JPH093630A - 金属蒸着プラスチック基材およびその製造方法 - Google Patents
金属蒸着プラスチック基材およびその製造方法Info
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- JPH093630A JPH093630A JP17823895A JP17823895A JPH093630A JP H093630 A JPH093630 A JP H093630A JP 17823895 A JP17823895 A JP 17823895A JP 17823895 A JP17823895 A JP 17823895A JP H093630 A JPH093630 A JP H093630A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】耐湿性が使用に十分耐え得る、特にコンデンサ
−用途に適した亜鉛蒸着プラスチックフィルム等の基材
と、その製造方法を提供する。 【構成】プラスチック基材の少なくとも片面に、好まし
くは真空中において、平均膜厚０．１〜１０オングスト
ロ−ムの銅、スズあるいは銀等からなるアンカ−蒸着層
をグロ−放電雰囲気下で形成し、さらに１００〜８００
オングストロ−ムの亜鉛を蒸着した蒸着層を設けるもの
である。 【効果】プラスチック基材の表面に、精度良くかつ均一
にアンカ−蒸着層を形成させることができ、更にその上
に亜鉛蒸着層を設けることにより、耐湿性の極めて優れ
た、特にコンデンサ−用に適した金属蒸着プラスチック
フィルムが得られる。
−用途に適した亜鉛蒸着プラスチックフィルム等の基材
と、その製造方法を提供する。 【構成】プラスチック基材の少なくとも片面に、好まし
くは真空中において、平均膜厚０．１〜１０オングスト
ロ−ムの銅、スズあるいは銀等からなるアンカ−蒸着層
をグロ−放電雰囲気下で形成し、さらに１００〜８００
オングストロ−ムの亜鉛を蒸着した蒸着層を設けるもの
である。 【効果】プラスチック基材の表面に、精度良くかつ均一
にアンカ−蒸着層を形成させることができ、更にその上
に亜鉛蒸着層を設けることにより、耐湿性の極めて優れ
た、特にコンデンサ−用に適した金属蒸着プラスチック
フィルムが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラスチックフィルム
やシートのようなプラスチック基材の少なくとも片面
に、金属アンカ−蒸着層を設け、更にそのアンカ−蒸着
層上に特定金属の蒸着層を形成させた金属蒸着プラスチ
ック基材、特にコンデンサ用として使用される金属蒸着
プラスチック基材、およびその製造方法に関するもので
ある。
やシートのようなプラスチック基材の少なくとも片面
に、金属アンカ−蒸着層を設け、更にそのアンカ−蒸着
層上に特定金属の蒸着層を形成させた金属蒸着プラスチ
ック基材、特にコンデンサ用として使用される金属蒸着
プラスチック基材、およびその製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来からポリプロピレンフィルムやポリ
エステルフィルムに、抵抗加熱方式により、スズ、銀、
および銅等のアンカ−蒸着を行ない、更に亜鉛蒸着をす
ることは一般的に行なわれていた。プラスチックフィル
ムに直接亜鉛蒸着すると亜鉛が均一に付着しないため、
かかるアンカ−蒸着層が必要である。
エステルフィルムに、抵抗加熱方式により、スズ、銀、
および銅等のアンカ−蒸着を行ない、更に亜鉛蒸着をす
ることは一般的に行なわれていた。プラスチックフィル
ムに直接亜鉛蒸着すると亜鉛が均一に付着しないため、
かかるアンカ−蒸着層が必要である。
【０００３】しかし一方で、プラスチックフィルム上
に、このような抵抗加熱方式によって銅等を精度良く均
一に蒸着することは、非常に困難であった。その理由
は、抵抗加熱方式によるアンカ−蒸着金属が抵抗体の発
熱温度が幅方向で不均一であることにより、蒸着膜厚の
濃淡が発生することによるものであり、そのため従来、
耐湿性の十分な金属蒸着フィルムは得られなかった。
に、このような抵抗加熱方式によって銅等を精度良く均
一に蒸着することは、非常に困難であった。その理由
は、抵抗加熱方式によるアンカ−蒸着金属が抵抗体の発
熱温度が幅方向で不均一であることにより、蒸着膜厚の
濃淡が発生することによるものであり、そのため従来、
耐湿性の十分な金属蒸着フィルムは得られなかった。
【０００４】そこで、その金属アンカ−蒸着層上にシリ
