JP3444456B2 - 蒸着フイルムの製造方法 - Google Patents
蒸着フイルムの製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は蒸着フィルムの製造
方法およびその方法により製造された蒸着フィルムを用
いるコンデンサの製造方法に関するものである。
方法およびその方法により製造された蒸着フィルムを用
いるコンデンサの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高分子フィルムコンデンサは耐電圧が高
く、かつ温度特性、周波数特性に優れていることから、
コンデンサとして一般的に使用されている。特に電極と
して金属蒸着層を有する蒸着フィルムはセルフヒーリン
グ性（自己回復性）を有することから好ましく利用され
ている。
く、かつ温度特性、周波数特性に優れていることから、
コンデンサとして一般的に使用されている。特に電極と
して金属蒸着層を有する蒸着フィルムはセルフヒーリン
グ性（自己回復性）を有することから好ましく利用され
ている。
【０００３】金属蒸着層の金属は大気中での腐食性に優
れていることからＡｌが好ましく選択されているが、交
流、高電圧下にて用いられるコンデンサでは使用中にコ
ンデンサ内部で発生するコロナ放電によってＡｌ蒸着層
が酸化され、絶縁物化して容量低下をもたらす現象、い
わゆるΔＣの増大が起きる（実際は−ΔＣの増加）。こ
のコロナ放電によるΔＣ増大を防ぐため、蒸着金属とし
てＺｎが用いられるが、Ｚｎには前記腐食の問題があ
る。
れていることからＡｌが好ましく選択されているが、交
流、高電圧下にて用いられるコンデンサでは使用中にコ
ンデンサ内部で発生するコロナ放電によってＡｌ蒸着層
が酸化され、絶縁物化して容量低下をもたらす現象、い
わゆるΔＣの増大が起きる（実際は−ΔＣの増加）。こ
のコロナ放電によるΔＣ増大を防ぐため、蒸着金属とし
てＺｎが用いられるが、Ｚｎには前記腐食の問題があ
る。
【０００４】これらの問題を解決するため、特公昭６３
−１５７３７あるいはＵＳＰ４４７７８５８が提案され
ている。
−１５７３７あるいはＵＳＰ４４７７８５８が提案され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特公昭６３−１５７３
７は真空蒸着機内でＺｎを蒸着した後すぐに表面汚染さ
れていないＺｎ蒸着層表面にオイル層を蒸着によって形
成し、Ｚｎ金属表面への水の付着を防ぎ、Ｚｎ蒸着層の
腐食を防ぐものである。しかしながら本方法を用いても
コンデンサを高湿化で使用するとＺｎ蒸着層が水酸化さ
れ、ｔａｎδの上昇、あるいはセルフヒーリング性の悪
化をまねき、コンデンサの熱暴走による破壊を引きおこ
す。特にソフトコア巻きで、ワックスやピッチのみの簡
易外装のコンデンサではコンデンサ中に水分が入りやす
くこの問題を引きおこしやすい。
７は真空蒸着機内でＺｎを蒸着した後すぐに表面汚染さ
れていないＺｎ蒸着層表面にオイル層を蒸着によって形
成し、Ｚｎ金属表面への水の付着を防ぎ、Ｚｎ蒸着層の
腐食を防ぐものである。しかしながら本方法を用いても
コンデンサを高湿化で使用するとＺｎ蒸着層が水酸化さ
れ、ｔａｎδの上昇、あるいはセルフヒーリング性の悪
化をまねき、コンデンサの熱暴走による破壊を引きおこ
す。特にソフトコア巻きで、ワックスやピッチのみの簡
易外装のコンデンサではコンデンサ中に水分が入りやす
くこの問題を引きおこしやすい。
【０００６】ＵＳＰ４４７７８５８ではＺｎの耐湿性
（腐食性）を改良するためＡｌをＺｎと同時に蒸着し、
かつＡｌの含有量をフィルム界面より蒸着金属表面へか
け図２のごとく連続的に減少させることによって、耐湿
性とΔＣ改良を提案している。しかし該方法では耐湿性
の向上は認められるが、Ｚｎ蒸着膜に比べコロナ放電に
よるΔＣの増加が大きい。
（腐食性）を改良するためＡｌをＺｎと同時に蒸着し、
かつＡｌの含有量をフィルム界面より蒸着金属表面へか
け図２のごとく連続的に減少させることによって、耐湿
性とΔＣ改良を提案している。しかし該方法では耐湿性
の向上は認められるが、Ｚｎ蒸着膜に比べコロナ放電に
よるΔＣの増加が大きい。
【０００７】本発明は腐食、およびコロナ放電によるΔ
Ｃの増大を防ぎ、かつ腐食によるｔａｎδの上昇、およ
びセルフヒーリング性悪化による熱暴走を防ぎ、高湿下
でも安定した特性を有する蒸着フィルムの製造方法およ
びそれを用いたコンデンサの製造方法を提供するもので
ある。
Ｃの増大を防ぎ、かつ腐食によるｔａｎδの上昇、およ
びセルフヒーリング性悪化による熱暴走を防ぎ、高湿下
でも安定した特性を有する蒸着フィルムの製造方法およ
びそれを用いたコンデンサの製造方法を提供するもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、高分子フィル
