JP3208331B2 - スピンコーティング装置 - Google Patents
スピンコーティング装置Info
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- JP3208331B2 JP3208331B2 JP24046896A JP24046896A JP3208331B2 JP 3208331 B2 JP3208331 B2 JP 3208331B2 JP 24046896 A JP24046896 A JP 24046896A JP 24046896 A JP24046896 A JP 24046896A JP 3208331 B2 JP3208331 B2 JP 3208331B2
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- Japan
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- compressed air
- disk
- hole
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザーディスク、
コンパクトディスク、等の表面に紫外線硬化樹脂等の塗
布膜を形成させるためのスピンコーティング装置に関す
る。
コンパクトディスク、等の表面に紫外線硬化樹脂等の塗
布膜を形成させるためのスピンコーティング装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のスピンコーティング装置は、ター
ンテーブル上にコンパクトディスク等を真空チャック
し、ターンテーブルを回転させつつ塗布液を滴下させ更
に回転数を上げて塗布液がコンパクトディスク等の盤面
全体に均一な膜厚で塗布されるような構成となってい
た。
ンテーブル上にコンパクトディスク等を真空チャック
し、ターンテーブルを回転させつつ塗布液を滴下させ更
に回転数を上げて塗布液がコンパクトディスク等の盤面
全体に均一な膜厚で塗布されるような構成となってい
た。
【０００３】そこで、図２を参照して従来のスピンコー
ティング装置について説明する。
ティング装置について説明する。
【０００４】図２の従来の装置は、モータ５５の回転軸
を連結子５４によりスピンドル軸５３に直結している。
そして、このスピンドル軸５３は複数の軸受６４ａ．６
４ｂ，６４ｃ，６４ｄを有するスピンドルハウジング５
６内に収められている。
を連結子５４によりスピンドル軸５３に直結している。
そして、このスピンドル軸５３は複数の軸受６４ａ．６
４ｂ，６４ｃ，６４ｄを有するスピンドルハウジング５
６内に収められている。
【０００５】また、スピンドル軸５３の上端にはターン
テーブル５７が取り付けられている。
テーブル５７が取り付けられている。
【０００６】上記ターンテーブル５７の内周にはコンパ
クトディスク等を真空チャックするための排気穴５７ｃ
が複数個設けられている。そして、各排気穴５７ｃはタ
ーンテーブル５７と回転ヘッド６５の上端を貫通する穴
を通じてスピンドル軸５３の上端の孔部５３ａにつなが
り、更にスピンドル軸の中心に開削された主排気路５３
ｂと主排気路５３ｂの下端付近に設けられた水平方向の
貫通穴５３ｃと継手６０とにより図示しない真空ポンプ
に接続されている。また、図３に示すように、排気穴５
７ｃを複数個設けたターンテーブルの内周部分以外は一
段低くされており、信号記録領域のディスク表面が直接
ターンテーブルに接触するのを回避してディスク表面が
傷つかないようにしている。
クトディスク等を真空チャックするための排気穴５７ｃ
が複数個設けられている。そして、各排気穴５７ｃはタ
ーンテーブル５７と回転ヘッド６５の上端を貫通する穴
を通じてスピンドル軸５３の上端の孔部５３ａにつなが
り、更にスピンドル軸の中心に開削された主排気路５３
ｂと主排気路５３ｂの下端付近に設けられた水平方向の
貫通穴５３ｃと継手６０とにより図示しない真空ポンプ
に接続されている。また、図３に示すように、排気穴５
７ｃを複数個設けたターンテーブルの内周部分以外は一
段低くされており、信号記録領域のディスク表面が直接
ターンテーブルに接触するのを回避してディスク表面が
傷つかないようにしている。
【０００７】なお、アウターカバー７０、インナーカバ
ー７１は飛散した塗布液を回収するために設けられてお
り、アウターカバー７０の下部の複数箇所で排気ダクト
