JP3002425U - スピンコ−ティング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スピンコ−ティング装置において、ディスク
面で弾き跳ばされ飛散した溶液や、遠心力によってディ
スク周縁に溜った溶液が、ディスクの裏面である信号読
み取り面を浸食することを防止し、常に正常な読み取り
が行えるようにする。 【構成】 タ−ンテ−ブル４とその下面中心に連結する
回転軸３を設け、ターンテーブル４には、下面側の開口
部がエア−取入部、上面側の開口部がエア−吹出部とな
った複数個の貫通穴４４を所定角度間隔で配置し、さら
に、タ−ンテ−ブル４の下部より貫通穴４４を通ってエ
ア−を吹き出させるエア−供給路５１を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、記録媒体であるディスク表面にスピンコ−ティング用溶液を滴下し てスピンコ−トする装置（以降、スピンコーティング装置と称する）に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のディスク表面に保護膜を作成する装置として、例えば特開平４−１９５ ７４４号公報に記載された、光ディスク記録膜作製用塗布装置を掲げることがで きる。この光ディスク記録膜作製用塗布装置では、吐出された溶液の広がりを液 検出部で検出し、その検出信号に基づいて溶液の吐出とディスクの回転を制御さ せ、記録膜を均一な厚みでかつ一定の範囲に塗布できるようにしている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上述した光ディスク記録膜作製用塗布装置では、ディスク面で弾き跳 ばされ飛散した溶液や、遠心力によってディスク周縁に溜った溶液がディスクの 裏面である信号読み取り面を浸食し、部分的に正常な読み取りができなくなる場 合があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

そこで本考案は、 １．タ−ンテ−ブルとその下面中心に連結する回転軸を設け、ターンテーブルに は、下面側の開口部がエア−取入部、上面側の開口部がエア−吹出部となった複 数個の貫通穴を所定角度間隔で配置し、さらに、タ−ンテ−ブルの下部より貫通 穴を通ってエア−を吹き出させるエア−供給路を設ける、 ２．１項において、貫通穴の空気取入部を、タ−ンテ−ブルの回転方向に関し、 空気吹出部よりも前進位置に設ける、 ３．１項において、エア−供給路を前記回転軸の軸心に設ける、 ４．１項において、エア−供給路を前記回転軸の周縁に設ける、 ５．１項において、ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス部に設けると共に、 そのボス部の周囲に貫通穴を設ける、 ６．４項において、タ−ンテ−ブル下面にハブ部を設け、このハブ部からタ−ン テ−ブル上面にかけて貫通穴を形設すると共に、回転軸を支持する軸受部とハブ 部をリングで囲んでエア−供給路たる環状空間を構成し、この環状空間にエア− ホ−スを接続する、 ７．４項において、ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス部に設け、この吸引 穴に真空圧を及ぼす吸引路を回転軸内に形設し、他方タ−ンテ−ブル下面にはハ ブ部を設け、このハブ部からタ−ンテ−ブル上面にかけて貫通穴を形設すると共 に、回転軸を支持する軸受部とハブ部をリングで囲んでエア−供給路たる環状空 間を構成し、この環状空間にエア−ホ−スを接続する、 ものとした。

【０００５】

【作用】

貫通穴から吹き出されたエア−はディスクの裏面に吹き付けられて、飛散して いる溶液やディスク周縁に溜っている溶液がディスクの裏面側に進入することが 防止され、それらの溶液がディスク裏面に付着することがない。

【０００６】

【実施例】

図１に基づき一実施例を説明する。１は図示しないベ−ス上に水平に支持され たプレ−トで、軸受部２が固着される。軸受部２は、回転軸３を垂直に支持し、 内部に真空吸引路２１を有している。回転軸３の下端部には、図示しない駆動モ −タから回転力が伝達される。３１は回転軸３の軸線方向に形成された真空吸引 路で、その一端が軸受部２の真空吸引路２１に向かって開口し、他端が後述する ターンテーブル４に設ける真空吸引口４３に応じて開口している。４は回転軸３ の上端に固着されたタ−ンテ−ブルである。このタ−ンテ−ブル４の上面中央に は、ディスクＷの中心部のみを載置してディスクＷ残部とターンテーブル４との 間に一定の隙間を開けるボス部４１を設け、下面中央にはハブ部４２を設ける。 ４３はタ−ンテ−ブル４内に上向きに形成された真空吸引口で、ボス部４１の上 面に所定角度間隔で複数個開口しており、回転軸３の真空吸引路３１と軸受部２ の真空吸引路２１を通って、軸受部２の側壁に設けた接続口２２を介し、図示し ない真空吸引源に連通する。