コンオイルを塗布して、耐湿性を改善する方法が提案さ
れた（特開昭６２−１３０５０３号公報）。しかしこの
方法は、真空中でオイルを加熱し蒸発させる方法であ
り、真空度、オイル加熱温度等による塗布厚みのコント
ロ−ルが非常に難しい方法であった。
コンオイルを塗布して、耐湿性を改善する方法が提案さ
れた（特開昭６２−１３０５０３号公報）。しかしこの
方法は、真空中でオイルを加熱し蒸発させる方法であ
り、真空度、オイル加熱温度等による塗布厚みのコント
ロ−ルが非常に難しい方法であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】耐湿性を付与したコン
デンサ用等の亜鉛蒸着プラスチックフィルムとしては、
このように、シリコンオイルを塗布する方法が広く使用
されているが、この方法では、上述のように塗布厚みの
コントロ−ルが非常に難しいという問題があったのであ
る。
デンサ用等の亜鉛蒸着プラスチックフィルムとしては、
このように、シリコンオイルを塗布する方法が広く使用
されているが、この方法では、上述のように塗布厚みの
コントロ−ルが非常に難しいという問題があったのであ
る。
【０００６】本発明の目的は、かかる従来技術の欠点を
改善し、耐湿性が使用に十分耐え得る、特にコンデンサ
−用途に適した金属蒸着プラスチックフィルム等の基
材、およびその製造方法を提供することにある。
改善し、耐湿性が使用に十分耐え得る、特にコンデンサ
−用途に適した金属蒸着プラスチックフィルム等の基
材、およびその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、プラス
チック基材の少なくとも片面に設けた、グロ−放電下で
形成した金属アンカ−蒸着層の上に、亜鉛蒸着層を設け
てなることを特徴とする金属蒸着プラスチック基材によ
って達成される。本発明の金属蒸着プラスチック基材に
おけるグロ−放電下で形成した金属蒸着層は、好ましく
は平均膜厚０．１〜１０オングストロ−ムであり、ま
た、その上に設けた亜鉛蒸着層は膜厚が１００〜８００
オングストロ−ムのものである。
チック基材の少なくとも片面に設けた、グロ−放電下で
形成した金属アンカ−蒸着層の上に、亜鉛蒸着層を設け
てなることを特徴とする金属蒸着プラスチック基材によ
って達成される。本発明の金属蒸着プラスチック基材に
おけるグロ−放電下で形成した金属蒸着層は、好ましく
は平均膜厚０．１〜１０オングストロ−ムであり、ま
た、その上に設けた亜鉛蒸着層は膜厚が１００〜８００
オングストロ−ムのものである。
【０００８】本発明の金属蒸着プラスチック基材の製造
方法の最も好ましい態様は、プラスチック基材の少なく
とも片面に、好ましくは真空中において、平均膜厚０．
１〜１０オングストロ−ムの銅、スズあるいは銀等から
なるアンカ−蒸着層をグロ−放電雰囲気下で形成し、さ
らに１００〜８００オングストロ−ムの亜鉛を蒸着して
金属蒸着層を設けることにある。
方法の最も好ましい態様は、プラスチック基材の少なく
とも片面に、好ましくは真空中において、平均膜厚０．
１〜１０オングストロ−ムの銅、スズあるいは銀等から
なるアンカ−蒸着層をグロ−放電雰囲気下で形成し、さ
らに１００〜８００オングストロ−ムの亜鉛を蒸着して
金属蒸着層を設けることにある。
【０００９】このように本発明の最大の特徴は、金属ア
ンカ−蒸着層の形成を真空下、かつグロ−放電下で行な
うことにより、引き続く蒸着層の耐湿性を改善したこと
にあり、得られた金属蒸着プラスチック基材は、フィル
ムまたはシート状において、特にコンデンサ−用として
好適な基材である。
ンカ−蒸着層の形成を真空下、かつグロ−放電下で行な
うことにより、引き続く蒸着層の耐湿性を改善したこと
にあり、得られた金属蒸着プラスチック基材は、フィル
ムまたはシート状において、特にコンデンサ−用として
好適な基材である。
【００１０】また、本発明の実施において用いられるプ
ラスチック基材としては、ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム等のポリエステルフィルムやポリプロピレンフ
ィルムが好ましく用いられるがこれらに限定されない。
また、強度・伸度・熱特性・寸法安定性などの点で幅方
向及び長手方向に延伸されていることが望ましい。
ラスチック基材としては、ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム等のポリエステルフィルムやポリプロピレンフ
