JP3097311B2 - 透明ガスバリア性フィルム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、酸素および水蒸気の遮
断性に優れた透明ガスバリア性フィルムに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】食品や薬品を長期間保存するためには、
腐敗や変質を促進する外気からの酸素や水蒸気の侵入を
遮断する効果を持った、いわゆるガスバリア性に優れた
包装を行なう必要がある。この目的に使用されるガスバ
リア性に優れたフィルム包装材料に、近年特に内容物の
状態を確認できる透明性が要求される傾向が強くなって
いる。

【０００３】金属酸化物を高分子樹脂フィルム基材上に
形成したものがガスバリア性と透明性に優れていること
は従来よりよく知られている。これらの中で特に酸化珪
素を高分子樹脂フィルム上に形成したものが特公昭５３
−１２９５３号公報により、酸化アルミニウムを高分子
樹脂フィルム基材上に形成したものが特公昭６２−１７
９９３５号公報により知られている。

【０００４】ところで酸化珪素薄膜は、例えば独ＬＥＹ
ＢＯＬＤ社のＴ．Ｇ．ＫｒｕｇらがＢａｒｒｉｅｒ Ｐ
ａｃｋ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（Ｌｏｎｄｏｎ， Ｍａ
ｙ２１ ａｎｄ ２２， １９９０）で発表したもの
や、雑誌「コンバーテック」１９９０．６ ３０〜３６
ページ（海保恵亮氏著）にあるように、高いガスバリア
性（酸素透過率２ｃｃ／ｍ² ・ｄａｙ以下、水蒸気透過
率２ｇ／ｍ² ・ｄａｙ以下）を確保するためには５０ｎ
ｍ程度の膜厚が必要とされる。さらに完全酸化膜のＳｉ
Ｏ₂ という組成ではガスバリア性が発現しないために酸
素が欠損した組成すなわち、ＳｉＯ_X （X ＜２．０）と
いう組成の薄膜が形成される。従って透明ではあるが、
短波長側での吸収が大きくなり蒸着膜に黄色い着色があ
り、中に食品を入れた場合、変質の状況が分かりにく
い、あるいは変質していないにもかかわらず変質してい
るように見えるといった問題がある。また膜厚が大きい
ために薄い基材のフィルムを用いた場合、カールしやす
く、このためにハンドリング性が悪くなり乱暴に扱うと
蒸着膜にクラック（割れ）が入りガスバリア性が低下す
るという問題もある。

【０００５】一方アルミニウムの酸化膜は無色透明で、
ある程度のガスバリア性を発現することができる。しか
し雑誌「ジャパンフードサイエンス」１９９０．１２
５８〜６３ページ（渡邊英男氏著）にあるように酸化珪
素薄膜並のガスバリア性を発現することは不可能であっ
た。また同様のアルミニウムの酸化膜の応用として、特
開昭６２−２２０３３０号公報に、電子材料の包装材料
として、アルミニウムの金属成分が１から１５重量％含
有されたアルミニウムの不完全酸化膜を高分子樹脂フィ
ルム基材上に形成し、制電性とガスバリア性を備えたフ
ィルムが開示されている。しかし膜全体に最低で１重量
％のアルミニウム金属が存在することで、光線透過率が
かなり低下することが述べられており、透明性の点で問
題があった。また、該フィルムは、制電性（すなわち導
電性）を有するために、マイクロ波の透過率が低く、包
装材料として使用し内容物を包装したまま電子レンジで
加熱する場合に、加熱できないという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点を解決することを目的とする。すなわち本発明
は、特に透明性が高く、ガスバリア性に優れ、かつ従来
の透明ガスバリア性フィルムがもっていた着色や電子レ
ンジ加熱性といった欠点を解消したフィルムを提供する
ことを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、高分子樹脂フ
ィルム基材の少なくとも片面にアルミニウム酸化膜が形
成されてなるフィルムであって、該アルミニウム酸化膜
の全膜厚が６ｎｍ以上であり、かつアルミニウムの金属
成分が含有されてなる不完全酸化層が該アルミニウム酸
化膜の内部にのみ少なくとも１層存在し、該アルミニウ
ム酸化膜全体中のアルミニウム金属成分含有量が０．５
％・ｎｍ〜１０％・ｎｍの範囲であることを特徴とする
透明ガスバリア性フィルムである。