と塗布液回収管に接続されている。また、架台６３はモ
ータ５５等を取り付けるために設けられている。
ー７１は飛散した塗布液を回収するために設けられてお
り、アウターカバー７０の下部の複数箇所で排気ダクト
と塗布液回収管に接続されている。また、架台６３はモ
ータ５５等を取り付けるために設けられている。
【０００８】このような構成の図２のスピンコーティン
グ装置は以下のように用いられる。まず、コンパクトデ
ィスク等を搬送してきてターンテーブル５７の中心に位
置決めして載せると、排気穴５７ｃがレーザーディスク
等を吸引してレーザーディスク等をターンテーブルに固
定させる。ついで、比較的低速でターンテーブル５７を
回転させつつ、図示しない塗布液排出ノズルより塗布液
を吐出しコンパクトディスク等の表面に塗布液を塗布す
る。その後ディスク全表面に塗布膜を均一で一定に形成
するために所定の時間高速回転させると塗布工程は終了
するしかし、図２に示した従来のスピンコーティング装
置では、図３に拡大して示すように、真空吸引されるデ
ィスクの内周を除きディスクの表面とターンテーブルの
表面とは０．５ｍｍ程度離れているので、高速回転時に
その間隙中の空気が遠心力で外周方向に排気され、間隙
が負圧となる傾向があるため、その間隙に塗布液のミス
トが侵入し、ディスク表面に付着することがあった。こ
のようにレーザー光が入射する側のディスク表面に塗布
液が付着するとその場所が欠陥となりディスクに記録さ
れた情報を正しく読み取ることができない場合が生じ
る。また、塗布液が不要に付着するとディスクの外観が
不良となる。
グ装置は以下のように用いられる。まず、コンパクトデ
ィスク等を搬送してきてターンテーブル５７の中心に位
置決めして載せると、排気穴５７ｃがレーザーディスク
等を吸引してレーザーディスク等をターンテーブルに固
定させる。ついで、比較的低速でターンテーブル５７を
回転させつつ、図示しない塗布液排出ノズルより塗布液
を吐出しコンパクトディスク等の表面に塗布液を塗布す
る。その後ディスク全表面に塗布膜を均一で一定に形成
するために所定の時間高速回転させると塗布工程は終了
するしかし、図２に示した従来のスピンコーティング装
置では、図３に拡大して示すように、真空吸引されるデ
ィスクの内周を除きディスクの表面とターンテーブルの
表面とは０．５ｍｍ程度離れているので、高速回転時に
その間隙中の空気が遠心力で外周方向に排気され、間隙
が負圧となる傾向があるため、その間隙に塗布液のミス
トが侵入し、ディスク表面に付着することがあった。こ
のようにレーザー光が入射する側のディスク表面に塗布
液が付着するとその場所が欠陥となりディスクに記録さ
れた情報を正しく読み取ることができない場合が生じ
る。また、塗布液が不要に付着するとディスクの外観が
不良となる。
【０００９】そこで、さらに別の従来の技術を参照する
と、図４は塗布液がディスクのレーザー光入射面に不要
に付着することのないように構成されたスピンコーティ
ング装置であって、特開平４−１５６９７４に開示され
たものである。この装置においては、エア供給口１０か
ら供給されたエアをディスク裏面の通路を通って、エア
吹出口９からディスクの裏面全周に渡り略均一かつ高速
に吹き出させることを特徴としており、塗布液がディス
ク裏面に侵入し、付着するのを防止しようとしている。
と、図４は塗布液がディスクのレーザー光入射面に不要
に付着することのないように構成されたスピンコーティ
ング装置であって、特開平４−１５６９７４に開示され
たものである。この装置においては、エア供給口１０か
ら供給されたエアをディスク裏面の通路を通って、エア
吹出口９からディスクの裏面全周に渡り略均一かつ高速
に吹き出させることを特徴としており、塗布液がディス
ク裏面に侵入し、付着するのを防止しようとしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４の従来の
スピンコーティング装置では吹き出された空気が乱流と
なりやすく、また、エアの外周への吹き出しがうまくい
かず、ディスク裏面に侵入しようとする塗布液を確実に
排除することができない。そこで本発明は図２の従来の
ターンテーブルを有するスピンコーティング装置を改良
し、回転するターンテーブルの外周の表面からエアを吹
き出すことにより、ディスク裏面に侵入しようとする塗
布液を確実に排除することを課題としている。
スピンコーティング装置では吹き出された空気が乱流と