ィルムが好ましく用いられるがこれらに限定されない。
また、強度・伸度・熱特性・寸法安定性などの点で幅方
向及び長手方向に延伸されていることが望ましい。
【００１１】本発明における金属アンカ−蒸着層は、プ
ラスチック基材表面に亜鉛蒸着層を均一に付着させる上
で不可欠であり、そのアンカ−蒸着層を形成する金属と
して好適には、銀、スズ、銅等が挙げられるが、後述す
る亜鉛蒸着を満足させるものであればこれらに限定され
ない。
ラスチック基材表面に亜鉛蒸着層を均一に付着させる上
で不可欠であり、そのアンカ−蒸着層を形成する金属と
して好適には、銀、スズ、銅等が挙げられるが、後述す
る亜鉛蒸着を満足させるものであればこれらに限定され
ない。
【００１２】本発明における金属アンカ−蒸着層は、プ
ラスチック基材の片面もしくは両面に形成され、その平
均膜厚は０．１〜１０オングストロ−ムである。アンカ
−蒸着層の平均厚みが０．１オングストロ−ム未満の場
合、アンカ−蒸着層の効果は損なわれ耐湿性が不十分な
ものとなる。また、アンカ−蒸着層の平均厚みが１０オ
ングストロ−ムを越えると、金属の積層構造となりアン
カ−蒸着層の効果は損なわれ耐湿性が不十分なものとな
る。したがって、アンカ−蒸着層の平均厚みは０．１〜
１０オングストロ−ムとするのがよい。
ラスチック基材の片面もしくは両面に形成され、その平
均膜厚は０．１〜１０オングストロ−ムである。アンカ
−蒸着層の平均厚みが０．１オングストロ−ム未満の場
合、アンカ−蒸着層の効果は損なわれ耐湿性が不十分な
ものとなる。また、アンカ−蒸着層の平均厚みが１０オ
ングストロ−ムを越えると、金属の積層構造となりアン
カ−蒸着層の効果は損なわれ耐湿性が不十分なものとな
る。したがって、アンカ−蒸着層の平均厚みは０．１〜
１０オングストロ−ムとするのがよい。
【００１３】本発明の実施において、金属アンカ−蒸着
層の上に、更に亜鉛蒸着層が形成される。この亜鉛蒸着
層の膜厚は、通常１００〜８００オングストロ−ムであ
る。
層の上に、更に亜鉛蒸着層が形成される。この亜鉛蒸着
層の膜厚は、通常１００〜８００オングストロ−ムであ
る。
【００１４】本発明のプラスチック基材、金属アンカ−
蒸着層および亜鉛蒸着層を基本構成としてなる金属蒸着
プラスチック基材は、耐湿性に優れており、後述する測
定法による耐湿性は、従来技術の亜鉛蒸着プラスチック
フィルムでは６００％を越えるのに対して、本発明のそ
れは２００％以下と高レベルである。
蒸着層および亜鉛蒸着層を基本構成としてなる金属蒸着
プラスチック基材は、耐湿性に優れており、後述する測
定法による耐湿性は、従来技術の亜鉛蒸着プラスチック
フィルムでは６００％を越えるのに対して、本発明のそ
れは２００％以下と高レベルである。
【００１５】本発明の金属蒸着プラスチック基材は、上
記特性から、コンデンサ用途に好適に使用される。
記特性から、コンデンサ用途に好適に使用される。
【００１６】次に、本発明の亜鉛蒸着プラスチックフィ
ルムの製造方法について述べる。
ルムの製造方法について述べる。
【００１７】本発明の実施において、金属アンカ−蒸着
層をプラスチック基材の表面に形成させる方法としてし
ては、真空下で、かつグロー放電下で金属蒸着する方法
が好適である。例えば、通常のロ−ル・ツ−・ロ−ル型
の真空蒸着機を用い、これに、カソ−ドに、たとえば純
度９９．９％の銅材、を用いてマグネトロン電極を設
け、これに電圧をかけ放電電流のグロ−放電雰囲気を生
ぜしめることにより、プラスチックフィルム上にアンカ
−蒸着層を形成せしめる方法が用いられる。本発明のグ
ロ−放電下で金属の一部あるいは全部が酸化されること
があっても本発明の目的を損なわず実施することができ
る。
層をプラスチック基材の表面に形成させる方法としてし
ては、真空下で、かつグロー放電下で金属蒸着する方法
が好適である。例えば、通常のロ−ル・ツ−・ロ−ル型
の真空蒸着機を用い、これに、カソ−ドに、たとえば純
度９９．９％の銅材、を用いてマグネトロン電極を設
け、これに電圧をかけ放電電流のグロ−放電雰囲気を生
ぜしめることにより、プラスチックフィルム上にアンカ
−蒸着層を形成せしめる方法が用いられる。本発明のグ
ロ−放電下で金属の一部あるいは全部が酸化されること
があっても本発明の目的を損なわず実施することができ
る。
【００１８】また、本発明において、亜鉛蒸着層を形成
させる方法としては、通常の真空蒸着法が採用される。
本発明にあっては、アンカ−蒸着層の形成と亜鉛蒸着層
の形成とを同一の真空層内で順次、連続的に行なうのが
