JP3447307B2 - フィルムコンデンサおよびその製造用フィルム - Google Patents
フィルムコンデンサおよびその製造用フィルムInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属薄膜としてアルミ
ニウムまたはその合金を用いた金属化プラスチックフィ
ルムコンデンサおよびその製造用フィルムに係わり、特
に、金属薄膜のコロージョン（斑点状腐食）を防ぐため
の改良に関する。
ニウムまたはその合金を用いた金属化プラスチックフィ
ルムコンデンサおよびその製造用フィルムに係わり、特
に、金属薄膜のコロージョン（斑点状腐食）を防ぐため
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の金属化プラスチックフィルムコ
ンデンサは、一般に次のような工程を経て製造されてい
る。まず、図３（フィルムの幅方向断面図）に示すよう
に、一定幅で長尺の誘電体フィルム基材４の上面に、そ
の一方の側縁に沿う一定幅のマージン用の非蒸着部４Ａ
を除いてアルミニウム，亜鉛，あるいはこれらの合金か
らなる金属薄膜３を形成し、第１のコンデンサ製造用フ
ィルム１とする。
ンデンサは、一般に次のような工程を経て製造されてい
る。まず、図３（フィルムの幅方向断面図）に示すよう
に、一定幅で長尺の誘電体フィルム基材４の上面に、そ
の一方の側縁に沿う一定幅のマージン用の非蒸着部４Ａ
を除いてアルミニウム，亜鉛，あるいはこれらの合金か
らなる金属薄膜３を形成し、第１のコンデンサ製造用フ
ィルム１とする。
【０００３】次に、前記フィルム１と同様に、誘電体フ
ィルム基材６の上面にマージン用非蒸着部６Ａを除いて
金属薄膜５を形成してなる第２のコンデンサ製造用フィ
ルム２を、各マージン用非蒸着部４Ａ，６Ａが互いに反
対側に位置し、かつ非蒸着部４Ａ，６Ａは他方のフィル
ムの端縁より内方に位置するように、第１のコンデンサ
製造用フィルム１と重ね合わせる。
ィルム基材６の上面にマージン用非蒸着部６Ａを除いて
金属薄膜５を形成してなる第２のコンデンサ製造用フィ
ルム２を、各マージン用非蒸着部４Ａ，６Ａが互いに反
対側に位置し、かつ非蒸着部４Ａ，６Ａは他方のフィル
ムの端縁より内方に位置するように、第１のコンデンサ
製造用フィルム１と重ね合わせる。
【０００４】さらに、この積層フィルム（１＋２）を円
柱状に巻回した後、図４に示すようにこの巻回体７の両
端に亜鉛，ハンダ等の電極８を熔射法等により形成し、
各電極８にリード線９をそれぞれ接続したうえ、全体を
外装１０で覆うことにより完成品としている。
柱状に巻回した後、図４に示すようにこの巻回体７の両
端に亜鉛，ハンダ等の電極８を熔射法等により形成し、
各電極８にリード線９をそれぞれ接続したうえ、全体を
外装１０で覆うことにより完成品としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、金属薄膜
３，５をアルミニウムまたはその合金で形成した場合、
亜鉛を使用した場合に比して耐食性に優れ、膜厚を亜鉛
の場合の約５０〜７０％に薄くできるために自己回復性
に優れるという利点を有している。自己回復性とは、フ
ィルム基材４，６の弱点部で電圧破壊が生じて各金属薄
膜３，５が短絡した場合に、その短絡電流によって破壊
部周辺の金属薄膜３，５が蒸発し、コンデンサの機能を
維持する作用のことである。
３，５をアルミニウムまたはその合金で形成した場合、
亜鉛を使用した場合に比して耐食性に優れ、膜厚を亜鉛
の場合の約５０〜７０％に薄くできるために自己回復性
に優れるという利点を有している。自己回復性とは、フ
ィルム基材４，６の弱点部で電圧破壊が生じて各金属薄
膜３，５が短絡した場合に、その短絡電流によって破壊
部周辺の金属薄膜３，５が蒸発し、コンデンサの機能を
維持する作用のことである。
【０００６】しかし、その反面、アルミニウムを使用し
た場合には、金属薄膜３，５間で微弱なコロナ放電が生
じ易く、このコロナ放電によりコロージョンと呼ばれる
斑点状の腐食（Ａｌ2Ｏ3を主組成物とする）が各金属被
膜３，５に発生し、金属被膜３，５の有効面積が、自己
回復性によって失われる以上の速度で減少し、コンデン
サ容量の経時減少率が大きいという欠点があった。
た場合には、金属薄膜３，５間で微弱なコロナ放電が生
じ易く、このコロナ放電によりコロージョンと呼ばれる
斑点状の腐食（Ａｌ2Ｏ3を主組成物とする）が各金属被
膜３，５に発生し、金属被膜３，５の有効面積が、自己
回復性によって失われる以上の速度で減少し、コンデン
サ容量の経時減少率が大きいという欠点があった。
【０００７】そこで本発明者らは、各種材料によって金
属薄膜３，５を被覆することにより、コロージョンを防
止する実験を試み、その結果、金属薄膜上にＳｉ，Ｔ
ｉ，Ｚｒ等の酸化物を蒸着すると、金属薄膜の耐電圧性
が向上してコロナ放電の頻度を減らせるうえ、金属薄膜
の耐食性が向上できることを見いだした。
属薄膜３，５を被覆することにより、コロージョンを防
止する実験を試み、その結果、金属薄膜上にＳｉ，Ｔ
ｉ，Ｚｒ等の酸化物を蒸着すると、金属薄膜の耐電圧性
が向上してコロナ放電の頻度を減らせるうえ、金属薄膜
の耐食性が向上できることを見いだした。
【０００８】さらに、セラミックス保護被膜の厚さを種
々変化させて耐電圧性および耐食性を評価したところ、
保護被膜が緻密な膜にならず多孔膜になると考えられる
０．３ｍｇ／ｍ2（質量膜厚１．５オングストローム程
度）にまで薄くした場合にも、耐電圧性および耐食性向
上効果が得られるという新規な現象を発見した。
々変化させて耐電圧性および耐食性を評価したところ、
保護被膜が緻密な膜にならず多孔膜になると考えられる
０．３ｍｇ／ｍ2（質量膜厚１．５オングストローム程
度）にまで薄くした場合にも、耐電圧性および耐食性向
上効果が得られるという新規な現象を発見した。
【０００９】Ａｌ薄膜でコロナ放電が多く発生するの
は、Ａｌ薄膜の表面の結合エネルギーの大きな箇所（キ
ンク，ステップ等）が酸素と結合することによってＡｌ
酸化物が生長し、広範囲に亙って比抵抗の高いＡｌ酸化
物が生じると、その部分に電圧ストレスが集中するため
だと考えられる。
は、Ａｌ薄膜の表面の結合エネルギーの大きな箇所（キ
ンク，ステップ等）が酸素と結合することによってＡｌ
酸化物が生長し、広範囲に亙って比抵抗の高いＡｌ酸化
物が生じると、その部分に電圧ストレスが集中するため
だと考えられる。
【００１０】本発明者らの検討によると、Ａｌ薄膜の表
面の結合エネルギーの大きな箇所にＡｌ酸化物以外のセ
ラミックス酸化物を結合させることによって、Ａｌ酸化
物の生成、生長を防止することが可能であり、保護被膜
が緻密な膜にならず多孔膜になっても、耐電圧性および
耐食性を向上する効果が得られるものと推定される。
面の結合エネルギーの大きな箇所にＡｌ酸化物以外のセ
ラミックス酸化物を結合させることによって、Ａｌ酸化
物の生成、生長を防止することが可能であり、保護被膜
が緻密な膜にならず多孔膜になっても、耐電圧性および
耐食性を向上する効果が得られるものと推定される。
【００１１】これに対し、一般にＳｉＯ薄膜等で金属表
面の耐食性を高める場合には、ＳｉＯ薄膜の厚さを１０
００オングストローム程度以上としなければ耐食性向上
効果が得られないことが周知である。また、本出願人は
先に、特願昭６２−３１６５１３号において、亜鉛蒸着
フィルム上にＳｉＯ薄膜を形成し、亜鉛薄膜の耐食性を
高める構成を提案したが、亜鉛の場合、コロージョンは
生じないうえ、上記のように薄い多孔質のＳｉＯ薄膜で
は耐食性向上効果が得られないことが判明している。
面の耐食性を高める場合には、ＳｉＯ薄膜の厚さを１０
００オングストローム程度以上としなければ耐食性向上
効果が得られないことが周知である。また、本出願人は
先に、特願昭６２−３１６５１３号において、亜鉛蒸着
フィルム上にＳｉＯ薄膜を形成し、亜鉛薄膜の耐食性を
高める構成を提案したが、亜鉛の場合、コロージョンは
生じないうえ、上記のように薄い多孔質のＳｉＯ薄膜で
は耐食性向上効果が得られないことが判明している。
【００１２】本発明は、上記知見に基づいてなされたも
ので、コロージョンの発生を極力防いで、コロージョン
に起因するコンデンサ容量の減少が防止できるフィルム
コンデンサおよびその製造用フィルムを提供することを
課題としている。
ので、コロージョンの発生を極力防いで、コロージョン
に起因するコンデンサ容量の減少が防止できるフィルム
コンデンサおよびその製造用フィルムを提供することを
課題としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】以下、本発明の構成を具
体的に説明する。本発明のコンデンサ製造用フィルム
は、プラスチック製フィルム基材の上面に、少なくとも
その表層がアルミニウムまたはアルミニウム合金からな
る金属薄膜を形成し、さらにこの金属薄膜上にＳｉ，Ｔ
ｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジウム錫酸化物から選択され
る１種または２種以上の物質の酸化物を０．１〜１０ｍ
ｇ／ｍ2、より好ましくは０．３〜３ｍｇ／ｍ2蒸着した
ことを特徴としている。
体的に説明する。本発明のコンデンサ製造用フィルム
は、プラスチック製フィルム基材の上面に、少なくとも
その表層がアルミニウムまたはアルミニウム合金からな
る金属薄膜を形成し、さらにこの金属薄膜上にＳｉ，Ｔ
ｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジウム錫酸化物から選択され
る１種または２種以上の物質の酸化物を０．１〜１０ｍ
ｇ／ｍ2、より好ましくは０．３〜３ｍｇ／ｍ2蒸着した
ことを特徴としている。
【００１４】また、本発明のフィルムコンデンサは、上
記コンデンサ製造用フィルムを、前記金属薄膜とフィル
ム基材とが交互に重なるように２枚重ねて巻回してなる
巻回体と、前記各金属薄膜にそれぞれ接続された一対の
電極と、巻回体および電極を封止する外装とを具備する
ことを特徴としたものである。
記コンデンサ製造用フィルムを、前記金属薄膜とフィル
ム基材とが交互に重なるように２枚重ねて巻回してなる
巻回体と、前記各金属薄膜にそれぞれ接続された一対の
電極と、巻回体および電極を封止する外装とを具備する
ことを特徴としたものである。
【００１５】前記フィルム基材としては、従来同じ目的
に使用されていたいかなる物質も使用可能であり、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリ
プロピレン、ポリカーボネート、ポリ４フッ化エチレ
ン、ポリエチレン等が好適である。フィルム基材の厚さ
や幅は必要に応じて任意に設定される。
に使用されていたいかなる物質も使用可能であり、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリ
プロピレン、ポリカーボネート、ポリ４フッ化エチレ
ン、ポリエチレン等が好適である。フィルム基材の厚さ
や幅は必要に応じて任意に設定される。
【００１６】金属薄膜は真空蒸着法等により蒸着された
もので、その厚さは限定されないが、好ましくは５０〜
５００オングストローム程度とされる。この範囲であれ
ば、自己回復性が良好である。純アルミニウム以外に金
属薄膜として用い得るアルミニウム合金としては、Ａｌ
−Ｚｎ系合金，Ａｌ−Ｔｉ系合金などが挙げられる。
もので、その厚さは限定されないが、好ましくは５０〜
５００オングストローム程度とされる。この範囲であれ
ば、自己回復性が良好である。純アルミニウム以外に金
属薄膜として用い得るアルミニウム合金としては、Ａｌ
−Ｚｎ系合金，Ａｌ−Ｔｉ系合金などが挙げられる。
【００１７】セラミックス蒸着量が０．１ｍｇ／ｍ2未
満であると、酸化物が金属薄膜の表面の不完全箇所（キ
ンク，ステップ等）へ十分に付着せず、不完全箇所の耐
電圧性および耐食性を十分に高められない。また、セラ
ミックス蒸着量が１０ｍｇ／ｍ2より厚いと、蒸着フィ
ルムが熱変形するおそれが生じるだけでなく、製造コス
トが向上する。セラミックスとして、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）から選択
される１種または２種以上の物質の酸化物を使用する
と、特に本発明の効果が良好であることが本発明者らに
よって確かめられている。
満であると、酸化物が金属薄膜の表面の不完全箇所（キ
ンク，ステップ等）へ十分に付着せず、不完全箇所の耐
電圧性および耐食性を十分に高められない。また、セラ
ミックス蒸着量が１０ｍｇ／ｍ2より厚いと、蒸着フィ
ルムが熱変形するおそれが生じるだけでなく、製造コス
トが向上する。セラミックスとして、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）から選択
される１種または２種以上の物質の酸化物を使用する
と、特に本発明の効果が良好であることが本発明者らに
よって確かめられている。
【００１８】本発明のコンデンサ製造用フィルムは、例
えば図１に示すような装置で製造可能である。図中符号
１１は、幅広で長い帯状の誘電体フィルム基材Ｆ１を巻
回保持したアンコイラ、１２は蒸着ドラム、１３は蒸着
後のフィルムＦ２を巻き取るリコイラであり、さらに蒸
着ドラム１２に向けて、核付け用蒸着器１４、マスキン
グ用オイル吹付器１５、アルミニウム蒸着器１６、セラ
ミックス蒸着器１７がアンコイラ１１側から順に配置さ
れ、以上全てが真空容器（図示略）内に収容されてい
る。
えば図１に示すような装置で製造可能である。図中符号
１１は、幅広で長い帯状の誘電体フィルム基材Ｆ１を巻
回保持したアンコイラ、１２は蒸着ドラム、１３は蒸着
後のフィルムＦ２を巻き取るリコイラであり、さらに蒸
着ドラム１２に向けて、核付け用蒸着器１４、マスキン
グ用オイル吹付器１５、アルミニウム蒸着器１６、セラ
ミックス蒸着器１７がアンコイラ１１側から順に配置さ
れ、以上全てが真空容器（図示略）内に収容されてい
る。
【００１９】この装置でコンデンサ製造用フィルムを製
造するには、まず、アンコイラ１１から蒸着ドラム１２
を経てリコイラ１３へとフィルム基材Ｆ１を走行させつ
つ、核付け用蒸着器１４により錫，銀，銅等の金属を蒸
着する。こうして蒸着した金属は、後のアルミニウム蒸
着のための核となり、アルミニウム薄膜の形成を促進す
る。
造するには、まず、アンコイラ１１から蒸着ドラム１２
を経てリコイラ１３へとフィルム基材Ｆ１を走行させつ
つ、核付け用蒸着器１４により錫，銀，銅等の金属を蒸
着する。こうして蒸着した金属は、後のアルミニウム蒸
着のための核となり、アルミニウム薄膜の形成を促進す
る。
【００２０】次いで、オイル吹付器１５により、フィル
ム基材Ｆ１上に幅方向等間隔を空けて線状にオイルを吹
き付けるとともに、アルミニウム蒸着器１６によりアル
ミニウム薄膜をフィルム基材Ｆ１に蒸着する。すると、
オイル付着部分にはアルミニウムが付着せず、帯状の非
蒸着部分が形成される。さらに、セラミックス蒸着器１
７によりセラミックス酸化物をアルミニウム薄膜上に蒸
着し、これをリコイラ１３で巻き取って製品とする。な
お、この時、酸化物系セラミックスを蒸着材料として使
用する代わりに、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジ
ウム＋錫そのものを蒸着材料としてもよい。本発明の場
合、蒸着膜が極めて薄いため、蒸着の過程でこれらは酸
化物に変化する。
ム基材Ｆ１上に幅方向等間隔を空けて線状にオイルを吹
き付けるとともに、アルミニウム蒸着器１６によりアル
ミニウム薄膜をフィルム基材Ｆ１に蒸着する。すると、
オイル付着部分にはアルミニウムが付着せず、帯状の非
蒸着部分が形成される。さらに、セラミックス蒸着器１
７によりセラミックス酸化物をアルミニウム薄膜上に蒸
着し、これをリコイラ１３で巻き取って製品とする。な
お、この時、酸化物系セラミックスを蒸着材料として使
用する代わりに、Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，インジ
ウム＋錫そのものを蒸着材料としてもよい。本発明の場
合、蒸着膜が極めて薄いため、蒸着の過程でこれらは酸
化物に変化する。
【００２１】上記の製造方法によれば、セラミックス被
膜の蒸着を、金属薄膜の蒸着と並行して行うことができ
るため、コンデンサ製造用フィルムの生産性を低下させ
ることがなく、コストが安いという利点がある。
膜の蒸着を、金属薄膜の蒸着と並行して行うことができ
るため、コンデンサ製造用フィルムの生産性を低下させ
ることがなく、コストが安いという利点がある。
【００２２】得られたコンデンサ製造用フィルムには、
図２に示すように一定間隔毎に非蒸着部１８が形成され
ているから、使用時には図中矢印Ｃに沿って裁断し、こ
れらを図３に示すように２枚積層して巻回する。さら
に、図４に示すようにこの巻回体７の両端に、亜鉛やハ
ンダ等からなる電極８を熔射法等により形成し、各電極
８にリード線９をそれぞれ接続したうえ、全体を外装１
０で覆うことにより完成品とする。なお、コンデンサの
形状は図４のような円柱状とは限らず、従来から採用さ
れているいかなる製品形状としてもよい。
図２に示すように一定間隔毎に非蒸着部１８が形成され
ているから、使用時には図中矢印Ｃに沿って裁断し、こ
れらを図３に示すように２枚積層して巻回する。さら
に、図４に示すようにこの巻回体７の両端に、亜鉛やハ
ンダ等からなる電極８を熔射法等により形成し、各電極
８にリード線９をそれぞれ接続したうえ、全体を外装１
０で覆うことにより完成品とする。なお、コンデンサの
形状は図４のような円柱状とは限らず、従来から採用さ
れているいかなる製品形状としてもよい。
【００２３】
【実施例】次に、実施例を挙げて本発明の効果を実証す
る。図１に示した蒸着機を使用し、真空度１×１０-4To
rrにおいて、厚さ３．７μｍのポリエステルフィルム
に、マージン用非蒸着部を残して約３００オングストロ
ームの厚さでアルミニウム薄膜を蒸着形成した後、その
上にＳｉＯを約０．３ｍｇ／ｍ2の厚さに蒸着した。
る。図１に示した蒸着機を使用し、真空度１×１０-4To
rrにおいて、厚さ３．７μｍのポリエステルフィルム
に、マージン用非蒸着部を残して約３００オングストロ
ームの厚さでアルミニウム薄膜を蒸着形成した後、その
上にＳｉＯを約０．３ｍｇ／ｍ2の厚さに蒸着した。
【００２４】得られたコンデンサ製造用フィルムを図２
のように平行裁断し、幅８．５×長さ１３．５ｍのフィ
ルムとしたうえ、これらフィルムを２枚づつ重ねて巻回
し、図４に示す構造のフィルムコンデンサを実施例とし
て作成した。ただし、外装１０は形成しない。また、比
較例として、ＳｉＯを蒸着しない点のみが異なるフィル
ムコンデンサを同様に作成した。
のように平行裁断し、幅８．５×長さ１３．５ｍのフィ
ルムとしたうえ、これらフィルムを２枚づつ重ねて巻回
し、図４に示す構造のフィルムコンデンサを実施例とし
て作成した。ただし、外装１０は形成しない。また、比
較例として、ＳｉＯを蒸着しない点のみが異なるフィル
ムコンデンサを同様に作成した。
【００２５】実施例および比較例のフィルムコンデンサ
各１０個づつについて、以下の実験条件で耐用試験を行
い、コンデンサ容量の経時変化を調べた。 実験条件： 試験温度・湿度：７０℃ ８０％ＲＨ 加速実験（Ｃ＝０．５μＦ） その結果を表１に示す。
各１０個づつについて、以下の実験条件で耐用試験を行
い、コンデンサ容量の経時変化を調べた。 実験条件： 試験温度・湿度：７０℃ ８０％ＲＨ 加速実験（Ｃ＝０．５μＦ） その結果を表１に示す。
【００２６】
【表１】
【００２７】上表に示すように、実施例のコンデンサで
は容量変化が殆ど生じなかったのに対し、比較例のコン
デンサは８％近く容量が減少した。試験完了後に各コン
デンサを分解したところ、比較例の金属薄膜はその５〜
１５％がコロージョン化していたのに対し、実施例の金
属薄膜は全くコロージョン化していなかった。
は容量変化が殆ど生じなかったのに対し、比較例のコン
デンサは８％近く容量が減少した。試験完了後に各コン
デンサを分解したところ、比較例の金属薄膜はその５〜
１５％がコロージョン化していたのに対し、実施例の金
属薄膜は全くコロージョン化していなかった。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わるフ
ィルムコンデンサおよびその製造用フィルムは、長尺の
プラスチック製フィルム基材の上面に、アルミニウムま
たはアルミニウム合金からなる金属薄膜を設け、この金
属薄膜上にＳｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，ＩＴＯから選
択される１種または２種以上の物質の酸化物を０．１〜
１０ｍｇ／ｍ2蒸着しているから、セラミックス酸化物
が金属薄膜の表面の原子配列の不完全箇所（キンク，ス
テップ等）に集中的に付着し、不完全箇所の耐電圧性お
よび耐食性を局部的に向上する。したがって、金属薄膜
間でコロナ放電が生じにくくなり、コロージョンの発生
率を低減し、コンデンサ寿命を延長することが可能であ
る。さらに、コロージョンが発生しにくい分、金属薄膜
を薄くすることができるから、従来品より自己回復性を
高めることも可能である。
ィルムコンデンサおよびその製造用フィルムは、長尺の
プラスチック製フィルム基材の上面に、アルミニウムま
たはアルミニウム合金からなる金属薄膜を設け、この金
属薄膜上にＳｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｙ，ＩＴＯから選
択される１種または２種以上の物質の酸化物を０．１〜
１０ｍｇ／ｍ2蒸着しているから、セラミックス酸化物
が金属薄膜の表面の原子配列の不完全箇所（キンク，ス
テップ等）に集中的に付着し、不完全箇所の耐電圧性お
よび耐食性を局部的に向上する。したがって、金属薄膜
間でコロナ放電が生じにくくなり、コロージョンの発生
率を低減し、コンデンサ寿命を延長することが可能であ
る。さらに、コロージョンが発生しにくい分、金属薄膜
を薄くすることができるから、従来品より自己回復性を
高めることも可能である。
【図１】本発明に係わるコンデンサ製造用フィルムを製
造するための装置の一例を示す説明図である。
造するための装置の一例を示す説明図である。
【図２】本発明のコンデンサ製造用フィルムの一例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】従来のコンデンサ製造用フィルムの断面拡大図
である。
である。
【図４】従来のフィルムコンデンサの説明図である。
Ｆ１ フィルム基材
Ｆ２ コンデンサ製造用フィルム
１１ アンコイラ
１２ 蒸着ドラム
１３ リコイラ
１４ 核付け用蒸着器
１５ マスキング用オイル吹付器
１６ アルミニウム蒸着器
１７ セラミックス酸化物蒸着器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭62−277712（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−158714（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】プラスチック製のフィルム基材の表面に、
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる金属薄膜
を設け、この金属薄膜上にＳｉ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｓｎ，
Ｙ，インジウム錫酸化物から選択される１種または２種
以上の物質の酸化物を０．１〜１０ｍｇ／ｍ2蒸着した
ことを特徴とするコンデンサ製造用フィルム。 - 【請求項２】請求項１記載のコンデンサ製造用フィルム
を、前記金属薄膜と前記フィルム基材とが交互に配置さ
れるように２枚重ねて巻回してなる巻回体と、前記各金
属薄膜にそれぞれ接続された一対の電極と、前記巻回体
および前記電極を被覆する外装とを具備したことを特徴
とするフィルムコンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10696892A JP3447307B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | フィルムコンデンサおよびその製造用フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10696892A JP3447307B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | フィルムコンデンサおよびその製造用フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112089A JPH06112089A (ja) | 1994-04-22 |
| JP3447307B2 true JP3447307B2 (ja) | 2003-09-16 |
Family
ID=14447119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10696892A Expired - Lifetime JP3447307B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | フィルムコンデンサおよびその製造用フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3447307B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP10696892A patent/JP3447307B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06112089A (ja) | 1994-04-22 |
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