JP2022029479A - フィルムコンデンサ用フィルム - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 80
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 64
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 58
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 16
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229920000134 Metallised film Polymers 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 4
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 3
- 230000005068 transpiration Effects 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010696 ester oil Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
【課題】少ない工程数で得られ品質の高いフィルムコンデンサ用のアルミ蒸着フィルムを製造する方法を提供する。【解決手段】フィルム11-アルミ薄膜層12-パターニングオイル由来の酸化抑制層14の三層を有するフィルムコンデンサ用フィルムは、真空蒸着装置の同一の真空槽内で、パターニングオイルを付着して、所定幅の細線からなるパターン16であって、細線にて囲まれ分割電極13となるべき領域が、隣の分割電極となるべき領域と、細線端部の間隙であるヒューズ部17となるべき箇所にて連結するパターンを形成し、次に、アルミ蒸気を当て、分割電極となるべき領域については蒸着によるアルミ薄膜層12を形成すると共にオイル部分については雰囲気温度ないし輻射熱により蒸散させてフィルム11を表出させ、更に、蒸散したオイルの一部がアルミ薄膜表層に再付着するようにしてアルミの酸化抑制層14を形成することにより得られる、。【選択図】図1
Description
本発明は、アフターオイルを別途塗布せずにアルミ表層に酸化抑制層が形成されるフィルムコンデンサ用フィルムに関する。
従来、OPP(2軸延伸ポリプロピレン)フィルムにアルミニウムを蒸着した金属化フィルム、すなわちフィルムコンデンサ用フィルムが知られている。このフィルムは二枚重ねて巻き上げ、大容量のフィルムコンデンサが製造される。
一例としては、OPPフィルムに80Å程度の厚みのアルミを全面に蒸着しつつ細線様の所定パターンの非蒸着部を残存ないし露出させ、亜鉛をヘビーエッジとしてフィルム片端のみに形成したものが知られている。
パターンを設けるのは、ある箇所がショートしても、当該箇所を含む、パターンによって囲まれた島部分が、隣の島から回路的に切り離されるからである。パターン間の狭小のアルミ層部分が破断することで、容量低下の漸減化が可能となり、その結果、コンデンサは耐圧性に優れ製品寿命が長くなる。
一例としては、OPPフィルムに80Å程度の厚みのアルミを全面に蒸着しつつ細線様の所定パターンの非蒸着部を残存ないし露出させ、亜鉛をヘビーエッジとしてフィルム片端のみに形成したものが知られている。
パターンを設けるのは、ある箇所がショートしても、当該箇所を含む、パターンによって囲まれた島部分が、隣の島から回路的に切り離されるからである。パターン間の狭小のアルミ層部分が破断することで、容量低下の漸減化が可能となり、その結果、コンデンサは耐圧性に優れ製品寿命が長くなる。
ここで、アルミ層が薄いと蒸着過程においてもフィルムコンデンサ製造過程においても取扱性に優れ好適であるが、一方において酸化されやすくなり、容量変化や絶縁破壊の要因にもなり得る。そのため、アルミニウムを蒸着後、別の金属を更に蒸着したり、シリコンオイル等のアフターオイルを別途塗布したりして酸化防止被膜を形成することもおこなわれる。