好ましい。この場合、真空等の条件は同じであっても異
なっていてもよい。
させる方法としては、通常の真空蒸着法が採用される。
本発明にあっては、アンカ−蒸着層の形成と亜鉛蒸着層
の形成とを同一の真空層内で順次、連続的に行なうのが
好ましい。この場合、真空等の条件は同じであっても異
なっていてもよい。
【００１９】以下、本発明について実施例を用いて説明
する。
する。
【００２０】
【実施例】実施例における特性測定には、次の方法を用
いた。
いた。
【００２１】（１）耐湿性：蒸着フィルムを５０ｍｍ×
２００ｍｍ大きさに切り、加温加湿前の表面抵抗値を測
定する（Ｒ１）。４０℃、９５％ＲＨの雰囲気に蒸着面
が触れる状態で３時間放置後蒸着フィルムを取り出し、
加温加湿後の表面抵抗値を測定する（Ｒ２）。耐湿性は
次のように算出する。
２００ｍｍ大きさに切り、加温加湿前の表面抵抗値を測
定する（Ｒ１）。４０℃、９５％ＲＨの雰囲気に蒸着面
が触れる状態で３時間放置後蒸着フィルムを取り出し、
加温加湿後の表面抵抗値を測定する（Ｒ２）。耐湿性は
次のように算出する。
【００２２】耐湿性（％）＝（Ｒ２÷Ｒ１）×１００ （２）表面抵抗値：ＪＩＳ Ｃ−２３１８に準じたブリ
ッジ式電気抵抗測定機を用いて、アルミ蒸着面の表面抵
抗値を測定した。 （実施例１〜３）基材として厚さ６μｍ、１０００ｍｍ
幅のポリエステルィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・
ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍＨｇの真空下で１０
２０ｍｍ幅のマグネトロン電極のカソ−ドに純度９９．
９％の銅材を用いて酸素０．５ｌ／分を放電雰囲気に供
給する。さらにマグネトロン電極に、電圧をかけ放電電
流のプラズマ放電雰囲気でポリエステルフィルム上にア
ンカ−蒸着層を形成した。引き続き１×１０-3ｍｍＨｇ
の真空下で亜鉛蒸着層を５００オングストロ−ム形成さ
せた。他の条件を表１に示した。
ッジ式電気抵抗測定機を用いて、アルミ蒸着面の表面抵
抗値を測定した。 （実施例１〜３）基材として厚さ６μｍ、１０００ｍｍ
幅のポリエステルィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・
ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍＨｇの真空下で１０
２０ｍｍ幅のマグネトロン電極のカソ−ドに純度９９．
９％の銅材を用いて酸素０．５ｌ／分を放電雰囲気に供
給する。さらにマグネトロン電極に、電圧をかけ放電電
流のプラズマ放電雰囲気でポリエステルフィルム上にア
ンカ−蒸着層を形成した。引き続き１×１０-3ｍｍＨｇ
の真空下で亜鉛蒸着層を５００オングストロ−ム形成さ
せた。他の条件を表１に示した。
【００２３】実施例１〜３で得られたフィルムの耐湿性
を表１に示す。 （実施例４、５）基材として厚さ５μｍ、１０００ｍｍ
幅のポリプロピレンフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ
−・ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍｇの真空下で１
０２０ｍｍ幅のマグネトロン電極のカソ−ドに純度９
９．９％の純度のアルミ材を用い窒素０．５ｌ／分を放
電雰囲気に供給する。さらにマグネトロン電極に、電圧
をかけ放電電流のプラズマ放電雰囲気でポリプロピレン
フィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引き続き１×
１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を４００オングス
トロ−ム形成させた。他の条件を表１に示す。実施例
４、５で得たフィルムの耐湿性を表１に示す。 （比較例１）基材として厚さ６μｍ、１０００ｍｍ幅の
ポリエステルフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・ロ
−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍｇの真空下で抵抗加熱
方式により純度９９．９％の銅材を蒸着し、ポリエステ
ルフィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引き続き１