【０００８】高分子樹脂フィルムとしては特に限定され
ないが、代表的なものとして、ポリエチレン、ポリプロ
ピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−
２、６−ナフタレートなどのポリエステル、ナイロン
６、ナイロン１２などのポリアミド、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポ
リスチレン、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリ
ル、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリ
フェニレンサルファイド、芳香族ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリアミドイミド、セルロース、酢酸セルロースな
どおよび、これらの共重合体や、他の有機物との共重合
体などを例示することができる。透明性、ガスバリア性
などの点で、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエ
ステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレ
フィンが好ましく、ポリエチレンテレフタレート系がよ
り好ましい。

【０００９】これらの高分子樹脂フィルムは熱可塑性樹
脂の場合、未延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよ
いが、寸法安定性や機械特性およびガスバリア性の安定
性の点から二軸延伸されたものが好ましい。また高分子
樹脂フィルム内には食品衛生上問題にならなければ公知
の添加剤、例えば帯電防止剤、酸化防止剤、滑剤、着色
防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、着色剤などが添加され
ていてもよい。

【００１０】本発明に用いる高分子樹脂フィルムは透明
であることが好ましく、光線透過率が好ましくは４０％
以上、より好ましくは６０％以上、さらに好ましくは８
０％以上である。また蒸着に先立ち、フィルム上に公知
の表面処理、例えばコロナ放電処理、グロー放電処理や
コーティングによるアンカーコート処理が施されてもよ
い。

【００１１】さらに本発明に用いる高分子樹脂フィルム
のアルミニウム酸化膜を形成する表面は平滑であること
が好ましい。中心線平均粗さで０．５μｍ以下が好まし
く、より好ましくは０．２μｍ以下、さらに好ましくは
０．０５μｍ以下である。この理由としてフィルム表面
上に大きな突起が存在すると、ガスバリア性蒸着膜が均
一に形成されないためである。

【００１２】高分子樹脂フィルムの厚みは特に限定され
るものではないが、包装材料として５μｍ〜５００μｍ
の範囲が好ましい。

【００１３】本発明の透明ガスバリア性フィルムにおい
て、高分子樹脂フィルム上に形成されるアルミニウムの
酸化膜の全膜厚は６ｎｍ以上である必要がある。全膜厚
が６ｎｍ未満であるとガスバリア性能が満足できない。
またアルミニウムの酸化膜の全膜厚は５０ｎｍ未満であ
ることが好ましい。この理由としては、酸化珪素蒸着膜
のところで述べたように全膜厚が大きいとカールが発生
しやすく、加工時にガスバリア性が急激に低下するなど
の問題が起こりうる場合がある。生産性の点からも全膜
厚は小さい方が好ましく、より好ましくは全膜厚は３０
ｎｍ未満である。

【００１４】本発明の透明ガスバリア性フィルムにおい
ては、アルミニウムの金属成分が含有されてなる不完全
酸化層が該アルミニウム酸化膜の内部にのみ少なくとも
１層存在する。該金属成分を含む不完全酸化層がアルミ
ニウム酸化膜の内部に存在せず、アルミニウム酸化膜全
体が完全酸化膜で構成されたものでは優れたガスバリア
性を得ることは困難である。一方、アルミニウム酸化膜
全体が不完全酸化膜からなり、アルミニウムの金属成分
が認められるものにおいては、光線透過率が低いものと
なりやすく好ましくない。

