JP3249632B2 - ディスク状記録媒体の洗浄装置 - Google Patents
ディスク状記録媒体の洗浄装置Info
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- JP3249632B2 JP3249632B2 JP09292793A JP9292793A JP3249632B2 JP 3249632 B2 JP3249632 B2 JP 3249632B2 JP 09292793 A JP09292793 A JP 09292793A JP 9292793 A JP9292793 A JP 9292793A JP 3249632 B2 JP3249632 B2 JP 3249632B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ディスク状記録媒体
の洗浄装置に関し、特に、記録媒体に静電付着している
塵埃をイオン化気体で除去する洗浄装置に関するもので
ある。
の洗浄装置に関し、特に、記録媒体に静電付着している
塵埃をイオン化気体で除去する洗浄装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ディジタル情報の記録媒体として、コン
パクトディスクなどのディスク状記録媒体が知られてお
り、例えば、コンパクトディスクにおいては、合成樹脂
で構成したディスク本体の一方の面にディジタル情報を
記録し、この記録面にアルミニウム膜を蒸着（またはス
パッタ）形成して反射膜としている。
パクトディスクなどのディスク状記録媒体が知られてお
り、例えば、コンパクトディスクにおいては、合成樹脂
で構成したディスク本体の一方の面にディジタル情報を
記録し、この記録面にアルミニウム膜を蒸着（またはス
パッタ）形成して反射膜としている。
【０００３】ところで、この種のディスク状記録媒体で
は、情報が微小なピットの形で記録されていて、レーザ
光線をこのピットに照射した時の反射光により記録され
ている情報が読みだされる。この場合、微小なピットに
塵埃が付着すると、記録されている情報が誤って読みだ
され、例えば、コンパクトディスクなどでは、再生され
る音質が変化する。
は、情報が微小なピットの形で記録されていて、レーザ
光線をこのピットに照射した時の反射光により記録され
ている情報が読みだされる。この場合、微小なピットに
塵埃が付着すると、記録されている情報が誤って読みだ
され、例えば、コンパクトディスクなどでは、再生され
る音質が変化する。
【０００４】そこで、このような問題を解決するため
に、ピットが形成された記録済のディスク状記録媒体を
製造する際には、アルミニウム蒸着膜を形成する蒸着工
程（またはスパッター）の前後や、蒸着膜を保護する保
護膜を形成する保護膜形成工程の前などに記録媒体を洗
浄する工程が設けられていた。このような洗浄に用いら
れる装置としては、従来、回転駆動されるディスク状記
録媒体に対向するようにして、エア吹出部とエア吸引部
とを設けたものが一般的に用いられていた。エア吹出部
から送出されるエアは、帯電している塵埃を除去するた
めに、イオン化された気体が用いられ、その吹き出し方
向が、ディスク状記録媒体の回転方向と逆になるように
設定されていた。
に、ピットが形成された記録済のディスク状記録媒体を
製造する際には、アルミニウム蒸着膜を形成する蒸着工
程（またはスパッター）の前後や、蒸着膜を保護する保
護膜を形成する保護膜形成工程の前などに記録媒体を洗
浄する工程が設けられていた。このような洗浄に用いら
れる装置としては、従来、回転駆動されるディスク状記
録媒体に対向するようにして、エア吹出部とエア吸引部
とを設けたものが一般的に用いられていた。エア吹出部
から送出されるエアは、帯電している塵埃を除去するた
めに、イオン化された気体が用いられ、その吹き出し方
向が、ディスク状記録媒体の回転方向と逆になるように
設定されていた。
【０００５】しかしながら、このような従来の洗浄装置
には、以下に説明する技術的課題があった。