しかしながら、フィルムコンデンサ用フィルムは、真空チェンバ(真空槽)内でロール状の帯状フィルムを繰出しクーリングローラに巻き付けてから巻取り、この間に、パターニングオイルの転写と金属蒸着をおこなう。
ここで更に別の金属蒸着をおこない、アフターオイルの吹き付けをおこなうなどしようとすると、チェンバの設計上の制約によりそもそも組み込むことができない場合があるという問題点があった。また、工程数が多くなると、制御が複雑となり、製品品質にも影響が出やすいという問題点があった。
換言すれば、一般的なすなわち汎用の真空蒸着装置を用いて、工程数少なく品質の高いフィルムコンデンサ用フィルムを製造したいという潜在的な要請があった。
ここで更に別の金属蒸着をおこない、アフターオイルの吹き付けをおこなうなどしようとすると、チェンバの設計上の制約によりそもそも組み込むことができない場合があるという問題点があった。また、工程数が多くなると、制御が複雑となり、製品品質にも影響が出やすいという問題点があった。
換言すれば、一般的なすなわち汎用の真空蒸着装置を用いて、工程数少なく品質の高いフィルムコンデンサ用フィルムを製造したいという潜在的な要請があった。
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、汎用の真空蒸着装置を用いて、工程数少なく品質の高いフィルムコンデンサ用のアルミ蒸着フィルムを製造することを目的とする。
請求項1に記載のフィルムコンデンサ用フィルムは、真空槽内にてクーリングローラに所定の中心角にわたって当接し、所定速度にて送られる、一方向に長い帯状の高分子フィルムに対し、当接域内にて、はじめに、パターニングオイルを付着して、所定幅の細線からなるパターンであって、細線にて囲まれ分割電極となるべき領域が、隣の分割電極となるべき領域と、細線端部の間隙であるヒューズ部となるべき箇所にて連結するパターンを形成し、次に、アルミ蒸気を当て、分割電極となるべき領域については蒸着によるアルミ薄膜層を形成すると共にオイル部分については雰囲気温度ないし輻射熱により蒸散させてフィルムを表出させ、更に、蒸散したオイルの一部がアルミ薄膜表層に再付着するようにしてアルミの酸化抑制層を形成し、フィルム-アルミ薄膜層-パターニングオイル由来の酸化抑制層の三層を有することを特徴とする。
すなわち、請求項1にかかる発明は、パターニングオイルを利用して簡便に酸化抑制層を形成する。
真空槽や、軸を水平に配した円柱状のクーリングローラ、また、請求項には規定していないが、クーリングローラの軸長程度の長手の蒸着用のるつぼないし容器、その加熱手段、オイル吹き付けないし転写ローラ、脱気部等は、フィルムコンデンサ用のフィルムを製造する一般的な装置(金属化フィルム製造装置)と同様の構成を採用できる。
高分子フィルムの例としては、幅200~700mm、長さ150m~750m、厚み1.0μm~6.5μm、素材はPPS、PVDF、PP、PENの例を挙げることができる。
パターニングオイルとしては、エステル系オイル、グリコール系オイル、フッ素系オイルを用いることができる。
分割電極となるべき領域と細線端部の間隙であるヒューズ部とは、簡単に言えば、細線にて(通常)周期的な形状のエリアが区切られ、一部細線が途切れて隣のエリアと連通している関係をいう。このエリアが分割電極となり、途切れた部分が絶縁破壊を回避するためのヒューズ部である。エリアは大抵同形で連続した四角形や菱形である。
なお、アルミ(Al)厚は、フィルムコンデンサの要求物性にもよるが、50Å~100Åの例を挙げることができる。
雰囲気温度ないし輻射熱の量も、アルミの蒸散量、クーリングローラの表面温度、るつぼの温度やアルミの加熱温度、アルミの蒸散位置とクーリングローラ表面との距離、拡散角度(拡散広さ)、等に依存するが、少なくとも、パターン部分のパターニングオイルが蒸散する環境雰囲気とする。