【００１５】ここで、アルミニウム酸化膜中のアルミニ
ウムの金属成分含有の有無および程度は、表面感度の非
常に高い分析手法であるＸ線光電子分光法（以下ＸＰＳ
と言うことがある）分析によるＡｌ２ｐスペクトルによ
って判別することができる。すなわち、該スペクトルが
酸化されたアルミニウムによるピーク（Ａｌ（ＩＩ
Ｉ））以外に金属成分の存在を示すＡｌ（０）ピークを
有するとき、アルミニウムの金属成分が含有されている
ことがわかる。また、アルミニウム酸化膜の内部にのみ
アルミニウムの金属成分が含有されていることを確認す
るには、該ＸＰＳ分析をアルミニウム酸化膜の表面から
行なうだけでなく、アルミニウム酸化膜を表面から少し
ずつイオンエッチングしながらＸＰＳ分析を行い、アル
ミニウム酸化膜の深さ方向に沿ったＡｌ２ｐスペクトル
の変化（以下デプスプロファイルと言う）を追う必要が
ある。すなわち、「アルミニウム酸化膜の内部にのみア
ルミニウムの金属成分が含有されている」とは、表面か
らのＸＰＳ分析ではＡｌ（０）ピークが認められず、デ
プスプロファイルの途中でＡｌ（０）ピークが認めら
れ、高分子樹脂フィルム基材との界面近傍では再びＡｌ
（０）ピークが認められなくなることを意味する。

【００１６】アルミニウム酸化膜の内部のアルミニウム
の金属成分の含有量は、以下の定義により特定される。
すなわち、ＸＰＳ分析によるＡｌ２ｐスペクトルのデプ
スプロファイルをとった場合、アルミニウム酸化膜表面
と高分子樹脂フィルム基材との界面は上述のようにＡｌ
（ＩＩＩ）のみで完全酸化膜であることを示すが、内部
にＡｌ（ＩＩＩ）のスペクトル以外にＡｌ（０）の金属
成分の存在を示すスペクトルが得られる。図１にこのＡ
ｌ（ＩＩＩ）とＡｌ（０）のスペクトルの１例を示す。
１がＡｌ（ＩＩＩ）によるピークであり２が金属成分の
存在を示すＡｌ（０）ピークである。表面からの深さｄ
（ｎｍ単位）におけるスペクトルのピーク分割を行な
い、Ａｌ（ＩＩＩ）とＡｌ（０）のピーク面積をそれぞ
れに帰属するアルミニウム原子の相対数に換算した値を
各々Ｎ₃ （ｄ）、Ｎ₀ （ｄ）とし、その深さにおけるア
ルミニウムの金属成分の存在割合Ｍ（ｄ）（単位％）を
１００×Ｎ₀ （ｄ）／（Ｎ₃ （ｄ）＋Ｎ₀ （ｄ））で定
義する。横軸に表面からの深さｄ（ｎｍ単位）、縦軸に
その深さでのアルミニウムの金属成分の存在割合Ｍ
（ｄ）（％単位）を取ったグラフを描く。このようにし
て得られたＭ（ｄ）のデプスプロファイルの１例を図２
に示す。４がＭ（ｄ）であり、３は（１００−Ｍ
（ｄ））、すなわちＡｌ（ＩＩＩ）に帰属されるアルミ
ニウムのプロファイルである。５は高分子樹脂フィルム
基材の炭素成分である。ここでＭ（ｄ）の深さｄ方向の
積分（ｄ＝０からｄ＝アルミニウム酸化膜の全厚み）を
取ると％・ｎｍの単位を持つ値が得られる。この値はア
ルミニウム酸化膜中に存在するアルミニウム金属量に対
応し、アルミニウム金属成分含有量と定義する。本発明
の透明ガスバリア性フィルムにおいては、アルミニウム
金属成分含有量の値は０．５％・ｎｍ〜１０％・ｎｍが
好ましく、より好ましくは１％・ｎｍ〜１０％・ｎｍで
ある。０．５％・ｎｍよりも少ないとガスバリア性が不
十分であり、１０％・ｎｍよりも多いと光線透過率が低
下し、目的とする透明かつ、優れたガスバリア性を有す
るフィルムを得ることができない。さらに高いガスバリ
ア性を得るためには１％・ｎｍ〜１０％・ｎｍがより好
ましい。