には、以下に説明する技術的課題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、上述した従
来の洗浄装置では、回転駆動されるディスク状記録媒体
にエア吹出部とエア吸引部とを対向設置した構成なの
で、記録媒体から除去された塵埃が周囲に飛散するとと
もに、洗浄能力を高めるために吹き出すエアの強さを大
きくしても、除去された塵埃の飛散が多くなり、その効
果を十分に発揮させることができなかった。
来の洗浄装置では、回転駆動されるディスク状記録媒体
にエア吹出部とエア吸引部とを対向設置した構成なの
で、記録媒体から除去された塵埃が周囲に飛散するとと
もに、洗浄能力を高めるために吹き出すエアの強さを大
きくしても、除去された塵埃の飛散が多くなり、その効
果を十分に発揮させることができなかった。
【０００７】本発明は、このように従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的とするところは、除
去した塵埃の飛散が防止できるディスク状記録媒体の洗
浄装置を提供することにある。
てなされたものであって、その目的とするところは、除
去した塵埃の飛散が防止できるディスク状記録媒体の洗
浄装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、情報が記録されるディスク状記録媒体を
吸着保持して回転させる回転機構と、この回転機構を上
下方向に移動させる昇降機構と、前記回転機構により回
転される前記ディスク状録媒体にイオン化気体を吹きつ
ける洗浄部とを有するディスク状記録媒体の洗浄装置に
おいて、前記洗浄部は、前記ディスク状記録媒体の外周
を包囲するカバーと、このカバー内に設けられ、前記デ
ィスク状記録媒体の回転方向の逆方向から前記イオン化
気体を吹きつける噴射用ノズルと、前記カバー内に吸引
口が開口した排気ダクトと、前記噴射用ノズル前記吸引
口との間に設けられ、前記ディスク状記録媒体に吹きつ
けられた前記イオン化気体を前記吸引口側に案内する遮
蔽板とを有することを特徴とする。
め、本発明は、情報が記録されるディスク状記録媒体を
吸着保持して回転させる回転機構と、この回転機構を上
下方向に移動させる昇降機構と、前記回転機構により回
転される前記ディスク状録媒体にイオン化気体を吹きつ
ける洗浄部とを有するディスク状記録媒体の洗浄装置に
おいて、前記洗浄部は、前記ディスク状記録媒体の外周
を包囲するカバーと、このカバー内に設けられ、前記デ
ィスク状記録媒体の回転方向の逆方向から前記イオン化
気体を吹きつける噴射用ノズルと、前記カバー内に吸引
口が開口した排気ダクトと、前記噴射用ノズル前記吸引
口との間に設けられ、前記ディスク状記録媒体に吹きつ
けられた前記イオン化気体を前記吸引口側に案内する遮
蔽板とを有することを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成のディスク状記録媒体の洗浄装置によ
れば、洗浄部は、ディスク状記録媒体の外周を包囲する
カバーと、このカバー内に設けられ、前記ディスク状記
録媒体の回転方向の逆方向からイオン化気体を吹きつけ
る噴射用ノズルと、前記カバー内に吸引口が開口した排
気ダクトと、前記噴射用ノズル前記吸引口との間に設け
られ、前記ディスク状記録媒体に吹きつけられた前記イ
オン化気体を前記吸引口側に案内する遮蔽板とを有して
いるので、噴射ノズルから記録媒体に吹きつけるイオン
化気体により塵埃が除去され、除去された塵埃は、カバ
ーにより外部への飛散が防止された状態で、遮蔽板に案
内されて噴射用ノズルより吹き出されたイオン化気体
は、乱流および滞留を起こすことなく、確実に吸引口か
ら排出される。
れば、洗浄部は、ディスク状記録媒体の外周を包囲する
カバーと、このカバー内に設けられ、前記ディスク状記
録媒体の回転方向の逆方向からイオン化気体を吹きつけ
る噴射用ノズルと、前記カバー内に吸引口が開口した排
気ダクトと、前記噴射用ノズル前記吸引口との間に設け
