JPH10189382A

JPH10189382A - 亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサ

Info

Publication number: JPH10189382A
Application number: JP8342238A
Authority: JP
Inventors: Hisanori Ishikawa; 尚紀石川; Takashi Uemura; 剛史植村
Original assignee: Mitsubishi Shindoh Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Shindoh Co Ltd
Priority date: 1996-12-20
Filing date: 1996-12-20
Publication date: 1998-07-21
Anticipated expiration: 2016-12-20
Also published as: JP3759266B2; CN1195177A

Abstract

(57)【要約】【課題】亜鉛蒸着層が均一かつ薄く、しかも酸化を防
いで静電容量が安定な亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フ
ィルムコンデンサを提供する。【解決手段】プラスチックフィルム１０と、プラスチ
ックフィルム１０の表面に蒸着されたアルミニウム核１
２と、アルミニウム核１２を蒸着したプラスチックフィ
ルム１０の表面に蒸着された亜鉛層１４と、亜鉛層１４
上に蒸着された酸化珪素層１６とを具備する。アルミニ
ウム核１２の付着量は０．３〜４．０ｍｇ／ｍ² であ
り、亜鉛層１４の付着量は４０〜５００ｍｇ／ｍ² であ
り、酸化珪素層１６の付着量は珪素付着量として０．４
〜３．０ｍｇ／ｍ² である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、亜鉛蒸着フィルム
および金属化フィルムコンデンサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】金属化フィルムコンデンサは、例えば図
６に示すように、帯状のプラスチックフィルム１の片面
にアルミニウムまたは亜鉛の蒸着膜２を形成してなる金
属蒸着フィルム３を２枚重ねて円柱状に巻き、この円柱
体の両端に電極５を溶射した構造を有するものであり、
金属蒸着層が非常に薄いため、フィルムの弱点部で電圧
破壊が生じたとしても、短絡電流によって破壊部周辺の
金属蒸着層がジュール熱で蒸発し絶縁が回復する、いわ
ゆる自己回復性を有するという特徴がある。

【０００３】ところで、金属蒸着フィルムに形成される
金属薄膜としては、一般に、アルミニウムまたは亜鉛が
用いられるが、アルミニウム薄膜はコロナ放電によりコ
ロージョンが発生しやすく、電極面積の消失によりコン
デンサ容量が漸次減少する傾向がある。また、アルミニ
ウム薄膜の場合、コンデンサ素子の両端に溶射する亜鉛
電極との接合性が悪く、電気抵抗の増大によりジュール
熱が発生するため耐電流性が低いという欠点を有してい
た。

【０００４】一方、亜鉛薄膜は、コロージョン発生の問
題がなく、溶射電極との接合性も良好であるが、耐食性
（耐湿性）に劣る欠点を有しており、保管中に水分と反
応して多孔質のＺｎ（ＯＨ）₂ を生じて腐食が進み、コ
ンデンサ特性が劣化する問題がある。そこで、亜鉛薄膜
を使用する場合には、亜鉛蒸着フィルムにワックスや絶
縁油を含浸させる等の手段が採られていたが、コスト増
を招く上、ワックスや絶縁油の含浸には数十時間程度の
長時間を要して生産性が悪い問題があった。

【０００５】これらを解決する手段として、特開昭６２
−２７７７１２号公報には、プラスチックフィルムの表
面に亜鉛蒸着層を形成し、さらに５０〜１０００オング
ストロームのＳｉＯまたはＳｉＯ₂ 蒸着層を形成する構
成が記載されている。このようなＳｉＯまたはＳｉＯ₂
蒸着層を形成することにより、亜鉛蒸着層の表面を保護
して亜鉛薄膜のＺｎ（ＯＨ）₂ 化を防止する効果が得ら
れる。また、酸化珪素層の形成は亜鉛蒸着と同一ライン
で連続して行うことができるため、生産性も高められ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近では、
金属化フィルムコンデンサの耐電圧特性などの信頼性を
高めるために、金属蒸着フィルムの金属蒸着層をより薄
くすることが望まれている。金属蒸着層を薄くすれば、
重ね合わされた２枚のフィルムの金属蒸着層間に短絡が
生じた場合にも、その短絡箇所の金属蒸着層がより少な
いジュール熱で局部的に蒸発するようになり、金属蒸着
フィルムにダメージを与えずに短絡が解消され易く、い
わゆる自己回復性が向上することによりコンデンサの耐
電圧特性が向上するばかりか、蒸着すべき金属量が少な
くて済むため、製造コストが削減でき、製造効率も高め
ることができるからである。