【０００７】 ４４は、ハブ部４２の下面からタ−ンテ−ブル４の上面に向かう貫通穴で、ボ ス部４１を避けた位置に所定角度の間隔を置いて複数個配置される。５は、プレ ート１上に回転軸３の軸心と同心に設置されるリングであり、その内周面上部で ハブ部４２の外周を囲み、内周面下部で回転軸３を支持する軸受部２の外周を囲 んで、環状空間６を形成させるものである。５１はリング５の下面から内周面に 開口するエア−供給路であり、プレート１にエア−供給路５１に通じる接続口１ １を設け、接続口１１には、継ぎ手１２、エア−ホース１３を介して図示しない エア−供給源を接続する。こうして、貫通穴４４は、環状空間６を介してエア− 供給路５１と連通し、エア−供給源から圧縮エアーが供給されると、貫通穴４４ からディスクＷの裏面に向かってエアーが吹き出すことになる。

【０００８】 貫通穴４４の形状について、図に基づき補足説明する。図２はタ−ンテ−ブル ４を側方から見た断面図であり、貫通穴４４は、タ−ンテ−ブル４の回転方向に 関して、ハブ部４２の下面の空気取入部がタ−ンテ−ブル４の上面の空気吹出部 よりも前進した位置にある。

【０００９】 このような構成を有する本実施例の動作は次のようになる。まず、図示しない ピックアンドプレ−ス装置により、ディスクＷをタ−ンテ−ブル４上に載置する 。この時、図示しない真空吸引源に吸引を開始させて、真空吸引路２１、３１を 経由して真空吸引口４３に真空吸引力を生じさせ、ボス部４１上面に載置された ディスクＷを一時吸着保持させる。そして、この状態のままで、図示しない駆動 モ−タに回転軸３へ回転力を伝達させ、それに伴いディスクＷを載置したタ−ン テ−ブル４を回転させる。

【００１０】 一方、ディスクＷがタ−ンテ−ブル４上に載置された段階で、図示しない滴下 装置を、ディスクＷ中心側のアルミ蒸着面の上方に進出させ、タ−ンテ−ブル４ の回転に伴って、溶液の滴下を行わせる。滴下された溶液は、タ−ンテ−ブル４ の回転で生じる遠心力により、ディスクＷ周縁に向かって拡散される。

【００１１】 溶液の滴下と同時に、図示しないエア−供給源にエア−の供給を開始させる。 ここで供給されるエア−は、エア−ホ−ス１３、エア−供給路５１を通じて環状 空間６に送り込まれた後、ハブ部４２の下面側から貫通穴４４を抜けて、タ−ン テ−ブル４の上面へと吹き出される。このエア−は、タ−ンテ−ブル４の回転で 生じる遠心力によって、ディスクＷ裏面の周縁方向に向かって流れ、ディスクＷ とタ−ンテ−ブル４間の隙間に入り込もうとする溶液を遮断する。

【００１２】 また、貫通穴４４のエア−取入部が、タ−ンテ−ブル４の矢印で示す回転方向 に関し、エア−吹出部よりも前進位置に設けられているため、貫通穴４４から吹 き出すエア−は、回転方向とは逆方向かつ斜め上向きに吹き出すことになる。図 ２において、ディスクＷ周縁に溜った溶液Ｌは、貫通穴４４から吹き出る斜め上 向きの矢印で示すエア−の流れに妨げられ、ディスクＷの裏面側へ入り込むこと はない。さらに飛散している溶液も、同様にエア−の流れに妨げられて、ディス クＷの裏面側へ入り込むことはない。

【００１３】 上記実施例では、エア−供給路５１を回転軸の周縁に設けたが、回転軸３内に 真空吸引路３１と分離してエア−供給路を形成することもできる。この場合、例 えばエア−供給路の一端を、回転軸下端面に開口させ、エアー配管用ロ−タリ− ジョイント等でエア−供給源と接続し、他端を、前述の環状空間に通じるよう側 面へ開口させ、貫通穴からエア−を供給すればよい。また、本実施例の貫通穴は 、貫通穴４４のエア−取入部が、タ−ンテ−ブルの回転方向に関し、エア−吹出 部よりも前進位置に設けることとしたが、真っ直ぐ上向きとしてもよく、さらに は、エア−吹出部よりも後退位置に設けるようにしてもよい。取入部を吹出部よ り軸心よりに位置させて、吹出部から吹き出すエアーがディスクＷの周縁方向に 向かうように形成してもよい。

