JP3331622B2 - 透明ガスバリア性フィルムの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、酸素および水蒸気の遮
断性に優れた透明ガスバリア性フィルムの製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】食品や薬品を長期間保存するためには、
腐敗や変質を促進する外気からの酸素や水蒸気の侵入を
遮断する効果を持った、いわゆるガスバリア性に優れた
包装を行なう必要がある。この目的に使用されるガスバ
リア性に優れたフィルム包装材料に、近年特に内容物の
状態を確認できる透明性が要求される傾向が強くなって
いる。

【０００３】金属酸化物を高分子樹脂フィルム基材上に
形成したものがガスバリア性と透明性に優れていること
は従来よりよく知られている。これらの中で特に酸化珪
素を高分子樹脂フィルム基材上に形成したものが特公昭
５３−１２９５３号公報により、酸化アルミニウムを高
分子樹脂フィルム上に形成したものが特公昭６２−１７
９９３５号公報により知られている。

【０００４】ところで酸化珪素薄膜は、例えば独ＬＥＹ
ＢＯＬＤ社のＴ．Ｇ．ＫｒｕｇらがＢａｒｒｉｅｒ Ｐ
ａｃｋ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（Ｌｏｎｄｏｎ， Ｍａ
ｙ２１ ａｎｄ ２２， １９９０）で発表したもの
や、雑誌「コンバーテック」１９９０．６ ３０〜３６
ページ（海保恵亮氏著）にあるように、高いガスバリア
性（酸素透過率２ｃｃ／ｍ² ・ｄａｙ以下、水蒸気透過
率２ｇ／ｍ² ・ｄａｙ以下）を確保するためには５０ｎ
ｍ程度の膜厚が必要とされる。さらに完全酸化膜のＳｉ
Ｏ₂ という組成ではガスバリア性が発現しないために酸
素が欠損した組成すなわち、ＳｉＯ_X （X ＜２．０）と
いう組成の薄膜が形成される。従って透明ではあるが、
短波長側での吸収が大きくなり蒸着膜に黄色い着色があ
り、中に食品を入れた場合、変質の状況が分かりにく
い、あるいは変質していないにもかかわらず変質してい
るように見えるといった問題がある。また膜厚が大きい
ために薄い基材のフィルムを用いた場合、カールしやす
く、このためにハンドリング性が悪くなり乱暴に扱うと
蒸着膜にクラック（割れ）が入りガスバリア性が低下す
るという問題もある。

【０００５】一方アルミニウムの酸化膜は無色透明で、
ある程度のガスバリア性を発現することができる。しか
し、透明な酸化アルミニウム膜を得ようとすると、アル
ミニウムの蒸発量に対して反応させる酸素量を多くして
アルミニウムを完全に酸化させる必要があるが、必要以
上に酸素を導入すると急激にガスバリア性が低下し、従
来の酸素の導入方法ではこれらの制御が極めて困難であ
った。この改良された方法に特公平４−２０３８３号公
報にある、アルミニウム蒸発量に対する酸素導入量を限
定する方法があるが、雑誌「ジャパンフードサイエン
ス」１９９０．１２ ５８〜６３ページ（渡邊英男氏
著）にあるように酸化珪素薄膜並のガスバリア性を発現
することは不可能であり、さらに製造方法を検討する必
要があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点を解決するアルミニウムの酸化膜による透明ガス
バリアフィルムを安定して製造することを目的とする。
すなわち本発明は、特に透明性が高く、ガスバリア性に
優れたフィルムを安定して製造することを目的とするも
のである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、高分子樹脂フ
ィルム基材を連続的に走行させ、アルミニウム蒸気と酸
素を該高分子樹脂フィルム基材上で反応させることによ
り該高分子樹脂フィルム基材上にアルミニウム酸化膜を
連続的に形成する反応性蒸着法において、アルミニウム
蒸気を蒸発させる蒸発源上に開口部を持つ防着板と該走
行フィルムに囲まれた反応蒸着部分を設け、該高分子樹
脂フィルムと該防着板の間のアルミニウム蒸気が飛来し
ない空間に酸素を導入することにより該反応蒸着部分の
フィルム走行方向に酸素の圧力分布を設け、酸化アルミ
ニウム膜中に少なくとも１層の金属アルミニウムを含有
した不完全酸化層を形成することを特徴とする透明ガス
バリア性フィルムの製造方法である。