【０００７】しかし、亜鉛を薄く蒸着しようとすると、
蒸着膜を均一に形成することが困難になって、プラスチ
ックフィルムへの亜鉛蒸着層の密着性が悪くなり、僅か
な摩擦で亜鉛蒸着層が剥離する。さらに、亜鉛蒸着層上
に形成した酸化珪素蒸着層による保護効果が得られ難く
なり、保管している間に部分的に亜鉛酸化物へ転換され
てしまい、予定通りの静電容量が得られない等の様々な
問題が生じる。このため、現実には、亜鉛層を薄膜化し
た金属化フィルムコンデンサを製造することは困難だっ
た。

【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、亜鉛蒸着層の表面抵抗値が均一で高いにも拘わら
ず、耐食性に優れた亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フィ
ルムコンデンサを提供することを課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る亜鉛蒸着フ
ィルムは、プラスチックフィルムと、前記プラスチック
フィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前記ア
ルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルムの表
面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着された酸
化珪素層とを具備することを特徴とする。

【００１０】また、本発明に係る金属化フィルムコンデ
ンサは、積層された２種の金属蒸着フィルムを有する金
属化フィルムコンデンサであって、前記金属蒸着フィル
ムの少なくとも一方は、プラスチックフィルムと、前記
プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム
核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチック
フィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に
蒸着された酸化珪素層とを具備することを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る亜鉛蒸着フ
ィルムの一実施形態Ｆ１を示す断面拡大図である。この
亜鉛蒸着フィルムＦ１は、プラスチックフィルム１０
と、このプラスチックフィルム１０の表面に蒸着された
アルミニウム核１２と、アルミニウム核１２を蒸着した
プラスチックフィルム１０の表面に蒸着された亜鉛層１
４と、亜鉛層１４上に蒸着された酸化珪素層１６とを有
している。

【００１２】プラスチックフィルム１０の材質は限定さ
れないが、一般的には、ポリエチレンテレフタレート，
ポリプロピレン，ポリスチレン，ポリカーボネイト，ポ
リ４フッ化エチレン，ポリエチレン，ポリフェニレンサ
ルファイド，ポリフッ化ビニリデンから選択される１
種、または２種以上を積層して形成されたものなどが例
示できる。プラスチックフィルム１０の厚さは用途に応
じて適宜設定されるべきであるが、一般的には０．５〜
２５μｍ、より好ましくは１．５〜１６μｍとされる。
プラスチックフィルム１０の平面形状は限定されない。

【００１３】アルミニウム核１２は、プラスチックフィ
ルム１０の表面に、真空蒸着法、高周波マグネトロンス
パッタ法等のスパッタ法により蒸着されたもので、その
付着量は０．３〜４ｍｇ／ｍ² であることが望ましい。
アルミニウム核１２の付着量が０．３ｍｇ／ｍ² 未満で
あると本発明の効果が得られ難い。また４ｍｇ／ｍ²よ
り厚いと亜鉛層１４の電気的特性に影響を与えるため好
ましくない。一般的により好ましい範囲は０．６〜３．
０ｍｇ／ｍ² であり、特に亜鉛層１４を表面抵抗値１５
Ω／□以上にまで薄膜化するときには１．０〜３．０ｍ
ｇ／ｍ² であることが望ましい。

【００１４】アルミニウムは活性が高いため、プラスチ
ックフィルム１０に対し上記のように微量だけ蒸着する
場合であっても、プラスチックフィルム１０の蒸着すべ
き面積の全面に亘って、ごく小さな粒子として均一に付
着させることができる。このようにアルミニウム核１２
が均一分散されているプラスチックフィルム１０上に亜
鉛を蒸着すると、極薄く蒸着する場合にも均一な膜を形
成しやすくなる。