×１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を５００オング
ストロ−ム形成させた。他の条件を表１に示した。ま
た、得られた蒸着フィルムの耐湿性を表１に示した。 （比較例２）基材として厚さ５μｍ、１０００ｍｍ幅の
ポリプロピレンフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・
ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍＨｇの真空下でで抵
抗加熱方式により純度９９．９％の銅材を蒸着し、ポリ
プロピレンフィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引
き続き１×１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を４０
０オングストロ−ム形成させた。得られた蒸着フィルム
の耐湿性を表１に示した。
を表１に示す。 （実施例４、５）基材として厚さ５μｍ、１０００ｍｍ
幅のポリプロピレンフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ
−・ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍｇの真空下で１
０２０ｍｍ幅のマグネトロン電極のカソ−ドに純度９
９．９％の純度のアルミ材を用い窒素０．５ｌ／分を放
電雰囲気に供給する。さらにマグネトロン電極に、電圧
をかけ放電電流のプラズマ放電雰囲気でポリプロピレン
フィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引き続き１×
１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を４００オングス
トロ−ム形成させた。他の条件を表１に示す。実施例
４、５で得たフィルムの耐湿性を表１に示す。 （比較例１）基材として厚さ６μｍ、１０００ｍｍ幅の
ポリエステルフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・ロ
−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍｇの真空下で抵抗加熱
方式により純度９９．９％の銅材を蒸着し、ポリエステ
ルフィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引き続き１
×１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を５００オング
ストロ−ム形成させた。他の条件を表１に示した。ま
た、得られた蒸着フィルムの耐湿性を表１に示した。 （比較例２）基材として厚さ５μｍ、１０００ｍｍ幅の
ポリプロピレンフィルムを用いて通常のロ−ル・ツ−・
ロ−ル型の蒸着機で１×１０-3ｍｍＨｇの真空下でで抵
抗加熱方式により純度９９．９％の銅材を蒸着し、ポリ
プロピレンフィルム上にアンカ−蒸着層を形成した。引
き続き１×１０-3ｍｍＨｇの真空下で亜鉛蒸着層を４０
０オングストロ−ム形成させた。得られた蒸着フィルム
の耐湿性を表１に示した。
【００２４】
【表１】 表１から明らかなように、本発明で得られる蒸着フィル
ムは、加温加湿前後の表面抵抗値に大きな変動はなく、
いずれも１００％台の極めて優れた耐湿性を示したのに
対し、比較例１、２の抵抗加熱法式による場合は、加温
加湿後の表面抵抗値が数倍以上に大きくなり、耐湿性も
劣っていた。
ムは、加温加湿前後の表面抵抗値に大きな変動はなく、
いずれも１００％台の極めて優れた耐湿性を示したのに
対し、比較例１、２の抵抗加熱法式による場合は、加温
加湿後の表面抵抗値が数倍以上に大きくなり、耐湿性も
劣っていた。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、プラスチックの表面に
グロ−放電下という特殊な条件下おいてアンカ−蒸着層
を精度良く均一に形成させることができ、更にその上に
亜鉛蒸着層を形成させることにより、耐湿性の極めて優
れたコンデンサ−用亜鉛蒸着プラスチックフィルムを得
ることができる。
グロ−放電下という特殊な条件下おいてアンカ−蒸着層
を精度良く均一に形成させることができ、更にその上に
亜鉛蒸着層を形成させることにより、耐湿性の極めて優
れたコンデンサ−用亜鉛蒸着プラスチックフィルムを得