【０００８】以下本発明の構成要件について説明する。
高分子樹脂フィルム基材に連続的に薄膜を形成するに
は、ロール状のフィルム基材から蒸着を行なうための冷
却ドラムにフィルムを巻き出し、蒸着後ロール状に巻き
取る方法が一般的である。

【０００９】本発明におけるアルミニウムの酸化膜を形
成するための方法は反応性蒸着による。本方法によりア
ルミニウム酸化膜は、アルミニウム金属を蒸発させ、高
分子樹脂フィルム基材上で酸素と反応させることにより
形成することができる。酸素は単独であってもよく、不
活性ガスで希釈したものでもよい。アルミニウムを蒸発
させる蒸発源としては抵抗加熱方式のボート形式や、輻
射あるいは高周波加熱によるルツボ形式や、電子ビーム
加熱による方式などがあるが、特に限定されない。

【００１０】以下図を用いて従来技術と本発明の説明を
行なう。図２に前述の従来技術による反応性蒸着装置の
一般的な概略図を示す。巻き出しロール１からフィルム
９が巻き出され、冷却ドラム３に供給されドラム下部で
蒸発源５から蒸発されたアルミニウム蒸気と、酸素導入
経路７より導入された酸素が反応し酸化アルミニウム薄
膜が形成された後、巻き取りロール２に巻き取られる。
こういった蒸着装置は隔壁４により上部フィルム搬送部
と下部蒸着部が隔てられ、下部は上部の排気ポンプより
高性能の排気ポンプで排気され、蒸着に適した低い圧力
に保たれるのが一般的である。反応性蒸着は防着板６で
囲まれた領域で行なわれる。酸素はフィルム付近の導入
口８から導入される。しかし図２の構造の反応性蒸着装
置では導入した酸素が蒸発源５の方向に直接流れ出しや
すく、蒸発源の溶融アルミニウムの表面を酸化して蒸発
速度を下げるという問題があった。

【００１１】図１に本発明の反応性蒸着装置の概略図を
示す。ただし図１は本発明の一例を示すものであり、本
発明はこの形状に制約あるいは限定を受けるものではな
い。本発明による酸化アルミニウムの形成法において
は、蒸発源５の上部に開口部１２を有する防着板１１と
冷却ドラム上の高分子樹脂フィルム基材９に囲まれた反
応蒸着部分を設け、酸素導入経路７より導入された酸素
が防着板とフィルム基材の間の空間でアルミニウム蒸気
が直接飛来しない位置の導入口８より導入され、反応蒸
着部において酸素圧力分布（この場合は左から右に酸素
圧力が減少する）を設けることが基本要件である。酸素
はフィルムの巻き出し側、巻き取り側どちらから導入し
てもよく、また両方から導入してもよい。

【００１２】こういった構成を取ることにより、導入口
８より導入された酸素が開口部１２の方向に拡散する間
に、冷却ドラム幅方向に均一化し、フィルム幅方向の蒸
着むらを減少させる効果も認められる。また蒸発源方向
に直接酸素が拡散せず、開口部を通してのみ蒸発源の方
向に拡散するため、導入した酸素の反応性蒸着に消費さ
れる効率が高くなり、蒸発源の溶融アルミニウムの表面
の酸化が起こりにくく、蒸着速度の減少という問題も解
決できる。このためには冷却ドラムと防着板のクリアラ
ンスを可能な限り小さくして開口部以外の方向に酸素が
流れないようにすることが重要である。これらの効果に
より、フィルムの幅および長さ方向に均一な蒸着膜を得
ることができる。こういった好ましい付随的効果も認め
られるが、本発明の最も重要な点は、アルミニウム蒸気
と酸素の反応を正確に制御できることである。本発明に
よる酸化アルミニウム膜中には少なくとも１層の金属ア
ルミニウムを含有した不完全酸化層が存在することが必
要であり、本発明によりこの酸化アルミニウム薄膜の層
構造が容易に達成できる原理を、以下図を用いて説明す
る。