【００１５】これに対し、アルミニウム核１２を形成し
ないで亜鉛を蒸着した場合には、厚さが均一かつ薄い亜
鉛層１４を形成することが困難である。その理由は、亜
鉛粒子はプラスチックフィルム１０に対する馴染みが悪
く、プラスチックフィルム１０上に固着しにくいばかり
か、プラスチックフィルム１０上に着地した亜鉛粒子が
フィルム表面を移動し、局部的に凝集が起こって膜が均
一に成長しないためと考えられる。本発明者らは、アル
ミニウム以外の、例えば銅核を蒸着した後に金属蒸着層
を形成することも従来から試みているが、銅核を使用し
た場合も、アルミニウム核１２の場合のように均一かつ
薄い亜鉛層１４を形成することは困難で、亜鉛層１４の
耐食性も低下する。この原因は明らかではないが、アル
ミニウムの方が、プラスチックフィルム１０上に付着す
る金属核の平均粒子径が小さく、核の発生個数が多く、
さらに核の分散性もよいから、亜鉛層１４の膜構造が整
ってその活性点密度が減少するためではないかと推測し
ている。また、アルミニウム核１２の方が蒸着時の熱容
量が小さいため、プラスチックフィルム１０への熱ダメ
ージも少ないため、この点も上述した効果の差となって
現れている可能性がある。

【００１６】亜鉛層１４の付着量は一般に４０〜５００
ｍｇ／ｍ² であることが好ましく、より好ましくは７０
〜３００ｍｇ／ｍ² とされる。特に、表面抵抗値１５Ω
／□以上を得る場合には、４０〜９０ｍｇ／ｍ² である
ことが望ましい。なお、実用可能な亜鉛層１４の表面抵
抗値の上限は４０Ω／□程度と考えられる。亜鉛層１４
の蒸着方法は特に限定されず、真空蒸着法や高周波マグ
ネトロンスパッタ法等のスパッタ法が用いられる。

【００１７】酸化珪素層１６はＳｉＯｘで形成されたも
ので、ｘの値は０．５〜２．０であることが好ましい。
ｘが前記範囲よりも小さくても逆に大きくても、バリア
性が悪化する。より好ましくはｘ＝１．０〜２．０、さ
らに好ましくは１．５〜１．８である。

【００１８】酸化珪素層１６の付着量は珪素の付着量と
して、一般に０．４〜３．０ｍｇ／ｍ² であることが好
ましく、より好ましくは０．８〜１．５ｍｇ／ｍ² とさ
れる。特に、亜鉛層１４の表面抵抗値を１５Ω／□以上
にする場合には１．０〜１．５ｍｇ／ｍ² であることが
望ましい。酸化珪素層１６の付着量が０．４ｍｇ／ｍ ²
未満であると、アルミニウム核１２との相乗効果による
酸化防止効果が得られ難くなり、亜鉛層１４の耐食性が
低下する。酸化珪素層１６の厚さが珪素付着量で２．０
ｍｇ／ｍ² （質量膜厚＝９オングストローム程度）にま
で薄いと、酸化珪素層１６は緻密な膜ではなく多孔膜に
なると考えられる。このような多孔膜であっても耐蝕性
向上効果が得られる理由は、亜鉛層１４の表面の活性点
（キンク，ステップ等）に酸化珪素が選択的に結合し、
亜鉛酸化物、水酸化物の生成・成長を防止するためであ
ると考えられる。本発明においては、アルミニウム核１
２の採用により亜鉛層１４の膜構造が整うため、表面の
活性点密度が減少し、酸化珪素層１６によって効果的に
活性点をマスクするためではないかと推測される。

【００１９】一方、本発明に係る金属化フィルムコンデ
ンサは、以上のような構造からなる亜鉛蒸着フィルムＦ
１を使用したことを特徴とするものであり、その点を除
いては従来と同様の構造であってよい。すなわち、巻回
型コンデンサの場合には、図４に示すように、上記亜鉛
蒸着フィルムＦ１を２枚重ねるか、もしくは上記亜鉛蒸
着フィルムＦ１上に他種の金属蒸着フィルムＦ２を重ね
て巻き、その巻回体の両端に電極５４，５６を溶射等に
より接合し、これら電極５４，５６からの端子を形成
し、さらに全体を覆う外装を形成する。一方、積層型コ
ンデンサの場合には、上記亜鉛蒸着フィルムＦ１を多数
枚積層するか、あるいは他種の金属蒸着フィルムと交互
に積層して、フィルム一枚毎に互い違いに２種の電極を
接続し、外装を設ければよい。