なりやすく、また、エアの外周への吹き出しがうまくい
かず、ディスク裏面に侵入しようとする塗布液を確実に
排除することができない。そこで本発明は図２の従来の
ターンテーブルを有するスピンコーティング装置を改良
し、回転するターンテーブルの外周の表面からエアを吹
き出すことにより、ディスク裏面に侵入しようとする塗
布液を確実に排除することを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明においては、上下方向に設置さ
れ上端にターンテーブルを有するスピンドル軸と、前記
スピンドル軸を軸受を介して支持するスピンドルハウジ
ングと、前記スピンドル軸を回転させるモータと、前記
ターンテーブルを包囲するカバーとを有するスピンコー
ティング装置において、前記ターンテーブルの内周の複
数箇所に真空排気穴を設け、さらに、前記ターンテーブ
ルの外周の複数箇所に圧縮空気吹出穴を設けるようにし
ている。さらに、前記圧縮空気吹出穴は前記ターンテー
ブルの表面に対して傾斜して穿たれて、圧縮空気が、前
記ターンテーブルの回転方向と逆方向の円周方向に吹き
出すようにしている。さらに、請求項２記載の発明にお
いては、圧縮空気解放穴を前記スピンドルハウジングに
設けるようにしている。
め、請求項１記載の発明においては、上下方向に設置さ
れ上端にターンテーブルを有するスピンドル軸と、前記
スピンドル軸を軸受を介して支持するスピンドルハウジ
ングと、前記スピンドル軸を回転させるモータと、前記
ターンテーブルを包囲するカバーとを有するスピンコー
ティング装置において、前記ターンテーブルの内周の複
数箇所に真空排気穴を設け、さらに、前記ターンテーブ
ルの外周の複数箇所に圧縮空気吹出穴を設けるようにし
ている。さらに、前記圧縮空気吹出穴は前記ターンテー
ブルの表面に対して傾斜して穿たれて、圧縮空気が、前
記ターンテーブルの回転方向と逆方向の円周方向に吹き
出すようにしている。さらに、請求項２記載の発明にお
いては、圧縮空気解放穴を前記スピンドルハウジングに
設けるようにしている。
【００１２】
【発明の実施の形態】請求項１記載の発明は従来のスピ
ンコーティング装置のターンテーブルの外周表面から圧
縮空気を吹き出して、ターンテーブルとディスク媒体の
間に回り込んできた塗布液を排除するものである。この
ような圧縮空気吹出穴はターンテーブル支持台中の圧縮
空気副通路とスピンドル軸中の圧縮空気主通路を通じて
コンプレッサに接続されている。
ンコーティング装置のターンテーブルの外周表面から圧
縮空気を吹き出して、ターンテーブルとディスク媒体の
間に回り込んできた塗布液を排除するものである。この
ような圧縮空気吹出穴はターンテーブル支持台中の圧縮
空気副通路とスピンドル軸中の圧縮空気主通路を通じて
コンプレッサに接続されている。
【００１３】また、圧縮空気を斜め上方に吹き出して塗
布液を排除するものである。従って、圧縮空気吹出口は
ターンテーブルの表面に対し傾いた角度で穿削される。
布液を排除するものである。従って、圧縮空気吹出口は
ターンテーブルの表面に対し傾いた角度で穿削される。
【００１４】また、塗布液の排除をより完全にするため
のものである。塗布液の一部はディスク媒体の回転によ
りディスク外周からその円周方向に飛び出していく。こ
のように飛び出した塗布液は微少なミストとなりその一
部がターンテーブルとディスクの間に入り込むことがあ
る。そこで、圧縮空気はターンテーブルの回転方向と逆
方向に沿って、且つ、円周方向に吹き出される。従っ
て、圧縮空気吹出穴は円周の接線方向に沿い、且つ、タ
ーンテーブルの表面に対し傾いた角度で穿削される。
のものである。塗布液の一部はディスク媒体の回転によ
りディスク外周からその円周方向に飛び出していく。こ
のように飛び出した塗布液は微少なミストとなりその一
部がターンテーブルとディスクの間に入り込むことがあ
る。そこで、圧縮空気はターンテーブルの回転方向と逆
方向に沿って、且つ、円周方向に吹き出される。従っ
て、圧縮空気吹出穴は円周の接線方向に沿い、且つ、タ
ーンテーブルの表面に対し傾いた角度で穿削される。
【００１５】請求項２記載の発明は、真空排気路と圧縮
空気通路との干渉をなくするものである。真空排気路も
圧縮空気通路もスピンドル軸中に設ける必要がある。従
って、スピンドル軸を支持する軸受を介して圧縮空気が
真空排気路に漏れるおそれがある。そこで、真空ポンプ