ム上にＡｌとＺｎからなる蒸着層を有する蒸着フィルム
を製造するに際し、高分子フィルムと蒸着層の界面、該
界面と蒸着層表面の中間、および該蒸着層表面における
ＡｌとＺｎの重量％を各々ａ1 、ｂ1 、ａ2 、ｂ2 、ａ
3 、ｂ3 （但し、ａ1 、ａ2 、ａ3 は各位置でのＡｌの
重量％、ｂ1 、ｂ2 、ｂ3 は各位置でのＺｎの重量％で
ａi ＋ｂi ＝１００％、ｉ＝１、２、３である）とする
と、ａ2 ＜ａ3 およびａ2 ＜ａ1 になるようにＡｌの含
有量が連続的に変化していくようにするため、高分子フ
ィルム上に、同一蒸着機内でまずＡｌを、次いですぐに
Ｚｎを連続的に蒸着することを特徴とする蒸着フィルム
の製造方法である。
ム上にＡｌとＺｎからなる蒸着層を有する蒸着フィルム
を製造するに際し、高分子フィルムと蒸着層の界面、該
界面と蒸着層表面の中間、および該蒸着層表面における
ＡｌとＺｎの重量％を各々ａ1 、ｂ1 、ａ2 、ｂ2 、ａ
3 、ｂ3 （但し、ａ1 、ａ2 、ａ3 は各位置でのＡｌの
重量％、ｂ1 、ｂ2 、ｂ3 は各位置でのＺｎの重量％で
ａi ＋ｂi ＝１００％、ｉ＝１、２、３である）とする
と、ａ2 ＜ａ3 およびａ2 ＜ａ1 になるようにＡｌの含
有量が連続的に変化していくようにするため、高分子フ
ィルム上に、同一蒸着機内でまずＡｌを、次いですぐに
Ｚｎを連続的に蒸着することを特徴とする蒸着フィルム
の製造方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明でいう高分子フィルムとは
天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型した
もので、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルム
が耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点か
らより好ましい。好ましい合成高分子樹脂としてはポリ
オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネ
イト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、
ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、
ポリアリレン樹脂などを挙げることができる。特にポリ
プロピレン、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン
テレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカ
ーボネイト、ポリスチレンが機械的特性、電気特性の点
からより好ましい。
天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型した
もので、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルム
が耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点か
らより好ましい。好ましい合成高分子樹脂としてはポリ
オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、
ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネ
イト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、
ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、
ポリアリレン樹脂などを挙げることができる。特にポリ
プロピレン、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン
テレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカ
ーボネイト、ポリスチレンが機械的特性、電気特性の点
からより好ましい。
【００１０】ＡｌとＺｎからなる蒸着層は抵抗加熱方
式、誘導加熱方式、間接加熱方式、電子ビーム方式、あ
るいはスパッタリング方式などの蒸着方式によって真空
蒸着することによって形成される。
式、誘導加熱方式、間接加熱方式、電子ビーム方式、あ
るいはスパッタリング方式などの蒸着方式によって真空
蒸着することによって形成される。
【００１１】中でも生産性の点から抵抗加熱方式、誘導
加熱方式、あるいは間接加熱方式がより好ましい。
加熱方式、あるいは間接加熱方式がより好ましい。
【００１２】本発明において重要な点は、ａ2 ＜ａ3 お
よびａ2 ＜ａ1 、好ましくはａ2 ＜ａ3 ＜ａ1 になるよ