【００２０】次に、上記構成からなる亜鉛蒸着フィルム
の製造方法の一例を説明する。図２は、この方法に使用
できる製造装置の一例を示す。符号２０は真空容器であ
り、その内部は図示しない真空ポンプによって減圧さ
れ、必要に応じて各種ガスを導入できる。真空容器２０
内には、プラスチックフィルム１０を繰り出すアンコイ
ラ２２と、蒸着処理後の金属蒸着フィルムＦ１を巻き取
るリコイラ４４とが配置されている。アンコイラ２２に
巻かれているプラスチックフィルム１０は実際にコンデ
ンサを製造するときのフィルム幅の複数倍以上に設定さ
れ、蒸着工程が完了してから必要な幅に切断してコンデ
ンサ製造に供される。本発明でいう亜鉛蒸着フィルム
は、幅の広い状態および切断後の幅の狭い状態のいずれ
も含むものとする。

【００２１】アンコイラ２２とリコイラ４４との間に
は、フィルム１０をそれぞれ案内するように、ロール２
４、第１冷却ロール２６、ロール３６、第２冷却ロール
３８およびロール４２が順に配置され、いずれも図示し
ない駆動手段によりフィルム走行と同期して回転駆動さ
れる。

【００２２】ロール２４と第１冷却ロール２６の間に
は、フィルム１０に対向してオイル付着装置２８が配置
されている。オイル付着装置２８は、プラスチックフィ
ルム１０の表面にマージン形状をなすようにマスクオイ
ルを付着させるものであり、この例の場合には、図３に
示すように横マージン１８および縦マージン１９を形成
すべき部分にマスクオイルを付着させる。オイル付着装
置２８は一種の印刷装置であるが、一般的な直接印刷装
置ではなく、プラスチックフィルム１０に傷を付けない
ように、プラスチックフィルム１０との間に間隙を空け
て非接触でマスクオイルまたはその蒸気を噴き付けて印
刷する形式のものが好ましい。

【００２３】オイル付着装置２８内には、パーフルオロ
アルキルポリエーテル等のフッ素系化合物のオイルが入
れられており、このオイルを霧化または蒸気化して噴出
し、プラスチックフィルム１０の金属蒸着すべき面に付
着させることにより、プラスチックフィルム１０の表面
に、図３に示すマージン１８，１９に対応する形状のオ
イル付着部を形成する。これにより、オイル付着部への
アルミニウム核１２および亜鉛層１４の蒸着が阻止され
るため、金属等が蒸着されていないマージン１８，１９
が形成される。ただし、マージン１８，１９の形状は所
望の製品規格に応じて適宜変更してよいし、必要であれ
ばマージン部を有しない亜鉛蒸着フィルムとしてもよ
い。

【００２４】第１冷却ロール２６および第２冷却ロール
３８は、いずれも内部に冷媒流体が循環される冷媒路を
有し、図示しない冷媒供給手段からフレオン等の冷媒が
連続供給されることにより、表面温度が常に、例えば−
１０〜−３０℃となるように冷却されている。但し、こ
の温度範囲に限定されることはない。

【００２５】真空容器２０の下部は水平な隔壁３０によ
り仕切られている。この隔壁３０には開口部３０Ａ，３
０Ｂが形成され、これら開口部３０Ａ，３０Ｂを通じ
て、第１冷却ロール２６および第２冷却ロール３８の下
端部が、隔壁３０の下方へ突き出されている。これらの
突き出された第１冷却ロール２６および第２冷却ロール
３８の下端部にはプラスチックフィルム１０が密着さ
れ、同期して搬送されるようになっている。

【００２６】第１冷却ロール２６の下端部のフィルム走
行方向上流側部分と対向する位置には、核付着装置３２
が第１冷却ロール２６へ向けて配置されている。核付着
装置３２は、アルミニウムをプラスチックフィルム１０
に微量蒸着してアルミニウム核１２を形成するためのも
のであり、真空蒸着法またはスパッタリング法等により
アルミニウム蒸気を発生させ、プラスチックフィルム１
０の全面に亙って均一に吹き付ける。これにより、オイ
ル付着部を除いた部分の全面にアルミニウム核１２が均
一な密度で付着する。なお、核付着装置３２による好適
なアルミニウム蒸着量は前述したとおりである。