【００１４】

【考案の効果】

本考案によれば、ディスク裏面に回りこもうとする溶液は、貫通穴から吹き出 されるエア−に妨げられて、ディスク裏面に付着することはなく、裏面の信号読 み取り面を損なうことのない良好なディスクが提供できる。従って、ディスク製 造におけるスピンコーティング工程で、歩留まりが向上する。

【提出日】平成６年４月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】 【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、記録媒体であるディスク表面にスピンコ−ティング用溶液を滴下し てスピンコ−トする装置（以降、スピンコーティング装置と称する）に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のディスク表面に保護膜を作成する装置として、例えば特開平４−１９５ ７４４号公報に記載された、光ディスク記録膜作製用塗布装置を掲げることがで きる。この光ディスク記録膜作製用塗布装置では、吐出された溶液の広がりを液 検出部で検出し、その検出信号に基づいて溶液の吐出とディスクの回転を制御さ せ、記録膜を均一な厚みでかつ一定の範囲に塗布できるようにしている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上述した光ディスク記録膜作製用塗布装置では、ディスク面で弾き跳 ばされ飛散した溶液や、遠心力によってディスク周縁に溜った溶液がディスクの 裏面である信号読み取り面を浸食し、部分的に正常な読み取りができなくなる場 合があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

そこで本考案は、 １．タ−ンテ−ブルとその下面中心に連結する回転軸を備え、ターンテーブルに は、その上面中心にディスクの中心部を支えるボス部を設けて、ディスク残部と タ−ンテ−ブルとの間に隙間を形成させると共に、 下面側の開口部がエア−取入 部、上面側の開口部がエア−吹出部となった複数個の貫通穴を所定角度間隔で配 置し、さらに、タ−ンテ−ブルの下部より貫通穴を通ってエア−を吹き出させる エア−供給路を設ける、 ２．１項において、貫通穴の空気取入部を、タ−ンテ−ブルの回転方向に関し、 空気吹出部よりも前進位置に設ける、 ３．１項において、エア−供給路を前記回転軸の軸心に設ける、 ４．１項において、エア−供給路を前記回転軸の側面に設ける、 ５．１項において、ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス部に設けると共に、 そのボス部の周囲に貫通穴を設ける、 ６．４項において、タ−ンテ−ブル下面にハブ部を設け、このハブ部からタ−ン テ−ブル上面にかけて貫通穴を形設すると共に、回転軸を支持する軸受部とハブ 部をリングで囲んでエア−供給路たる環状空間を構成し、この環状空間にエア− ホ−スを接続する、 ７．４項において、ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス部に設け、この吸引 穴に真空圧を及ぼす吸引路を回転軸内に形設し、他方タ−ンテ−ブル下面にはハ ブ部を設け、このハブ部からタ−ンテ−ブル上面にかけて貫通穴を形設すると共 に、回転軸を支持する軸受部とハブ部をリングで囲んでエア−供給路たる環状空 間を構成し、この環状空間にエア−ホ−スを接続する、 ものとした。

【０００５】

【作用】 貫通穴から吹き出されたエア−はディスクの裏面に吹き付けられて、飛散して いる溶液やディスク周縁に溜っている溶液がディスクの裏面側に進入することが 防止され、それらの溶液がディスク裏面に付着することがない。

【０００６】

【実施例】

図１に基づき一実施例を説明する。１は図示しないベ−ス上に水平に支持され たプレ−トで、軸受部２が固着される。軸受部２は、回転軸３を垂直に支持し、 内部に真空吸引路２１を有している。回転軸３の下端部には、図示しない駆動モ −タから回転力が伝達される。３１は回転軸３の軸線方向に形成された真空吸引 路で、その一端が軸受部２の真空吸引路２１に向かって開口し、他端が後述する ターンテーブル４に設ける真空吸引口４３に応じて開口している。４は回転軸３ の上端に固着されたタ−ンテ−ブルである。このタ−ンテ−ブル４の上面中央に は、ディスクＷの中心部のみを載置してディスクＷ残部とターンテーブル４との 間に一定の隙間を開けるボス部４１を設け、下面中央にはハブ部４２を設ける。 ４３はタ−ンテ−ブル４内に上向きに形成された真空吸引口で、ボス部４１の上 面に所定角度間隔で複数個開口しており、回転軸３の真空吸引路３１と軸受部２ の真空吸引路２１を通って、軸受部２の側壁に設けた接続口２２を介し、図示し ない真空吸引源に連通する。