うＡｌの含有量が連続的に変化していることであり、Ｕ
ＳＰ４４７７８５８では図２のごとくＡｌが分布してい
るのに対し、図１のごとく分布させることによって耐湿
性、ΔＣを著しく改善できた。
よびａ2 ＜ａ1 、好ましくはａ2 ＜ａ3 ＜ａ1 になるよ
うＡｌの含有量が連続的に変化していることであり、Ｕ
ＳＰ４４７７８５８では図２のごとくＡｌが分布してい
るのに対し、図１のごとく分布させることによって耐湿
性、ΔＣを著しく改善できた。
【００１３】さらに蒸着層中の全Ａｌ含有量と全Ｚｎ含
有量とを合わせた重量に対する全Ａｌの重量％が１０％
以下が好ましく、特にａ1 ≦６０重量％、０＜ａ2 ≦
２．０重量％、０．５≦ａ3 ≦１０重量％で、かつ蒸着
層中の全Ａｌの重量％が５％以下であるときが目的とす
る特性の改良効果が大きく、優れている。
有量とを合わせた重量に対する全Ａｌの重量％が１０％
以下が好ましく、特にａ1 ≦６０重量％、０＜ａ2 ≦
２．０重量％、０．５≦ａ3 ≦１０重量％で、かつ蒸着
層中の全Ａｌの重量％が５％以下であるときが目的とす
る特性の改良効果が大きく、優れている。
【００１４】また、本蒸着フィルムの蒸着層中には合計
重量が１重量％以下のＣｕ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｃｒ、
Ｐｂ、Ｓｎ、Ｆｅ、ＣｄなどのＡｌ、Ｚｎ以外の金属が
含まれてもよいが、これらの金属にはＳｉなど耐湿性を
向上させるものもあるが、腐食を促進させるため、でき
るだけ含有量が少ないことが好ましい金属もあり、これ
らの金属はより少ないことが好ましい。より好ましくは
合計重量が０．１重量％以下である。
重量が１重量％以下のＣｕ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｃｒ、
Ｐｂ、Ｓｎ、Ｆｅ、ＣｄなどのＡｌ、Ｚｎ以外の金属が
含まれてもよいが、これらの金属にはＳｉなど耐湿性を
向上させるものもあるが、腐食を促進させるため、でき
るだけ含有量が少ないことが好ましい金属もあり、これ
らの金属はより少ないことが好ましい。より好ましくは
合計重量が０．１重量％以下である。
【００１５】さらに該ＡｌとＺｎの蒸着層上に有機物層
を設けることによってさらに耐湿性を向上させることが
できる。
を設けることによってさらに耐湿性を向上させることが
できる。
【００１６】有機物層を形成する有機物とは水に対する
溶解性が低い有機物で、中でも親油性の低分子物、ある
いは油状のものが好ましい。例えばシリコーンオイル、
フッ素系オイル、ポリアルキルナフタレンオイル、ポリ
アルキルフタレートオイル、ポリフェニルエーテルオイ
ル、石油留分、鉱物油、マイクロクリスタリンワック
ス、ポリオレフィンワックス、パラフィンワックスなど
を挙げることができる。さらに反応性基を有する油がよ
り好ましい。なかでもジメチルポリシロキサンオイル、
メチルフェニルポリシロキサンオイルの他に反応性基と
してハイドロジエン基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポ
キシ基、カルボキシル基などを有する変成シリコーン、
フッ素化シリコーンオイル、パーフルオロオレフィンオ
イルなどが特に耐湿性向上効果が大きく、より好まし
い。
溶解性が低い有機物で、中でも親油性の低分子物、ある
いは油状のものが好ましい。例えばシリコーンオイル、
フッ素系オイル、ポリアルキルナフタレンオイル、ポリ
アルキルフタレートオイル、ポリフェニルエーテルオイ
ル、石油留分、鉱物油、マイクロクリスタリンワック
ス、ポリオレフィンワックス、パラフィンワックスなど
を挙げることができる。さらに反応性基を有する油がよ
り好ましい。なかでもジメチルポリシロキサンオイル、
メチルフェニルポリシロキサンオイルの他に反応性基と
してハイドロジエン基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポ
キシ基、カルボキシル基などを有する変成シリコーン、
フッ素化シリコーンオイル、パーフルオロオレフィンオ
イルなどが特に耐湿性向上効果が大きく、より好まし
い。
【００１７】有機物層を形成する有機物の量は用途によ
って決められるべきで特に限定されるものではないが、
当然のことながら少なすぎると耐湿効果がでず、多すぎ
ると表層がべたつき、接着性の低下をまねくので、実用
上好ましい範囲で実用的に決定することが好ましい。
って決められるべきで特に限定されるものではないが、
当然のことながら少なすぎると耐湿効果がでず、多すぎ
ると表層がべたつき、接着性の低下をまねくので、実用
上好ましい範囲で実用的に決定することが好ましい。
【００１８】また該ＡｌとＺｎの蒸着層の表層を酸化
し、かつ該酸化層に有機物を吸着させた蒸着フィルムで
は耐湿性の向上効果に特に著しいことと、コロナ開始電