【００２７】第１冷却ロール２６の下端部の下流側部分
と対向する位置には、亜鉛蒸発源３４が第１冷却ロール
２６へ向けて配置されている。亜鉛蒸発源３４は、亜鉛
をプラスチックフィルム１０に一定の厚さに蒸着するた
めのものであり、真空蒸着法またはスパッタリング法に
より亜鉛蒸気を発生させ、プラスチックフィルム１０の
全幅に亙って均一に付着させる。亜鉛蒸発源３４による
好適な亜鉛蒸着量は前述したとおりである。

【００２８】第２冷却ロール３８のフィルム巻回面と対
向する位置には、酸化珪素蒸発源４０がプラスチックフ
ィルム１０に向けて配置されている。酸化珪素蒸発源４
０はＳｉＯｘを蒸発させて亜鉛層１４上に蒸着するため
のもので、好適な蒸着量や好適なｘの値は前述したとお
りである。

【００２９】次に、上記装置を用いた金属蒸着フィルム
および金属化フィルムコンデンサの製造方法を説明す
る。アンコイラ２２、ロール２４，３６，４２、第１冷
却ロール２６、第２冷却ロール３８、およびリコイラ４
４を全て同期させて回転駆動する。アンコイラ２２から
繰り出されたプラスチックフィルム１０には、まずオイ
ル付着装置２８から噴出するオイルまたはその蒸気が吹
き付けられ、マージン形状をなすオイル付着部が形成さ
れる。

【００３０】オイルが付着したプラスチックフィルム１
０は、第１冷却ロール２６に巻回され、この巻回部分の
上流位置において、核付着装置３２により微量のアルミ
ニウム核１２が均一な密度で蒸着され、続いて、亜鉛蒸
発源３４により一定厚さの亜鉛層１４が形成される。こ
のとき、オイル付着部にはアルミニウム核１２および亜
鉛層１４は蒸着されない。

【００３１】亜鉛層１４が形成されたプラスチックフィ
ルム１０は、強制冷却されている第２冷却ロール３８に
巻かれ、これに密着した状態で酸化珪素蒸発源４０から
蒸気を吹き付けられ、亜鉛層１４上に酸化珪素層１６が
形成される。酸化珪素層１６が形成され完成した亜鉛蒸
着フィルムＦ１はリコイラ４４に順次巻き取られてい
く。

【００３２】リコイラ４４に巻き取られた亜鉛蒸着フィ
ルムＦ１の一例を図３に示す。この例では、プラスチッ
クフィルム１０の長手方向に延びる縦マージン１９、お
よび幅方向へ延びる横マージン１８を形成しているが、
本発明ではこのマージン形状に限定される必要はない。
必要に応じては、マージンを形成しないことも可能であ
る。

【００３３】図３の亜鉛蒸着フィルムＦ１はスリッタ装
置にかけられ、製造すべきコンデンサの寸法に合うよう
に、図３中の一点鎖線に沿って裁断される。裁断された
細幅の亜鉛蒸着フィルムＦ１はそれぞれボビンに巻回さ
れたうえ、コンデンサ製造工程に移される。

【００３４】コンデンサ製造工程では、図４に示すよう
に、亜鉛蒸着フィルムＦ１と、第２の金属蒸着フィルム
Ｆ２とを金属蒸着面を同じ側へ向けて重ねる。金属蒸着
フィルムＦ２は亜鉛蒸着フィルムＦ１と全く同じもので
あってもよいし、亜鉛蒸着フィルムＦ１から横マージン
１８を省いたものであってもよいし、他種の金属を蒸着
したものであってもよいが、幅は互いにほぼ同じである
ことが好ましい。重ねた状態において、各フィルムＦ
１，Ｆ２に形成されている縦マージン１９，５２は互い
に反対側に配置し、かつ、相手のフィルムの金属蒸着面
の内側にずれて位置するようにする。これは、溶射等に
より電極５４，５６を各蒸着層１４，５０にそれぞれ接
合する便宜のためである。