【００１７】またアルミニウム酸化膜部分の透明性は、
５５０ｎｍの波長における高分子樹脂フィルム基材の光
線透過率に対するアルミニウム酸化膜を設けた後の高分
子樹脂フィルムの光線透過率の割合（これを比光線透過
率と定義する。）で示される。本発明の透明ガスバリア
性フィルムにおいては内容物の状態を確認しやすくする
ために、この比光線透過率の値が９０％以上であること
が好ましく、より好ましくは９５％以上である。

【００１８】本発明の透明ガスバリア性フィルムは、酸
素透過率が２ｃｃ／ｍ² ・ｄａｙ以下（より好ましくは
１ｃｃ／ｍ² ・ｄａｙ以下）、かつ水蒸気透過率が２ｇ
／ｍ² ・ｄａｙ以下（より好ましくは１ｇ／ｍ² ・ｄａ
ｙ以下）であることが好ましい。

【００１９】本発明の透明ガスバリア性フィルムのアル
ミニウム酸化膜の内部には少なくとも１層のアルミニウ
ムの金属成分を含有する層が存在するが、該層は２層以
上存在してもよい。該層の層数は、図２のような横軸に
表面からの深さｄ（ｎｍ単位）、縦軸にその深さでのア
ルミニウムの金属成分の存在割合Ｍ（ｄ）（％単位）を
取ったグラフにおいてＭ（ｄ）の分布の形によって判断
することができる。

【００２０】次に、本発明の透明ガスバリア性フィルム
を製造する方法について述べる。

【００２１】本発明に用いる高分子樹脂フィルム基材を
得る手段は、既知の任意の方法が適用可能である。

【００２２】本発明におけるアルミニウムの酸化膜を形
成するための方法は、酸素雰囲気下での反応性蒸着によ
る。酸素雰囲気とは酸素ガス単独あるいは酸素ガスを不
活性ガスで希釈したものを真空蒸着機中に必要量導入し
たものをいう。不活性ガスとはＡｒやＨｅなどの希ガス
ならびに窒素ガスおよびこれらの混合ガスを指す。反応
性蒸着とはこういった酸素雰囲気下でアルミニウムを蒸
発源から蒸発させ、高分子樹脂フィルム基材近傍で酸化
反応を起こさせ、アルミニウムの酸化物を高分子樹脂フ
ィルム基材上に形成する手法である。このための蒸発源
としては抵抗加熱方式のボート形式や、輻射あるいは高
周波加熱によるルツボ形式や、電子ビーム加熱による方
式などがあるが、特に限定されない。

【００２３】本発明の構成のアルミニウムの酸化膜を形
成するためには高分子樹脂フィルム基材上に蒸着される
アルミニウム蒸気のビーム強度と高分子樹脂フィルム基
材近傍の酸素分圧の関係が重要である。

【００２４】図３にフィルム状の基材上に連続的に蒸着
を行なう場合の蒸発源とフィルムの位置関係の一般的な
ものを示す。蒸発源６の上方に配置された冷却ドラム７
を回転させ、高分子樹脂フィルム８をこのドラムに供給
する形をとる。一般に蒸発源からのアルミニウム蒸気の
ビーム強度の最も強い蒸発源の直上を中心に開口部を持
つ防着板９が設けられ、この開口部から高分子樹脂フィ
ルム基材上に蒸着が行なわれる。ここで開口部を大きく
とった場合の開口部位置１０、１１、１２を考えた場
合、１１が最もアルミニウム蒸気のビーム強度が強く、
１０、１２は弱い。

【００２５】ここに防着板９より上の空間にのみ、該空
間内で均一でかつ１０および１２の近傍のアルミニウム
蒸気のビーム強度に対してはアルミニウムを完全に酸化
できるが１１の近傍のアルミニウム蒸気のビーム強度に
対してはアルミニウムを十分には酸化できない程度の酸
素分圧を与えた場合、１０および１２の近傍すなわち蒸
着初期および蒸着最後に酸素が十分供給された完全酸化
層が形成され、１１の中心部では酸素が不十分な不完全
酸化層が形成される。図４はこの場合の位置１０、１
１、１２のアルミニウム蒸気強度と酸素分圧の関係を説
明するものである。一般に知られているように蒸発源の
法線方向からの角度θ方向の蒸気の強度はｃｏｓⁿ θに
比例（n は一般に２〜４の値）するためアルミニウム蒸
気強度は図４に示すような分布を取る。