ることができる。
Claims (9)
- 【請求項１】 プラスチック基材の少なくとも片面に設
けた、グロ−放電下で形成した平均膜厚０．１〜１０オ
ングストロ−ムの金属アンカ−蒸着層の上に、膜厚１０
０〜８００オングストロ−ムの亜鉛蒸着層を設けてなる
ことを特徴とする金属蒸着プラスチック基材。 - 【請求項２】 前記亜鉛蒸着層の耐湿性が２００％以下
であることを特徴とする請求項１記載の金属蒸着プラス
チック基材。 - 【請求項３】 前記金属アンカ−蒸着層を形成する金属
が、銀、スズ、および銅の群から選ばれた金属であるこ
とを特徴とする請求項１記載の金属蒸着プラスチック基
材。 - 【請求項４】 前記プラスチック基材が、プラスチック
フィルムであることを特徴とする請求項１記載の金属蒸
着プラスチック基材。 - 【請求項５】 前記プラスチックフィルムが、ポリエス
テルフィルムまたはポリプロピレンフィルムである請求
項４記載の金属蒸着プラスチック基材。 - 【請求項６】 コンデンサ用として使用される請求項１
〜５記載の金属蒸着プラスチック基材。 - 【請求項７】 プラスチック基材の少なくとも片面に、
グロ−放電下で金属蒸着層を形成せしめ、次いでその上
に亜鉛蒸着層を形成せしめることを特徴とする金属蒸着
プラスチック基材の製造方法。 - 【請求項８】 前記金属蒸着層の平均膜厚を０．１〜１
０オングストロ−ムとし、前記亜鉛蒸着層の膜厚を１０
０〜８００オングストロ−ムとしたことを特徴とする請
求項７記載の金属蒸着プラスチック基材の製造方法。 - 【請求項９】 金属蒸着層の形成および亜鉛蒸着層の形
成を同一真空層内で行なうことを特徴とする請求項７ま
たは８記載の金属蒸着プラスチック基材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17823895A JP3796694B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 金属蒸着プラスチック基材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17823895A JP3796694B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 金属蒸着プラスチック基材およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH093630A true JPH093630A (ja) | 1997-01-07 |
| JP3796694B2 JP3796694B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=16045017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17823895A Expired - Fee Related JP3796694B2 (ja) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | 金属蒸着プラスチック基材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3796694B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007297712A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Applied Materials Inc | プラズマを利用して堆積された薄いシード層を介してのメタライゼーション |
-
1995
- 1995-06-21 JP JP17823895A patent/JP3796694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007297712A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Applied Materials Inc | プラズマを利用して堆積された薄いシード層を介してのメタライゼーション |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3796694B2 (ja) | 2006-07-12 |
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