましいが、その他にはスズ、イ
ンジウム、クロム、鉄、銅、亜鉛、鉛等の金属も本発明
に適用することができる。
は特にアルミニウムが好ましいが、その他にはスズ、イ
ンジウム、クロム、鉄、銅、亜鉛、鉛等の金属も本発明
に適用することができる。
［実施例］ 以下に本発明を実施例を挙げて説明する。
実施例１ 第１図及び第２図に示す装置を用いて下記の条件にて
放電処理及び蒸着を行なった。
放電処理及び蒸着を行なった。
・ベースフィルム： 無延伸ポリプロピレン（CPP）フィルム （幅200m/m,厚さ25μｍ） ・放電処理条件： ガスの種類；N2：CO2＝95:5 ガスの圧力;1.5×10-2Torr 電圧;602V 電流;523mA ラインスピード;5m/分 エネルギー;315W/m2分 ・蒸着条件： 蒸着金属;Al 蒸着膜厚;450Å 蒸着源；抵抗加熱蒸着源 真空度;1.8×10-4Torr 得られた金属蒸着フィルムについて以下の方法にて密
着強度を測定した。
着強度を測定した。
（密着強度の測定方法） 金属蒸着フィルムの金属面側に接着剤を塗布し、二軸
延伸ポリプロピレン（OPP）フィルムとドライラミネー
トして下記の構成のフィルムを作成した。
延伸ポリプロピレン（OPP）フィルムとドライラミネー
トして下記の構成のフィルムを作成した。
CPP（25μ）／金属層／接着剤/OPP（40μ） CPP:二村化学製FG OPP:東洋紡製パイレンP-2161 接着剤：ポリエステル系二液硬化型 主剤 :DIC製LX-75A 硬化剤:DIC製KW40 溶剤 ：酢酸エチルNC-401 このフィルムに40℃,4日のエージングを行った後、テ
ンシロン引張試験機を用いて引張速度:300mm/min,サン
プル幅:15mmでＴ型剥離試験を行った。
ンシロン引張試験機を用いて引張速度:300mm/min,サン
プル幅:15mmでＴ型剥離試験を行った。
測定は、流れ方向（MD）と幅方向（TD）について、各
６サンプル行い、平均をとった。
６サンプル行い、平均をとった。
・剥離状態評価： A:Al層が完全にCPPに残存する。
B:Al層がわずかにOPPに取られる。
C:CPPとOPPに残る量が半々程度である。
D:Al層がわずかにCPPに残存する。
E:Al層が完全にOPPに取られる。
結果を表１に示す。
実施例２〜６ 放電処理に用いるガスの種類及び放電処理条件をそれ
ぞれ表１に示すように変えた以外は実施例１と同様にし
て実施例２〜６をそれぞれ行なった。結果を表１に示
す。
ぞれ表１に示すように変えた以外は実施例１と同様にし
て実施例２〜６をそれぞれ行なった。結果を表１に示
す。
比較例１及び２ 実施例１においてガスの種類をN2単独又はCO2単独と
し、それぞれ放電処理条件を表１に示すように変えた以
外は実施例１と同様にして比較例１及び２をそれぞれ行
なった。結果を表１に示す。
し、それぞれ放電処理条件を表１に示すように変えた以
外は実施例１と同様にして比較例１及び２をそれぞれ行
なった。結果を表１に示す。
比較例３ 放電処理を行なわず、第３図に示すような方法で蒸着
の前半にガス導管15から酸素を導入して下記条件で反応
性蒸着により酸化アルミニウムを形成し、次いでその上
に酸素を導入せず、そのままアルミニウムを蒸発させる
後半の蒸着によってアルミニウムと酸化アルミニウムと
を積層させた以外は、実施例１と同様にして比較例３を
行なった。結果を表１に示す。
の前半にガス導管15から酸素を導入して下記条件で反応
性蒸着により酸化アルミニウムを形成し、次いでその上
に酸素を導入せず、そのままアルミニウムを蒸発させる
後半の蒸着によってアルミニウムと酸化アルミニウムと
を積層させた以外は、実施例１と同様にして比較例３を
行なった。結果を表１に示す。
蒸着条件： ガスの圧力:1.8×10-4Torr 蒸着金属:Al ラインスピード:5m/min 比較例４ ガスの導入、放電処理を行わない以外は実施例１と同
様にしてAlを蒸着して比較例４を行なった。結果を表１
に示す。
様にしてAlを蒸着して比較例４を行なった。結果を表１
に示す。
表１より明らかなように、放電処理を行なわないで金
属蒸着を行なった比較例４、放電処理を行なわず蒸着に
より最初に金属酸化物を形成させ、その上に金属を積層
した比較例３、及び放電処理をN2又はCO2単独のガス雰
囲気下で行なった比較例１及び２はいずれも金属蒸着層
とプラスチックフィルムとの間の密着強度が弱い。これ
に対し、本発明の如く放電処理を行なった後に金属蒸着
を行なった実施例１〜４はいずれも比較例に比べ高い密
着強度が得られた。
属蒸着を行なった比較例４、放電処理を行なわず蒸着に
より最初に金属酸化物を形成させ、その上に金属を積層
した比較例３、及び放電処理をN2又はCO2単独のガス雰
囲気下で行なった比較例１及び２はいずれも金属蒸着層
とプラスチックフィルムとの間の密着強度が弱い。これ
に対し、本発明の如く放電処理を行なった後に金属蒸着
を行なった実施例１〜４はいずれも比較例に比べ高い密
着強度が得られた。
［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明の金属蒸着フィル
ムの製造方法により、金属蒸着層とプラスチックフィル
ム間の高い密着強度が得られ、かつ前処理としての放電
処理と金属蒸着をインラインで行なうことにより、コス
トの低減を可能にすることができる。
ムの製造方法により、金属蒸着層とプラスチックフィル
ム間の高い密着強度が得られ、かつ前処理としての放電
処理と金属蒸着をインラインで行なうことにより、コス
トの低減を可能にすることができる。
第１図は、本発明の金属蒸着フィルムの製造方法を実施
するための装置の１例を示す概略図であり、第２図は本
発明の方法を実施するために用いられる放電処理ユニッ
トの１例を示す（Ａ）概略断面図及び（Ｂ）概略正面図
であり、第３図は比較例３において用いられる蒸着装置
の部分概略断面図である。 ＜主な参照番号＞ １……真空槽、２……プラスチックフィルム ３……巻出ロール、４……放電処理ユニット ５……電極、６……クーリングロール ７……蒸発源、８……蒸発金属流 ９……巻取ロール、10……外壁 11……ガス導入口、12……ガス導入バルブ 13……スリット、14……AC電源 15……ガス導管
するための装置の１例を示す概略図であり、第２図は本