【００２６】防着板９より下の空間も含めて全体に均一
な酸素分圧を与える方法、すなわち防着板上下の部分に
均等に酸素雰囲気が導入される場合では、本発明のよう
な構成を有するアルミニウム酸化膜を得ることが極めて
困難となる。この理由は以下のとおりである。すなわち
上述のように防着板上の蒸着部分の酸素分圧を目的とす
る値にしようとすると、蒸発源部分の酸素分圧が同時に
上昇し、蒸発源のアルミニウム溶融体表面に酸化皮膜が
形成されやすくなる。アルミニウム溶融体表面に酸化皮
膜が形成されるとアルミニウム蒸発速度が急激に減少す
る。このためアルミニウム蒸気強度が全体的に減少し
て、形成される膜の酸化の程度が大きくなる。また同時
にアルミニウム蒸発速度が減少することによりアルミニ
ウムの酸化膜形成で消費される酸素が減少し酸素分圧が
上昇することも酸化の程度を大きくする原因である。こ
の結果として内部にアルミニウム金属成分を含有した層
を有するアルミニウム酸化膜を安定して形成することが
困難となる。

【００２７】図５に示すように開口部位置近傍より酸素
雰囲気を１５の方向から導入した場合は図６に示すよう
に１０、１１、１２の方向に酸素分圧が下がるため、酸
素が不十分な層が形成される位置は１２の側にシフトす
る。従って比較的表面に近いところに金属成分が含有さ
れた層が形成される。また、１０、１２近傍の両方から
酸素雰囲気を導入した場合も中心部に金属を含有した層
が形成されることは容易に推定できる。

【００２８】いずれにせよ、本発明の透明ガスバリア性
フィルムを得るためには酸素雰囲気を蒸着部分近く（高
分子樹脂フィルム基材近傍）に導入することが肝要であ
る。また図５の様に酸素が消費される領域を囲むこと
は、上述のアルミニウム蒸気のビーム強度と酸素分圧の
関係を正確に制御し、また酸素を効率よく利用し、必要
以上に排気ポンプに負荷をかけないためにも重要であ
る。

【００２９】なお、従来公知の特開昭６２−２２０３３
０号公報においてアルミニウムの酸化膜にアルミニウム
の金属成分が１から１５重量％含まれたものは、蒸着表
面のＸＰＳ分析でアルミニウムの金属成分が１重量％以
上認められることから、少なくとも表面に金属成分が認
められない本発明の構成とは本質的に異なる。

【００３０】

【特性の測定方法および効果の評価方法】本発明の特性
値は以下の測定法による。

【００３１】（１）全膜厚 透過型電子顕微鏡による断面観察で校正した蛍光Ｘ線分
光法によるアルミニウムのピーク強度で全膜厚を決定し
た。蛍光Ｘ線分光はセイコー電子製ＳＥＡ２００１によ
り行なった。これら蛍光Ｘ線分光を行なったサンプルの
いくつかを透過型電子顕微鏡（日本電子製 ＪＥＭ−１
２００ＥＸ）により、超薄切片法により蒸着膜の断面を
切り出し観察し、蛍光Ｘ線のアルミニウムのピークの強
度と、実際の全膜厚がよい比例関係にあることを確認し
た。

【００３２】（２）アルミニウム金属成分含有量 Ｘ線光電子分光装置（ＳＳＩ社 ＳＳＸ−１００）を用
い、Ｘ線源ＡｌＫα、Ｘ線出力１０ｋＶ−１０ｍＡ、光
電子の脱出角度をサンプル表面の法線に対して５５度の
角度で測定した。デプスプロファイル測定のためのエッ
チングはＡｒイオンを用い、加速電圧３ｋＶ、試料電流
１０．３μＡで行なった。計算方法は既に述べたとおり
である。

【００３３】（３）水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置（ハネウェル（株）製、Ｗ８２
５）を用いて４０℃、１００％ＲＨの条件で測定した。

【００３４】（４）酸素透過率 ＡＳＴＭ Ｄ−３９８５に準じて、酸素透過率測定装置
（モダンコントロール社製、ＯＸ−ＴＲＡＮ１００）を
用いて２０℃、０％ＲＨの条件で測定した。

【００３５】（５）比光線透過率 分光光度計（日立製作所（株）、自記分光光度計３２３
型）により、５５０ｎｍの波長における高分子樹脂フィ
ルム基材の光線透過率に対するアルミニウム酸化膜を設
けた後の高分子樹脂フィルムの光線透過率の割合を比光
線透過率とした。

【００３６】

【実施例】本発明を実施例により説明する。

【００３７】実施例１〜５、比較例１〜２ 図３に示した蒸着部分の構成でサンプルを作成した。蒸
発源は電子ビーム加熱による方式であり、アルミナ製ル
ツボに９９．９９％のアルミニウム金属を装填して蒸着
した。フィルムは東レ（株）製ポリエチレンテレフタレ
ート（以下ＰＥＴという。）フィルム“ルミラー”Ｐ６
０（１２μｍ）を用いた。ロール状で巻き出しロールか
ら冷却ドラム上に送膜し蒸発源直上で蒸着が行なわれ
る。酸素雰囲気として１００％酸素を巻き出し側から導
入した。冷却ドラムは冷水により約２０℃に冷却した。
蒸着の手順は以下のとおりである。フィルムおよび蒸着
用アルミニウムを連続蒸着機にセットし、真空排気を行
なう。到達圧力５×１０⁻⁵Ｔｏｒｒ以下になったらフ
ィルムを走行させ、電子ビーム蒸発源に電力を投入しア
ルミニウムの蒸着を開始する。インラインの光線透過率
計および抵抗率計を用いて、目的とする蒸発速度になる
ように蒸発源の電力を調整した後、酸素ガスをマスフロ
ーコントローラを通して導入する。フィルム走行速度を
低速（例えば１ｍ／ｍｉｎ）にし、酸素を導入するにし
たがってインラインでモニタしている光線透過率が上が
ってくることを確認し、あらかじめ定めた光線透過率に
なるように酸素導入量を調整する。フィルム走行速度を
上げて目的とする全膜厚になるようにし、サンプルを得
た。

【００３８】表１にこのように作成した実施例１〜５と
比較例１〜２、原反ＰＥＴフィルムの特性をまとめた。
これらのサンプルはすべてＸＰＳ分析のデプスプロファ
イルによりアルミニウム酸化膜の表面とＰＥＴフィルム
との界面では完全酸化膜が形成されていることを確認し
た。

【００３９】

【表１】 実施例、比較例ともに比光線透過率は９５％以上である
が、膜厚が６ｎｍ以下であるとガスバリア性が十分では
ない。

【００４０】実施例６〜１０、比較例３〜７ 表２にアルミニウムの金属成分含有量を変えた場合の実
施例と比較例を示す。同様にいずれのサンプルもＸＰＳ
分析のデプスプロファイルによりアルミニウム酸化膜の
表面とＰＥＴフィルムとの界面では完全酸化膜が形成さ
れていることを確認した。

【００４１】

【表２】 ＸＰＳ分析のデプスプロファイルによりアルミニウム金
属の存在する層のアルミニウム含有量が極めて小さい場
合あるいは、アルミニウム金属が全く認められない場
合、全膜厚の大小にかかわらず比光線透過率は非常に高
く透明であるが、ガスバリア性は十分ではない。また比
較例６、７で示すように全膜厚の大小にかかわらず、ア
ルミニウム金属含有量が１０％・ｎｍを越えると、ガス
バリア性は良好であるが、比光線透過率が急激に下が
り、褐色の着色が顕著になり好ましくい。

【００４２】比較例８〜９ 蒸着時に酸素を導入せず、アルミニウム金属のみを蒸着
した場合の結果を表３に示す。この場合、アルミニウム
酸化膜の表面とＰＥＴフィルムとの界面にもアルミニウ
ム金属成分が認められるが、同様にしてアルミニウム金
属成分含有量を求めることはできる。