圧の向上が認められ、結果としてΔＣの著しい改良効果
が認められ、最も優れた特性を有する。
し、かつ該酸化層に有機物を吸着させた蒸着フィルムで
は耐湿性の向上効果に特に著しいことと、コロナ開始電
圧の向上が認められ、結果としてΔＣの著しい改良効果
が認められ、最も優れた特性を有する。
【００１９】本発明の蒸着フィルムの製造方法では、例
えば同一蒸着機内でＡｌ、次いでＺｎ、最後に再度Ａｌ
を各々Ａｌ蒸気とＺｎ蒸気が少量重なるようにして、連
続的に蒸着することによって作成する方法が最も一般的
であるが、まずＡｌを、次いですぐにＺｎを蒸着するこ
とによって、Ａｌ蒸気とＺｎ蒸気が少量重なるように蒸
着し、その時のＡｌ、Ｚｎの蒸気量、および冷却ドラム
の温度、フィルムの走行速度を制御することによって、
高分子フィルム表面に付着したＡｌとＺｎの混合金属の
冷却速度を制御することによって目的の組成分布をもっ
たＡｌとＺｎの蒸着層を形成することもできる。
えば同一蒸着機内でＡｌ、次いでＺｎ、最後に再度Ａｌ
を各々Ａｌ蒸気とＺｎ蒸気が少量重なるようにして、連
続的に蒸着することによって作成する方法が最も一般的
であるが、まずＡｌを、次いですぐにＺｎを蒸着するこ
とによって、Ａｌ蒸気とＺｎ蒸気が少量重なるように蒸
着し、その時のＡｌ、Ｚｎの蒸気量、および冷却ドラム
の温度、フィルムの走行速度を制御することによって、
高分子フィルム表面に付着したＡｌとＺｎの混合金属の
冷却速度を制御することによって目的の組成分布をもっ
たＡｌとＺｎの蒸着層を形成することもできる。
【００２０】後者の方法は制御条件範囲がせまいが、真
空蒸着機内にＡｌとＺｎの２つの蒸発源をもつのみでよ
く、かつ最も重要な蒸発源の制御が２つでよく、工業生
産上より優れている。
空蒸着機内にＡｌとＺｎの２つの蒸発源をもつのみでよ
く、かつ最も重要な蒸発源の制御が２つでよく、工業生
産上より優れている。
【００２１】図３の蒸着装置を用いて説明すると、蒸着
機１内においてまず高分子フィルムを巻出しロール２よ
り巻き出し、次いでその表面にオイルマージン形成装置
３を用いてマージンを形成し、次いでＡｌ蒸発源５でＡ
ｌを蒸着するとともに連続してＺｎ蒸発源６よりＺｎを
蒸着する。さらに必要に応じ、低温プラズマなどを用い
た酸化装置７によりＡｌとＺｎ蒸着層表層を酸化し、引
継いでオイルを入れた加熱容器からなるオイル蒸発装置
８を用いて該酸化層表面にオイルを蒸着し、最後に巻取
りロール９に巻きとることによって本発明の蒸着フィル
ムが製造される。なお該酸化層表面に蒸着されたオイル
は時間とともに該酸化層に吸着される。
機１内においてまず高分子フィルムを巻出しロール２よ
り巻き出し、次いでその表面にオイルマージン形成装置
３を用いてマージンを形成し、次いでＡｌ蒸発源５でＡ
ｌを蒸着するとともに連続してＺｎ蒸発源６よりＺｎを
蒸着する。さらに必要に応じ、低温プラズマなどを用い
た酸化装置７によりＡｌとＺｎ蒸着層表層を酸化し、引
継いでオイルを入れた加熱容器からなるオイル蒸発装置
８を用いて該酸化層表面にオイルを蒸着し、最後に巻取
りロール９に巻きとることによって本発明の蒸着フィル
ムが製造される。なお該酸化層表面に蒸着されたオイル
は時間とともに該酸化層に吸着される。
【００２２】ここで重要なことは本発明の蒸着フィルム
のＡｌ分布にするためにＡｌ蒸発源５とＺｎ蒸発源６の
間の間隔および冷却ドラム４との距離、および各蒸発源
の温度、冷却ドラム４の温度、さらに高分子フィルムの
走行速度を適切に制御することである。
のＡｌ分布にするためにＡｌ蒸発源５とＺｎ蒸発源６の
間の間隔および冷却ドラム４との距離、および各蒸発源
の温度、冷却ドラム４の温度、さらに高分子フィルムの
走行速度を適切に制御することである。
【００２３】好ましい例としては、Ａｌ蒸発源５の蒸発
源中央部とＺｎ蒸発源６の蒸発源中央部の位置を１５０
〜２５０ｍｍ、Ａｌ蒸発源５の蒸発面とその面に対する
鉛直線上の冷却ドラム４の表面までの距離が１５０〜２
５０ｍｍ、かつＺｎ蒸発源６の蒸発源ノズル最表面と冷
却ドラム４の表面までの距離を２〜５ｍｍとし、冷却ド
ラム４の温度を−２５〜０℃とし、フィルムの走行速度
を５００〜８００ｍ／ｍｉｎで、かつＡｌとＺｎの付着
量が目的の抵抗値（通常高抵抗膜部の表面抵抗６〜４０
Ω／□）となり、かつＡｌの全含有量が１〜１０重量％
になるようＡｌとＺｎの蒸発量を膜抵抗計と原子吸光測
定器によりモニタリングしながら調整する方法が挙げら
れる。蒸発源間距離が１５０ｍｍ未満で、Ｚｎ蒸発源６
のノズルと冷却ドラム間距離が５ｍｍを超えるとａ1 の
量が多くなり過ぎ、蒸発源間距離が２５０ｍｍを超える
とａ1 の量が少なくなり過ぎる。なお本例は本発明の蒸
着フィルムを製造するための一例であり、本発明の製造
方法は本方法に限られるものではない。
源中央部とＺｎ蒸発源６の蒸発源中央部の位置を１５０