【００１３】図１の様にフィルム巻き出し側から酸素を
導入した場合の反応蒸着部の概略図を図３に示す。反応
蒸着部の１４、１５、１６の位置を考えた場合、蒸着初
期には１４の位置で、蒸着終わりには１６の位置で蒸着
が行なわれる。酸素は導入口８に近い方から消費される
ため１４、１５、１６の順で徐々に酸素圧力が減少し、
図４に示す様な分布となる。一方アルミニウム蒸気強度
は、一般に知られているように蒸発源の法線方向からの
角度θ方向の蒸気の強度はｃｏｓⁿ θに比例（n は一般
に２〜４の値）するためアルミニウム蒸気強度は同じく
図４に示す様な分布を取る。１４および１６の近傍のア
ルミニウム蒸気のビーム強度に対してはアルミニウムを
完全に酸化できるが１５の近傍のアルミニウム蒸気のビ
ーム強度に対してはアルミニウムを十分には酸化できな
い程度の酸素分圧を与えた場合、１４および１６の近傍
すなわち蒸着初期および蒸着最後に酸素が十分供給され
た完全酸化層が形成され、１５の中心部では酸素が不十
分な不完全酸化層が形成される。酸素圧力が場所によっ
て変化しない場合は不完全酸化層は１５の中心部で形成
されるが、図３、４の場合は１６側すなわち表面側にシ
フトした位置に不完全酸化層が形成される。図５、６の
様に巻き出し、巻き取り両側から酸素を導入した場合は
中心部が酸素不足であり、中心部に不完全酸化層が形成
される。図３、４と反対に巻き取り側から酸素を導入し
た場合は、フィルム界面に近い位置に不完全酸化層が形
成されることは容易に類推できる。

【００１４】防着板より下の空間も含めて全体に均一な
酸素分圧を与える方法、すなわち防着板上下の部分に均
等に酸素雰囲気が導入される場合では、本発明のような
構成を有するアルミニウム酸化膜を得ることが極めて困
難となる。この理由は以下のとおりである。すなわち上
述のように防着板上の蒸着部分の酸素分圧を目的とする
値にしようとすると、蒸発源部分の酸素分圧が同時に上
昇し、蒸発源のアルミニウム溶融体表面に酸化皮膜が形
成されやすくなる。アルミニウム溶融体表面に酸化皮膜
が形成されるとアルミニウムの蒸発速度が急激に減少す
る。このためアルミニウム蒸気強度が全体的に減少し
て、形成される膜の酸化の程度が大きくなる。また同時
にアルミニウム蒸発速度が減少することによりアルミニ
ウムの酸化膜形成で消費される酸素が減少し酸素分圧が
上昇することも酸化の程度を大きくする原因である。こ
の結果として内部にアルミニウム金属成分を含有した層
を有するアルミニウム酸化膜を安定して形成することが
困難となる。

【００１５】いずれにせよ、本発明のフィルムを得るた
めには酸素雰囲気を蒸着部分近く（高分子樹脂フィルム
基材近傍）に導入することが肝要である。また酸素が消
費される領域を囲み、反応蒸着部を設けることは、上述
のアルミニウム蒸気のビーム強度と酸素分圧の関係を正
確に制御し、また酸素を効率よく利用し、必要以上に排
気ポンプに負荷をかけないためにも重要である。本発明
の構成による、導入した酸素の反応性蒸着に消費される
効率は８０％以上であることが好ましい。８０％未満で
あると蒸発源の溶融アルミニウム表面が酸化されやす
い。酸素の反応性蒸着に消費される効率は以下の方法で
定義する。すなわち、アルミニウムの蒸発を行なわない
状態で酸素を導入した場合の圧力をＰ₀ 、蒸着を行なっ
ている場合の圧力をＰとすると（Ｐ₀ −Ｐ）は反応性蒸
着に消費される圧力分であるから（Ｐ₀ −Ｐ）／Ｐ₀ で
定義する。開口部面積が大きく、導入酸素が蒸発源に直
接流出しやすい構造であると、効率は低下し優れたガス
バリア性を有するフィルムを作製することが困難にな
る。

【００１６】高分子樹脂フィルムとしては特に限定され
ないが、代表的なものとして、ポリエチレン、ポリプロ
ピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−
２、６−ナフタレートなどのポリエステル、ナイロン
６、ナイロン１２などのポリアミド、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポ
リスチレン、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリ
ル、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリ
フェニレンサルファイド、芳香族ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリアミドイミド、セルロース、酢酸セルロースな
どおよび、これらの共重合体や、他の有機物との共重合
体などを例示することができる。透明性、ガスバリア性
などの点で、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエ
ステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレ
フィンが好ましく、ポリエチレンテレフタレート系がよ
り好ましい。