発明の方法を実施するために用いられる放電処理ユニッ
トの１例を示す（Ａ）概略断面図及び（Ｂ）概略正面図
であり、第３図は比較例３において用いられる蒸着装置
の部分概略断面図である。 ＜主な参照番号＞ １……真空槽、２……プラスチックフィルム ３……巻出ロール、４……放電処理ユニット ５……電極、６……クーリングロール ７……蒸発源、８……蒸発金属流 ９……巻取ロール、10……外壁 11……ガス導入口、12……ガス導入バルブ 13……スリット、14……AC電源 15……ガス導管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−267267（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−31958（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−242534（ＪＰ，Ａ) 特公 昭57−30854（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58
Claims (1)
- 【請求項１】プラスチックフィルムの表面をN2とCO2の
割合が体積比で98:2〜70:30である混合ガスを用い、ガ
ス圧力５×10-3〜５×10-2Torrの下で放電処理した後、
2.0×10-5〜2.0×10-4Torrの真空度で金属を蒸着するこ
とを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4494090A JP2870937B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 金属蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4494090A JP2870937B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 金属蒸着フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03247750A JPH03247750A (ja) | 1991-11-05 |
| JP2870937B2 true JP2870937B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=12705487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4494090A Expired - Fee Related JP2870937B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 金属蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2870937B2 (ja) |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP4494090A patent/JP2870937B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03247750A (ja) | 1991-11-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7112370B2 (en) | Vapor-deposited film | |
| JPH0414440A (ja) | 積層フィルム | |
| US5900271A (en) | Method for making plastic film with barrier layers | |
| JP2682101B2 (ja) | レトルト耐性を有する透明バリアー複合フィルム | |
| JP2870937B2 (ja) | 金属蒸着フィルムの製造方法 | |
| JP3396943B2 (ja) | ガスバリア性金属蒸着フィルムの製造方法 | |
| JP3890147B2 (ja) | ガスバリア性フィルムとその製造方法およびガスバリア性フィルムを用いた積層材 | |
| JPH02250953A (ja) | 蒸着フィルムの製造方法 | |
| JP3097312B2 (ja) | 積層フィルム | |
| JPH07233463A (ja) | 金属酸化物蒸着フィルムの製造方法 | |
| JPH0555596B2 (ja) | ||
| JP3260742B2 (ja) | 蒸着フィルム | |
| JPH07330922A (ja) | 金属蒸着用未延伸ポリプロピレンフイルム | |
| JP3097311B2 (ja) | 透明ガスバリア性フィルム | |
| JPH11116702A (ja) | 蒸着用ポリエチレンテレフタレートフィルム | |
| JPH0759748B2 (ja) | 複合フィルムの製造方法 | |
| JPS62228462A (ja) | 金属蒸着フイルムおよびその製造方法 | |
| JPH0314906B2 (ja) | ||
| JP3031551B2 (ja) | ガスバリアー性蒸着フィルムの製造方法 | |
| JP3243319B2 (ja) | 有機質基材表面のメタライズ方法 | |
| JPH11240117A (ja) | 包装用蒸着ポリプロピレンフィルムおよびその製造方法 | |
| JP3591136B2 (ja) | 透明ガスバリア性フィルムおよびその製造方法 | |
| JP3451389B2 (ja) | 金属蒸着ナイロンフィルムの製造方法 | |
| JP2022020890A (ja) | 透明バリアフィルム | |
| JP2938913B2 (ja) | アルミニウム蒸着フイルム及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080108 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100108 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |