JPS60231314A - コンデンサ - Google Patents
コンデンサInfo
- Publication number
- JPS60231314A JPS60231314A JP8649284A JP8649284A JPS60231314A JP S60231314 A JPS60231314 A JP S60231314A JP 8649284 A JP8649284 A JP 8649284A JP 8649284 A JP8649284 A JP 8649284A JP S60231314 A JPS60231314 A JP S60231314A
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- Japan
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- capacitor
- electrode
- improved
- present
- dielectric
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子機器用、電力用等に用いられるコンデンサ
に関するものである。
に関するものである。
従来例の構成とその問題点
電子産業の発展と共に、単位体積、単位重量当りの機能
は著しく向上してきている。これを支えるもののひとつ
に電子部品の小型化、信頼性向上に関する技術改良が挙
げられる。
は著しく向上してきている。これを支えるもののひとつ
に電子部品の小型化、信頼性向上に関する技術改良が挙
げられる。
コンデンサも部品のひとつとして、電子機器用、電力用
を問わず、前記した流れに沿って改良が続けられている
。
を問わず、前記した流れに沿って改良が続けられている
。
特に、巻取蒸着技術の進歩と高分子フィルムの２ へ−
７ 製膜技術の進歩により誘電体としてのポリエステルフィ
ルムは厚みが２μｍをきるところまで進んできている。
７ 製膜技術の進歩により誘電体としてのポリエステルフィ
ルムは厚みが２μｍをきるところまで進んできている。
全体的には前述したように技術進歩はみられるが、個別
の要素については、一層の改良が要求されている。その
中にあって、電極の構成に関するものは、信頼性の向上
、コストパーフォマンスの向上の点から重要である。
の要素については、一層の改良が要求されている。その
中にあって、電極の構成に関するものは、信頼性の向上
、コストパーフォマンスの向上の点から重要である。
第１図、第２図は、高分子フィルムを誘電体として用い
たコンデンサの巻回単位の一例で、第１図は電極の蒸着
が片側のみに外された例で、第２図は両面蒸着された例
である。
たコンデンサの巻回単位の一例で、第１図は電極の蒸着
が片側のみに外された例で、第２図は両面蒸着された例
である。
第１図、第２図において、１は誘電体、２は蒸着電極で
ある。他にも、いくつかの誘電体構成の例があるが、誘
電体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロ
ピレンが代表的で、電極としては１Ω／ロ〜６Ω／口の
膜抵抗をもったＡｄが多い。現在、蒸着電極としてのＡ
では、耐食性、巻取工程中での耐スクラッチ性、耐電圧
の面で必ずしも充分満足し得るバランスのとれた物性を
有３ ページ しているとはいえず、ＯｕやＮｉ−Ｃｒ 等の検討が進
められている。しかし、Ｃｕは膜抵抗の制御と誘電体と
の付着強度面で問題があり、Ｎｉ −ＯｒはＯｒの成分
比を安定に保持する蒸着技術が不十分な状態であり、誘
電体への熱影響も大きく量産化には至、っていない。
ある。他にも、いくつかの誘電体構成の例があるが、誘
電体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロ
ピレンが代表的で、電極としては１Ω／ロ〜６Ω／口の
膜抵抗をもったＡｄが多い。現在、蒸着電極としてのＡ
では、耐食性、巻取工程中での耐スクラッチ性、耐電圧
の面で必ずしも充分満足し得るバランスのとれた物性を
有３ ページ しているとはいえず、ＯｕやＮｉ−Ｃｒ 等の検討が進
められている。しかし、Ｃｕは膜抵抗の制御と誘電体と
の付着強度面で問題があり、Ｎｉ −ＯｒはＯｒの成分
比を安定に保持する蒸着技術が不十分な状態であり、誘
電体への熱影響も大きく量産化には至、っていない。
発明の目的
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、信頼性の向上
したコンデンサを提供することを目的とする。
したコンデンサを提供することを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明のコンデンサは、誘電
体上に真空蒸着により電極を形成し、その電極を部分酸
化された金属薄膜で構成したものであり、信頼性が向上
するものである。
体上に真空蒸着により電極を形成し、その電極を部分酸
化された金属薄膜で構成したものであり、信頼性が向上
するものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例について説明する。
本発明は、第１図、第２図のいずれの構成においても実
施できるものであるが、電極２が部分酸化された金属薄