【００１７】これらの高分子樹脂フィルムは熱可塑性樹
脂の場合、未延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよ
いが、寸法安定性や機械特性およびガスバリア性の安定
性の点から二軸延伸されたものが好ましい。また高分子
樹脂フィルム内には食品衛生上問題にならなければ公知
の添加剤、例えば帯電防止剤、酸化防止剤、滑剤、着色
防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、着色剤などが添加され
ていてもよい。

【００１８】本発明に用いる高分子樹脂フィルムは透明
であることが好ましく、光線透過率が好ましくは４０％
以上、より好ましくは６０％以上、さらに好ましくは８
０％以上である。また蒸着に先立ち、フィルム上に公知
の表面処理、例えばコロナ放電処理、グロー放電処理や
コーティングによるアンカーコート処理が施されてもよ
い。

【００１９】さらに本発明に用いる高分子樹脂フィルム
のアルミニウム酸化膜を形成する表面は平滑であること
が望ましい。中心線平均荒さで０．５μｍ以下が好まし
く、より好ましくは０．２μｍ以下、さらに好ましくは
０．０５μｍ以下である。この理由としてフィルム表面
上に大きな突起が存在すると、ガスバリア性蒸着膜が均
一に形成されないためである。

【００２０】高分子樹脂フィルムの厚みは特に限定され
るものではないが、包装材料として適当な５μｍ〜５０
０μｍの範囲が好ましい。

【００２１】本発明による透明ガスバリア性フィルムに
おいて、高分子樹脂フィルム上に形成されるアルミニウ
ムの酸化膜の全膜厚は６ｎｍ以上であることが好まし
い。全膜厚が６ｎｍ未満であるとガスバリア性能が不十
分となる。

【００２２】またアルミニウムの酸化膜の全膜厚は５０
ｎｍ未満であることが好ましい。この理由としては、酸
化珪素蒸着膜のところで述べたように全膜厚が大きいと
カールが発生しやすく、加工時にガスバリア性が急激に
低下するなどの問題が起こりうる場合がある。生産性の
点からも全膜厚は小さい方が好ましく、より好ましくは
全膜厚は３０ｎｍ未満である。

【００２３】本発明により製造される透明ガスバリア性
フィルムにおいては、アルミニウム酸化膜の内部にのみ
アルミニウムの金属成分が含有された不完全酸化層が少
なくとも１層存在することが重要となる。該金属成分を
含む不完全酸化層がアルミニウム酸化膜の内部に存在せ
ず、アルミニウム酸化膜全体が完全酸化膜で構成された
ものでは優れたガスバリア性を得ることは困難である。
一方、アルミニウム酸化膜全体が不完全酸化膜からな
り、アルミニウムの金属成分が認められるものにおいて
は、光線透過率が低いものとなりやすく好ましくない。

【００２４】ここで、アルミニウム酸化膜中のアルミニ
ウムの金属成分含有の有無は、表面感度の非常に高い分
析手法であるＸ線光電子分光法（以下ＸＰＳと言うこと
がある。）分析によるＡｌ２ｐスペクトルによって判別
することができる。すなわち、該スペクトルが酸化され
たアルミニウムの３価によるピーク（Ａｌ（ＩＩＩ））
以外に金属成分の存在を示すＡｌ（０）ピークを有する
とき、アルミニウムの金属成分が含有されていることが
分かる。また、アルミニウム酸化膜の内部にのみアルミ
ニウムの金属成分が含有されていることを確認するに
は、該ＸＰＳ分析をアルミニウム酸化膜の表面から行な
うだけでなく、アルミニウム酸化膜を表面から少しずつ
イオンエッチングしながらＸＰＳ分析を行い、アルミニ
ウム酸化膜の深さ方向に沿ったＡｌ２ｐスペクトルの変
化（以下デプスプロファイルと言う。）を追う必要があ
る。

【００２５】

【特性の測定方法および効果の評価方法】本発明の特性
値は以下の測定法による。

【００２６】（１）全膜厚 透過型電子顕微鏡による断面観察で校正した蛍光Ｘ線分
光法によるアルミニウムのピーク強度で膜厚を決定し
た。蛍光Ｘ線分光はセイコー電子製ＳＥＡ２００１によ
り行なった。これら蛍光Ｘ線分光を行なったサンプルの
いくつかを透過型電子顕微鏡（日本電子製 ＪＥＭ−１
２００ＥＸ）により、超薄切片法により蒸着膜の断面を
切り出し観察し、蛍光Ｘ線のアルミニウムのピークの強
度と、実際の膜厚がよい比例関係にあることを確認し
た。