【０００７】 ４４は、ハブ部４２の下面からタ−ンテ−ブル４の上面に向かう貫通穴で、ボ ス部４１を避けた位置に所定角度の間隔を置いて複数個配置される。５は、プレ ート１上に回転軸３の軸心と同心に設置されるリングであり、その内周面上部で ハブ部４２の外周を囲み、内周面下部で回転軸３を支持する軸受部２の外周を囲 んで、環状空間６を形成させるものである。５１はリング５の下面から内周面に 開口するエア−供給路であり、プレート１にエア−供給路５１に通じる接続口１ １を設け、接続口１１には、継ぎ手１２、エア−ホース１３を介して図示しない エア−供給源を接続する。こうして、貫通穴４４は、環状空間６を介してエア− 供給路５１と連通し、エア−供給源から圧縮エアーが供給されると、貫通穴４４ からディスクＷの裏面に向かってエアーが吹き出すことになる。

【０００８】 貫通穴４４の形状について、図に基づき補足説明する。図２はタ−ンテ−ブル ４を側方から見た断面図であり、貫通穴４４は、タ−ンテ−ブル４の回転方向に 関して、ハブ部４２の下面の空気取入部がタ−ンテ−ブル４の上面の空気吹出部 よりも前進した位置にある。

【０００９】 このような構成を有する本実施例の動作は次のようになる。まず、図示しない ピックアンドプレ−ス装置により、ディスクＷをタ−ンテ−ブル４上に載置する 。この時、図示しない真空吸引源に吸引を開始させて、真空吸引路２１、３１を 経由して真空吸引口４３に真空吸引力を生じさせ、ボス部４１上面に載置された ディスクＷを一時吸着保持させる。そして、この状態のままで、図示しない駆動 モ−タに回転軸３へ回転力を伝達させ、それに伴いディスクＷを載置したタ−ン テ−ブル４を回転させる。

【００１０】 一方、ディスクＷがタ−ンテ−ブル４上に載置された段階で、図示しない滴下 装置を、ディスクＷ中心側のアルミ蒸着面の上方に進出させ、タ−ンテ−ブル４ の回転に伴って、溶液の滴下を行わせる。滴下された溶液は、タ−ンテ−ブル４ の回転で生じる遠心力により、ディスクＷ周縁に向かって拡散される。

【００１１】 溶液の滴下と同時に、図示しないエア−供給源にエア−の供給を開始させる。 ここで供給されるエア−は、エア−ホ−ス１３、エア−供給路５１を通じて環状 空間６に送り込まれた後、ハブ部４２の下面側から貫通穴４４を抜けて、タ−ン テ−ブル４の上面へと吹き出される。このエア−は、タ−ンテ−ブル４の回転で 生じる遠心力によって、ディスクＷ裏面の周縁方向に向かって流れ、ディスクＷ とタ−ンテ−ブル４間の隙間に入り込もうとする溶液を遮断する。

【００１２】 また、貫通穴４４のエア−取入部が、タ−ンテ−ブル４の矢印で示す回転方向 に関し、エア−吹出部よりも前進位置に設けられているため、貫通穴４４から吹 き出すエア−は、回転方向とは逆方向かつ斜め上向きに吹き出すことになる。図 ２において、ディスクＷ周縁に溜った溶液Ｌは、貫通穴４４から吹き出る斜め上 向きの矢印で示すエア−の流れに妨げられ、ディスクＷの裏面側へ入り込むこと はない。さらに飛散している溶液も、同様にエア−の流れに妨げられて、ディス クＷの裏面側へ入り込むことはない。

【００１３】 上記実施例では、エア−供給路５１を回転軸の側面に設けたが、回転軸３内に 真空吸引路３１と分離してエア−供給路を形成することもできる。この場合、例 えばエア−供給路の一端を、回転軸下端面に開口させ、エアー配管用ロ−タリ− ジョイント等でエア−供給源と接続し、他端を、前述の環状空間に通じるよう側 面へ開口させ、貫通穴からエア−を供給すればよい。また、本実施例の貫通穴は 、貫通穴４４のエア−取入部が、タ−ンテ−ブルの回転方向に関し、エア−吹出 部よりも前進位置に設けることとしたが、真っ直ぐ上向きとしてもよく、さらに は、エア−吹出部よりも後退位置に設けるようにしてもよい。取入部を吹出部よ り軸心よりに位置させて、吹出部から吹き出すエアーがディスクＷの周縁方向に 向かうように形成してもよい。