られ、前記ディスク状記録媒体に吹きつけられた前記イ
オン化気体を前記吸引口側に案内する遮蔽板とを有して
いるので、噴射ノズルから記録媒体に吹きつけるイオン
化気体により塵埃が除去され、除去された塵埃は、カバ
ーにより外部への飛散が防止された状態で、遮蔽板に案
内されて噴射用ノズルより吹き出されたイオン化気体
は、乱流および滞留を起こすことなく、確実に吸引口か
ら排出される。
【００１０】
【実施例】以下本発明の好適な実施例について添附図面
を参照して詳細に説明する。図１および図２は、本発明
にかかるディスク状記録媒体の洗浄装置の一実施例を示
している。同図に示す洗浄装置１０は、記録媒体Ｄを順
次蒸着装置や保護膜形成装置に供給するインデックステ
ーブル１２に付設されたものを示している。
を参照して詳細に説明する。図１および図２は、本発明
にかかるディスク状記録媒体の洗浄装置の一実施例を示
している。同図に示す洗浄装置１０は、記録媒体Ｄを順
次蒸着装置や保護膜形成装置に供給するインデックステ
ーブル１２に付設されたものを示している。
【００１１】インデックステーブル１２は、４つの第１
ステージ〜第４ステージを有していて、図２の矢印
方向に回転され、第１ステージが記録媒体Ｄのローデ
ィング用であり、第２ステージが蒸着装置に記録媒体
Ｄを供給するためのものであって、第３ステージに洗
浄装置１０が設置され、第４ステージから、洗浄され
た後の記録媒体Ｄが保護膜形成装置に供給される。
ステージ〜第４ステージを有していて、図２の矢印
方向に回転され、第１ステージが記録媒体Ｄのローデ
ィング用であり、第２ステージが蒸着装置に記録媒体
Ｄを供給するためのものであって、第３ステージに洗
浄装置１０が設置され、第４ステージから、洗浄され
た後の記録媒体Ｄが保護膜形成装置に供給される。
【００１２】インデックステーブル１２は、第１ステー
ジ〜第４ステージが９０°の間隔で設けられたテー
ブル１２ａと、テーブル１２ａを間欠的に駆動して、所
定の位置に位置決めする駆動制御部１２ｂと、駆動制御
部１２ｂに駆動力を供給する駆動モータ１２ｃと、駆動
制御部１２ｂと駆動モータ１２ｃとの間を連結する動力
伝達機構１２ｄとを有している。
ジ〜第４ステージが９０°の間隔で設けられたテー
ブル１２ａと、テーブル１２ａを間欠的に駆動して、所
定の位置に位置決めする駆動制御部１２ｂと、駆動制御
部１２ｂに駆動力を供給する駆動モータ１２ｃと、駆動
制御部１２ｂと駆動モータ１２ｃとの間を連結する動力
伝達機構１２ｄとを有している。
【００１３】テーブル１２ａには、各ステージ〜毎
にパレット１２ｅが装着されていて、各パレット１２ｅ
は、記録媒体Ｄの直径に対応した径を有する大径部と、
この大径部よりも小径の貫通孔を有する段付き孔１２ｆ
が設けられている。この段付き孔１２ｆに保持されてい
る記録媒体Ｄは、下方から押し上げるか、あるいは、上
方から吸着することによりパレット１２ｅから着脱でき
るようになっている。
にパレット１２ｅが装着されていて、各パレット１２ｅ
は、記録媒体Ｄの直径に対応した径を有する大径部と、
この大径部よりも小径の貫通孔を有する段付き孔１２ｆ
が設けられている。この段付き孔１２ｆに保持されてい
る記録媒体Ｄは、下方から押し上げるか、あるいは、上
方から吸着することによりパレット１２ｅから着脱でき
るようになっている。
【００１４】洗浄装置１０は、情報が記録されるディス
ク状記録媒体Ｄを吸着保持して回転させる回転機構１４
と、この回転機構１４を上下方向に移動させる昇降機構
１６と、回転機構１４により回転されるディスク状記録
媒体Ｄにイオン化気体を吹きつける洗浄部１８とを有し
ている。回転機構１４は、ディスク状記録媒体Ｄの中心
孔ｄに挿入される位置決め突起１４ａが先端に設けられ
たディスクヘッド１４ｂと、このディスクヘッド１４ｂ
が先端に装着された回転軸１４ｃと、この回転軸１４ｃ
を回転自在に支持する軸受け１４ｄと、回転軸１４ｃに
連結されたモータ１４ｅと、モータ１４ｅを収納するハ
ウジング１４ｆとを有している。
ク状記録媒体Ｄを吸着保持して回転させる回転機構１４