【００２７】（２）アルミニウム金属存在の確認 Ｘ線光電子分光装置（ＳＳＩ社 ＳＳＸ−１００）を用
い、Ｘ線源ＡｌＫα、Ｘ線出力１０ｋＶ−１０ｍＡ、光
電子の脱出角度をサンプル表面の法線に対して５５度の
角度で測定した。デプスプロファイル測定のためのエッ
チングはＡｒイオンを用い、加速電圧３ｋＶ、試料電流
１０．３μＡで行なった。

【００２８】（３）水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置（ハネウェル（株）製、Ｗ８２
５）を用いて４０℃、１００％ＲＨの条件で測定した。

【００２９】（４）酸素透過率 ＡＳＴＭ Ｄ−３９８５に準じて、酸素透過率測定装置
（モダンコントロール社製、ＯＸ−ＴＲＡＮ１００）を
用いて２０℃、０％ＲＨの条件で測定した。

【００３０】（５）比光線透過率 分光光度計（日立製作所（株）、自記分光光度計３２３
型）により、５５０ｎｍの波長における高分子樹脂フィ
ルム基材の光線透過率に対するアルミニウム酸化膜を設
けた後の高分子樹脂フィルムの光線透過率の割合を比光
線透過率とした。

【００３１】

【実施例】本発明を実施例により説明する。

【００３２】実施例１〜３ 図３に示した反応蒸着部分の構成でサンプルを作成し
た。蒸発源は電子ビーム加熱蒸発源であり、アルミナ製
ルツボに９９．９９％のアルミニウム金属を装填して蒸
着した。フィルムは東レ（株）製ポリエチレンテレフタ
レート（以下ＰＥＴという。）フィルム“ルミラー”Ｐ
６０（１２μｍ）を用いた。ロール状で巻き出しロール
から冷却ドラム上に送膜し蒸発源直上で蒸着が行なわれ
る。酸素雰囲気として１００％酸素を巻き出し側から導
入した。冷却ドラムは冷水により約２０℃に冷却した。
蒸着の手順は以下のとおりである。フィルムおよび蒸着
用アルミニウムを連続蒸着機にセットし、真空排気を行
なう。到達圧力２×１０⁻⁵Ｔｏｒｒ以下になったらフ
ィルムを走行させ、電子ビーム蒸発源に電力を投入しア
ルミニウムの蒸着を開始する。インラインの光線透過率
計および抵抗率計を用いて、目的とする蒸着速度になる
ように蒸発源の電力を調整した後、酸素ガスをマスフロ
ーコントローラを通して導入する。フィルム走行速度を
低速（例えば１ｍ／ｍｉｎ）にし、酸素を導入するにし
たがってインラインでモニタしている光線透過率が上が
ってくることを確認し、あらかじめ定めた光線透過率に
なるように酸素導入量を調整する。フィルム走行速度を
上げて目的とする膜厚になるようにし、サンプルを取
る。蒸着時の圧力は５×１０⁻⁵ Ｔｏｒｒで安定してお
り、アルミニウムの蒸発を停止した時の圧力は４×１０
⁻⁴ Ｔｏｒｒとなった。消費効率は８８％である。

【００３３】このように作成した蒸着膜厚を変化させた
サンプルを実施例１〜３とした。これらのサンプルはす
べてＸＰＳ分析のデプスプロファイルの分析により表面
およびＰＥＴフィルム界面では完全酸化膜が形成されて
おり、表面に近い部分で金属の含有された不完全酸化層
が存在することを確認した。

【００３４】比較例１〜３ 前述の従来技術による反応性蒸着装置により、蒸発源に
投入する電力、酸素流量を同じにして蒸着を行なった。
蒸着時の圧力は蒸着初期に９×１０⁻⁵ Ｔｏｒｒから蒸
着後半に１．３×１０⁻⁴ Ｔｏｒｒまで上昇した。アル
ミニウムの蒸発を停止した時の圧力は４×１０⁻⁴ Ｔｏ
ｒｒであり、消費効率は７８％から６８％に下がった。
蒸着初期と中間、および蒸着最後の３点でサンプリング
したものを比較例１〜３とした。いずれのサンプルもＸ
ＰＳ分析のデプスプロファイルで不完全酸化層が認めら
れなかった。