【００３５】なお、亜鉛蒸着フィルムＦ１に図４に示す
形状のマージン１８，１９を形成した場合には、本発明
との組み合わせにより以下のような利点が得られる。す
なわち、このようなマージン形状を採用した場合、金属
蒸着層が多数の矩形状に分割されるため、いずれかの矩
形領域において、自己回復性では回復しきれない短絡が
生じた場合には、金属蒸着層の矩形領域と電極５４との
境界部分Ｈがジュール熱で蒸発し、いわばヒューズが切
れた状態となって短絡箇所への電流供給が停止される。
ところが実際には、このマージン形状は専らアルミニウ
ム蒸着層を使用する場合に限られていた。というのも、
このマージン形状では、図５のようなヒューズ部６０に
比して、ヒューズ部Ｈの幅が大きいため、薄膜化しにく
い亜鉛層では十分なヒューズ効果が得られなかったから
である。ところが、本発明を採用すると、亜鉛層１４を
薄膜化することが容易になるため、このようなマージン
形状を採用しても、信頼に足るヒューズ効果を得ること
ができる。そして、このマージン形状は、ヒューズ効果
を奏する他のマージン形状よりも製造コストが安いとい
う利点を有している。

【００３６】一方、図５は、図４で用いた亜鉛蒸着フィ
ルムＦ１にさらに縦マージン５８を追加形成し、これに
よりヒューズ部６０を形成したものである。このような
マージン形状ももちろん採用可能である。

【００３７】図４または図５のように重ねられたフィル
ムＦ１，Ｆ２は、例えば円柱状に巻かれ、その両端に電
極５４，５６が形成され、それらにリード等の端子が接
続され、さらに絶縁体からなる外装が形成されて金属化
フィルムコンデンサが完成する。電極５４，５６の形成
は、一般に金属、特に亜鉛を溶射して行われる。本発明
の亜鉛蒸着フィルムは亜鉛層１４を有するものであるか
ら、溶射された亜鉛電極との接合性が良好で、接合不良
による電気抵抗が生じにくい利点も有する。

【００３８】上記構成からなる亜鉛蒸着フィルムによれ
ば、アルミニウム核１２の作用により、亜鉛層１４を薄
くかつ均一な厚さに蒸着することができるから、亜鉛層
１４の表面抵抗値を高めることが可能で、コンデンサの
自己回復性を従来品よりも高めることが容易となる。ま
た、アルミニウム核１２を形成したことにより、亜鉛層
１４が薄い場合にも亜鉛層１４の構造が比較的整ったも
のとなるので、亜鉛層１４の表面に存在する結晶構造の
乱れた活性点（キンクやステップなど）の分布密度を低
下することができると考えられる。これにより、酸化珪
素層１６によって亜鉛層１４の表面活性点を効果的にマ
スクすることができるから、亜鉛層１４が薄いにもかか
わらず亜鉛層１４の耐食性を十分に高めることが可能で
ある。したがって、亜鉛層１４を薄くした場合に問題だ
ったＺｎ（ＯＨ）₂ 化による亜鉛層１４の面積減少を防
ぐことができ、保管中の容量変化が防止できる。

【００３９】すなわち、本発明では、アルミニウム核１
２および酸化珪素層１６の相乗効果により、製品として
要求される亜鉛層１４の耐食性を満たしつつ、亜鉛層１
４を薄肉化してその表面抵抗を高めることが可能となる
ので、耐食性および自己回復性の両立が図れる。また、
亜鉛層１４および酸化珪素層１６の蒸着量が少なくて済
むので、蒸着に要するコストを低減できるばかりか、蒸
着工程におけるラインスピードを増して生産性を高める
ことも可能である。

【００４０】

【実施例】

［実験１］プラスチックフィルム上にアルミニウム核を
付着させたのちに亜鉛層を蒸着形成し、さらに酸化珪素
層を形成した本発明の実施例１〜６および比較例１，２
と、アルミニウム核の代わりに銅核を付着させたのちに
亜鉛層を蒸着形成し、さらに酸化珪素層を形成した比較
例３〜８とをそれぞれ作成し、亜鉛層の密着性および高
湿度高温環境下での亜鉛層の表面抵抗の変化率を計測し
た。なお、蒸着核をまったく付着させずに亜鉛層を蒸着
形成することは困難である。

【００４１】実験に使用したプラスチックフィルムは、
幅３０ｍｍ×厚さ５μｍのポリプロピレンフィルムであ
る。核の付着方法、亜鉛層および酸化珪素層の形成方法
は真空蒸着法を用いた。