また、パターニングオイルは、パターンが刻まれた円筒ローラをフィルムを挟んでクーリングローラに当接させ、転写するようにしてもよいし、長手のオイル貯留槽を加熱してスリットを経て吹き付けるようにしてもよい。フィルムへのオイル付着量も製造条件に依存するが、少なくとも、アルミ表層に再付着する量とする。目安としては、オイル量は、アルミ薄膜層の体積に対して、0.05%~10%であるが、両者とも厚みが薄くおおよそ同程度の薄さであるので面積換算とすることもでき、アルミ面積の0.1%~5%程度のパターン細線面積としてもよい。
なお、フィルムは、三層を有すれば、追加の金属層等が形成されたものであることを妨げない。
高分子フィルムの例としては、幅200~700mm、長さ150m~750m、厚み1.0μm~6.5μm、素材はPPS、PVDF、PP、PENの例を挙げることができる。
パターニングオイルとしては、エステル系オイル、グリコール系オイル、フッ素系オイルを用いることができる。
分割電極となるべき領域と細線端部の間隙であるヒューズ部とは、簡単に言えば、細線にて(通常)周期的な形状のエリアが区切られ、一部細線が途切れて隣のエリアと連通している関係をいう。このエリアが分割電極となり、途切れた部分が絶縁破壊を回避するためのヒューズ部である。エリアは大抵同形で連続した四角形や菱形である。
なお、アルミ(Al)厚は、フィルムコンデンサの要求物性にもよるが、50Å~100Åの例を挙げることができる。
雰囲気温度ないし輻射熱の量も、アルミの蒸散量、クーリングローラの表面温度、るつぼの温度やアルミの加熱温度、アルミの蒸散位置とクーリングローラ表面との距離、拡散角度(拡散広さ)、等に依存するが、少なくとも、パターン部分のパターニングオイルが蒸散する環境雰囲気とする。
また、パターニングオイルは、パターンが刻まれた円筒ローラをフィルムを挟んでクーリングローラに当接させ、転写するようにしてもよいし、長手のオイル貯留槽を加熱してスリットを経て吹き付けるようにしてもよい。フィルムへのオイル付着量も製造条件に依存するが、少なくとも、アルミ表層に再付着する量とする。目安としては、オイル量は、アルミ薄膜層の体積に対して、0.05%~10%であるが、両者とも厚みが薄くおおよそ同程度の薄さであるので面積換算とすることもでき、アルミ面積の0.1%~5%程度のパターン細線面積としてもよい。
なお、フィルムは、三層を有すれば、追加の金属層等が形成されたものであることを妨げない。
請求項2に記載のフィルムコンデンサ用フィルムは、請求項1に記載のフィルム構造において、細線の幅を0.1mm~0.2mmとし、細線の中途または交差部分に1.0mm2~2.0mm2の四角形、円形、その他の形状が所定密度にて散在しているパターンとしたことを特徴とする。
すなわち、請求項2にかかる発明は、いわゆるオイルだまり(オイル富化部)からの蒸散により、オイル不足を生じさせず、安定的に酸化抑制層が形成される。
パターンで囲まれる領域すなわち島部分(分割電極部分)は、おおよそ面積が4mm2~200mm2である一方、容量の観点から、細線の幅はせいぜい0.2mmである。よって、再付着するオイルが足りなくなる場合も考慮して、適宜オイルだまりを設けるが、面積が1.0mm2未満であると効果が少なく、また、配置場所を多くすると、それぞれの島の容量にばらつきがでやすくなる。一方、面積が2.0mm2を超えると、アルミ蒸気や輻射熱が十分とならない場合が生じ、このオイルだまりからのオイルの蒸散が十全でなくなる。
なお、四角形には、正方形、長方形、菱形が含まれ、円形には楕円形も含まれる。
なお、四角形には、正方形、長方形、菱形が含まれ、円形には楕円形も含まれる。
請求項3に記載のフィルムコンデンサ用フィルムの製造方法は、真空槽内にてクーリングローラに所定の中心角にわたって当接し、所定速度にて送られる、一方向に長い帯状の高分子フィルムに対し、当接域内にて、はじめに、パターニングオイルを付着して、所定幅の細線からなるパターンであって、細線にて囲まれ分割電極となるべき領域が、隣の分割電極となるべき領域と、細線端部の間隙であるヒューズ部となるべき箇所にて連結するパターンを形成し、次に、アルミ蒸気を当て、分割電極となるべき領域については蒸着によるアルミ薄膜層を形成すると共にオイル部分については雰囲気温度ないし輻射熱により蒸散させてフィルムを表出させ、更に、蒸散したオイルの一部がアルミ薄膜表層に再付着するようにしてアルミの酸化抑制層を形成し、フィルム-アルミ薄膜層-パターニングオイル由来の酸化抑制層の三層を有することを特徴とする。