膜からなるものである。部分酸化された金属薄膜とは金
属を誘電体１上に蒸着する時に真空槽内部に外部より強
制的に酸素を導入することで得られるもので、金属の種
類により柱状構造の粒界がはっきりみえるものとみえな
いもの（分解能１００Ａ程度の走査型電子顕微鏡を用い
た観察で）とがあるが、結晶粒子の表面がその金属自身
の酸化物で被覆されている状態をさすものである。
施できるものであるが、電極２が部分酸化された金属薄
膜からなるものである。部分酸化された金属薄膜とは金
属を誘電体１上に蒸着する時に真空槽内部に外部より強
制的に酸素を導入することで得られるもので、金属の種
類により柱状構造の粒界がはっきりみえるものとみえな
いもの（分解能１００Ａ程度の走査型電子顕微鏡を用い
た観察で）とがあるが、結晶粒子の表面がその金属自身
の酸化物で被覆されている状態をさすものである。
本発明で用いることのできる金属は、Ａｄ、Ｚｎ。
Ｓｎ 、 Ｎｉ −Ｏｒ 、 Ｏｒ 、 Ｔｉ 、 Ｍ
ｏ 、 Ｗ 、 Ｃｕ 、 Ｔａ等であり、蒸着は公知
の巻取蒸着機を用いるか、蒸発源を誘導加熱式又は抵抗
加熱式から電子ビーム加熱式に置きかえて用いれば良い
。
ｏ 、 Ｗ 、 Ｃｕ 、 Ｔａ等であり、蒸着は公知
の巻取蒸着機を用いるか、蒸発源を誘導加熱式又は抵抗
加熱式から電子ビーム加熱式に置きかえて用いれば良い
。
また、本発明で用いることのできる誘電体フィルムトシ
てハ、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、
ポリカーボネート、ポリアミド。
てハ、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、
ポリカーボネート、ポリアミド。
ポリエチレン、ポリスチレン、ポリイミド等である。
本発明の構成によれば、面抵抗を膜厚を大きくしても高
めることができる。
めることができる。
５ ページ
それは、結晶粒子表面が酸化膜で被覆されるからである
。
。
また、膜厚を大きくできることは、薄膜の機械強度が増
大し、巻取工程中に発生する膜の傷が減少し、信頼性が
向上することにつながると共に、酸化物が表面を被覆す
るために、ポリプロピレンのように無極性の誘電体でも
薄膜の付着強度が向上し前記したように信頼性が更に向
上することになる。
大し、巻取工程中に発生する膜の傷が減少し、信頼性が
向上することにつながると共に、酸化物が表面を被覆す
るために、ポリプロピレンのように無極性の誘電体でも
薄膜の付着強度が向上し前記したように信頼性が更に向
上することになる。
また、電極の耐食性が向上するため、同一外装であれば
信頼性の向上が図れるし、信頼性を大幅に向上しなくて
も良ければ、外装を極めて簡易化できる利点がある。
信頼性の向上が図れるし、信頼性を大幅に向上しなくて
も良ければ、外装を極めて簡易化できる利点がある。
さらに本発明の電極には続流遮断能力を向上させる作用
効果もｌ、よシ小型、高信頼性の要求に十分応えうるも
のであるといえる。
効果もｌ、よシ小型、高信頼性の要求に十分応えうるも
のであるといえる。
本発明によれば、従来工程でのスリット時或いはコンデ
ンサ素子巻回後、弱点部を除くだめの電圧処理を施す工
程を省略できる利点もある。
ンサ素子巻回後、弱点部を除くだめの電圧処理を施す工
程を省略できる利点もある。
また、本発明の構成によれば、自己回復作用の６ ペー
ジ 適正範囲が広く、長期安定性も優れている点も大きな利
点といえる。
ジ 適正範囲が広く、長期安定性も優れている点も大きな利
点といえる。
以下さらに具体的な実施例について説明する。
〔実施例−１〕
２１２μｍのポリエチレンテレフタレートの両面にＡｌ
を３００人電子ビーム蒸着した。マージンはオイルマー
ジン方式により形成した。
を３００人電子ビーム蒸着した。マージンはオイルマー
ジン方式により形成した。
蒸着速度は平均３８００人／ｓｅｅで、真空度は酸素が
全分圧の７５係を占めるようにして、酸素分圧をＩ Ｘ
１０−’ Ｔｏｒｒに設定した。
全分圧の７５係を占めるようにして、酸素分圧をＩ Ｘ
１０−’ Ｔｏｒｒに設定した。
比較例として酸素を導入しないで蒸着したものを用い、
夫々を巻回してコンデンサ素子を作り、容量０．０５μ
Ｆのコンデンサを製造した。
夫々を巻回してコンデンサ素子を作り、容量０．０５μ
Ｆのコンデンサを製造した。
夫々エポキシ封止したものを任意抽出で３０個選び、６
０℃、９０〜９５チＲＨの乾燥炉内で電圧印加テストし
た結果を第３図に示した。縦軸の容量減少は蒸着型、極
の損傷によるものである。
０℃、９０〜９５チＲＨの乾燥炉内で電圧印加テストし
た結果を第３図に示した。縦軸の容量減少は蒸着型、極
の損傷によるものである。
この図よシ明らかに本発明品は、耐食性の向上により高
い信頼性が大幅に改良されているといえる。
い信頼性が大幅に改良されているといえる。
７ ページ
〔実施例−２〕
厚みの異なるポリエチレンテレフタレートフィルムにＡ
７を３００人電子ビーム法により蒸着した。
７を３００人電子ビーム法により蒸着した。
実施例−１と同様の条件でコンデンサを製造した。比較
例も実施例１の場合と同一条件で製造した。夫々のコン
デンサの歩留りと生産性を比較した結果を表に示した。
例も実施例１の場合と同一条件で製造した。夫々のコン
デンサの歩留りと生産性を比較した結果を表に示した。