の継手とコンプレッサの継手の間の軸受ハウジングの外
壁に圧縮空気解放穴を設けている。
空気通路との干渉をなくするものである。真空排気路も
圧縮空気通路もスピンドル軸中に設ける必要がある。従
って、スピンドル軸を支持する軸受を介して圧縮空気が
真空排気路に漏れるおそれがある。そこで、真空ポンプ
の継手とコンプレッサの継手の間の軸受ハウジングの外
壁に圧縮空気解放穴を設けている。
【００１６】
【実施例】本発明の実施例を図１に基いて説明する。同
図に示すスピンコーティング装置はディスク媒体を下方
から支持して回転させるディスク回転機構と、記録面か
ら飛散する塗布液や、蒸散する塗布液のミストを回収す
る回収部とを有している。
図に示すスピンコーティング装置はディスク媒体を下方
から支持して回転させるディスク回転機構と、記録面か
ら飛散する塗布液や、蒸散する塗布液のミストを回収す
る回収部とを有している。
【００１７】ディスク回転機構は、モータ５５と、モー
タ５５の回転駆動軸に連結されたスピンドル軸５３と、
このスピンドル軸５３先端側に装着された回転ヘッド６
５と、回転ヘッド６５に装着されたターンテーブル５７
とを有している。
タ５５の回転駆動軸に連結されたスピンドル軸５３と、
このスピンドル軸５３先端側に装着された回転ヘッド６
５と、回転ヘッド６５に装着されたターンテーブル５７
とを有している。
【００１８】回転ヘッド６５は、スピンドル軸５３の外
周に装着される中空円筒状の筒部６５ａと、この筒部６
５ａの上端側に装着される閉塞部材６５ｂとを有してい
る。閉塞部材６５ｂは、中心に突設された円筒状凸部６
５ｃと、この凸部６５ｃに形成された上端が開口した孔
部６５ｄとを有し、円筒状凸部６５ｃはスピンドル軸５
３の上端の孔部５３ａに収納されている。なお、スピン
ドル軸５３と中空円筒筒部６５ａはＯリングにより固定
されている。
周に装着される中空円筒状の筒部６５ａと、この筒部６
５ａの上端側に装着される閉塞部材６５ｂとを有してい
る。閉塞部材６５ｂは、中心に突設された円筒状凸部６
５ｃと、この凸部６５ｃに形成された上端が開口した孔
部６５ｄとを有し、円筒状凸部６５ｃはスピンドル軸５
３の上端の孔部５３ａに収納されている。なお、スピン
ドル軸５３と中空円筒筒部６５ａはＯリングにより固定
されている。
【００１９】ターンテーブル５７は円盤状基部５７ａと
中心に穿設された円形の孔部５７ｂとを有し、回転ヘッ
ド６５にネジ止めされている。そして、上記孔部５７ｂ
内にはディスク位置決め部材６６が設置されている。
中心に穿設された円形の孔部５７ｂとを有し、回転ヘッ
ド６５にネジ止めされている。そして、上記孔部５７ｂ
内にはディスク位置決め部材６６が設置されている。
【００２０】このディスク位置決め部材６６は、その脚
部が軸受を介して孔部６５ｄ内を上下移動自在に装着さ
れ、かつ、バネにより常時上方に突出するように付勢さ
れている。
部が軸受を介して孔部６５ｄ内を上下移動自在に装着さ
れ、かつ、バネにより常時上方に突出するように付勢さ
れている。
【００２１】真空排気穴５７ｃはディスクの内周を吸引
して真空チャックするものであり、同一円周上に複数箇
所（たとえば等角度間隔で４か所乃至８か所）設けられ
る。この真空排気穴５７ｃはターンテーブル５７と回転
ヘッド６５の閉塞部材６５ｂを貫通する穴を通じてスピ
ンドル軸５３の上端の孔部５３ａにつながり、更にスピ
ンドル軸の中心に開削された主排気路５３ｂと主排気路
５３ｂの下端付近に設けられた水平方向の貫通穴５３ｃ
と継手６０により図示しない真空ポンプにつながってい
る。
して真空チャックするものであり、同一円周上に複数箇
所（たとえば等角度間隔で４か所乃至８か所）設けられ
る。この真空排気穴５７ｃはターンテーブル５７と回転
ヘッド６５の閉塞部材６５ｂを貫通する穴を通じてスピ
ンドル軸５３の上端の孔部５３ａにつながり、更にスピ
ンドル軸の中心に開削された主排気路５３ｂと主排気路
５３ｂの下端付近に設けられた水平方向の貫通穴５３ｃ
と継手６０により図示しない真空ポンプにつながってい
る。
【００２２】一方、塗布液回収部は、中空の略円錐台状
に形成されたアウターカバー７０と、このアウターカバ
ー７０内に設置されたインナーカバー７１とを有してい
る。アウターカバー７０はディスク媒体挿通孔と環状傾
斜面と直立壁部と底部とを有し、更に、この底部の内端
側に設けられて軸受ハウジング５６の上端側を包囲する
第１筒部と、この第１筒部の外周にあって、回転ヘッド