【００１４】

【考案の効果】

本考案によれば、ディスク裏面に回りこもうとする溶液は、貫通穴から吹き出 されるエア−に妨げられて、ディスク裏面に付着することはなく、裏面の信号読 み取り面を損なうことのない良好なディスクが提供できる。従って、ディスク製 造におけるスピンコーティング工程で、歩留まりが向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のスピンコーティング装置の一実施例を
示す、一部破断正面図である。

【図２】同じく、溶液の動きと吹出部から吹き出される
エア−を説明する図である。

【符号の説明】

Ｗ ディスク Ｌ 溶液 １ プレ−ト １１、２２ 接続口 １２ 継ぎ手 １３ エア−ホ−ス ２ 軸受 ２１、３１ 真空吸引路 ３ 回転軸 ４ タ−ンテ−ブル ４１ ボス部 ４２ ハブ部 ４３ 真空吸引口 ４４ 貫通穴 ５ リング ５１ エア−供給路 ６ 環状空間

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年４月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【考案の名称】 スピンコ−ティング装置

【実用新案登録請求の範囲】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のスピンコーティング装置の一実施例を
示す、一部破断正面図である。

【図２】同じく、溶液の動きと吹出部から吹き出される
エア−を説明する図である。

【符号の説明】 Ｗ ディスク Ｌ 溶液 １ プレ−ト １１、２２ 接続口 １２ 継ぎ手 １３ エア−ホ−ス ２ 軸受部 ２１、３１ 真空吸引路 ３ 回転軸 ４ タ−ンテ−ブル ４１ ボス部 ４２ ハブ部 ４３ 真空吸引口 ４４ 貫通穴 ５ リング ５１ エア−供給路 ６ 環状空間

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

Claims (7)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体であるディスクの表面に、スピ
   ンコ−ティング用溶液を滴下してスピンコ−トするもの
   において、次の構成を備えたことを特徴とするスピンコ
   −ティング装置。 ａ．タ−ンテ−ブル。 ｂ．前記タ−ンテ−ブルの下面中心に連結した回転軸。 ｃ．タ−ンテ−ブルの上面中心にあって、ディスクの中
   心部を支え、ディスク残部とタ−ンテ−ブルとの間に隙
   間を形成するボス部。 ｄ．タ−ンテ−ブルに所定角度間隔で配置された、タ−
   ンテ−ブル下面側の開口部がエア−取入部、タ−ンテ−
   ブル上面側の開口部がエア−吹出部となった複数個の貫
   通穴。 ｅ．タ−ンテ−ブルの下部より、前記貫通穴を通ってエ
   ア−を吹き出させるエア−供給路。
2. 【請求項２】 貫通穴のエア−取入部を、タ−ンテ−ブ
   ルの回転方向に関し、エア−吹出部よりも前進位置に設
   けることを特徴とする請求項１記載のスピンコ−ティン
   グ装置。
3. 【請求項３】 エア−供給路を前記回転軸の軸心に設け
   ることを特徴とする請求項１記載のスピンコ−ティング
   装置。
4. 【請求項４】 エア−供給路を前記回転軸周縁に設ける
   ことを特徴とする請求項１記載のスピンコ−ティング装
   置。
5. 【請求項５】 ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス
   部に設けると共に、そのボス部の周囲に貫通穴を設ける
   ことを特徴とする請求項１記載のスピンコ−ティング装
   置。
6. 【請求項６】 タ−ンテ−ブル下面にハブ部を設け、こ
   のハブ部からタ−ンテ−ブル上面にかけて貫通穴を形設
   すると共に、回転軸を支持する軸受部とハブ部をリング
   で囲んでエア−供給路たる環状空間を構成し、この環状
   空間にエア−ホ−スを接続したことを特徴とする請求項
   ４記載のスピンコ−ティング装置。
7. 【請求項７】 ディスク中心部を吸着する吸引穴をボス
   部に設け、この吸引穴に真空圧を及ぼす吸引路を回転軸
   内に形設し、他方タ−ンテ−ブル下面にはハブ部を設
   け、このハブ部からタ−ンテ−ブル上面にかけて貫通穴
   を形設すると共に、回転軸を支持する軸受部とハブ部を
   リングで囲んでエア−供給路たる環状空間を構成し、こ
   の環状空間にエア−ホ−スを接続したことを特徴とする
   請求項４記載のスピンコ−ティング装置。