〜２５０ｍｍ、Ａｌ蒸発源５の蒸発面とその面に対する
鉛直線上の冷却ドラム４の表面までの距離が１５０〜２
５０ｍｍ、かつＺｎ蒸発源６の蒸発源ノズル最表面と冷
却ドラム４の表面までの距離を２〜５ｍｍとし、冷却ド
ラム４の温度を−２５〜０℃とし、フィルムの走行速度
を５００〜８００ｍ／ｍｉｎで、かつＡｌとＺｎの付着
量が目的の抵抗値（通常高抵抗膜部の表面抵抗６〜４０
Ω／□）となり、かつＡｌの全含有量が１〜１０重量％
になるようＡｌとＺｎの蒸発量を膜抵抗計と原子吸光測
定器によりモニタリングしながら調整する方法が挙げら
れる。蒸発源間距離が１５０ｍｍ未満で、Ｚｎ蒸発源６
のノズルと冷却ドラム間距離が５ｍｍを超えるとａ1 の
量が多くなり過ぎ、蒸発源間距離が２５０ｍｍを超える
とａ1 の量が少なくなり過ぎる。なお本例は本発明の蒸
着フィルムを製造するための一例であり、本発明の製造
方法は本方法に限られるものではない。
【００２４】ＡｌとＺｎの蒸着層中のＡｌとＺｎの含有
量、組成分布を観察するには、まず一定量の蒸着層を
塩酸を用いて溶解したのち、プラズマ発光分光法（ＩＣ
Ｐ）にてＡｌとＺｎの各々の含有量を定量する。さらに
高分子蒸着フィルムをオージェ電子分光装置にかけ、
蒸着層表面より該蒸着層をスパッターエッチングしなが
らＡｌとＺｎの原子組成を測定していく。このようにし
て得られた原子組成データをＩＣＰで得られたＡｌとＺ
ｎの含有量で規格化すると図１のＡｌとＺｎの組成分布
図ができ、ａ1 、ｂ1 、ａ2 、ｂ2 、ａ3 、ｂ3 、およ
び全Ａｌの重量％が決定できる。
量、組成分布を観察するには、まず一定量の蒸着層を
塩酸を用いて溶解したのち、プラズマ発光分光法（ＩＣ
Ｐ）にてＡｌとＺｎの各々の含有量を定量する。さらに
高分子蒸着フィルムをオージェ電子分光装置にかけ、
蒸着層表面より該蒸着層をスパッターエッチングしなが
らＡｌとＺｎの原子組成を測定していく。このようにし
て得られた原子組成データをＩＣＰで得られたＡｌとＺ
ｎの含有量で規格化すると図１のＡｌとＺｎの組成分布
図ができ、ａ1 、ｂ1 、ａ2 、ｂ2 、ａ3 、ｂ3 、およ
び全Ａｌの重量％が決定できる。
【００２５】なお、蒸着層と高分子フィルムとの界面と
はオージェ電子分光におけるＡｌ原子の強度が蒸着層表
面より蒸着層中央にかけ連続的に減少し、さらに蒸着層
中央より蒸着層と高分子フィルムの界面にかけ連続的に
上昇し、次いで減少していく該強度の上昇した最大点を
さす。
はオージェ電子分光におけるＡｌ原子の強度が蒸着層表
面より蒸着層中央にかけ連続的に減少し、さらに蒸着層
中央より蒸着層と高分子フィルムの界面にかけ連続的に
上昇し、次いで減少していく該強度の上昇した最大点を
さす。
【００２６】
（１）ＡｌおよびＺｎの定量
サンプル９ｃｍ2 を希硝酸で溶解したのち２０ｍｌに定
溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分析法にてＡｌおよ
びＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分析装置はセイコー
電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分析法にてＡｌおよ
びＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分析装置はセイコー
電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
【００２７】（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布
ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。
【００２８】Ａｒイオンエッチング条件
加速電圧：３ｋＶ
試料電流：１×１０−6 Ａ
エッチング速度：ＳｉＯ2 換算で１９０オングストロー
ム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０−8 Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ
ム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０−8 Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ
【００２９】（３）静電容量（Ｃ）
シェーリングブリッジにて６０Ｈｚ、４００Ｖで測定し
た。装置は総研電気（株）製ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ ＳＣ
ＨＥＲＩＮＧ ＢＲＩＤＧＥ ＤＡＣ−ＰＳＣ−２０Ｗ
型を用いた。
た。装置は総研電気（株）製ＡＵＴＯＭＡＴＩＣ ＳＣ