と、この回転機構１４を上下方向に移動させる昇降機構
１６と、回転機構１４により回転されるディスク状記録
媒体Ｄにイオン化気体を吹きつける洗浄部１８とを有し
ている。回転機構１４は、ディスク状記録媒体Ｄの中心
孔ｄに挿入される位置決め突起１４ａが先端に設けられ
たディスクヘッド１４ｂと、このディスクヘッド１４ｂ
が先端に装着された回転軸１４ｃと、この回転軸１４ｃ
を回転自在に支持する軸受け１４ｄと、回転軸１４ｃに
連結されたモータ１４ｅと、モータ１４ｅを収納するハ
ウジング１４ｆとを有している。
【００１５】回転軸１４ｃとディスクヘッド１４ｂとに
は、連通する吸気通路１４ｇが形成され、この吸気通路
１４ｇの一端は、ディスクヘッド１４ｂの上面側に開口
している。また、軸受け１４ｄには、吸気通路１４ｇと
連通する貫通孔１４ｈが穿設され、この貫通孔１４ｈ
は、図外の真空吸引装置に接続されていて、真空吸引装
置を駆動することにより、吸気通路１４ｇの先端側で、
ディスクヘッド１４ｂに装着された記録媒体Ｄを吸着保
持するように構成されている。
は、連通する吸気通路１４ｇが形成され、この吸気通路
１４ｇの一端は、ディスクヘッド１４ｂの上面側に開口
している。また、軸受け１４ｄには、吸気通路１４ｇと
連通する貫通孔１４ｈが穿設され、この貫通孔１４ｈ
は、図外の真空吸引装置に接続されていて、真空吸引装
置を駆動することにより、吸気通路１４ｇの先端側で、
ディスクヘッド１４ｂに装着された記録媒体Ｄを吸着保
持するように構成されている。
【００１６】さらに、ディスクヘッド１４ｂの下端側に
は、環状の鍔部１４ｉが設けられており、この鍔部１４
ｉは、記録媒体Ｄを洗浄部１８内に位置させた時に、パ
レット１２ｅの段付き孔１２ｆを閉塞する。昇降機構１
６は、ハウジング１４ｆを支持する支持部１６ａと、支
持部１６ａを上下方向に移動させるシリンダー１６ｂと
から構成されている。
は、環状の鍔部１４ｉが設けられており、この鍔部１４
ｉは、記録媒体Ｄを洗浄部１８内に位置させた時に、パ
レット１２ｅの段付き孔１２ｆを閉塞する。昇降機構１
６は、ハウジング１４ｆを支持する支持部１６ａと、支
持部１６ａを上下方向に移動させるシリンダー１６ｂと
から構成されている。
【００１７】一方、洗浄部１８は、取付ベース１８１
と、この取付ベース１８１の上面側に固設され、洗浄チ
ャンバー１８２を画成する凹状のカバー１８３と、イオ
ン化気体を噴射するノズル１８４と、排気ダクト１８５
と、遮蔽板１８６とを有している。取付ベース１８１に
は、第３ステージに位置するディスク状記録媒体Ｄと
同軸上に、記録媒体Ｄの挿通孔１８７が穿設されてい
る。
と、この取付ベース１８１の上面側に固設され、洗浄チ
ャンバー１８２を画成する凹状のカバー１８３と、イオ
ン化気体を噴射するノズル１８４と、排気ダクト１８５
と、遮蔽板１８６とを有している。取付ベース１８１に
は、第３ステージに位置するディスク状記録媒体Ｄと
同軸上に、記録媒体Ｄの挿通孔１８７が穿設されてい
る。
【００１８】カバー１８３は、半円部１８３ａとコ字形
部１８３ｂとを結合した、水平断面が概略楕円形状に形
成され、挿通孔１８７の中心は、半円部１８３ａの中心
に対して上方に偏位した位置に設定されている。ノズル
１８４は、半円部１８３ａの上方側に偏心させられた記
録媒体Ｄの上側の略接線上に位置し、カバー１８３のコ
字形部１８３ｂの上方側に設けられ、回転駆動される記
録媒体Ｄに対して、回転方向の逆方向からイオン化気体
を吹きつける。
部１８３ｂとを結合した、水平断面が概略楕円形状に形
成され、挿通孔１８７の中心は、半円部１８３ａの中心
に対して上方に偏位した位置に設定されている。ノズル
１８４は、半円部１８３ａの上方側に偏心させられた記
録媒体Ｄの上側の略接線上に位置し、カバー１８３のコ
字形部１８３ｂの上方側に設けられ、回転駆動される記
録媒体Ｄに対して、回転方向の逆方向からイオン化気体
を吹きつける。
【００１９】ノズル１８４は、取付ベース１８１の下面
側に取り付けられたアクチェータ１８８により所定の角