すなわち、請求項3にかかる発明は、パターニングオイルを利用して簡便に酸化抑制層を形成する。
なお、請求項3に記載のフィルムコンデンサ用フィルムにおいて、細線の幅を0.1mm~0.2mmとし、細線の中途または交差部分に1.0mm2~2.0mm2の四角形、円形、その他の形状が所定密度にて散在しているパターンとしてもよいことはいうまでもない。
本発明によれば、汎用の真空蒸着装置を用いて、工程数少なく品質の高いフィルムコンデンサ用のアルミ蒸着フィルムを製造することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、フィルムコンデンサ用フィルムを金属化フィルムと適宜称することとする。
図1は、本発明の金属化フィルムの断面模式図(a)および平面模式図(b)である(図1aは図1bのA-A断面である)。なお、図においては、比率や縮尺は説明の便宜上適宜変更して描画している。図2は、金属化フィルムの製造装置の構成例を示した模式図である。図3は、本発明の金属かフィルムの製造方法にかかるフローチャートである。
図1は、本発明の金属化フィルムの断面模式図(a)および平面模式図(b)である(図1aは図1bのA-A断面である)。なお、図においては、比率や縮尺は説明の便宜上適宜変更して描画している。図2は、金属化フィルムの製造装置の構成例を示した模式図である。図3は、本発明の金属かフィルムの製造方法にかかるフローチャートである。
<金属化フィルムの構成>
はじめに、本発明の金属化フィルムの製造方法により製造された金属化フィルムの構造について説明する。この金属化フィルムは、最終的に、二枚互い違いに重ねて端部にメタリコン電極を形成し、捲回してフィルムコンデンサとして使用される(図示略)。
はじめに、本発明の金属化フィルムの製造方法により製造された金属化フィルムの構造について説明する。この金属化フィルムは、最終的に、二枚互い違いに重ねて端部にメタリコン電極を形成し、捲回してフィルムコンデンサとして使用される(図示略)。
金属化フィルム10は、幅50mm、厚み2.5μmの帯状のOPPフィルム11上に、アルミニウムを70Åの厚みに略一面に蒸着したものである(このアルミ薄膜層を以降では、アルミ層12と適宜称することとする)。
但し、帯の長手方向の片端は、アルミ層12の上に幅3mm、厚み350ÅのZnをヘビーエッジHとして形成し、他の片端は幅2.0mmのマージン部15としてOPPフィルム11のままでアルミ層12も形成されていない領域としている。
また、図示したように、マージン部15と同様、OPPフィルム11のまま(蒸着層なし)の幅0.15mmの細線による十字が連なったような形状の周期的なパターン16がフィルム11表面に形成されている。
そして、このパターン16によりアルミ層12は区分けされ、島13を形成する。
また、島13と島13とをつなぐ連結部分(パターン16同士の最小間隔部分)はヒューズ部17を構成し、仮にある島13の1カ所がショートしても、ヒューズ部17が溶けてパターンがつながり、電気的にこの島13が隔離(絶縁)される。これにより、コンデンサの信頼性および寿命が向上することとなる。なお、本実施の形態では、ヒューズ部17の間隔は0.2mmとしている。
そして、このパターン16によりアルミ層12は区分けされ、島13を形成する。
また、島13と島13とをつなぐ連結部分(パターン16同士の最小間隔部分)はヒューズ部17を構成し、仮にある島13の1カ所がショートしても、ヒューズ部17が溶けてパターンがつながり、電気的にこの島13が隔離(絶縁)される。これにより、コンデンサの信頼性および寿命が向上することとなる。なお、本実施の形態では、ヒューズ部17の間隔は0.2mmとしている。
また、金属化フィルム10のアルミ層12の上には更に、極薄の酸化抑制層14が形成されている。これは、後述の製造方法にて形成される、パターニングオイル由来の油膜である。膜厚は、測定が困難であるが、油性ペン等による描線がはじかれてしまう程度であるので、オングストローム(0.1nm)オーダー以上であり、せいぜい十数nmまでであると考えられる。