歩留りと、生産性は、本発明品の人を１．○で規格化し
た数値として示した。
た数値として示した。
上表より明らかなように、歩留りの向上と、生産性の向
上が図られていることがわかる。生産性は主として耐ス
クラッチ性の向上により巻回速度の向上によってなされ
た改良分である。
上が図られていることがわかる。生産性は主として耐ス
クラッチ性の向上により巻回速度の向上によってなされ
た改良分である。
以上のように実施例によれば、高分子フィルムを誘電体
とし、電極が部分酸化された金属薄膜で構成することに
よシ、続流遮断性能の改良、耐スクラッチ性の改良によ
り、高信頼性を有するコンデンサを得ることができる。
とし、電極が部分酸化された金属薄膜で構成することに
よシ、続流遮断性能の改良、耐スクラッチ性の改良によ
り、高信頼性を有するコンデンサを得ることができる。
また、製造の立場でみると、歩留り、生産性の向上も併
せてはかれるものである。
せてはかれるものである。
なお、本実施例以外の前述の他の材料の組み合わせでも
同様な効果を確認した。
同様な効果を確認した。
発明の効果
以上のように本発明は、誘電体」二に部分酸化された金
属薄膜からなる電極を配することで高信頼性のコンデン
サを得ることができる。
属薄膜からなる電極を配することで高信頼性のコンデン
サを得ることができる。
第１図および第２図はそれぞれコンデンサの誘電体構成
例を示す断面図、第３図は本発明と従来のコンデンサの
耐電圧特性を比較して示す比較図である。 ９ ベージ ト・・・・・誘電体、２・・・・・・蒸着電極。
例を示す断面図、第３図は本発明と従来のコンデンサの
耐電圧特性を比較して示す比較図である。 ９ ベージ ト・・・・・誘電体、２・・・・・・蒸着電極。
Claims (1)
- 誘電体上に真空蒸着により電極を形成し、その電極を部
分酸化された金属薄膜で構成したことを特徴とするコン
デンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8649284A JPS60231314A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8649284A JPS60231314A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60231314A true JPS60231314A (ja) | 1985-11-16 |
| JPH0584049B2 JPH0584049B2 (ja) | 1993-11-30 |
Family
ID=13888479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8649284A Granted JPS60231314A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60231314A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005191462A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Shizuki Electric Co Inc | 金属化フィルムコンデンサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5383062A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Metallized film capacitor |
| JPS5544820A (en) * | 1978-09-25 | 1980-03-29 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Evaporated film |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP8649284A patent/JPS60231314A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5383062A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Metallized film capacitor |
| JPS5544820A (en) * | 1978-09-25 | 1980-03-29 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | Evaporated film |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005191462A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Shizuki Electric Co Inc | 金属化フィルムコンデンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0584049B2 (ja) | 1993-11-30 |
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