度範囲θで旋回できるようになっている。遮蔽板１８６
は、ノズル１８４と排気ダクト１８５との間にあって、
記録媒体Ｄに吹きつけられたイオン化気体を排気ダクト
１８５側に案内するものであり、中心に設けられた基部
１８６ａと、基部１８６ａの一端側に設けられ、挿通孔
１８７の略１／４を覆う円弧部１８６ａと、基部１８６
ａの他端側に設けられ、排気ダクト１８５の略１／３を
覆い、端部がカバー１８３に埋設された円弧状の湾曲部
１８６ｃとから構成されている。
側に取り付けられたアクチェータ１８８により所定の角
度範囲θで旋回できるようになっている。遮蔽板１８６
は、ノズル１８４と排気ダクト１８５との間にあって、
記録媒体Ｄに吹きつけられたイオン化気体を排気ダクト
１８５側に案内するものであり、中心に設けられた基部
１８６ａと、基部１８６ａの一端側に設けられ、挿通孔
１８７の略１／４を覆う円弧部１８６ａと、基部１８６
ａの他端側に設けられ、排気ダクト１８５の略１／３を
覆い、端部がカバー１８３に埋設された円弧状の湾曲部
１８６ｃとから構成されている。
【００２０】排気ダクト１８５は、取付ベース１８１を
貫通し、カバー１８３内に開口する吸引口が、ノズル１
８４の後方側に設けられ、その中間位置にシリンダー１
８９で開閉されるダンパー１９０が設けられ、ダンパー
１９０のさらに後方側には、図外のブロワーなどの排気
装置が設けられている。次に、上記構成の洗浄装置の作
動について説明する。本実施例の洗浄装置では、洗浄対
象となるディスク状記録媒体Ｄが第３ステージに位置
決めされると、まず、昇降機構１６のシリンダー１６ｂ
が駆動され、回転機構１４が上昇する。この回転機構１
４の上昇移動により、位置決め突起１４ａがパレット１
２ｅの段付き孔１２ｆに嵌着されている記録媒体Ｄの中
心孔ｄに嵌合し、この状態で記録媒体Ｄは吸気通路１４
ｇを介して吸着される。
貫通し、カバー１８３内に開口する吸引口が、ノズル１
８４の後方側に設けられ、その中間位置にシリンダー１
８９で開閉されるダンパー１９０が設けられ、ダンパー
１９０のさらに後方側には、図外のブロワーなどの排気
装置が設けられている。次に、上記構成の洗浄装置の作
動について説明する。本実施例の洗浄装置では、洗浄対
象となるディスク状記録媒体Ｄが第３ステージに位置
決めされると、まず、昇降機構１６のシリンダー１６ｂ
が駆動され、回転機構１４が上昇する。この回転機構１
４の上昇移動により、位置決め突起１４ａがパレット１
２ｅの段付き孔１２ｆに嵌着されている記録媒体Ｄの中
心孔ｄに嵌合し、この状態で記録媒体Ｄは吸気通路１４
ｇを介して吸着される。
【００２１】そして、昇降機構１６のシリンダー１６ｂ
を駆動して、更に回転機構１４を上昇移動させると、記
録媒体Ｄは、パレット１２ｅの段付き孔１２ｆから離脱
して、挿通孔１８７を通って、洗浄部１８の洗浄チャン
バー１８２内に進入する。このとき、鍔部１４ｉが段付
き孔１２ｆに当接し、これを閉塞すると、昇降機構１６
のシリンダー１６ｂの駆動が停止され、記録媒体Ｄが洗
浄チャンバー１８２内にセットされる。
を駆動して、更に回転機構１４を上昇移動させると、記
録媒体Ｄは、パレット１２ｅの段付き孔１２ｆから離脱
して、挿通孔１８７を通って、洗浄部１８の洗浄チャン
バー１８２内に進入する。このとき、鍔部１４ｉが段付
き孔１２ｆに当接し、これを閉塞すると、昇降機構１６
のシリンダー１６ｂの駆動が停止され、記録媒体Ｄが洗
浄チャンバー１８２内にセットされる。
【００２２】次いで、回転機構１４のモータ１４ｅが駆
動され、記録媒体Ｄは、図２の実線矢印方向に回転され
る。この回転と合い前後して、ノズル１８４からイオン
化気体が噴射され、記録媒体Ｄに静電付着している塵埃
が、吹きつけられたイオン化気体により除去される。こ
のとき、必要に応じてアクチェータ１８８を駆動してノ
ズル１８４を旋回させる。
動され、記録媒体Ｄは、図２の実線矢印方向に回転され
る。この回転と合い前後して、ノズル１８４からイオン
化気体が噴射され、記録媒体Ｄに静電付着している塵埃
が、吹きつけられたイオン化気体により除去される。こ