<金属化フィルムの製造装置および製造工程>
次に、金属化フィルム10の製造装置および製造工程(製造方法)について説明する。なお、ここではヘビーエッジの形成(Znの蒸着)については省略し、パターン16が形成されたAl蒸着フィルムの製造についてのみ説明する。
次に、金属化フィルム10の製造装置および製造工程(製造方法)について説明する。なお、ここではヘビーエッジの形成(Znの蒸着)については省略し、パターン16が形成されたAl蒸着フィルムの製造についてのみ説明する。
金属化フィルム製造装置100において、OPPフィルム11は、捲回された状態で、真空槽101内の送出ローラ113にセットされ、巻取ローラ114にて巻き取られる。両ローラの間には、フィルムを当接させる所定径の回転円筒体であるクーリングローラ110(キャンローラ)と、その周囲にオイル転写部120と、アルミ蒸着部130と、が配されている。なお、図示は省略するが、真空槽101には脱気装置が取り付けられ、蒸着時には所定の真空度まで脱気される。
クーリングローラ110は、直径80cm幅53cmの円筒形であり軸111を水平にして一方向に回転する。また、その表面は5℃程度に保たれ、アルミニウム蒸気の凝集・固化を促進する。
オイル転写部120は、軸111方向に長手であり、円筒形の転写ローラ121とオイル貯留室122とにより構成される。
転写ローラ121は、表面に細線パターンが凸に形成されフィルム11を介してクーリングローラ110に当接し、クーリングローラ110の回転に伴い従動回転する。このとき、オイル貯留室122からのパターニングオイルをフィルム11表面に転写する。なお、付着量は、製造条件に依存するが、アルミ蒸着部130により、アルミ層12に所定量再付着する量となるようにする。
転写ローラ121は、表面に細線パターンが凸に形成されフィルム11を介してクーリングローラ110に当接し、クーリングローラ110の回転に伴い従動回転する。このとき、オイル貯留室122からのパターニングオイルをフィルム11表面に転写する。なお、付着量は、製造条件に依存するが、アルミ蒸着部130により、アルミ層12に所定量再付着する量となるようにする。
アルミ蒸着部130は、オイル転写部120の直近下流にてクーリングローラ110に対峙し、アルミニウム蒸気を放散する。その構成は、軸111方向に長手の加熱槽131が配され、中のアルミニウムインゴットが加熱されクーリングローラ110に向け蒸気が放散される。ここでは、幅47cm、厚み70Åのアルミニウム薄膜が形成される蒸散量としている。
アルミ蒸気の熱、加熱槽131からの輻射熱等、アルミ蒸気があたるフィルム11部分が適正に加熱されるようにすることにより、パターン16部分のパターニングオイルが蒸散しフィルム11部分が再度露出する。このとき、蒸散したオイルの一部がアルミ層12の表層に再付着するようにする。このようにして形成された最上層が酸化抑制層14である。なお、フィルム11部分が露出するといっても、酸化抑制層14程度のオイルが付着している状態も許容されるものとする。
なお、仕様の態様により、アルミ蒸着部130の直近下流に、プラズマ照射部140を設け、パターン16部分のオイルの除去と酸化抑制層14の形成を十全なものとしてもよい。
なお、以上は一例であり、本発明のフィルム構造は他の態様を採用しても良い。たとえば、フィルムは、耐熱性樹脂、PP(ポリプロピレン)のほか、例えば、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)、を用いることもできる。
また、フィルム厚やフィルム幅、ヒューズ回路のパターン(パターニングのパターン)やパターン間隔も適宜要求物性等に合わせて変更してもよい。
また、フィルム厚やフィルム幅、ヒューズ回路のパターン(パターニングのパターン)やパターン間隔も適宜要求物性等に合わせて変更してもよい。
特に、細線の中途や、細線の交差部分に、四角形や円形のオイル富化部18を設けたパターン16としてもよい。これにより、アルミ蒸着の際の酸化抑制層14の形成を均質におこなうことが可能となる(再付着の際のオイル不足を防止できる)。図4は、パターンの他の例である。ここでは、細線の中途または交差部分にオイル富化部18を設けたパターンを例示した。なお、総ての細線中途、総ての交差部分に設ける必要はなく、供給不足、供給過多にならないように散在させればよい。