の外周を包囲する第２筒部とを有している。
に形成されたアウターカバー７０と、このアウターカバ
ー７０内に設置されたインナーカバー７１とを有してい
る。アウターカバー７０はディスク媒体挿通孔と環状傾
斜面と直立壁部と底部とを有し、更に、この底部の内端
側に設けられて軸受ハウジング５６の上端側を包囲する
第１筒部と、この第１筒部の外周にあって、回転ヘッド
の外周を包囲する第２筒部とを有している。
【００２３】アウターカバー底部は傾斜しており、ま
た、第２筒部下端には複数の図示しない穴が穿たれてい
る。この構成により塗布液を複数の回収口７２に導く。
た、第２筒部下端には複数の図示しない穴が穿たれてい
る。この構成により塗布液を複数の回収口７２に導く。
【００２４】更にミストとなった塗布液を回収するため
アウターカバー底部の複数箇所に排気ダクト７３を接続
している。
アウターカバー底部の複数箇所に排気ダクト７３を接続
している。
【００２５】更に、圧縮空気吹出穴５７ｄは真空排気穴
よりも外周において空圧縮空気を吹き出して不要な塗布
液を排除するものであり、同一円周上に複数箇所（たと
えば等角度間隔で４か所ないし８か所）設けられる。こ
の圧縮空気吹出穴５７ｄはターンテーブル５７と回転ヘ
ッド６５の閉塞部材６５ｂの外周と筒部６５ａの外周を
貫通する穴により回転ヘッド６５の下部付近に達し、水
平方向通路８０とスピンドル軸５３の外周に設けた外周
通路８１を経てスピンドルハウジング５６外の継手８２
に接続される。そして継手８２には図示しないコンプレ
ッサが接続されている。
よりも外周において空圧縮空気を吹き出して不要な塗布
液を排除するものであり、同一円周上に複数箇所（たと
えば等角度間隔で４か所ないし８か所）設けられる。こ
の圧縮空気吹出穴５７ｄはターンテーブル５７と回転ヘ
ッド６５の閉塞部材６５ｂの外周と筒部６５ａの外周を
貫通する穴により回転ヘッド６５の下部付近に達し、水
平方向通路８０とスピンドル軸５３の外周に設けた外周
通路８１を経てスピンドルハウジング５６外の継手８２
に接続される。そして継手８２には図示しないコンプレ
ッサが接続されている。
【００２６】上記圧縮空気吹出穴５７ｄの直径は０．５
mmないし５mmとした。
mmないし５mmとした。
【００２７】スペーサ９０、９１はスピンドル軸５３に
嵌合してスピンドル軸と一緒に回転する。これらのスペ
ーサ９０、９１はラビリンスシール機能を有し、スピン
ドルハウジング５６の内壁との隙間を０．１ないし０．
２ｍｍ程度にして、圧縮空気が軸受部へ侵入するのを極
力防いでいる。
嵌合してスピンドル軸と一緒に回転する。これらのスペ
ーサ９０、９１はラビリンスシール機能を有し、スピン
ドルハウジング５６の内壁との隙間を０．１ないし０．
２ｍｍ程度にして、圧縮空気が軸受部へ侵入するのを極
力防いでいる。
【００２８】圧縮空気解放穴９２、９３は上記隙間及び
軸受を通過してきたわずかな圧縮空気を大気へ解放して
圧縮空気が真空側に侵入するのを防いでいる。
軸受を通過してきたわずかな圧縮空気を大気へ解放して
圧縮空気が真空側に侵入するのを防いでいる。
【００２９】また、空隙９４、９５も、０．１ないし
〇．２ｍｍ程度に設定されており、真空が軸受に侵入す
るのを極力防いでいる。
〇．２ｍｍ程度に設定されており、真空が軸受に侵入す
るのを極力防いでいる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、飛
散した塗布液がディスク媒体の裏面側に回り込んで付着
することが防止できるので、信号の読取りエラーが発生
せず、また、ディスクの外観を損なうことがない。特に
請求項１記載の発明によれば、従来の装置のターンテー
ブル上真空排気穴よりも外周付近の同一円周上に複数の
圧縮空気吹出穴を穿設すればディスク媒体裏面への塗布
液の付着をほぼ完全に防止できる。また、圧縮空気の吹
き出しによるディスク媒体の浮上を抑制しつつ、回り込
んでくる塗布液を排除できる。また、回り込もうとする
塗布液を迎え風で有効に排除するので、より確実に塗布
液を排除できる。更に請求項２記載の発明によれば、真
空排気路と圧縮空気通路との間の相互の漏れが防止でき
るので、ディスクを真空チャックする機能と圧縮空気を
吹き出す機能が独立にかつ完全に働く。
散した塗布液がディスク媒体の裏面側に回り込んで付着
することが防止できるので、信号の読取りエラーが発生
せず、また、ディスクの外観を損なうことがない。特に