のとき、必要に応じてアクチェータ１８８を駆動してノ
ズル１８４を旋回させる。
【００２３】一方、排気ダクト１８５側では、ノズル１
８４の吹きつけに先立って、シリンダー１８９を駆動し
て、ダンパー１９０が所定の開度にセットされ、排気装
置が駆動される。記録媒体Ｄの回転方向の逆方向から吹
きつけられ、除去した塵埃を帯有したイオン化気体は、
記録媒体Ｄの上を通過して、カバー１８３の内面に衝突
することになる。
８４の吹きつけに先立って、シリンダー１８９を駆動し
て、ダンパー１９０が所定の開度にセットされ、排気装
置が駆動される。記録媒体Ｄの回転方向の逆方向から吹
きつけられ、除去した塵埃を帯有したイオン化気体は、
記録媒体Ｄの上を通過して、カバー１８３の内面に衝突
することになる。
【００２４】この場合、ディスクヘッド１４ｂに吸着保
持されている記録媒体Ｄと同心円上にある挿通孔１８７
の中心が、カバー１８３の半円部１８３ａの中心に対し
て上方に偏位しているので、カバー１８３の内面に衝突
した気体は、その後半円部１８３ａの内面に沿うように
して下方に流れ、遮蔽板１８６の外側面に沿って案内さ
れて、排気ダクト１８５に吸引される。
持されている記録媒体Ｄと同心円上にある挿通孔１８７
の中心が、カバー１８３の半円部１８３ａの中心に対し
て上方に偏位しているので、カバー１８３の内面に衝突
した気体は、その後半円部１８３ａの内面に沿うように
して下方に流れ、遮蔽板１８６の外側面に沿って案内さ
れて、排気ダクト１８５に吸引される。
【００２５】一方、ノズル１８４から吹きつけられる気
体と同方向に回転している記録媒体Ｄの下側では、記録
媒体Ｄの回転により、カバー１８３の内面に当たってそ
の勢いが弱められた気体が逆流することが防止される。
この場合、ノズル１８４を角度θの範囲で旋回させる
と、気体の逆流がより一層効果的に防止できる。以上の
ようにして洗浄が行われた記録媒体Ｄは、その後、昇降
機構１６のシリンダー１６ｂを駆動して、回転機構１４
を降下させ、再びパレット１２ｅの段付き孔１２ｆに装
着され、インデックステーブル１２を回転させて、第４
ステージから次の保護膜形成装置に供給される。
体と同方向に回転している記録媒体Ｄの下側では、記録
媒体Ｄの回転により、カバー１８３の内面に当たってそ
の勢いが弱められた気体が逆流することが防止される。
この場合、ノズル１８４を角度θの範囲で旋回させる
と、気体の逆流がより一層効果的に防止できる。以上の
ようにして洗浄が行われた記録媒体Ｄは、その後、昇降
機構１６のシリンダー１６ｂを駆動して、回転機構１４
を降下させ、再びパレット１２ｅの段付き孔１２ｆに装
着され、インデックステーブル１２を回転させて、第４
ステージから次の保護膜形成装置に供給される。
【００２６】さて、以上のように構成された洗浄装置１
０では、洗浄対象である記録媒体Ｄを包囲するカバー１
８３を有しているので、記録媒体Ｄから除去された塵埃
は、カバー１８３の外部に飛散することなく、排気ダク
ト１８５から外部に排出される。また、カバー１８３内
には、ノズル１８４から記録媒体Ｄに吹きつけられ、塵
埃を帯有した気体を、逆流を防止しつつ排気ダクト１８
５側に案内する遮蔽板１８６が設けられているので、ノ
ズル１８４から噴出するイオン化気体の強さを大きくし
ても、除去された塵埃の飛散が発生しない。
０では、洗浄対象である記録媒体Ｄを包囲するカバー１
８３を有しているので、記録媒体Ｄから除去された塵埃
は、カバー１８３の外部に飛散することなく、排気ダク
ト１８５から外部に排出される。また、カバー１８３内
には、ノズル１８４から記録媒体Ｄに吹きつけられ、塵
埃を帯有した気体を、逆流を防止しつつ排気ダクト１８
５側に案内する遮蔽板１８６が設けられているので、ノ
ズル１８４から噴出するイオン化気体の強さを大きくし
ても、除去された塵埃の飛散が発生しない。
【００２７】
【発明の効果】以上、実施例で詳細に説明したように、
本発明にかかるディスク状記録媒体の洗浄装置によれ
ば、記録媒体から除去した塵埃の飛散が防止される。