ＨＥＲＩＮＧ ＢＲＩＤＧＥ ＤＡＣ−ＰＳＣ−２０Ｗ
型を用いた。
【００３０】
【実施例】以下実施例によって本発明をより詳細に説明
するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
い。
するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
い。
【００３１】実施例１、比較例１、比較例２
厚さ７μｍのポリプロピレンフィルム上にＡｌの含有量
がａ1 ＝４０重量％、ａ2 ＝０．１重量％、ａ3 ＝２．
０重量％、全Ａｌの含有量が２．４重量％になるようＡ
ｌとＺｎ蒸着層を設けた蒸着フィルムを作成した（実施
例１）。比較例１としてＡｇを核付としたＺｎ蒸着フィ
ルム、および比較例２としてａ1 ＝８０重量％、ａ2 ＝
６重量％、ａ3 ＝５重量％、全Ａｌの含有量１０重量％
の蒸着フィルムを作成した。
がａ1 ＝４０重量％、ａ2 ＝０．１重量％、ａ3 ＝２．
０重量％、全Ａｌの含有量が２．４重量％になるようＡ
ｌとＺｎ蒸着層を設けた蒸着フィルムを作成した（実施
例１）。比較例１としてＡｇを核付としたＺｎ蒸着フィ
ルム、および比較例２としてａ1 ＝８０重量％、ａ2 ＝
６重量％、ａ3 ＝５重量％、全Ａｌの含有量１０重量％
の蒸着フィルムを作成した。
【００３２】なお蒸着層の膜抵抗は電極取り出し側に３
ｍｍのヘビーエッジ部を設け、２．５Ω／□とし、高抵
抗膜部（アクティブ部）は８Ω／□とした。
ｍｍのヘビーエッジ部を設け、２．５Ω／□とし、高抵
抗膜部（アクティブ部）は８Ω／□とした。
【００３３】これらの蒸着フィルムを蒸着後１日放置
し、次いでリール幅５０ｍｍ、マージン巾２．５ｍｍと
なる細幅リールに切断した。
し、次いでリール幅５０ｍｍ、マージン巾２．５ｍｍと
なる細幅リールに切断した。
【００３４】これらの細幅リールをソフトコアに巻回
し、メタリコン、熱処理、電極端子溶接後、ワックス含
浸後ピッチで外装した５μＦのコンデンサを作成した。
し、メタリコン、熱処理、電極端子溶接後、ワックス含
浸後ピッチで外装した５μＦのコンデンサを作成した。
【００３５】該各々コンデンサ各１０個を３７５Ｖの交
流をかけながら４０℃、９５％ＲＨの恒温恒湿槽中に１
０００時間放置後、シェーリングブリッジを用いて容量
を測定し、放置前後の容量変化を調べた。その結果を表
１示す。
流をかけながら４０℃、９５％ＲＨの恒温恒湿槽中に１
０００時間放置後、シェーリングブリッジを用いて容量
を測定し、放置前後の容量変化を調べた。その結果を表
１示す。
【００３６】表１のごとく本発明品は容量変化も少な
く、また上記課電テスト中に破壊したコンデンサもなか
った。
く、また上記課電テスト中に破壊したコンデンサもなか
った。
【００３７】
【表１】
実施例２、比較例３
厚さ７μｍのポリプロピレンフィルム上にＡｌの含有量
がａ1 ＝５７重量％、ａ2 ＝０．４重量％、ａ3 ＝５．
０重量％で分布し、かつ全Ａｌの重量％が３．９％であ
るＡｌとＺｎの蒸着層をもうけた。なお該蒸着層をもう
ける際、同一真空蒸着機内で該蒸着層表面を一次側投入
電力１ｋＷの酸素プラズマで酸化処理し、次いで１７０
℃に加熱した容器よりメチルフェニルシロキサン（商品
名ＳＨ７０２）を該酸化処理面へ蒸着した（実施例
２）。
がａ1 ＝５７重量％、ａ2 ＝０．４重量％、ａ3 ＝５．
０重量％で分布し、かつ全Ａｌの重量％が３．９％であ
るＡｌとＺｎの蒸着層をもうけた。なお該蒸着層をもう
ける際、同一真空蒸着機内で該蒸着層表面を一次側投入
電力１ｋＷの酸素プラズマで酸化処理し、次いで１７０
℃に加熱した容器よりメチルフェニルシロキサン（商品
名ＳＨ７０２）を該酸化処理面へ蒸着した（実施例
２）。
【００３８】比較例３として、同一厚さのポリプロピレ
ンフィルム上にＣｕを核付したＺｎ蒸着層をもうけ、次
いで同一真空蒸着機内で比較例と同条件でメチルフェニ
ルシロキサンを該Ｚｎ蒸着層表面へ蒸着した。これらの
蒸着膜抵抗の仕様は実施例１と同じにした。
ンフィルム上にＣｕを核付したＺｎ蒸着層をもうけ、次
いで同一真空蒸着機内で比較例と同条件でメチルフェニ
ルシロキサンを該Ｚｎ蒸着層表面へ蒸着した。これらの
蒸着膜抵抗の仕様は実施例１と同じにした。
【００３９】これらの蒸着フィルムを実施例１と同じ仕
様に切断し、実施例１と同一の方法、同一仕様でコンデ
ンサを作り、かつ同一条件で性能試験を行った。その結
果を表２に示す。
様に切断し、実施例１と同一の方法、同一仕様でコンデ
ンサを作り、かつ同一条件で性能試験を行った。その結
果を表２に示す。
【００４０】
【表２】
表２のごとく本発明は特に優れた特性を示した。
【００４１】実施例３〜５、比較例４、５
厚さ７μｍのポリプロピレンフィルム上にＡｌの含有量
が表３になるようＡｌとＺｎの蒸着層をもうけた蒸着フ
ィルムを作成した。蒸着膜抵抗の仕様は実施例１と同じ