本発明の金属化フィルムを用いたフィルムコンデンサは、HEVなどの車載用途とすることができる。
10 金属化フィルム
11 OPPフィルム
12 アルミ層
13 島(分割電極)
14 酸化抑制層
15 マージン部
16 パターン
17 ヒューズ部
18 オイル富化部
100 金属化フィルム製造装置
101 真空槽
110 クーリングローラ
111 軸
113 送出ローラ
114 巻取ローラ
120 オイル転写部
121 転写ローラ
122 オイル貯留室
130 アルミ蒸着部
131 加熱槽
140 プラズマ照射部
11 OPPフィルム
12 アルミ層
13 島(分割電極)
14 酸化抑制層
15 マージン部
16 パターン
17 ヒューズ部
18 オイル富化部
100 金属化フィルム製造装置
101 真空槽
110 クーリングローラ
111 軸
113 送出ローラ
114 巻取ローラ
120 オイル転写部
121 転写ローラ
122 オイル貯留室
130 アルミ蒸着部
131 加熱槽
140 プラズマ照射部
Claims (3)
- 真空槽内にてクーリングローラに所定の中心角にわたって当接し、所定速度にて送られる、一方向に長い帯状の高分子フィルムに対し、
当接域内にて、
はじめに、パターニングオイルを付着して、所定幅の細線からなるパターンであって、細線にて囲まれ分割電極となるべき領域が、隣の分割電極となるべき領域と、細線端部の間隙であるヒューズ部となるべき箇所にて連結するパターンを形成し、
次に、アルミ蒸気を当て、分割電極となるべき領域については蒸着によるアルミ薄膜層を形成すると共にオイル部分については雰囲気温度ないし輻射熱により蒸散させてフィルムを表出させ、更に、蒸散したオイルの一部がアルミ薄膜表層に再付着するようにしてアルミの酸化抑制層を形成し、
フィルム-アルミ薄膜層-パターニングオイル由来の酸化抑制層の三層を有することを特徴とするフィルムコンデンサ用フィルム。 - 細線の幅を0.1mm~0.2mmとし、細線の中途または交差部分に1.0mm2~2.0mm2の四角形、円形、その他の形状が所定密度にて散在しているパターンとしたことを特徴とする請求項1に記載のフィルムコンデンサ用フィルム。
- 真空槽内にてクーリングローラに所定の中心角にわたって当接し、所定速度にて送られる、一方向に長い帯状の高分子フィルムに対し、
当接域内にて、
はじめに、パターニングオイルを付着して、所定幅の細線からなるパターンであって、細線にて囲まれ分割電極となるべき領域が、隣の分割電極となるべき領域と、細線端部の間隙であるヒューズ部となるべき箇所にて連結するパターンを形成し、
次に、アルミ蒸気を当て、分割電極となるべき領域については蒸着によるアルミ薄膜層を形成すると共にオイル部分については雰囲気温度ないし輻射熱により蒸散させてフィルムを表出させ、更に、蒸散したオイルの一部がアルミ薄膜表層に再付着するようにしてアルミの酸化抑制層を形成し、
フィルム-アルミ薄膜層-パターニングオイル由来の酸化抑制層の三層を有することを特徴とするフィルムコンデンサ用フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020132746A JP2022029479A (ja) | 2020-08-05 | 2020-08-05 | フィルムコンデンサ用フィルム |
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Family Applications (1)
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-
2020
- 2020-08-05 JP JP2020132746A patent/JP2022029479A/ja active Pending
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