【００３５】実施例４〜６ 図５に示した反応蒸着部分の構成で、巻き出し側、巻き
取り側両方から等量の酸素を、総量で実施例１〜３と同
じにして蒸着を行なった。蒸着時の圧力は７×１０⁻⁵
Ｔｏｒｒで安定しており、やはり同じく蒸着停止時には
４×１０⁻⁴ Ｔｏｒｒとなった。効率は８３％である。
膜厚を変化させたサンプルを実施例４〜６とした。ＸＰ
Ｓ分析により膜のほぼ中央部に金属を含む不完全酸化層
が存在することを確認した。

【００３６】これらの結果を、原反のＰＥＴフィルムと
まとめて特性を表１に示す。

【００３７】

【表１】

【００３８】

【発明の効果】本発明により、アルミニウムの酸化膜中
にアルミニウム金属を含有した不完全酸化層を有するア
ルミニウム酸化膜を安定して製造することができる。

【００３９】本発明により製造される透明ガスバリア性
フィルムは、光線透過率が高く、かつ酸素および水蒸気
に対するガスバリア性能が高いという特長を持つ。ま
た、黄色味を帯びた着色もなく、実用上十分な加工適性
を有する。

【００４０】本発明により製造される透明ガスバリア性
フィルムは、長期保存が必要な食品や薬品の包装材料と
して広く用いることができる。また食品をレトルトやボ
イルによる殺菌を行なって長期保存できるいわゆるレト
ルトパウチやスタンディングパウチといった包装形態に
も使用することができる。さらに光線透過率が高いため
に、内容物の状態を確認したいという要求に対応でき
る。また、マイクロ波の透過率が高いために、包装状態
でそのまま電子レンジにかけて内容物を調理するといっ
た要求にも応えることができる。またこの透明ガスバリ
ア性フィルムは、単独でも用いることができるが、さら
に、印刷を施したり、アルミニウム酸化膜の上から保護
層などをコーティングしたり、他のフィルムと積層した
り、あるいはこれらを組み合わせたりするなど、さらに
加工して用いることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による反応性蒸着装置の一例を示した概
略図である。

【図２】従来技術による反応性蒸着装置の一例を示した
概略図である。

【図３】本発明による反応性蒸着装置の反応蒸着部分の
一例を示した概略図である。

【図４】図３の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。

【図５】図３と同様、本発明による反応性蒸着装置の反
応蒸着部分の一例を示した概略図である。

【図６】図５の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。

【符号の説明】 １：巻き出しロール ２：巻き取りロール ３：冷却ドラム ４：隔壁 ５：蒸発源 ６：防着板 ７：酸素導入経路 ８：酸素導入口 ９：フィルム １０：冷却ドラム回転方向 １１：防着板 １２：開口部 １３：アルミニウム蒸気 １４：蒸着位置 １５：同上 １６：同上 １７：酸素導入口 １８：酸素導入経路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｃ０８Ｊ 7/04 Ｃ０８Ｊ 7/04 Ｐ Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｎ 14/08 14/08 Ａ 14/56 14/56 Ａ // Ｂ３２Ｂ 9/00 Ｂ３２Ｂ 9/00 Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 B32B 7/02 B32B 27/06 B65D 65/40 B65D 81/26 C08J 7/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高分子樹脂フィルム基材を連続的に走行
   させ、アルミニウム蒸気と酸素を該高分子樹脂フィルム
   基材上で反応させることにより該高分子樹脂フィルム基
   材上にアルミニウム酸化膜を連続的に形成する反応性蒸
   着法において、アルミニウム蒸気を蒸発させる蒸発源上
   に開口部を持つ防着板と該走行フィルムに囲まれた反応
   蒸着部分を設け、該高分子樹脂フィルムと該防着板の間
   のアルミニウム蒸気が飛来しない空間に酸素を導入する
   ことにより該反応蒸着部分のフィルム走行方向に酸素の
   圧力分布を設け、酸化アルミニウム膜中に少なくとも１
   層の金属アルミニウムを含有した不完全酸化層を形成す
   ることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方
   法。
2. 【請求項２】 導入した酸素の反応性蒸着に消費される
   効率が８０％以上であることを特徴とする請求項１記載
   の透明ガスバリア性フィルムの製造方法。