である。なお実施例３〜５では該蒸着層をもうける際、
同一真空蒸着機内で該蒸着層表面へ１００℃に加熱した
容器よりポリジメチルシロキサン（商品名ＳＨ２００、
１０ｃｓ）を蒸着した。
が表３になるようＡｌとＺｎの蒸着層をもうけた蒸着フ
ィルムを作成した。蒸着膜抵抗の仕様は実施例１と同じ
である。なお実施例３〜５では該蒸着層をもうける際、
同一真空蒸着機内で該蒸着層表面へ１００℃に加熱した
容器よりポリジメチルシロキサン（商品名ＳＨ２００、
１０ｃｓ）を蒸着した。
【００４２】比較例５はＡｌ蒸着後、Ｚｎ蒸着し、次い
で再度Ａｌ蒸着したものである。
で再度Ａｌ蒸着したものである。
【００４３】これらの蒸着フィルムを実施例１と同様に
し、同一仕様のコンデンサを製作し、実施例１と同条件
で性能試験を行った。その結果を表３に示す。
し、同一仕様のコンデンサを製作し、実施例１と同条件
で性能試験を行った。その結果を表３に示す。
【００４４】
【表３】
表３のごとく本発明、なかでも全Ａｌ含有量が５％以下
の本発明品は特に優れた特性を示した。
の本発明品は特に優れた特性を示した。
【００４５】
【発明の効果】ＡｌとＺｎの蒸着層においてＡｌ組成分
布を本発明のようにした結果、腐食、およびコロナ放電
による容量変化が少なく、かつ熱暴走による破壊が生じ
ない特性の優れたコンデンサが得られた。
布を本発明のようにした結果、腐食、およびコロナ放電
による容量変化が少なく、かつ熱暴走による破壊が生じ
ない特性の優れたコンデンサが得られた。
【００４６】また該組成のＡｌとＺｎ蒸着層表層にオイ
ルを蒸着した蒸着フィルムを用いたコンデンサは、さら
に容量変化の小さな、優れたコンデンサ特性を示した。
ルを蒸着した蒸着フィルムを用いたコンデンサは、さら
に容量変化の小さな、優れたコンデンサ特性を示した。
【図１】本発明方法による蒸着フイルムのＡｌとＺｎの
蒸着層のＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略図
である。
蒸着層のＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略図
である。
【図２】従来のＡｌとＺｎの蒸着層のＡｌの組成量分布
の一例を示した概略図である。
の一例を示した概略図である。
【図３】本発明の蒸着フイルムの製造方法の一例を示し
た概略図である。
た概略図である。
１：蒸着機
２：巻出しロール
３：オイルマージン形成装置
４：冷却ドラム
５：Ａｌ蒸発源
６：Ｚｎ蒸発源
７：酸化装置
８：オイル蒸発装置
９：巻取りロール
１０：ガイドロール
１１：上室と下室の仕切り板
Claims (11)
- 【請求項１】 高分子フィルム上にＡｌとＺｎからなる
蒸着層を有する蒸着フィルムを製造するに際し、高分子
フィルムと蒸着層の界面、該界面と蒸着層表面の中間、
および該蒸着層表面におけるＡｌとＺｎの重量％を各々
ａ1 、ｂ1 、ａ2 、ｂ2 、ａ3 、ｂ3 （但し、ａ1 、ａ
2 、ａ3 は各位置でのＡｌの重量％、ｂ1 、ｂ2 、ｂ3
は各位置でのＺｎの重量％でａi ＋ｂi ＝１００％、ｉ
＝１、２、３である）とすると、ａ2 ＜ａ3 およびａ2
＜ａ1 になるようにＡｌの含有量が連続的に変化してい
くようにするため、高分子フィルム上に、同一蒸着機内
でまずＡｌを、次いですぐにＺｎを連続的に蒸着するこ
とを特徴とする蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項２】 Ａｌ蒸発源の蒸発源中央部とＺｎ蒸発源
の蒸発源中央部との間隔を１５０〜２５０ｍｍとするこ
とを特徴とする請求項１に記載の蒸着フィルムの製造方
法。 - 【請求項３】 Ａｌ蒸発源の蒸発面とその面に対する鉛
直線上の冷却ドラムの表面までの距離を１５０〜２５０
ｍｍ、かつＺｎ蒸発源の蒸発源ノズル最表面と冷却ドラ
ムの表面までの距離を２〜５ｍｍとすることを特徴とす
る請求項１または２に記載の蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項４】 冷却ドラムの温度を−２５℃〜０℃とす
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の蒸
着フィルムの製造方法。 - 【請求項５】 フィルムの走行速度を５００〜８００ｍ
／ｍｉｎとすることを特徴とする請求項１〜４のいずれ
かに記載の蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項６】 Ａｌの含有量をａ 2 ＜ａ 3 ＜ａ 1 とする
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の蒸着
フィルムの製造方法。 - 【請求項７】 蒸着層中の全Ａｌ含有量と全Ｚｎ含有量