請求項１記載の発明によれば、従来の装置のターンテー
ブル上真空排気穴よりも外周付近の同一円周上に複数の
圧縮空気吹出穴を穿設すればディスク媒体裏面への塗布
液の付着をほぼ完全に防止できる。また、圧縮空気の吹
き出しによるディスク媒体の浮上を抑制しつつ、回り込
んでくる塗布液を排除できる。また、回り込もうとする
塗布液を迎え風で有効に排除するので、より確実に塗布
液を排除できる。更に請求項２記載の発明によれば、真
空排気路と圧縮空気通路との間の相互の漏れが防止でき
るので、ディスクを真空チャックする機能と圧縮空気を
吹き出す機能が独立にかつ完全に働く。
【図１】本発明のスピンコーティング装置の縦断面図。
【図２】従来のスピンコーティング装置の縦断面図。
【図３】ターンテーブルにディスク媒体を吸着保持した
状態の拡大断面図
状態の拡大断面図
【図４】従来の他のスピンコーティング装置の縦断面
図。
図。
５３ スピンドル軸 ５３ｂ 主排気路 ５４ 連結子 ５５ モータ ５６ スピンドルハウジング ５７ ターンテーブル ５７ｃ 真空排気穴 ５７ｄ 圧縮空気吹出穴 ６５ 回転ヘッド ６０、８２ 継手 ７２ 塗布液回収管 ７３ 排気ダクト ９０、９１ ラビリンスシール機能を有するスペーサ ９２、９３ 圧縮空気開放穴
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05C 11/08 B05D 1/40 G03F 7/16 502 H01L 21/027
Claims (2)
- 【請求項１】 上下方向に設置され上端にターンテーブ
ルを有する回転ヘッドと、前記回転ヘッドに固定された
スピンドル軸と、前記スピンドル軸を軸受を介して支持
するスピンドルハウジングと、前記スピンドル軸を回転
させるモータと、前記ターンテーブルを包囲するカバー
とを有するスピンコーティング装置において、前記ター
ンテーブルの内周の複数箇所に真空排気穴を設け、さら
に、前記ターンテーブル上前記真空排気穴よりも外周に
圧縮空気吹出穴を設け、前記圧縮空気吹出穴は前記ター
ンテーブルの表面に対して傾斜して穿たれて、圧縮空気
が、前記ターンテーブルの回転方向と逆方向の円周方向
に吹き出すことを特徴とするスピンコーティング装置。 - 【請求項２】 圧縮空気解放穴を前記スピンドルハウジ
ングに設けたことを特徴とする請求項１記載のスピンコ
ーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24046896A JP3208331B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | スピンコーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24046896A JP3208331B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | スピンコーティング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1085651A JPH1085651A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3208331B2 true JP3208331B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=17059968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24046896A Expired - Fee Related JP3208331B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | スピンコーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3208331B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP24046896A patent/JP3208331B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1085651A (ja) | 1998-04-07 |
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