【００４２】亜鉛層の密着性は、作成した亜鉛蒸着フィ
ルムを室温の大気中に２４時間放置した後、酸化珪素層
上からセロテープを貼り、それを直後に引き剥がすこと
により評価した。評価基準は、「４」では剥がれた部分
の面積が貼付面積の２０％未満、「３」では剥がれた部
分の面積が貼付面積の２０％以上５０％未満、「２」で
は剥がれた部分の面積が貼付面積の５０％以上８０％未
満、「１」では剥がれた部分の面積が８０％以上である
ことを意味する。

【００４３】亜鉛層の表面抵抗の変化率は、以下のよう
にして求めた。まず、作成した亜鉛蒸着フィルムから長
さ１０ｍの試験品を複数切り、同種のフィルム同士をそ
れぞれ２枚重ねたうえ、巻き取り装置を用いて円柱状に
巻き、サンプルとした。次いで、これらサンプルを７０
℃×８０％ＲＨ×１２時間の条件で高温多湿環境に置
き、この劣化試験前後の亜鉛層の表面抵抗を、横河電機
株式会社製「組試験器Ｌ−３型」を用いてＪＩＳＣ−
２３１６の８（７）に基づいて計測した。測定した表面
抵抗値から、以下の式に基づいて表面抵抗の変化率を計
算した。表面抵抗の変化率（％）＝（［試験後の抵抗値］／［試
験前の抵抗値］−１）×１００実験１の結果を表１に示す。

【００４４】

【表１】

【００４５】［実験２］プラスチックフィルム上にアル
ミニウム核を付着させたのちに亜鉛層を蒸着形成し、さ
らに酸化珪素層を形成した本発明の構成において、アル
ミニウム核の付着量と亜鉛層の付着量とを一定にしたま
ま、酸化珪素層の厚さを変化させて、亜鉛層の表面抵抗
の変化率を実験１と同様に測定した。結果を表２に示
す。

【００４６】

【表２】

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る亜鉛
蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサによれ
ば、アルミニウム核および酸化珪素層の相乗効果によ
り、製品として要求される亜鉛層の耐食性を満たしつ
つ、亜鉛層を薄肉化することが可能となるので、良好な
自己回復性が得られるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る亜鉛蒸着フィルムの一実施形態
を示す断面拡大図である。

【図２】同亜鉛蒸着フィルムの製造に使用される装置
の一例を示す側面図である。

【図３】本発明に係る亜鉛蒸着フィルムの一実施形態
の平面図である。

【図４】本発明に係る金属化フィルムコンデンサの一
実施形態の展開図である。

【図５】本発明に係る金属化フィルムコンデンサの他
の実施形態の展開図である。

【図６】従来の金属化フィルムコンデンサを一部分解
した斜視図である。

【符号の説明】

Ｆ１亜鉛蒸着フィルム１０プラスチックフィルム１２アルミニウム核１４亜鉛層１６酸化珪素層１８，１９マージン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラスチックフィルムと、前記プラスチ
ックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前
記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルム
の表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着され
た酸化珪素層とを具備することを特徴とする亜鉛蒸着フ
ィルム。
【請求項２】前記アルミニウム核の付着量は０．３〜
４．０ｍｇ／ｍ² であり、前記亜鉛層の付着量は４０〜
５００ｍｇ／ｍ² であり、前記酸化珪素層の珪素付着量
は０．４〜３．０ｍｇ／ｍ² であることを特徴とする請
求項１記載の亜鉛蒸着フィルム。
【請求項３】前記亜鉛層の表面抵抗値は１〜５０Ω／
□であることを特徴とする請求項１または２記載の亜鉛
蒸着フィルム。
【請求項４】積層された２種の金属蒸着フィルムを有
する金属化フィルムコンデンサであって、前記金属蒸着
フィルムの少なくとも一方は、プラスチックフィルム
と、前記プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアル
ミニウム核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラ
スチックフィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜
鉛層上に蒸着された酸化珪素層とを具備することを特徴
とする金属化フィルムコンデンサ。
【請求項５】前記金属蒸着フィルムの少なくとも一方
には、前記金属蒸着フィルムの幅方向に延びるマージン
が形成されていることを特徴とする請求項４記載の金属
化フィルムコンデンサ。