本発明にかかるディスク状記録媒体の洗浄装置によれ
ば、記録媒体から除去した塵埃の飛散が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるディスク状記録媒体の洗浄装置
の一実施例を示す側面説明図である。
の一実施例を示す側面説明図である。
【図２】図１の２ー２線矢視図である。
１０ 洗浄装置 １２ インデックステーブル １４ 回転機構 １６ 昇降機構 １８ 洗浄部 １８１ 取付ベース １８２ 洗浄チャンバー １８３ カバー １８４ ノズル １８５ 排気ダクト １８６ 遮蔽板 Ｄ ディスク状記録媒体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/26 G11B 5/84
Claims (1)
- 【請求項１】 情報が記録されるディスク状記録媒体を
吸着保持して回転させる回転機構と、この回転機構を上
下方向に移動させる昇降機構と、前記回転機構により回
転される前記ディスク状録媒体にイオン化気体を吹きつ
ける洗浄部とを有するディスク状記録媒体の洗浄装置に
おいて、 前記洗浄部は、前記ディスク状記録媒体の外周を包囲す
るカバーと、このカバー内に設けられ、前記ディスク状
記録媒体の回転方向の逆方向から前記イオン化気体を吹
きつける噴射用ノズルと、前記カバー内に吸引口が開口
した排気ダクトと、前記噴射用ノズル前記吸引口との間
に設けられ、前記ディスク状記録媒体に吹きつけられた
前記イオン化気体を前記吸引口側に案内する遮蔽板とを
有することを特徴とするディスク状記録媒体の洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09292793A JP3249632B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ディスク状記録媒体の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09292793A JP3249632B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ディスク状記録媒体の洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302014A JPH06302014A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3249632B2 true JP3249632B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=14068134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09292793A Expired - Lifetime JP3249632B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ディスク状記録媒体の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3249632B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5075862B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2012-11-21 | 昭和電工株式会社 | ディスククリーニング装置及びディスククリーニング方法 |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP09292793A patent/JP3249632B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06302014A (ja) | 1994-10-28 |
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