【００４３】

【表３】 全膜厚の大小にかかわらず、ガスバリア性は不十分であ
り、かつ比光線透過率も低い。

【００４４】

【発明の効果】本発明の透明ガスバリア性フィルムは、
以上のような構成としたため、光線透過率が高く、かつ
酸素および水蒸気に対するガスバリア性が高いという特
長を持つ。また、黄色味を帯びた着色もなく、実用上十
分な加工適性を有する。

【００４５】この透明ガスバリア性フィルムは、長期保
存が必要な食品や薬品の包装材料として広く用いること
ができる。また食品をレトルトやボイルによる殺菌を行
なって長期保存できるいわゆるレトルトパウチやスタン
ディングパウチといった包装形態にも使用することがで
きる。さらに光線透過率が高いために、内容物の状態を
確認したいという要求に対応できる。また本発明のフィ
ルムはマイクロ波の透過率が高いために、包装状態でそ
のまま電子レンジにかけて内容物を調理するといった要
求にも応えることができる。

【００４６】本発明の透明ガスバリア性フィルムは、単
独でも用いることができるが、さらに、印刷を施した
り、アルミニウム酸化膜の上から保護層などをコーティ
ングしたり、他のフィルムと積層したり、あるいはこれ
らを組み合わせたりするなど、さらに加工して用いるこ
ともできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】アルミニウム金属成分を含む不完全酸化層のＸ
ＰＳ分析のスペクトルの一例である。

【図２】アルミニウム金属成分を膜の内部にのみ１層有
する蒸着膜のアルミニウム金属成分と完全酸化成分の組
成比のデプスプロファイルの一例である。

【図３】フィルム状基材上に蒸着を行なう連続蒸着機の
蒸着部分の概略図である。

【図４】図３の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。

【図５】図３と同様フィルム状基材上に蒸着を行なう連
続蒸着機の蒸着部分であるが、反応性蒸着を行なうため
のガス導入をフィルム巻き出し側から行なう場合の概略
図である。

【図６】図５の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。

【符号の説明】

１：ＸＰＳ分析のアルミニウム酸化成分Ａｌ（ＩＩＩ）
によるスペクトル ２：ＸＰＳ分析のアルミニウム金属成分Ａｌ（０）によ
るスペクトル ３：Ａｌ（ＩＩＩ）の組成比のプロファイル ４：Ａｌ（０）の組成比のプロファイル ５：原反ＰＥＴフィルム中の炭素成分のプロファイル ６：蒸発源 ７：冷却ドラム ８：フィルム ９：防着板 １０：蒸着位置 １１：同上 １２：同上 １３：ドラム回転方向 １４：アルミニウム蒸気 １５：酸素導入経路 １６：蒸着部分を囲った場合の防着板

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−305972（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−103359（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−339704（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−338073（ＪＰ，Ａ) 特表 昭58−500031（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00 C08J 7/04 - 7/06 C23C 14/00 - 14/58

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高分子樹脂フィルム基材の少なくとも片
   面にアルミニウム酸化膜が形成されてなるフィルムであ
   って、該アルミニウム酸化膜の全膜厚が６ｎｍ以上であ
   り、かつアルミニウムの金属成分が含有されてなる不完
   全酸化層が該アルミニウム酸化膜の内部にのみ少なくと
   も１層存在し、該アルミニウム酸化膜全体中のアルミニ
   ウム金属成分含有量が０．５％・ｎｍ〜１０％・ｎｍの
   範囲であることを特徴とする透明ガスバリア性フィル
   ム。
2. 【請求項２】 ５５０ｎｍの波長における比光線透過率
   が９０％以上であり、かつ酸素透過率が２ｃｃ／ｍ² ・
   ｄａｙ以下で、かつ水蒸気透過率が２ｇ／ｍ²・ｄａｙ
   以下であることを特徴とする請求項１記載の透明ガスバ
   リア性フィルム。