とを合わせた重量に対する全Ａｌの重量％を１０％以下
とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載
の蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項８】 ａ 1 ≦６０重量％、０＜ａ 2 ≦２．０重
量％、０．５≦ａ 3 ≦１０重量％とし、かつ蒸着層中の
全Ａｌの重量％を５％以下とすることを特徴とする請求
項１〜７のいずれかに記載の蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項９】 蒸着層上に有機物層を設けることを特徴
とする請求項１〜８のいずれかに記載の蒸着フィルムの
製造方法。 - 【請求項１０】 蒸着層表層を酸化し、かつ該酸化層に
有機物を吸着させることを特徴とする請求項１〜９のい
ずれかに記載の蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載の方
法により製造された蒸着フィルムを用いることを特徴と
するコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26453095A JP3444456B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 蒸着フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26453095A JP3444456B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 蒸着フイルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09111439A JPH09111439A (ja) | 1997-04-28 |
| JP3444456B2 true JP3444456B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=17404546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26453095A Expired - Fee Related JP3444456B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 蒸着フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3444456B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4507353B2 (ja) * | 1999-06-03 | 2010-07-21 | パナソニック株式会社 | コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法およびコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置 |
| JP5292992B2 (ja) * | 2008-08-20 | 2013-09-18 | 東レ株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
| CN102598170B (zh) * | 2009-11-04 | 2014-07-30 | 松下电器产业株式会社 | 金属化膜电容器及使用该电容器的壳体模制型电容器 |
| CN104878348A (zh) * | 2015-04-21 | 2015-09-02 | 浙江七星电容器有限公司 | 超薄型金属化电容蒸镀膜及其制备工艺 |
| JP7143674B2 (ja) * | 2018-08-08 | 2022-09-29 | 日新電機株式会社 | 金属化フィルムおよびフィルムコンデンサ |
| JP7228132B2 (ja) * | 2018-09-05 | 2023-02-24 | 王子ホールディングス株式会社 | 金属層一体型ポリプロピレンフィルム、フィルムコンデンサ、及び、金属層一体型ポリプロピレンフィルムの製造方法 |
| JP7256960B2 (ja) * | 2018-08-29 | 2023-04-13 | 王子ホールディングス株式会社 | 金属層一体型ポリプロピレンフィルムの製造方法 |
-
1995
- 1995-10-12 JP JP26453095A patent/JP3444456B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09111439A (ja) | 1997-04-28 |
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